JP4672497B2 - 蛍光体パネルの検査装置 - Google Patents
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図4には、電界放出ディスプレイ用の蛍光体パネルを検査する検査装置の構成例を示してある。
戴置台21の上に電界放出ディスプレイ用の蛍光体パネル22が載置されている。蛍光体パネル22の上方には、蛍光体パネル22に塗布された蛍光体を発光させるために紫外線を照射する紫外線照明部23と、レンズ24と、カラーカメラ25と、紫外線照明部23とレンズ24とカラーカメラ25を蛍光体パネル22上で移動するための移動機構部26が設けられている。
また、移動機構部26を駆動するための駆動部27と、駆動部27を制御する制御部28と、画像処理部29と、画像処理部29による処理結果を表示する表示器30と、画像処理部29を操作する操作部31が設けられている。
蛍光体パネル22上の蛍光体面に紫外線照明部23から紫外線を照射し、当該蛍光体面を発光させる。この発光面からの発光は、レンズ24を介してカラ−カメラ25により撮像される。
制御部28により制御されて、駆動部27が移動機構部26を駆動して、紫外線照明部23、レンズ24、カラーカメラ25を蛍光体パネル22上で移動させる。これにより、蛍光体パネル22上で発光した蛍光体面の撮像画像が、画像処理部29へ送られる。
画像処理部29は、送られてきた画像を画像処理して、蛍光体の欠落や印刷ずれを検査する(例えば、特許文献1参照。)。
具体的には、図5(a)、(b)に示されるように、電界放出ディスプレイでは、パネル41に設けられた窓42を通して、蛍光体43が発光した光により表示を行うが、従来では、このような窓42の位置に対して蛍光体43の欠落や印刷ずれを検出することができなかった。
紫外線照射手段が、検査対象となる蛍光体パネルに対して、一方の面の側から、紫外線を照射する。白色光照射手段が、前記検査対象となる蛍光体パネルに対して、前記一方の面の側から、白色光を照射する。撮像手段が、前記検査対象となる蛍光体パネルに対して、前記紫外線及び前記白色光が照射される面の側とは反対の面の側から、画像を撮像する。検出手段が、前記撮像手段により撮像された画像に基づいて、蛍光体による発光色が撮像されるべきであるが他の色が撮像された画素に対応した前記蛍光体パネルの面上の位置に、蛍光体の異常が存在することを検出する。
従って、本来は蛍光体による発光色が撮像されるべきであるのに他の色が撮像された画素を検出し、蛍光体パネルの面上における当該画素に対応した位置に蛍光体の異常が存在することを検出することにより、例えば、電界放出ディスプレイなどに用いられる蛍光体パネルについて、蛍光体の塗布状態の異常を検出することができ、蛍光体の欠落や印刷ずれを検査することができる。
また、蛍光体パネルとしては、種々なものが用いられてもよく、例えば、蛍光体による発光により表示すべき領域を区切る窓が付されたものを用いることができる。
また、紫外線や白色光を照射する側である蛍光体パネルの面としては、例えば、窓が付された蛍光体パネルについて、当該窓が付された面とは反対側の面を用いることができ、この場合、撮像される画像は当該窓を通過してきた光によるものとなる。
また、例えば、紫外線照射手段により紫外線を照射する位置を移動させる手段や、白色光照射手段により白色光を照射する位置を移動させる手段や、撮像手段により画像を撮像する位置を移動させる手段を備えることもできる。
また、蛍光体による発光色が撮像されるべき画素或いは蛍光体パネルの面上の位置としては、本来は蛍光体が塗布されていて蛍光体からの発光色が撮像されると予想される画素或いは蛍光体パネルの面上の位置に相当する。このため、このような画素或いは蛍光体パネルの面上の位置について、蛍光体からの発光色が撮像されない場合には、正常な塗布状態ではなく、異常な塗布状態であるとみなすことができる。
また、蛍光体による発光色が撮像されるべき画素或いは蛍光体パネルの面上の位置としては、例えば、窓が付された蛍光体パネルについて、当該窓の内側に対応する画素或いは蛍光体パネルの面上の位置を用いることができ、この場合、例えば、窓の位置を特定する情報が予め設定され、或いは、画像処理などにより窓の位置が推定的に検出される。
図1には、本発明の一実施例として、電界放出ディスプレイ用の蛍光体パネルを検査する検査装置の構成例を示してある。
本例の検査装置では、電界放出ディスプレイとして実際に表示する面における蛍光体の欠落や印刷ずれを検出する。
本例の検査装置は、戴置台1と、紫外線照明部4と、白色照明部5と、紫外線照明部4及び白色照明部5を移動させるための移動機構部(第1の移動機構部)6と、レンズ7と、カラーカメラ8と、レンズ7及びカラーカメラ8を移動させるための移動機構部(第2の移動機構部)9と、駆動部10と、制御部11と、画像処理部12と、表示部13と、操作部14を備えている。
また、戴置台1には、蛍光体3が塗布された電界放出ディスプレイ用の蛍光体パネル2が戴置されている。なお、蛍光体パネル2は、例えば、図5(a)に示されるような構成を有している。
紫外線照明部4は、戴置台1の下方に設けられており、戴置された蛍光体パネル2に塗布された蛍光体3を発光させるための紫外線を照射する。
白色照明部5は、戴置台1の下方に設けられており、戴置された蛍光体パネル2に対して白色光を照射する。
第1の移動機構部6は、紫外線照明部4及び白色照明部5を蛍光体パネル2の下方で移動させる。本例では、紫外線照明部4や白色照明部5からの照射が蛍光体パネル2の面上に当たる位置を任意に移動させることができる構成となっている。
