JPH11202067A - ＸＹθテーブルの制御方法 - Google Patents
ＸＹθテーブルの制御方法Info
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- JPH11202067A JPH11202067A JP10004850A JP485098A JPH11202067A JP H11202067 A JPH11202067 A JP H11202067A JP 10004850 A JP10004850 A JP 10004850A JP 485098 A JP485098 A JP 485098A JP H11202067 A JPH11202067 A JP H11202067A
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- G05B19/02—Programme-control systems electric
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＸＹθテーブルを構成する駆動軸を適切に動
作させ、干渉などの影響を及ぼすこともなく正確にかつ
短時間で機械原点へ復帰できるような制御方法を提供す
る。 【解決手段】 固定盤１に対して可動盤２を電動リニア
アクチュエータ３〜５によってＵ，Ｖ，Ｗの各軸に沿っ
て駆動し、エンドリミットセンサ１２〜１７によって前
進端と後進端を検出しながら、各軸の原点センサ９〜１
１が電動リニアアクチュエータ３〜５の原点を検出でき
るように制御する。
作させ、干渉などの影響を及ぼすこともなく正確にかつ
短時間で機械原点へ復帰できるような制御方法を提供す
る。 【解決手段】 固定盤１に対して可動盤２を電動リニア
アクチュエータ３〜５によってＵ，Ｖ，Ｗの各軸に沿っ
て駆動し、エンドリミットセンサ１２〜１７によって前
進端と後進端を検出しながら、各軸の原点センサ９〜１
１が電動リニアアクチュエータ３〜５の原点を検出でき
るように制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はＸＹθテーブルの
制御方法に関し、特に、固定盤の上にスラスト軸受を介
して可動盤をＸ方向，Ｙ方向および回転方向に移動可能
なＸＹθテーブルにおいて、可動盤を機械的原点に復帰
できるように制御する制御方法に関する。
制御方法に関し、特に、固定盤の上にスラスト軸受を介
して可動盤をＸ方向，Ｙ方向および回転方向に移動可能
なＸＹθテーブルにおいて、可動盤を機械的原点に復帰
できるように制御する制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】プリント基板の製造，検査装置や、液
晶，ＰＤＰなどのフラットパネルディスプレイの製造，
検査装置においてアライメントを必要とする場合にＸＹ
θテーブルが用いられる。
晶，ＰＤＰなどのフラットパネルディスプレイの製造，
検査装置においてアライメントを必要とする場合にＸＹ
θテーブルが用いられる。
【０００３】ＸＹθテーブルは、固定盤の上にスラスト
軸受を介して可動盤が設けられており、３軸のアクチュ
エータの出入り量を制御することにより、可動盤がＸＹ
θの動作を実行することができる。逆に言えば、３軸を
制御できない状態では、可動盤の位置は予想外の大きな
動きを伴うことになる。
軸受を介して可動盤が設けられており、３軸のアクチュ
エータの出入り量を制御することにより、可動盤がＸＹ
θの動作を実行することができる。逆に言えば、３軸を
制御できない状態では、可動盤の位置は予想外の大きな
動きを伴うことになる。
【０００４】たとえば、可動盤の中心を動かしたい点と
したとき、（Ｘ，Ｙ）＝（±５ｍｍ，±５ｍｍ）でθ動
作がなければ、３軸のアクチュエータもそれぞれ±５ｍ
ｍのストロークがあればよい。ところが、（Ｘ，Ｙ，
θ）＝（±５，±５，±３°）といったように、Ｘ，Ｙ
のストロークの端でθを３°振りたいとなると、アクチ
ュエータは±５ｍｍに加え、さらに３°を作り出すため
