JP4657429B2 - 超音波モータを用いた直動機構、揺動機構およびそれらを用いた電子機器 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は圧電素子を有する振動体で移動体を摩擦駆動させる超音波モータ及び超音波モータを用いた電子機器に係わり、特に回転型の超音波モータを用い移動体を直動運動、もしくは揺動運動させる微小機構に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、各種電子機器、光学機器、医療機器等において直線的な動きを要求される用途が多くなっている。このような場合、例えば電磁型のモータと送りネジを組み合わせたり、ボイスコイルモータや可動コイルモータを用いたり、圧電素子を用いたアクチュエータが一般に用いられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、電磁型のモータと送りネジを組み合わせた場合、機構が複雑で大型化してしまうとともに送り機構でのバックラッシュにより細かな送り量の制御ができなかった。また、ボイスコイルモータや可動コイルモータを用いた場合には微小な位置決めが難しいと共に、剛性が低く外部の振動により位置がずれてしまうことがあった。特にボイスコイルモータや可動コイルモータは板ばね等と組み合わせて使用することが多く、この場合更に剛性が低下してしまう。そしてこれら電磁力を使うアクチュエータは電磁ノイズの影響を受け易く、また同時に電磁ノイズを発生する為、磁気ディスク等の記録媒体に影響を与えたり、通信で用いられる電波に影響を与える可能性がある。
【0004】
圧電素子を用いたアクチュエータを用いた場合、微動制御は可能であるが変位は小さく粗動はできない。拡大機構を設けると機構が複雑で大きくなってしまう。
【0005】
そして、以上に示したようなモータ、アクチュエータの場合、特定位置に停止している場合にも電力を消費していた。
【0006】
そこで本発明では、回転型の超音波モータを用い、微動、粗動が可能な小型な直動機構、もしくは揺動機構を得ることにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は圧電素子を有する振動体の振動によりロータを駆動する超音波モータと、前記ロータの動きに連動するカムもしくはピニオンと、前記カムの回転に応じて一定方向に移動する移動体と、前記移動体の移動を案内する二つの案内部と、前記二つの案内部を結んだ直線と直交する位置で、前記移動体に対する前記カムもしくは前記ピニオンによる力の作用点と、前記案内部近傍において前記カムもしくは前記ピニオンと前記移動体に接触圧を与える、加圧機構と、を有することを特徴とする超音波モータ付き直動機構を実現する。
【0013】
更に、本発明の別な例によれば、圧電素子を有する振動体の振動によりロータを駆動する超音波モータと、前記ロータの動きに連動するカムと、回転自在に支持され、一端が前記カムと接する動力伝達部材と、前記動力伝達部材の他端と接し、前記動力伝達部材の回転に応じて一定方向に動作する移動体と、前記移動体の移動を案内する二つの案内部と、を有し、前記移動体の前記動力伝達部材の他端が接する位置は前記二つの案内部を結ぶ直線上であることを特徴とする超音波モータ付き直動機構を実現する。
【0014】
これら二つの発明によれば、移動体の動きは傾かず、スムーズになるとともに振動等の外乱に対して強くなる。
【0015】
更に、本発明の別な例によれば、圧電素子を有する振動体の振動によりロータを駆動する超音波モータと、前記ロータの動きに連動するカムと、前記カムと接し、前記カムの回転に応じて揺動動作する移動体と、前記移動体の揺動動作の回転中心上に設けられた負荷部材と、前記カムと前記移動体とに接触圧を与える加圧機構と、を有し、前記カムと前記移動体の接触点は前記負荷部材よりも外側であることを特徴とする超音波モータ付き揺動機構を実現する。
【0016】
この発明によれば、移動体からの駆動力を上げるとともに移動体の変位の分解能を上げることができる。
【0018】
更に、本発明によれば、前記の超音波モータ付き直動機構、もしくは超音波モータ付き揺動機構を電子機器に用い、移動体により負荷部材を駆動することを特徴とする。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、図1から図9を参照して本発明を適用した実施の形態を詳細に説明する。
{実施の形態1}
先ず初めに本発明に適用可能な超音波モータの例について説明する。
【0020】
図2は本発明に適用可能な超音波モータ1の構造を、図3は超音波モータ1の動作原理を示したものである。まず本発明に係わる超音波モータの動作原理について説明する。図2において円板状の振動体3はその中心を支持板5に固定された中心軸6によって支持されている。振動体3の第1の面には圧電素子2が接合されており、第2の面には振動体3の振動変位を拡大し、ロータ4に回転力を与える突起3aが設けられている。ロータ4の中心には軸受け7が設けられ、その中心を中心軸6で案内している。またロータの上面中心部に設けられ、先端が曲面形状をしたピボット8をばね座10に一端を固定されたばね部材9によって加圧することにより振動体3の突起3aとロータ4の間に接触圧を与える。圧電素子2の圧電効果によって振動体3に励振された振動波は摩擦力を介してロータ4の回転力に変換される。