カラーカメラ8は、戴置台1の上方に設けられており、レンズ7を介して入力される光によりカラーの画像を撮像する。
第2の移動機構部9は、レンズ7及びカラーカメラ8を蛍光体パネル2の上方で移動させる。本例では、レンズ7及びカラーカメラ8により撮像対象とする蛍光体パネル2上の位置を任意に移動させることができる構成となっている。
制御部11は、駆動部10を制御する。
画像処理部12は、レンズ7及びカラーカメラ8により撮像された画像のデータを入力して、画像処理を行う。
表示部13は、画像処理部12により行われた画像処理の結果などを画面に表示する。
操作部14は、例えば、人(オペレータ)により操作されるキーやマウスなどから構成されており、画像処理部12により行われる画像処理などに関する操作を受け付ける。
電界放出ディスプレイ用の蛍光体パネル2上の蛍光体3の面に、紫外線照明部4から紫外線を照射し、当該蛍光体面上の蛍光体3を発光させる。また、白色照明部5から白色光を照射し、当該蛍光体面を明るくする。この透過面の画像が、レンズ7を介してカラーカメラ8により撮像される。
制御部11により制御されて、駆動部10が、第1の移動機構部6を駆動して、紫外線照明部4及び白色照明部5を蛍光体パネル2の下で移動させる。これとともに、制御部11により制御されて、駆動部10が、第2の移動機構部9を駆動して、レンズ7及びカラーカメラ8を蛍光体パネル2の上で移動させる。
これにより、蛍光体パネル2で発光した透過面の撮像画像が、画像処理部12へ送られる。
画像処理部12は、送られてきた画像を画像処理して、蛍光体3の欠落や印刷ずれを検査する。
(処理S1)カラーカメラ8の入力画像Img(h,v)から濃淡画像を算出する。
濃淡画像をyImg(h,v)とすると、式1のように表される。
(数1)
yImg(h,v)
=MAX[R(h,v)/R(h,v)max × 255,
G(h,v)/G(h,v)max × 255,
B(h,v)/B(h,v)max × 255]
・・(式1)
R(h,v)は、カメラの入力画像Img(h,v)のR成分を示す。
R(h,v)maxは、カメラの入力画像Img(h,v)のR成分の最大値を示す。
G(h,v)は、カメラの入力画像Img(h,v)のG成分を示す。
G(h,v)maxは、カメラの入力画像Img(h,v)のG成分の最大値を示す。
B(h,v)は、カメラの入力画像Img(h,v)のB成分を示す。
B(h,v)maxは、カメラの入力画像Img(h,v)のB成分の最大値を示す。
(h,v)は、蛍光体パネル2の面上の座標位置を示す。hは水平方向Hの座標位置を示し、vは垂直方向Vの座標位置を示す。
例えば、R及びGの蛍光体3が塗布され、Bの蛍光体は塗布されていない場合には、式1は、式2のように置き換えて算出する。
(数2)
yImg(h,v)
=MAX[R(h,v)/R(h,v)max × 255,
G(h,v)/G(h,v)max × 255,
B(h,v)]
・・(式2)
濃淡画像yImg(h,v)が、任意の閾値Yth以上である場合には、その位置の画素には蛍光体3が塗布されていると判定する。すなわち、2値化処理画像をy2Img(h,v)として、式3のような判定を行う。
(数3)
yImg(h,v)≧Ythである場合には、
y2Img(h,v)=1とし、
yImg(h,v)<Ythである場合には、
y2Img(h,v)=0とする。
・・(式3)
本例では、2値化処理画像y2Img(h,v)が1である画素の集合領域は蛍光体3が塗布されている領域であると判定し、2値化処理画像y2Img(h,v)が0である画素の集合領域は蛍光体3が塗布されていない領域であると判定する。
本例では、式4により、ラベリングされた各領域に対して、h方向の画素数H及びv方向の画素数Vに基づいて窓のサイズを算出する。
ここで、αは、h方向のカメラ1画素の倍率(μm/画素)である。
また、βは、v方向のカメラ1画素の倍率(μm/画素)である。
(数4)
窓のサイズ=(H × α)×(V × β)
・・(式4)
図3(a)には、h−v平面において、RGB系のカメラ入力値(r,g,b)を色度x、y及び輝度Yへ変換する一例を示してある。
また、図3(b)には、色度xを横軸として色度yを縦軸とした色度図の一例を示してある。
本例では、蛍光体3の欠落部については、本来は蛍光体3が発光するべき部分に実際には蛍光体3が無いことから、白色照明の光がカラーカメラ8に入光するため、撮像画像では白く映し出される。このことに着目して、色度図における白部分にデータが存在するか否かにより、蛍光体3の欠落を検出する。
図3(c)には、蛍光体3の欠落が無い正常な状態における画像及び色度図の例を示してある。この状態では、白部分は現れない。
また、図3(d)には、蛍光体3の欠落がある状態における画像及び色度図の例を示してある。この状態では、白部分が現れ、白部分に対応する画素位置において蛍光体3の欠落が発生していると判定する。
本例では、蛍光体3の欠落部を検出する場合と同様に、本来は蛍光体3が発光する赤(R)、緑(G)、青(B)以外の混色部にデータが存在するか否かにより、蛍光体3の印刷ずれを検出する。
また、図3(e)には、蛍光体3の印刷ずれがある状態における画像及び色度図の例を示してある。この状態では、例えば黄部分が現れ、黄部分に対応する画素位置において蛍光体3の印刷ずれが発生していると判定する。
例えば、このような画素領域に含まれる画素の数が、所定数以上である場合には欠陥として、所定数未満である場合には欠陥とはしないような態様や、或いは、このような画素領域のh方向或いはv方向の少なくとも一方の画素数が所定数以上である場合には欠陥とするような態様などを用いることができる。