のストローク分が必要となる。仮に、アクチュエータの
ストロークが±９ｍｍあれば、（±５，±５，±３°）
の動作が可能であるとすると、原点復帰時には３軸それ
ぞれが±９ｍｍの全域で動くことになり、軸の組合せに
よっては可動盤が±５°以上の角度で振ることもあり、
可動盤の周囲に余裕を考慮していなければ、干渉という
こともあり得る。
したとき、（Ｘ，Ｙ）＝（±５ｍｍ，±５ｍｍ）でθ動
作がなければ、３軸のアクチュエータもそれぞれ±５ｍ
ｍのストロークがあればよい。ところが、（Ｘ，Ｙ，
θ）＝（±５，±５，±３°）といったように、Ｘ，Ｙ
のストロークの端でθを３°振りたいとなると、アクチ
ュエータは±５ｍｍに加え、さらに３°を作り出すため
のストローク分が必要となる。仮に、アクチュエータの
ストロークが±９ｍｍあれば、（±５，±５，±３°）
の動作が可能であるとすると、原点復帰時には３軸それ
ぞれが±９ｍｍの全域で動くことになり、軸の組合せに
よっては可動盤が±５°以上の角度で振ることもあり、
可動盤の周囲に余裕を考慮していなければ、干渉という
こともあり得る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述の３軸のアクチュ
エータの駆動により、可動盤が平行移動や回動するＸＹ
θテーブルにおいて、制御を司るコントローラの内部座
標とＸＹθテーブルの移動座標が一致していない場合、
すなわち３軸のアクチュエータの移動量を、そのストロ
ーク内で任意に組合せた場合には、必要とするＸＹθの
ストローク以上に大きく移動してしまう。したがって、
コントローラがアクチュエータの現在位置を把握できて
いない状態で３軸のうちの１軸ずつまたは２軸または３
軸同時に原点復帰させると、テーブル内部での干渉や、
テーブル周囲に取付けた部品や装置に衝突するおそれが
ある。
エータの駆動により、可動盤が平行移動や回動するＸＹ
θテーブルにおいて、制御を司るコントローラの内部座
標とＸＹθテーブルの移動座標が一致していない場合、
すなわち３軸のアクチュエータの移動量を、そのストロ
ーク内で任意に組合せた場合には、必要とするＸＹθの
ストローク以上に大きく移動してしまう。したがって、
コントローラがアクチュエータの現在位置を把握できて
いない状態で３軸のうちの１軸ずつまたは２軸または３
軸同時に原点復帰させると、テーブル内部での干渉や、
テーブル周囲に取付けた部品や装置に衝突するおそれが
ある。
【０００６】寸法制約の都合上、また干渉防止のため不
要な動作を避けたい場合や、各軸のアクチュエータに原
点センサ出力状態を判定できないような構成をとらざる
を得ない場合など、協調動作のない各軸ごとの原点復帰
アルゴリズムには問題があった。
要な動作を避けたい場合や、各軸のアクチュエータに原
点センサ出力状態を判定できないような構成をとらざる
を得ない場合など、協調動作のない各軸ごとの原点復帰
アルゴリズムには問題があった。
【０００７】それゆえに、この発明の主たる目的は、Ｘ
Ｙθテーブルを構成する駆動軸を適切に動作させ、干渉
などの影響を及ぼすこともなく正確にかつ短時間で機械
原点へ復帰できるようなＸＹθテーブルの制御方法を提
供することである。
Ｙθテーブルを構成する駆動軸を適切に動作させ、干渉
などの影響を及ぼすこともなく正確にかつ短時間で機械
原点へ復帰できるようなＸＹθテーブルの制御方法を提
供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明は固定盤の上に
スラスト軸受を介して可動盤をＸ方向，Ｙ方向および回
転方向に移動可能なＸＹθテーブルの制御方法であっ
て、ＸＹθテーブルには、Ｘ移動，Ｙ移動，θ角移動を
行なうための３軸のアクチュエータと各アクチュエータ
の原点位置，先端位置および後端位置を検出するセンサ
と、Ｘ方向およびＹ方向のそれぞれの上限および下限位
置を検出するスライドリミットセンサとを備え、スライ
ドリミットセンサと各アクチュエータのセンサによる検
出位置を記憶しておき、記憶している各センサの検出位
置に基づいて可動盤の姿勢を判別し、その判別結果によ