【0021】
図3に詳細な動作原理を示す。振動体3に接合される圧電素子2は円周方向に4分の1波長毎に分割され、一つおきに方向が逆になるように厚み方向に分極処理されている。各電極パターンを一つおきに電気的に短絡し、斜線部11aと非斜線部11bの二つの電極パターン群を構成する。そして、振動体3の突起3aがちょうど斜線部11aもしくは非斜線部11b電極パターンの境界線に位置するように振動体3と圧電素子2が接合される。圧電素子2の振動体3との接合面には、全体に渡って電極11cが設けられている。
【0022】
斜線部のパターン群11aに所定の周波数の駆動信号が印加されると振動体3には(c)に示したような定在波が発生する。この時上昇した突起3aは右に傾くためこれと接するロータ4は右に移動する。
【0023】
今度は非斜線部のパターン群11bに駆動信号を印加すると、振動体3には(d)のような定在波が発生し、ロータ4は今度は左方向に移動する。このように圧電素子の一方の面を共通電極11cとし、他方の面に二つの電極群11a、11bを設け、二つの電極群11aと、11bのうち駆動信号を印加する電極群を選択することにより振動体に発生する定在波の位置をずらし、振動体3に接するロータ4の移動方向を制御可能とする。
【0024】
駆動信号は圧電素子2の電極パターン群11a、11bと電気的に接続されたフレキシブル基盤12と支持板5の間に加えられる。支持板5は中心軸6、振動体3を介して電極11cと電気的に接続されている。
【0025】
本実施例の圧電素子2を用いれば振動体3の周方向に3つの波数を有する定在波が励振できる。また周波数によって径方向の節の数が異なるため、励振する振動モードの径方向に対する振幅最大部に突起3aを設けることが好ましい。
【0026】
続いて本実施の形態1について説明する。超音波モータ1の支持板5は第2の支持板18に接続されている。ロータ4にはロータ4と一体的にカム13が設けられている。移動体14は第2の支持板18に取り付けられた案内16の案内面にしたがって一方向に移動可能となるとともに移動体14の曲面形状の先端14aはカム13と接している。案内16と移動体14の先端14aの間には予圧ばね15が納められ、カム13と移動体14の先端14aに接触圧を与えている。ロータ4が回転すると、それに伴いカム13も回転する。カム13の径方向の長さの変化に応じて移動体14は移動する。この際、移動体14の先端14aとカム13との間には予圧がかけられている為、カム13およびロータ4と移動体14の間にはガタは生じない。また外部からの振動や姿勢差に対しても安定な動作が可能である。さらに超音波モータの特徴から、停止時には電力の消費なしでロータ4と振動体3の突起3aの間には摩擦力が働き移動体14の動きを保持する。
【0027】
従って、高精度位置決めが可能な超音波モータの特長を生かして、移動体14の直動に対しても高精度の位置決めが可能である。また、電磁型のモータ、アクチュエータに比較して応答性が優れる。カム13の外形を振動体の力を伝達する突起3aの径よりも小さくすることで移動体14に大きな力を伝えることが出来る。
【0028】
図4は本実施例の第1の変形例である。超音波モータ1の方向を90度回転し、移動体14の先端14aをロータ4の上面に接触させている。ロータ4には厚みが異なるカム部13があり、ロータ4の回転に伴って、ロータ4と接する移動体14を動作させる。
【0029】
図5は本実施例の第2の変形例である。ここではロータ4にはピニオン19が設けられており、移動体14に設けられたラック14bとかみ合いロータ4の動きに伴って移動体を動作させる。移動体14は案内16とばね座10に設けられた第二の案内10bに一方向に移動可能な様に案内されている。ばね座に第二の案内10bを設けることにより本機構の小型化、簡素化が実現されている。移動体14の一部に設けられた段部14cと第二の案内10bの間に設けられた予圧ばね15によってラック14bとピニオン19のバックラッシュがつめられている。
【0030】
図6は本実施例の第三の変形例である。ここではロータ4にギヤ20を設け、ギヤ21が設けられたカム22を回転させる。カム22の動きに伴い移動体14は動作する。ギヤ21とギヤ20はロータ4の回転を減速するように動作し、移動体14に大きな力を伝達する。また予圧ばね15によってギヤ20,ギヤ21の間のバックラッシュはつめられ、移動体14の精密な位置決め動作が可能となる。
【0031】
例えば、移動体14の先端に磁気ヘッド17を取り付ければ高密度なハードディスクのが実現できる。更に、超音波モータは磁気を発生しないから磁気ヘッド17および図示しない磁気ディスクにも悪影響を与えない。また、磁気ヘッド17の代わりにステージを付ければ小型微動ステージが実現できる。この場合、微動も粗動も可能となる。また、移動体14の先端にレンズを付け、移動体14の移動方向の延長線上と平行な位置にCCDカメラを設ければ医療で用いられるカテーテルのカメラのオートフォーカスやズーム機構が実現できる。レンズの代わりに刃具を付ければ遠隔操作による手術が可能となる。
