JP4684767B2 - 精密往復直進駆動機構 - Google Patents
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Description
力点の力(a)×支点と力点の距離(3)=作用点の力(b)×支点と作用点の距離(1)が成立する。
すなわち、
a×3=b×1
b=3a
作用点には力点の3倍の力がかかる。
また作用点13a(取出部材12)の移動ストロークは、力点の移動ストロークの1/3となる。
11 中心ガイドバー
12 取出部材
13 シーソーバー(シーソー部材)
13a 軸(作用点)
13a’ 環状作用点
13L 左腕
13R 右腕
14 ばね座
15 圧縮ばね(付勢部材)
20L 20R ガイドバー
21L 21R 原動直進部材
22L 22R ナット腕
23L 23R ナット部材
24L 24R ステッピングモータ
25L 25R 送りねじ軸
26L 26R 連動突起(力点)
27L 27R 原点センサ
30L 30R ドライバ
31 制御回路
41 CCD
42 固定枠
43 Yガイドロッド
44 Yステージ
44a 駆動腕
44b 軸
44c 48c 引張ばね
45 ガイドロッド
46 Xステージ
46a ローラ
47 Xガイドロッド
48 X駆動部材
48a 軸
48b 一方向伝達面
Claims (5)
- ステッピングモータの回転を直進運動に変換して取り出す精密往復直進駆動機構において、
直進進退動可能に支持された取出部材;
この取出部材の移動軸上に揺動中心を有し、その揺動中心から異なる方向に延びる少なくとも一対の腕を有する、上記取出部材と一緒に移動するシーソー部材;
このシーソー部材の各腕に係合し、上記取出部材の移動方向と略平行な方向に直進進退動可能に支持された複数の原動直進部材;
上記取出部材とシーソー部材を上記複数の原動直進部材との係合方向へ付勢する付勢部材;
上記複数の原動直進部材に対応させて設けた複数のステッピングモータ;
上記取出部材及び複数の原動直進部材の移動方向と略平行な方向に軸線を向け、上記複数のステッピングモータのそれぞれにより該軸線を中心として回転駆動される複数の送りねじ軸;及び
上記複数の送りねじ軸にそれぞれ螺合すると共に上記複数の原動直進部材をそれぞれ支持し、各送りねじ軸の回転によってその軸線方向に移動して対応する原動直進部材を移動させる複数のナット部材;
を備えたことを特徴とする精密往復直進駆動機構。 - 請求項1記載の精密往復直進駆動機構において、各ステッピングモータには、時間差を与えて駆動パルスが与えられる精密往復直進駆動機構。
- 請求項2記載の精密往復直進駆動機構において、各ステッピングモータには、交互に通電される精密往復直進駆動機構。
- 請求項1記載の精密往復直進駆動機構において、各ステッピングモータには、同時に駆動パルスが与えられる精密往復直進駆動機構。
- 請求項1ないし4のいずれか1項記載の精密往復直進駆動機構において、各原動直進部材にはそれぞれ原点センサが備えられている精密往復直進駆動機構。
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JP2005190543A JP4684767B2 (ja) | 2005-06-29 | 2005-06-29 | 精密往復直進駆動機構 |
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JP2005190543A JP4684767B2 (ja) | 2005-06-29 | 2005-06-29 | 精密往復直進駆動機構 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2007014100A JP2007014100A (ja) | 2007-01-18 |
JP4684767B2 true JP4684767B2 (ja) | 2011-05-18 |
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Family Applications (1)
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JP (1) | JP4684767B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5540176B2 (ja) * | 1976-01-28 | 1980-10-16 | ||
JPH1164918A (ja) * | 1997-08-22 | 1999-03-05 | Mitsubishi Electric Corp | 複合一体型テレビカメラ装置のモータドライブ回路およびテレビカメラ |
JPH11202067A (ja) * | 1998-01-13 | 1999-07-30 | Ntn Corp | XYθテーブルの制御方法 |
JP2005134951A (ja) * | 2003-10-28 | 2005-05-26 | Pentax Corp | 2次元位置制御方法、及び2次元位置制御装置 |
-
2005
- 2005-06-29 JP JP2005190543A patent/JP4684767B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
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JP2005134951A (ja) * | 2003-10-28 | 2005-05-26 | Pentax Corp | 2次元位置制御方法、及び2次元位置制御装置 |
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---|---|
JP2007014100A (ja) | 2007-01-18 |
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