り原点復帰方向へ３軸のアクチュエータを駆動して可動
盤の姿勢を修正し、可動盤が原点位置になるようにアク
チュエータを移動させる。
スラスト軸受を介して可動盤をＸ方向，Ｙ方向および回
転方向に移動可能なＸＹθテーブルの制御方法であっ
て、ＸＹθテーブルには、Ｘ移動，Ｙ移動，θ角移動を
行なうための３軸のアクチュエータと各アクチュエータ
の原点位置，先端位置および後端位置を検出するセンサ
と、Ｘ方向およびＹ方向のそれぞれの上限および下限位
置を検出するスライドリミットセンサとを備え、スライ
ドリミットセンサと各アクチュエータのセンサによる検
出位置を記憶しておき、記憶している各センサの検出位
置に基づいて可動盤の姿勢を判別し、その判別結果によ
り原点復帰方向へ３軸のアクチュエータを駆動して可動
盤の姿勢を修正し、可動盤が原点位置になるようにアク
チュエータを移動させる。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１はこの発明の適用されるＸＹ
θテーブルの外観斜視図であり、図２は同じく平面図で
ある。
θテーブルの外観斜視図であり、図２は同じく平面図で
ある。
【００１０】図１および図２において、固定盤（ベー
ス）１上には、可動盤（ステージ）２が図示しないスラ
スト軸受によって軸支されており、可動盤２はＸ方向，
Ｙ方向およびθ方向（回転方向）の３軸に移動可能に構
成されている。この移動は３台の電動リニアアクチュエ
ータ３〜５と、リニアガイドのような継手６〜８とによ
って行なわれる。
ス）１上には、可動盤（ステージ）２が図示しないスラ
スト軸受によって軸支されており、可動盤２はＸ方向，
Ｙ方向およびθ方向（回転方向）の３軸に移動可能に構
成されている。この移動は３台の電動リニアアクチュエ
ータ３〜５と、リニアガイドのような継手６〜８とによ
って行なわれる。
【００１１】すなわち、固定盤１の側辺には、可動盤２
を含む平面内で互いに伸縮する３台の電動リニアアクチ
ュエータ３，４，５が取付けられ、これら電動リニアア
クチュエータ３，４，５は継手６，７，８によって平面
内で回動可能であって、かつ電動リニアアクチュエータ
３，４，５の伸縮方向と直交する方向に可動盤２の側辺
に連結されている。電動リニアアクチュエータ３，４，
５はステッピングモータまたはサーボモータが使用され
ており、電動リニアアクチュエータ３，４，５の動きは
これらのモータを制御することによって行なわれる。な
お、電動リニアアクチュエータ３はＶ軸，電動リニアア
クチュエータ４はＵ軸，電動リニアアクチュエータ５は
Ｗ軸をそれぞれ制御する。
を含む平面内で互いに伸縮する３台の電動リニアアクチ
ュエータ３，４，５が取付けられ、これら電動リニアア
クチュエータ３，４，５は継手６，７，８によって平面
内で回動可能であって、かつ電動リニアアクチュエータ
３，４，５の伸縮方向と直交する方向に可動盤２の側辺
に連結されている。電動リニアアクチュエータ３，４，
５はステッピングモータまたはサーボモータが使用され
ており、電動リニアアクチュエータ３，４，５の動きは
これらのモータを制御することによって行なわれる。な
お、電動リニアアクチュエータ３はＶ軸，電動リニアア
クチュエータ４はＵ軸，電動リニアアクチュエータ５は
Ｗ軸をそれぞれ制御する。
【００１２】各電動リニアアクチュエータ３，４，５の
それぞれに対応して原点センサ９，１０，１１と、エン
ドリミットセンサ１２，１３，１４，１５，１６，１７
と、スライドリミットセンサ１８，１９，２０，２１が
設けられている。原点センサ９，１０，１１は電動リニ
アアクチュエータ３，４，５がそれぞれ原点にあること
を検知し、エンドリミットセンサ１２，１３，１４は電
動リニアアクチュエータ３，４，５が前進端にあること
を検出し、エンドリミットセンサ１５，１６，１７は電
動リニアアクチュエータ３，４，５が後進端にあること
を検出する。スライドリミットセンサ１８，１９，２
０，２１は可動盤２のＸ方向およびＹ方向の移動を監視
する。
それぞれに対応して原点センサ９，１０，１１と、エン
