JP4672439B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、半導体装置の概略構成を示す模式的断面図である。
図2乃至図14は、半導体装置の製造工程を示す模式的断面図である。
図15は、半導体装置の製造に使用されるプラズマCVD装置の概念図である。
図16は、プラズマCVD装置を用いて絶縁膜を成膜する時の時間とガス流量比(O/SiH4)との関係を示す図である。
20…プラズマCVD装置、21…チャンバ、22…ステージ。
Claims (10)
- (a)半導体基板上にヒューズを形成する工程と、
(b)前記ヒューズを覆うようにして前記半導体基板上に第1の絶縁膜を形成する工程と、
(c)前記第1の絶縁膜上にボンディングパッドを形成する工程と、
(d)前記ボンディングパッド及びヒューズを覆うようにして前記第1の絶縁膜上に第2の絶縁膜を形成する工程と、
(e)前記ボンディングパッド上の前記第2の絶縁膜、前記ヒューズ上の前記第2及び第1の絶縁膜を夫々エッチングして、前記ボンディングパッド上にボンディング開口、前記ヒューズ上に溝を夫々形成する工程とを有し、
前記(d)工程は、チャンバ内に配置された前記半導体基板にバイアスを印加しない状態で反応ガスのプラズマ放電分解によって第1の膜と、前記半導体基板にバイアスを印加した状態で反応ガスのプラズマ放電分解によって第2の膜とを連続的に形成する工程を含み、
前記第1の膜は、前記第2の膜をエッチングする時のエッチングストッパ膜として機能する組成で形成されることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1及び第2の膜は、酸化シリコン膜からなり、
前記第1の膜は、シリコンの含有量が前記第2の膜よりも多いことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1の膜は、シリコンリッチな酸化シリコン膜からなることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項2又は3に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1の膜は、O/Siの組成比が2.0未満であることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1の膜は、前記第2の膜よりも膜厚が薄いことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記(e)工程は、前記第2の膜をエッチングする第1のエッチング工程と、前記第2の絶縁膜をエッチングする第2のエッチング工程とを含み、
前記第1の膜は、前記第1及び第2のエッチング工程においてエッチングされることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記ボンディングパッドは、第1の組成からなる主導電膜上に第2の組成からなる導電膜が積層された多層構造からなり、
前記(e)工程は、前記第2の膜をエッチングする第1のエッチング工程と、前記ボンディングパッドの前記第2の組成からなる導電膜、及び前記第2の絶縁膜をエッチングする第2のエッチング工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1の膜は、前記第1及び第2のエッチング工程においてエッチングされることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1の膜は、前記第2の膜を成膜する時に前記ボンディングパッドに蓄積される電荷によって特性が変化するチャージアップダメージを抑制するためのものであることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記(b)工程の後であって、前記(c)工程の前に、前記第2の膜に対して選択性を持つ絶縁膜を前記ヒューズを覆うようにして形成する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005154813A JP4672439B2 (ja) | 2005-05-27 | 2005-05-27 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010282511A Division JP2011091426A (ja) | 2010-12-20 | 2010-12-20 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006332389A JP2006332389A (ja) | 2006-12-07 |
JP4672439B2 true JP4672439B2 (ja) | 2011-04-20 |
Family
ID=37553754
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JP2005154813A Expired - Fee Related JP4672439B2 (ja) | 2005-05-27 | 2005-05-27 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4672439B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100859491B1 (ko) * | 2007-06-25 | 2008-09-24 | 주식회사 동부하이텍 | 반도체 소자 제조방법 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001176976A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-06-29 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2003068856A (ja) * | 2001-08-27 | 2003-03-07 | Seiko Epson Corp | ヒューズ素子、半導体装置及びその製造方法 |
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2001176976A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-06-29 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2003068856A (ja) * | 2001-08-27 | 2003-03-07 | Seiko Epson Corp | ヒューズ素子、半導体装置及びその製造方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006332389A (ja) | 2006-12-07 |
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A621 | Written request for application examination |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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