JP4687693B2 - 放射線画像変換パネル及びその製造方法 - Google Patents
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Description
一般式(1) M1X・aM2X′・bM3X″:eA
〔式中、M1はLi、Na、K、Rb及びCsの各原子から選ばれる少なくとも1種のアルカリ金属原子であり、M2はBe、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、Cd、Cu及びNiの各原子から選ばれる少なくとも1種の二価金属原子であり、M3はSc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、Ga及びInの各原子から選ばれる少なくとも1種の三価金属原子であり、X、X′、X″はF、Cl、Br及びIの各原子から選ばれる少なくとも1種のハロゲン原子であり、AはEu、Tb、In、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Yb、Er、Gd、Lu、Sm、Y、Tl、Na、Ag、Cu及びMgの各原子から選ばれる少なくとも1種の金属原子であり、また、a、b、eはそれぞれ0≦a<0.5、0≦b<0.5、0≦e≦0.2の範囲の数値を表す。〕
4.前記蛍光体層中の金属元素比A/M1が1×10-5〜1×10-3(モル比)であることを特徴とする前記2又は3に記載の放射線画像変換パネル。
本発明の放射線画像変換パネルの製造方法は、蛍光体原料を含む蒸着源を加熱し、発生する物質を基板上に蒸着させることにより蛍光体層を形成する工程を含む放射線画像変換パネルの製造方法において、蒸着中の基板温度が60〜110℃の範囲内の温度にあり、且つ蒸着開始時の基板温度から蒸着中の最高到達基板温度までの間の昇温速度が2〜4℃/minであることを特徴とする。本発明において、前記蛍光体層が前記一般式(1)で表されるハロゲン化アルカリを母体とする蛍光体であることが好ましい。また、前記蛍光体層中の金属元素比A/M1が1×10-5〜1×10-3(モル比)であることが好ましい。
本発明に係る前記一般式(1)で表される化合物について説明する。
本発明に用いられる放射線画像変換パネルの基板について説明する。
また、本発明に係る蛍光体層は気相成長法によって形成される。蛍光体の気相成長法としては、蒸着法、スパッタリング法、CVD法、イオンプレーティング法、その他を用いることができる。
保護フィルムは蛍光体層を防湿し、蛍光体層の劣化を抑制するためのもので、透湿度の低いフィルムから構成される。例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム(PET)を用いることができる。PETの他には、ポリエステルフィルム、ポリメタクリレートフィルム、ニトロセルロースフィルム、セルロースアセテートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム等を用いることができる。また、必要とされる防湿性に合わせて、これらフィルムに金属酸化物などを蒸着した蒸着フィルムを複数枚積層した構成とすることもできる。
〔放射線画像変換パネル1の作製〕
蛍光体原料として、酸化臭化ユーロピウム(EuOBr)粉末6.0g、及び臭化セシウム(CsBr)粉末1000gをそれぞれ秤量し、相対湿度25%の環境下で混合した。次に、このように混合した蛍光体原料を抵抗加熱ルツボに取り、蒸着装置内を真空排気して高真空度にした後、Arガスを導入して、1.0×10-2Paになるように真空度を調整した。次いで、基板の蒸着面とは反対側に位置したヒーターにより基板を60℃に加熱した。抵抗加熱ルツボを加熱して2μm/分の速度で蛍光体原料を蒸着し、CsBr:Eu蛍光体を堆積させた。蒸着開始と共に基板昇温速度が10℃/minにて基板温度130℃まで加熱した。蒸着終了後、装置内を大気圧に戻し、装置から基板を取り出した。アルミ基板上には、蛍光体の柱状結晶がほぼ垂直方向に密に林立した構造の蛍光体層(層厚:150μm)が形成されていた。ICP−MS法により分析した本蛍光体層成分中のEu濃度を基に算出したEu/Csは、2×10-3(モル比)であった。
放射線画像変換パネル1の作製において、蒸着中の基板最高温度、基板昇温速度、金属元素比Eu/Csが表1の値になるようそれぞれ、基板加熱条件、酸化臭化ユーロピウム使用量を調整した以外は、同様にして放射線画像変換パネル2〜6を作製した。
放射線画像変換パネル1〜6について、下記のように評価した。
各々作製した放射線画像変換パネル試料の鮮鋭性は変調伝達関数(MTF)を求めて評価した。MTFは放射線画像変換パネル試料にCTFチャートを貼付した後、放射線画像変換パネル試料に80kVpのX線を10mR(被写体までの距離:1.5m)照射した後、100μmφの直径の半導体レーザ(680nm:パネル上でのパワー40mW)を用いてCTFチャート像を走査読み取りして求めた。表1の値は2.0lp/mmのMTF値を足し合わせた値で示す。得られた結果を表1に示す。
輝度はコニカミノルタエムジー(株)製Regius350を用いて評価を行った。鮮鋭性評価と同様にX線をタングステン管球にて80kVp、10mAsで爆射線源とプレート間距離2mで照射した後、Regius350にプレートを設置して読みとった。得られたフォトマルからの電気信号を元に相対評価を行った。放射線画像変換パネル1の輝度1.0とし、その他の試料はその相対値で表した。
Claims (4)
- 蛍光体原料を含む蒸着源を加熱し、発生する物質を基板上に蒸着させることにより蛍光体層を形成する工程を含む放射線画像変換パネルの製造方法において、蒸着中の基板温度が60〜110℃の範囲内の温度にあり、且つ蒸着開始時の基板温度から蒸着中の最高到達基板温度までの間の昇温速度が2〜4℃/minであることを特徴とする放射線画像変換パネルの製造方法。