ドリミットセンサ１２，１３，１４，１５，１６，１７
と、スライドリミットセンサ１８，１９，２０，２１が
設けられている。原点センサ９，１０，１１は電動リニ
アアクチュエータ３，４，５がそれぞれ原点にあること
を検知し、エンドリミットセンサ１２，１３，１４は電
動リニアアクチュエータ３，４，５が前進端にあること
を検出し、エンドリミットセンサ１５，１６，１７は電
動リニアアクチュエータ３，４，５が後進端にあること
を検出する。スライドリミットセンサ１８，１９，２
０，２１は可動盤２のＸ方向およびＹ方向の移動を監視
する。
【００１３】図３はこの発明の一実施形態の制御装置の
概略ブロック図である。図２に示した原点センサ９〜１
１，エンドリミットセンサ１２〜１４，１５〜１７，ス
ライドリミットセンサ１８〜２１はＣＰＵ３０に接続さ
れる。ＣＰＵ３０にはメモリ３１と駆動回路３２とが接
続されている。メモリ３１は各原点センサ９〜１１およ
び各リミットセンサ１２〜２１の状態を記憶する。駆動
回路３２はＣＰＵ３０からの指令に応じて、電動リニア
アクチュエータ３〜５を駆動する。
概略ブロック図である。図２に示した原点センサ９〜１
１，エンドリミットセンサ１２〜１４，１５〜１７，ス
ライドリミットセンサ１８〜２１はＣＰＵ３０に接続さ
れる。ＣＰＵ３０にはメモリ３１と駆動回路３２とが接
続されている。メモリ３１は各原点センサ９〜１１およ
び各リミットセンサ１２〜２１の状態を記憶する。駆動
回路３２はＣＰＵ３０からの指令に応じて、電動リニア
アクチュエータ３〜５を駆動する。
【００１４】図４〜図７はこの発明の一実施形態の具体
的な動作を説明するためのフローチャートであり、図８
は同じくＸＹθテーブルの動きを示す図である。
的な動作を説明するためのフローチャートであり、図８
は同じくＸＹθテーブルの動きを示す図である。
【００１５】次に、図１〜図８を参照して、この発明の
一実施形態の具体的な動作について説明する。可動盤２
が原点に復帰しているときは、図８（ａ）に示す状態に
ある。今、図８（ｂ）に示すように、θを−３°振った
状態から原点復帰動作を開始するものとする。原点復帰
指令が入力されると、図４のステップ（図示ではＳＰと
略称する）ＳＰ１で各リミットセンサ１２〜２１がオフ
になっているかを判別し、ステップＳＰ２においてＵ，
Ｖ，Ｗ軸の各原点センサ９〜１１がオンになっているか
否かを判別する。
一実施形態の具体的な動作について説明する。可動盤２
が原点に復帰しているときは、図８（ａ）に示す状態に
ある。今、図８（ｂ）に示すように、θを−３°振った
状態から原点復帰動作を開始するものとする。原点復帰
指令が入力されると、図４のステップ（図示ではＳＰと
略称する）ＳＰ１で各リミットセンサ１２〜２１がオフ
になっているかを判別し、ステップＳＰ２においてＵ，
Ｖ，Ｗ軸の各原点センサ９〜１１がオンになっているか
否かを判別する。
【００１６】オンになっていなければ図６に示すステッ
プＳＰ３２に進み、電動リニアアクチュエータ４が駆動
されて図８（ｂ）に示すようにＵ軸が前進する。ステッ
プＳＰ３３において、スライドリミット１８または２０
がオンであるか、あるいはＵ軸のエンドリミットセンサ
１３がオンして前進端であるか否か、それともＵ軸の原
点センサ１０がオンしたか否かを判別し、オンするまで
Ｕ軸が前進する。たとえば、エンドリミットセンサ１３
がオンしたとすると、ステップＳＰ３４においてＵ軸の
原点センサ１０がオンしたか否かが判別される。
プＳＰ３２に進み、電動リニアアクチュエータ４が駆動
されて図８（ｂ）に示すようにＵ軸が前進する。ステッ
プＳＰ３３において、スライドリミット１８または２０
がオンであるか、あるいはＵ軸のエンドリミットセンサ
１３がオンして前進端であるか否か、それともＵ軸の原
点センサ１０がオンしたか否かを判別し、オンするまで
Ｕ軸が前進する。たとえば、エンドリミットセンサ１３
がオンしたとすると、ステップＳＰ３４においてＵ軸の
原点センサ１０がオンしたか否かが判別される。
【００１７】この場合、原点センサ１０がオンしていな
