JP4668890B2 - 合成シリカガラス製造装置、合成シリカガラス製造方法 - Google Patents
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Description
前記ターゲットに対向して炉体の上方に設けられ、珪素化合物を酸素水素火炎中で加水分解するバーナと、前記炉体に連通し、この炉体の下方に設けられ、かつ内部を前記ターゲットが昇降する排気室と、この排気室側壁に設けられ、前記バーナより下方に設けられた排気口と、この排気口に連通して設けられた排気流路と、この排気流路に連通して設けられた排気装置と、前記排気口より下方の前記排気室側壁に設けられ、前記排気室内の圧力及び大気圧を検知する圧力検知手段と、前記排気流路に設けられ、この排気流路への外気の取入量を制御する外気取入機構を備え、前記圧力検知手段により検知した排気室内の圧力と大気圧との差圧により、前記外気取入機構の外気取入量を制御装置を介して制御することを特徴とする。
また、他の本発明に係る合成シリカガラス製造装置は、炉体内部に設けられたインゴット形成用のターゲットと、このターゲットを昇降させる昇降装置と、前記ターゲットに対向して炉体の上方に設けられ、珪素化合物を酸素水素火炎中で加水分解するバーナと、
前記炉体に連通し、この炉体の下方に設けられ、かつ内部を前記ターゲットが昇降する排気室と、この排気室側壁に設けられ、前記バーナより下方に設けられた排気口と、この排気口に連通して設けられた排気流路と、この排気流路に連通して設けられた排気装置と、
前記排気口より下方の前記排気室側壁に設けられ、前記排気室内の圧力及び大気圧を検知する圧力検知手段と、前記排気流路に設けられ、この排気流路への外気の取入量を制御する外気取入機構を備え、前記圧力検知手段により検知した排気室内の圧力と大気圧との差圧により、前記外気取入機構の外気取入量を制御装置を介して制御し、前記排気口は昇降装置のインゴット昇降軸に対して軸対称に、排気室に複数個設け、かつ各排気口に各々なる排気流路ごとに外気取入機構を備えることを特徴とする。
2 炉体
3 ターゲット
4 昇降装置
4a インゴット昇降軸
4b 昇降駆動用モータ
5 バーナ
6 排気室
6a 排気口
7 排気流路
8 排気装置
8a フィルタ
8b 排気ファン
9 差圧センサー
10 外気取入機構
10a 外気取入管
10b ダンパー機構
10b1 回動弁
10b2 ステッピングモータ
11 制御装置
Claims (4)
- 炉体内部に設けられたインゴット形成用のターゲットと、
このターゲットを昇降させる昇降装置と、
前記ターゲットに対向して炉体の上方に設けられ、珪素化合物を酸素水素火炎中で加水分解するバーナと、
前記炉体に連通し、この炉体の下方に設けられ、かつ内部を前記ターゲットが昇降する排気室と、
この排気室側壁に設けられ、前記バーナより下方に設けられた排気口と、
この排気口に連通して設けられた排気流路と、
この排気流路に連通して設けられた排気装置と、
前記排気口より下方の前記排気室側壁に設けられ、前記排気室内の圧力及び大気圧を検知する圧力検知手段と、
前記排気流路に設けられ、この排気流路への外気の取入量を制御する外気取入機構を備え、
前記圧力検知手段により検知した排気室内の圧力と大気圧との差圧により、前記外気取入機構の外気取入量を制御装置を介して制御することを特徴とする合成シリカガラス製造装置。 - 炉体内部に設けられたインゴット形成用のターゲットと、
このターゲットを昇降させる昇降装置と、
前記ターゲットに対向して炉体の上方に設けられ、珪素化合物を酸素水素火炎中で加水分解するバーナと、
前記炉体に連通し、この炉体の下方に設けられ、かつ内部を前記ターゲットが昇降する排気室と、
この排気室側壁に設けられ、前記バーナより下方に設けられた排気口と、
この排気口に連通して設けられた排気流路と、
この排気流路に連通して設けられた排気装置と、
前記排気口より下方の前記排気室側壁に設けられ、前記排気室内の圧力及び大気圧を検知する圧力検知手段と、
前記排気流路に設けられ、この排気流路への外気の取入量を制御する外気取入機構を備え、
前記圧力検知手段により検知した排気室内の圧力と大気圧との差圧により、前記外気取入機構の外気取入量を制御装置を介して制御し、
前記排気口は昇降装置のインゴット昇降軸に対して軸対称に、排気室に複数個設け、かつ各排気口に各々なる排気流路ごとに外気取入機構を備えることを特徴とする合成シリカガラス製造装置。 - 請求項1または2に記載の合成シリカガラス製造装置において、この合成シリカガラス製造装置を複数個用いるとともに共通の1個の排気装置を設け、
この排気装置は各排気室に各々連なる複数個の排気流路に連通され、
前記各排気室内の圧力と大気圧との差圧により、前記各排気流路に設けた外気取入機構の外気取入量を制御し、前記各排気室の差圧がほぼ等しくなるように制御することを特徴とする合成シリカガラス製造装置。 - 炉体内部に設けたインゴット形成用のターゲットに対向して炉体の上部に設けたバーナにより、珪素化合物を酸素水素火炎中で加水分解して、ターゲットに合成シリカガラスを堆積させるとともに、
炉体に連通しこの炉体の下方に設けられ、かつ前記ターッゲトが昇降する排気室、この排気室側壁に設けられた排気口に連通する排気流路を介して排気し、排気口の下方の前記排気室側壁に設けられた圧力検知手段により排気室内の圧力及び大気圧を検知し、排気室内の圧力及び大気圧の差圧により、排気流路への外気の取入量を制御することを特徴とする合成シリカガラス製造方法。
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