JP3139398U - 表面撮影装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面撮影装置は、直線状又は帯状に光を出す光源と、光源から出た直線状又は帯状の光を被写体の表面部分にほぼ垂直に導き、かつ被写体で反射された光を光源の方向とほぼ直交する方向に導く光分離手段と、光分離手段が導く被写体で反射された光に基づいて被写体の表面部分の直線状又は帯状領域を撮影する撮影手段とを備えてなるものである。
【選択図】図1
Description
2…第一光源
3…ビームスプリッタ
4…ブロックカメラ
5…カメラ部
Claims (4)
- 直線状又は帯状に光を出す光源と、
光源から出た直線状又は帯状の光を被写体の表面部分にほぼ垂直に導き、かつ被写体で反射された光を光源の方向とほぼ直交する方向に導く光分離手段と、
光分離手段が導く被写体で反射された光に基づいて被写体の表面部分の直線状又は帯状領域を撮影する撮影手段とを備えてなる表面撮影装置。 - 撮影手段が撮影する被写体の表面部分の直線状又は帯状領域に集中するように光を照射する第二の光源をさらに備えてなる請求項1記載の表面撮影装置。
- 光分離手段が、ビームスプリッタである請求項1又は2記載の表面撮影装置。
- 光分離手段が、ハーフミラーである請求項1又は2記載の表面撮影装置。
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CN102565090A (zh) * | 2010-11-01 | 2012-07-11 | 先进自动器材有限公司 | 用于检查光伏衬底的方法 |
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2007
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