いため、ステップＳＰ３５においてＵ軸の電動リニアア
クチュエータ４が駆動されて後退する。ステップＳＰ３
６においてスライドリミット１９または２１がオンであ
るか、あるいはＵ軸のエンドリミットセンサ１８がオン
して後進端であるか、それともまたＵ軸の原点センサ１
０がオンしたか否かを判別し、オンしていなければ再び
ステップＳＰ３５でＵ軸の後退を続ける。たとえば、ス
テップＳＰ３６でスライドリミットセンサ２１がオンし
たとすると、ステップＳＰ３７でＵ軸の原点センサ１０
がオンしたか否かを判別する。ここではオンしていない
ため、図４に示すステップＳＰ８に進む。
いため、ステップＳＰ３５においてＵ軸の電動リニアア
クチュエータ４が駆動されて後退する。ステップＳＰ３
６においてスライドリミット１９または２１がオンであ
るか、あるいはＵ軸のエンドリミットセンサ１８がオン
して後進端であるか、それともまたＵ軸の原点センサ１
０がオンしたか否かを判別し、オンしていなければ再び
ステップＳＰ３５でＵ軸の後退を続ける。たとえば、ス
テップＳＰ３６でスライドリミットセンサ２１がオンし
たとすると、ステップＳＰ３７でＵ軸の原点センサ１０
がオンしたか否かを判別する。ここではオンしていない
ため、図４に示すステップＳＰ８に進む。
【００１８】ステップＳＰ８においてＶ，Ｗ軸のアクチ
ュエータ３，５を駆動してＶ，Ｗ軸を前進させる。ステ
ップＳＰ９において管理対象のセンサを判別し、オンし
ていなければ再びＶ，Ｗ軸を前進させる。Ｗ軸のエンド
リミットセンサ１４がオンしたことを検出すると、ステ
ップＳＰ１０においてＶ軸の原点センサ９がオンしたか
否かを判別し、オンしていないため、ステップＳＰ１１
においてＷ軸の原点センサ１１がオンしたか否かを判別
する。これもオンしていないため、ここまでのステップ
でオンしたすべてのリミットセンサをステップＳＰ１２
においてメモリ３１に記憶させ、図６のステップＳＰ２
７に進む。
ュエータ３，５を駆動してＶ，Ｗ軸を前進させる。ステ
ップＳＰ９において管理対象のセンサを判別し、オンし
ていなければ再びＶ，Ｗ軸を前進させる。Ｗ軸のエンド
リミットセンサ１４がオンしたことを検出すると、ステ
ップＳＰ１０においてＶ軸の原点センサ９がオンしたか
否かを判別し、オンしていないため、ステップＳＰ１１
においてＷ軸の原点センサ１１がオンしたか否かを判別
する。これもオンしていないため、ここまでのステップ
でオンしたすべてのリミットセンサをステップＳＰ１２
においてメモリ３１に記憶させ、図６のステップＳＰ２
７に進む。
【００１９】ステップＳＰ２７において、今度はＶ，Ｗ
軸を後退させ、ステップＳＰ２８で管理対象センサを判
別し、オンしていなければ再びＶ，Ｗ軸を後退させる。
Ｖ軸エンドリットセンサ１５がオンすると、ステップＳ
Ｐ２９においてＶ軸の原点センサ９がオンしたか否かを
判別し、オンしていないためＷ軸の原点センサ１１がオ
ンしているか否かを判別する。これもオンしていないた
め、ここまでのステップでオンしたすべてのリミットセ
ンサをステップＳＰ３１においてメモリ３１に記憶させ
る。
軸を後退させ、ステップＳＰ２８で管理対象センサを判
別し、オンしていなければ再びＶ，Ｗ軸を後退させる。
Ｖ軸エンドリットセンサ１５がオンすると、ステップＳ
Ｐ２９においてＶ軸の原点センサ９がオンしたか否かを
判別し、オンしていないためＷ軸の原点センサ１１がオ
ンしているか否かを判別する。これもオンしていないた
め、ここまでのステップでオンしたすべてのリミットセ
ンサをステップＳＰ３１においてメモリ３１に記憶させ
る。
【００２０】以上の動作により、Ｕ，Ｖ，Ｗ各軸の原点
センサ１０，９，１１がオンしなかったことが判別でき
た。
センサ１０，９，１１がオンしなかったことが判別でき
た。
【００２１】次に、図８（ｃ）に示す状態で図５に示す
ステップＳＰ１３でＵ軸を前進させ、ステップＳＰ１４
で管理対象センサがオンしたか否かを判別し、オンして
いればステップＳＰ１５においてＵ軸の原点センサ１０
がオンしたか否かを判別する。Ｕ軸のエンドリミットセ
ンサ１３がオンしたとすると、Ｕ軸の前進端位置をメモ