【0032】
ところで、超音波モータの欠点の一つとして長期間動作せず放置した場合にロータ4と振動体3の接触面で固着を起こし、動作不良を発生する場合があることが挙げられる。これらは例えば外部環境(温度、湿度等)の影響や接触面の材質などによるが、本発明に示す様にロータ4に常に一定方向の回転力を与える加圧機構(予圧ばね15)を有する場合にはこの回転力を利用し、固着による動作不良を回避することが可能となる。
【0033】
例えば、超音波モータ1を起動させる場合には、予め予圧ばね15の力がロータ4に回転力を与える方向にロ―タ4を回転させる。もしくは図3(e)に示す様な定在波を発生させ、ロータ4に回転力を与えずロ―タ4と振動体3の間の摩擦力を低減することで、ロータ4を予圧ばね15の予圧による回転力だけで動作させる。このような方法で固着状態を抜け出した後で、所定の動作を行う。ちなみに図3(e)の定在波を励振する為には斜線部11aと非斜線部11bの両方の電極パターンに駆動信号を印加すればよい。
{実施の形態2}
本発明の実施の形態2について説明する。図7は直動機構の側面図および移動体25の上面図を示したものである。超音波モータ1の支持板23は第二の支持板28に固定されている。移動体25は二つの案内穴が設けられており、第二の支持板28に一端を固定された二つの軸24に沿って一定方向に移動可能となっている。移動体25の一部25aとカム13は移動体の移動方向に向かって接触されている。ロータ4の回転に伴いカム13が回転し、移動体25を動作させる。この時、移動体25と軸24の一端24aの間には予圧ばね15が納められており、移動体の一部25aとカム13に接触圧を与えている。
【0034】
ここで、例えば移動体25と第2の支持板28に貫通穴を空け、レンズ26,27を設ければ光の焦点を調整するフォーカス機構、光の強度を調整するアッテネータ等が実現できる。
【0035】
超音波モータ1の固定方法に付いては何ら制限はなく、カム13の回転による力が移動体25の移動方向に加わるようにすればよい。また、本実施例ではロータ4とカム13を一体構成としたが、ロータ4とカム13を別部材としロータ4の力をカム13に歯車、摩擦車等を使って伝達しても構わない。ロータ4の回転を減速することでカム13に大きな力を発生することが可能である。また、移動体の一部25aにラックを設け、ロータ4と連動するピニオンで移動体を稼動させても構わない。
【0036】
図8は本発明の第2の実施例に関連する別の例を示したものであり、直動機構の側面図および移動体28の上面図を示したものである。超音波モータ1の支持板23は第二の支持板31に固定されている。移動体28には案内軸30が設けられており、第二の支持板31の案内穴31aに沿って一定方向に移動可能となっている。また、移動体28に設けられた案内部28bには第二の支持板31に一端を固定された軸29が入り、移動体28の移動方向と垂直方向の動きを拘束する。移動体28の一部に設けられた突起28aとカム13は移動体の移動方向に向かって接触されている。ロータ4の回転に伴いカム13が回転し、移動体28を動作させる。この時、案内軸の段部30aと第二の支持板31の間には予圧ばね15が納められており、移動体の一部に設けられた突起28aとカム13に接触圧を与えている。
【0037】
ここで、例えば移動体28と第2の支持板31に貫通穴を空け、レンズ26,27を設ければ光の焦点を調整するフォーカス機構、光の強度を調整するアッテネータ等が実現できる。
【0038】
超音波モータ1の固定方法に付いては何ら制限はなく、カム13の回転による力が移動体28の移動方向に加わるようにすればよい。また、本実施例ではロータ4とカム13を一体構成としたが、ロータ4とカム13を別部材としロータ4の力をカム13に歯車、摩擦車等を使って伝達しても構わない。ロータ4の回転を減速することでカム13に大きな力を発生することが可能である。また、移動体の一部28bにラックを設け、ロータ4と連動するピニオンで移動体を稼動させても構わない。
【0039】
図9は本発明の第2の実施例に関連する別の例を示したものであり、直動機構の側面図および移動体32の上面図を示したものである。超音波モータ1の支持板23は第二の支持板36に固定されている。移動体32には二つの案内穴が設けられており、第二の支持板36に一端を固定された二つの軸35に沿って一定方向に移動可能となっている。動力伝達部材33は固定部材34の案内ピン34aによって回転可能なように支持されている。移動体32の一部に設けられた突起32a、32bおよびカム13には移動体32の移動方向に向かって動力伝達部材33の別々の一端が接触されている。ロータ4の回転に伴いカム13が回転し、動力伝達部材33を介して移動体32を動作させる。この時、軸35の段部35aと移動体32の間には予圧ばね15が納められており、移動体の一部に設けられた突起32a、動力伝達部材33、カム13に接触圧を与えている。
【0040】