例えば、従来の検査装置では、蛍光体の発光面を検査するに際して、電界放出ディスプレイとして実際に表示する面における蛍光体の欠落や印刷ずれを検査することができなかったが、本例の検査装置では、電界放出ディスプレイとして実際に表示する面における蛍光体3の欠落や印刷ずれを検査することができ、また、蛍光体パネル2の面に設けられた窓のサイズを測定することもできる。
また、本発明の適用分野としては、必ずしも以上に示したものに限られず、本発明は、種々な分野に適用することが可能なものである。
また、本発明に係る検査装置などにおいて行われる各種の処理としては、例えばプロセッサやメモリ等を備えたハードウエア資源においてプロセッサがROM(Read Only Memory)に格納された制御プログラムを実行することにより制御される構成が用いられてもよく、また、例えば当該処理を実行するための各機能手段が独立したハードウエア回路として構成されてもよい。
また、本発明は上記の制御プログラムを格納したフロッピー(登録商標)ディスクやCD(Compact Disc)−ROM等のコンピュータにより読み取り可能な記録媒体や当該プログラム(自体)として把握することもでき、当該制御プログラムを当該記録媒体からコンピュータに入力してプロセッサに実行させることにより、本発明に係る処理を遂行させることができる。
Claims (2)
- 蛍光体パネルに設けられた表示すべき領域を区切る窓を通して、蛍光体が発光した光により表示を行う表示装置の前記蛍光体パネルにおける蛍光体の塗布状態を検査する検査装置において、
検査対象となる蛍光体パネルに対して、蛍光体が塗布された面に紫外線を照射し、塗布された前記蛍光体を発光させる紫外線照射手段と、
前記検査対象となる蛍光体パネルに対して、前記蛍光体が塗布された面に白色光を照射する白色光照射手段と、
前記検査対象となる蛍光体パネルに対して、前記紫外線及び前記白色光が照射される前記蛍光体が塗布された面とは反対の面の側から、画像を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された画像に基づいて、前記窓を通して得られる蛍光体による発光色が撮像されるべきであるのに他の色が撮像された画素に対応した前記蛍光体パネルの面上の前記窓の位置に蛍光体の異常が存在することを検出する検出手段と、
を備えたことを特徴とする検査装置。 - 前記請求項1に記載の検査装置であって、
前記紫外線照射手段または前記白色光照射手段、または、これら両方の手段は照射する位置を移動することができることを特徴とする検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005273761A JP4672497B2 (ja) | 2005-09-21 | 2005-09-21 | 蛍光体パネルの検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005273761A JP4672497B2 (ja) | 2005-09-21 | 2005-09-21 | 蛍光体パネルの検査装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007085834A JP2007085834A (ja) | 2007-04-05 |
JP2007085834A5 JP2007085834A5 (ja) | 2008-06-05 |
JP4672497B2 true JP4672497B2 (ja) | 2011-04-20 |
Family
ID=37972960
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005273761A Active JP4672497B2 (ja) | 2005-09-21 | 2005-09-21 | 蛍光体パネルの検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4672497B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016080474A (ja) * | 2014-10-15 | 2016-05-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 液滴検査装置、液滴検査方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
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JP2004233213A (ja) * | 2003-01-30 | 2004-08-19 | Hitachi Kokusai Electric Inc | パターン欠陥検査装置 |
-
2005
- 2005-09-21 JP JP2005273761A patent/JP4672497B2/ja active Active
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JP2004233213A (ja) * | 2003-01-30 | 2004-08-19 | Hitachi Kokusai Electric Inc | パターン欠陥検査装置 |
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---|---|
JP2007085834A (ja) | 2007-04-05 |
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