リ３１に記憶させる。続いて、図８（ｄ）に示すように
ステップＳＰ１７においてＵ軸を後退させ、ステップＳ
Ｐ１８において管理対象センサがオンしたか否かを判別
し、オンすればステップＳＰ１９においてＵ軸原点セン
サ１０がオンしたか否かを判別する。オンしていない場
合は、スライドリミットセンサ２１がオンしたことにな
り、Ｕ軸の停止位置をメモリ３１に記憶させる。それに
よって、Ｕ，Ｖ，Ｗの各軸の前進端位置と後進端位置ま
たはスライドリミット位置がメモリ３１に記憶されるこ
とになる。
ステップＳＰ１３でＵ軸を前進させ、ステップＳＰ１４
で管理対象センサがオンしたか否かを判別し、オンして
いればステップＳＰ１５においてＵ軸の原点センサ１０
がオンしたか否かを判別する。Ｕ軸のエンドリミットセ
ンサ１３がオンしたとすると、Ｕ軸の前進端位置をメモ
リ３１に記憶させる。続いて、図８（ｄ）に示すように
ステップＳＰ１７においてＵ軸を後退させ、ステップＳ
Ｐ１８において管理対象センサがオンしたか否かを判別
し、オンすればステップＳＰ１９においてＵ軸原点セン
サ１０がオンしたか否かを判別する。オンしていない場
合は、スライドリミットセンサ２１がオンしたことにな
り、Ｕ軸の停止位置をメモリ３１に記憶させる。それに
よって、Ｕ，Ｖ，Ｗの各軸の前進端位置と後進端位置ま
たはスライドリミット位置がメモリ３１に記憶されるこ
とになる。
【００２２】上述のごとく、Ｘ方向に関しては上限位置
と下限位置が記憶されたので、ステップＳＰ２１におい
てＵ軸の停止位置を演算し、ステップＳＰ２２において
電動アクチュエータ４を駆動してＵ軸を演算位置へ前進
させる。それによって、図８（ｅ）に示す状態になる。
と下限位置が記憶されたので、ステップＳＰ２１におい
てＵ軸の停止位置を演算し、ステップＳＰ２２において
電動アクチュエータ４を駆動してＵ軸を演算位置へ前進
させる。それによって、図８（ｅ）に示す状態になる。
【００２３】Ｙ方向に関しては、Ｖ，Ｗ軸を同時に前進
させたときに検出するセンサと同時に後退させたときに
検出するセンサをメモリ３１に記憶させてあるので、図
７に示すステップＳＰ５０においてＶ，Ｗ軸の進む方向
を演算する。ステップＳＰ５１において回転方向が右で
あるか否かを判別し、右方向であればステップＳＰ５２
において演算により求めたＶ軸前進，Ｗ軸後退という動
作が図８（ｆ）に示すように行なわれる。この動作によ
り、可動盤２のθ角度は開始時の−３°から０°へ近づ
くことになる。
させたときに検出するセンサと同時に後退させたときに
検出するセンサをメモリ３１に記憶させてあるので、図
７に示すステップＳＰ５０においてＶ，Ｗ軸の進む方向
を演算する。ステップＳＰ５１において回転方向が右で
あるか否かを判別し、右方向であればステップＳＰ５２
において演算により求めたＶ軸前進，Ｗ軸後退という動
作が図８（ｆ）に示すように行なわれる。この動作によ
り、可動盤２のθ角度は開始時の−３°から０°へ近づ
くことになる。
【００２４】ステップＳＰ５３で管理対象センサがオン
したか否かを判別し、オンしていればステップＳＰ５４
においてＶ軸の原点センサ９がオンしたことを検出する
と、ステップＳＰ６０へ進み、ステップＳＰ６１でＷ軸
の原点センサ１１がオンするまでＷ軸の後退を繰返す。
Ｖ，Ｗ軸の原点センサ９，１１がオンになるとステップ
ＳＰ３２に戻り、Ｕ軸の前進およびステップＳＰ３５で
のＵ軸の後退によりＵ軸の原点センサ１０を検出する。
したか否かを判別し、オンしていればステップＳＰ５４
においてＶ軸の原点センサ９がオンしたことを検出する
と、ステップＳＰ６０へ進み、ステップＳＰ６１でＷ軸
の原点センサ１１がオンするまでＷ軸の後退を繰返す。
Ｖ，Ｗ軸の原点センサ９，１１がオンになるとステップ
ＳＰ３２に戻り、Ｕ軸の前進およびステップＳＰ３５で
のＵ軸の後退によりＵ軸の原点センサ１０を検出する。
【００２５】最後に、ステップＳＰ４に進み、Ｕ，Ｖ，
Ｗ軸の各原点センサ１０，９，１１がオンしたことを判
別すると、原点復帰を完了する。
Ｗ軸の各原点センサ１０，９，１１がオンしたことを判