- 蛍光体層を有する放射線画像変換パネルであって、請求項1に記載の製造方法によって製造されたことを特徴とする放射線画像変換パネル。
- 前記蛍光体層が下記一般式(1)で表されるハロゲン化アルカリを母体とする蛍光体を含有することを特徴とする請求項2に記載の放射線画像変換パネル。
一般式(1) M1X・aM2X′・bM3X″:eA
〔式中、M1はLi、Na、K、Rb及びCsの各原子から選ばれる少なくとも1種のアルカリ金属原子であり、M2はBe、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、Cd、Cu及びNiの各原子から選ばれる少なくとも1種の二価金属原子であり、M3はSc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、Ga及びInの各原子から選ばれる少なくとも1種の三価金属原子であり、X、X′、X″はF、Cl、Br及びIの各原子から選ばれる少なくとも1種のハロゲン原子であり、AはEu、Tb、In、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Yb、Er、Gd、Lu、Sm、Y、Tl、Na、Ag、Cu及びMgの各原子から選ばれる少なくとも1種の金属原子であり、また、a、b、eはそれぞれ0≦a<0.5、0≦b<0.5、0≦e≦0.2の範囲の数値を表す。〕 - 前記蛍光体層中の金属元素比A/M1が1×10-5〜1×10-3(モル比)であることを特徴とする請求項2又は3に記載の放射線画像変換パネル。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04152299A (ja) * | 1990-10-16 | 1992-05-26 | Konica Corp | 放射線画像変換パネルの製造方法 |
JP2004170405A (ja) * | 2002-11-07 | 2004-06-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線像変換パネルの製造方法 |
JP2005156397A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 放射線画像変換パネルの製造方法とそれにより造られた放射線画像変換パネル |
JP2006010616A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 放射線画像変換パネルの製造方法、放射線画像変換パネル及び蒸着装置 |
JP2006105596A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線像変換パネル |
JP2007127494A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Fujifilm Corp | 蛍光体シートの製造方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3859527A (en) | 1973-01-02 | 1975-01-07 | Eastman Kodak Co | Apparatus and method for producing images corresponding to patterns of high energy radiation |
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US4947046A (en) | 1988-05-27 | 1990-08-07 | Konica Corporation | Method for preparation of radiographic image conversion panel and radiographic image conversion panel thereby |
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JP2006271700A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線像変換パネルおよび放射線画像診断システム |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04152299A (ja) * | 1990-10-16 | 1992-05-26 | Konica Corp | 放射線画像変換パネルの製造方法 |
JP2004170405A (ja) * | 2002-11-07 | 2004-06-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線像変換パネルの製造方法 |
JP2005156397A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 放射線画像変換パネルの製造方法とそれにより造られた放射線画像変換パネル |
JP2006010616A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 放射線画像変換パネルの製造方法、放射線画像変換パネル及び蒸着装置 |
JP2006105596A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線像変換パネル |
JP2007127494A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Fujifilm Corp | 蛍光体シートの製造方法 |
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