図9においては移動体32にレンズ26が付いており、レンズを光が通過する為、レンズの上にカム13を含む超音波モータ1を配置できなかった。しかし、レンズがない場合にはレンズの中心部に位置する点、即ち二つの軸35を結んだ線の中央、強いては移動体32の重心に直接カム13の力が作用するようにすることが望ましい。構造としては、例えば図8のように移動体の重心点に突起を設け直接カム13と接するようにすればよい。
【0041】
ここで、例えば移動体32と第2の支持板36に貫通穴を空け、レンズ26,27を設ければ光の焦点を調整するフォーカス機構、光の強度を調整するアッテネータ等が実現できる。
【0042】
超音波モータ1の固定方法に付いては何ら制限はなく、カム13の回転による力が移動体32の移動方向に加わるようにすればよい。また、本実施例ではロータ4とカム13を一体構成としたが、ロータ4とカム13を別部材としロータ4の力をカム13に歯車、摩擦車等を使って伝達しても構わない。ロータ4の回転を減速することでカム13に大きな力を発生することが可能である。
【0043】
本発明の超音波モータを用いた直動機構並びに揺動機構を電子機器に適用することにより、電子機器の低電圧化、低消費電力化、小型化、低コスト化が実現できる。超音波モータを利用することから当然、磁気の影響を受けずまた、有害な磁気ノイズも発生しない。
[実施の形態3]
本発明の実施の形態3について説明する。図10は超音波モータ1を用いた揺動機構およびそれを用いた応用例の上面図である。
【0044】
移動体37は点40aを中心として矢印39の方向に回転可能に支持されている。支持方法についてはここでは限定しないが、例えば移動体37の下面に、その中心が点40aとなる位置に設けられた軸受けと中心軸を用いる。
【0045】
移動体37の回転方向に対する一方の側面には図示しない振動体3の駆動力を受け回転するロータ4と一体的に形成されたカム13が当接している。カム13が回転するとその形状に伴い、移動体37は再び同じ位置に戻る様な揺動運動する。移動体37とカム13は予圧ばね15の予圧力を受け常に接している。ロ−タ4の回転運動をカム13を介して移動体37の揺動運動に変換することで移動体37の微小な角度変位が得られる。従って、超音波モータ1が有する高精度な位置決め分解能を更に高めることが可能となる。
【0046】
例えば、移動体37の上面に誘電体多層膜からなるフィルタ38を設け、フィルタ38と対向する位置に光ファイバ39を設ければ、フィルタ38の角度に応じてフィルタ38を透過する光ファイバ39aから入射された光の透過中心波長は変化し、光ファイバ39bに入射される。従って、この様な可変分解能に優れた光フィルタが実現できる。
【0047】
【発明の効果】
以上のように、本発明は回転型の超音波モータと、超音波モータのロータと連動して回転するカムやピニオン等の出力伝達手段により移動体を直動運動もしくは揺動運動させ、また移動体と出力伝達部材の間に接触圧を与える加圧機構を設け、超音波モータ付き直動機構もしくは揺動機構を実現させるものである。これによりバックラッシュがなく高精度で粗動と微動の送りができ、また剛性が強く外部の振動等の影響を受け難い超音波モータ付き直動機構もしくは超音波モータ付き揺動機構が構成できる。
【0048】
また、小型で高出力の超音波モータを使っていることから機構全体の小型・薄型化、並びに磁気の影響を受けずまた他に影響を与えない超音波モータ付き直動機構もしくは超音波モータ付き揺動機構が構成できる。
【0049】
また、停止時に消費電力を要しない点も特徴である。
従って、小型で低消費電力で高精度位置決めが可能な超音波モータ付き直動機構、揺動機構並びにそれらを用いた電子機器が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の超音波モータを用いた直動機構の第一の例を示したものである。
【図2】 本発明の超音波モータの構造の断面図を示したものである。
【図3】 本発明の超音波モータの駆動原理を示したものである。
【図4】 本発明の超音波モータを用いた直動機構の第一の例の変形例一を示したものである。
【図5】 本発明の超音波モータを用いた直動機構の第一の例の変形例二を示したものである。
【図6】 本発明の超音波モータを用いた直動機構の第一の例の変形例三を示したものである。
【図7】 本発明の超音波モータを用いた直動機構の第二の例を示したものである。
【図8】 本発明の超音波モータを用いた直動機構の第二の例の変形例一を示したものである。
【図9】 本発明の超音波モータを用いた直動機構の第二の例の変形例二を示したものである。
【図10】 本発明の超音波モータを用いた揺動機構の例を示したものである。
【符号の説明】
1 超音波モータ
2 圧電素子
3 振動体
4 ロータ
13 カム
14、25、28、32、37 移動体
15 予圧ばね
16 案内
26、27 レンズ
Claims (5)
- 圧電素子を有する振動体の振動によりロータを駆動する超音波モータと、
前記ロータの動きに連動するカムもしくはピニオンと、
前記カムと接するか、あるいは前記ピニオンとかみ合うラックを有し、前記ロータの回転に応じて一定方向に移動する移動体と、
前記移動体の移動を案内する二つの案内部と、