別すると、原点復帰を完了する。
【００２６】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、セン
サによって検出されたＸ方向およびＹ方向のそれぞれの
上限および下限位置と原点位置とを記憶しておき、各セ
ンサの検出位置に基づいて可動盤の姿勢を判別し、その
判別結果により原点復帰方向へアクチュエータを駆動し
てＸ軸，Ｙ軸およびθ軸を制御して可動盤の姿勢を修正
し、アクチュエータが原点位置になるように可動盤を移
動させるようにしたので、干渉などの影響を及ぼすこと
もなく正確にかつ短時間で可動盤を機械原点へ復帰させ
ることができる。
サによって検出されたＸ方向およびＹ方向のそれぞれの
上限および下限位置と原点位置とを記憶しておき、各セ
ンサの検出位置に基づいて可動盤の姿勢を判別し、その
判別結果により原点復帰方向へアクチュエータを駆動し
てＸ軸，Ｙ軸およびθ軸を制御して可動盤の姿勢を修正
し、アクチュエータが原点位置になるように可動盤を移
動させるようにしたので、干渉などの影響を及ぼすこと
もなく正確にかつ短時間で可動盤を機械原点へ復帰させ
ることができる。
【図１】この発明の適用されるＸＹθテーブルの外観斜
視図である。
視図である。
【図２】ＸＹθテーブルの平面図である。
【図３】この発明の一実施形態の制御装置の概略ブロッ
ク図である。
ク図である。
【図４】この発明の一実施形態の動作を説明するための
フローチャートである。
フローチャートである。
【図５】同じくフローチャートを示す図である。
【図６】同じくフローチャートを示す図である。
【図７】同じくフローチャートを示す図である。
【図８】この発明の一実施形態におけるＸＹθテーブル
の動きを示す図である。
の動きを示す図である。
１ 固定盤 ２ 可動盤 ３，４，５ 電動リニアアクチュエータ ６，７，８ 継手 ９，１０，１１ 原点センサ １２〜１７ エンドリミットセンサ １８〜２１ スライドリミットセンサ ３０ ＣＰＵ ３１ メモリ ３２ 駆動回路
Claims (1)
- 【請求項１】 固定盤の上にスラスト軸受を介して可動
盤をＸ方向，Ｙ方向および回転方向に移動可能なＸＹθ
テーブルの制御方法であって、 前記ＸＹθテーブルには、Ｘ移動，Ｙ移動，θ角移動を
行なうための３軸のアクチュエータと、各アクチュエー
タの原点位置，先端位置および後端位置を検出するセン
サと、Ｘ方向およびＹ方向のそれぞれの上限および下限
位置を検出するスライドリミットセンサとを備え、 前記スライドリミットセンサと前記各アクチュエータの
センサによる検出位置を記憶しておき、 記憶している各センサの検出位置に基づいて前記可動盤
の姿勢を判別し、 前記判別結果により原点復帰方向へ前記３軸のアクチュ
エータを駆動して前記可動盤の姿勢を修正し、前記可動
盤が原点位置になるように前記アクチュエータを移動さ
せることを特徴とする、制御方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00485098A JP3980144B2 (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | ＸＹθテーブル |
| TW087116794A TW407087B (en) | 1998-01-13 | 1998-10-09 | A control method and control device for a movement platform at X, Y, q three axial directions |
| KR1019980049374A KR100299606B1 (ko) | 1998-01-13 | 1998-11-18 | 엑스와이세타테이블의제어방법및장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00485098A JP3980144B2 (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | ＸＹθテーブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11202067A true JPH11202067A (ja) | 1999-07-30 |