前記二つの案内部を結んだ直線と直交する位置で、前記移動体に対する前記カムもしくは前記ピニオンによる力の作用点と、
前記案内部近傍において前記カムもしくは前記ピニオンと前記移動体に接触圧を与える、加圧機構と、
を有することを特徴とする超音波モータ付き直動機構。 - 圧電素子を有する振動体の振動によりロータを駆動する超音波モータと、
前記ロータの動きに連動するカムと、
回転自在に支持され、一端が前記カムと接する動力伝達部材と、
前記動力伝達部材の他端と接し、前記動力伝達部材の回転に応じて一定方向に動作する移動体と、
前記移動体の移動を案内する二つの案内部と、を有し、
前記移動体の前記動力伝達部材の他端が接する位置は前記二つの案内部を結ぶ直線上であることを特徴とする超音波モータ付き直動機構。 - 圧電素子を有する振動体の振動によりロータを駆動する超音波モータと、
前記ロータの動きに連動するカムと、
前記カムと接し、前記カムの回転に応じて揺動動作する移動体と、
前記移動体の揺動動作の回転中心上に設けられた負荷部材と、
前記カムと前記移動体とに接触圧を与える加圧機構と、
を有し、前記カムと前記移動体の接触点は前記負荷部材よりも外側であることを特徴とする超音波モータ付き揺動機構。 - 請求項1又は2に記載の超音波モータ付き直動機構を有し、前記移動体により負荷部材を駆動することを特徴とする電子機器。
- 請求項3に記載の超音波モータ付き揺動機構を有し、前記移動体により負荷部材を駆動することを特徴とする電子機器。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000244330A JP4657429B2 (ja) | 1999-09-21 | 2000-08-11 | 超音波モータを用いた直動機構、揺動機構およびそれらを用いた電子機器 |
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Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26650899 | 1999-09-21 | ||
JP11-266508 | 1999-09-21 | ||
JP2000244330A JP4657429B2 (ja) | 1999-09-21 | 2000-08-11 | 超音波モータを用いた直動機構、揺動機構およびそれらを用いた電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001161084A JP2001161084A (ja) | 2001-06-12 |
JP4657429B2 true JP4657429B2 (ja) | 2011-03-23 |
Family
ID=26547473
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000244330A Expired - Fee Related JP4657429B2 (ja) | 1999-09-21 | 2000-08-11 | 超音波モータを用いた直動機構、揺動機構およびそれらを用いた電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4657429B2 (ja) |
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WO2003077410A1 (fr) | 2002-03-11 | 2003-09-18 | Seiko Epson Corporation | Verin a transformation de rotation/mouvement |
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- 2000-08-11 JP JP2000244330A patent/JP4657429B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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---|---|
JP2001161084A (ja) | 2001-06-12 |
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A521 | Written amendment |
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A02 | Decision of refusal |
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A521 | Written amendment |
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A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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