| JP3980144B2 JP3980144B2 (ja) | 2007-09-26 |
Family
ID=11595162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00485098A Expired - Lifetime JP3980144B2 (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | ＸＹθテーブル |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3980144B2 (ja) |
| KR (1) | KR100299606B1 (ja) |
| TW (1) | TW407087B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007014100A (ja) * | 2005-06-29 | 2007-01-18 | Pentax Corp | 精密往復直進駆動機構 |
| CN116395201A (zh) * | 2023-06-08 | 2023-07-07 | 浙江省北大信息技术高等研究院 | 一种浅盘制品的码垛装置及码垛机构控制方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104007768B (zh) * | 2013-02-25 | 2017-04-12 | 全研科技有限公司 | 四轴共平面对位平台的回归原点方法 |
| CN103252657B (zh) * | 2013-05-29 | 2016-05-18 | 江苏金飞达电动工具有限公司 | 一种偏心锁紧装置 |
| CN111604867B (zh) * | 2020-05-21 | 2023-06-23 | 张营国 | 一种四轴同平面校正平台及原点回归方法 |
-
1998
- 1998-01-13 JP JP00485098A patent/JP3980144B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1998-10-09 TW TW087116794A patent/TW407087B/zh not_active IP Right Cessation
- 1998-11-18 KR KR1019980049374A patent/KR100299606B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007014100A (ja) * | 2005-06-29 | 2007-01-18 | Pentax Corp | 精密往復直進駆動機構 |
| JP4684767B2 (ja) * | 2005-06-29 | 2011-05-18 | Ｈｏｙａ株式会社 | 精密往復直進駆動機構 |
| CN116395201A (zh) * | 2023-06-08 | 2023-07-07 | 浙江省北大信息技术高等研究院 | 一种浅盘制品的码垛装置及码垛机构控制方法 |
| CN116395201B (zh) * | 2023-06-08 | 2023-10-20 | 浙江省北大信息技术高等研究院 | 一种浅盘制品的码垛装置及码垛机构控制方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW407087B (en) | 2000-10-01 |
| KR19990066819A (ko) | 1999-08-16 |
| KR100299606B1 (ko) | 2001-10-29 |
| JP3980144B2 (ja) | 2007-09-26 |
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