JP2003205497A - 微小駆動素子の変位量増大システム - Google Patents
微小駆動素子の変位量増大システムInfo
- Publication number
- JP2003205497A JP2003205497A JP2002307846A JP2002307846A JP2003205497A JP 2003205497 A JP2003205497 A JP 2003205497A JP 2002307846 A JP2002307846 A JP 2002307846A JP 2002307846 A JP2002307846 A JP 2002307846A JP 2003205497 A JP2003205497 A JP 2003205497A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power transmission
- displacement
- power
- transmission unit
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/414—Structure of the control system, e.g. common controller or multiprocessor systems, interface to servo, programmable interface controller
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
- H02N1/002—Electrostatic motors
- H02N1/006—Electrostatic motors of the gap-closing type
- H02N1/008—Laterally driven motors, e.g. of the comb-drive type
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 微小駆動素子の変位量を増大させる変位増大
システムを提供する。 【解決手段】動力発生部２１により発生させた一方向に
向かう動力を、第１動力伝達部２２、第２動力伝達部２
３を介して、被駆動体であるターゲット２４に伝達す
る。動力発生部２１、第１動力伝達部２２、第２動力伝
達部２３、ターゲット２４の間には、それぞれヒンジ部
２０ａ、２０ｃ、２０ｅが設けられているので、各部を
伝達する動力はテコの原理により増幅されながら、ター
ゲットに伝達される。これにより、動力発生部２１の動
力による変位量よりも大きい変位量でターゲット２４が
変位する。
システムを提供する。 【解決手段】動力発生部２１により発生させた一方向に
向かう動力を、第１動力伝達部２２、第２動力伝達部２
３を介して、被駆動体であるターゲット２４に伝達す
る。動力発生部２１、第１動力伝達部２２、第２動力伝
達部２３、ターゲット２４の間には、それぞれヒンジ部
２０ａ、２０ｃ、２０ｅが設けられているので、各部を
伝達する動力はテコの原理により増幅されながら、ター
ゲットに伝達される。これにより、動力発生部２１の動
力による変位量よりも大きい変位量でターゲット２４が
変位する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超小型の駆動素子
の変位量を増大させる変位増大機構に関するものであ
る。より詳しくは、当該変位増大機構を僅かに変位させ
るだけで、微小駆動素子の変位量を大きく増大させるこ
とのできる変位増大機構（テコ機構）に関するものであ
る。
の変位量を増大させる変位増大機構に関するものであ
る。より詳しくは、当該変位増大機構を僅かに変位させ
るだけで、微小駆動素子の変位量を大きく増大させるこ
とのできる変位増大機構（テコ機構）に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】始めに、図１１および図１２を参照しな
がら、従来のデータ記憶装置について、説明する。図１
２に示すように、従来のデータ記憶装置では、メディア
部１１を変位させるくし形電極１３が、データを記憶す
る記憶手段が設けられた基板の各側壁部に形成されてい
る。そして、メディア部１１の上側には、メディア部１
１に対してデータの記憶／再生を行うプローブ（ｐｒｏ
ｂｅ）１２が設けられている。
がら、従来のデータ記憶装置について、説明する。図１
２に示すように、従来のデータ記憶装置では、メディア
部１１を変位させるくし形電極１３が、データを記憶す
る記憶手段が設けられた基板の各側壁部に形成されてい
る。そして、メディア部１１の上側には、メディア部１
１に対してデータの記憶／再生を行うプローブ（ｐｒｏ
ｂｅ）１２が設けられている。
【０００３】メディア部１１は、プローブ１２から所定
距離離間した位置に配置させられており、このメディア
部１１は、くし形電極１３に発生した静電気力により、
変位するように構成されている。ここで、このメディア
部１１の変位量は、くし形電極１３の変位の範囲内、す
なわち、櫛形電極１３の大きさによって決まる変位量の
範囲内である。
距離離間した位置に配置させられており、このメディア
部１１は、くし形電極１３に発生した静電気力により、
変位するように構成されている。ここで、このメディア
部１１の変位量は、くし形電極１３の変位の範囲内、す
なわち、櫛形電極１３の大きさによって決まる変位量の
範囲内である。
【０００４】図１２には、メディア部１１、および当該
メディア部１１を駆動させるくし形電極１３の構造が示
してある。
メディア部１１を駆動させるくし形電極１３の構造が示
してある。
【０００５】図１２に示すように、被駆動素子であるメ
ディア部１１が平らな基板上に形成されており、このメ
ディア部１１の周りには、静電気力によりメディア部１
１を変位させるくし形電極部１３が設けられている。こ
のようにくし形電極１３を配置することにより、メディ
ア部１１は、１軸方向における揺動運動のみならず、二
軸方向の揺動運動をも行うことができる。そのため、メ
ディア部１１は、図中対角線方向への揺動運動をも行う
ことが可能となり、結果として、メディア部１１は所望
の方向へ変位できるように構成されている。
ディア部１１が平らな基板上に形成されており、このメ
ディア部１１の周りには、静電気力によりメディア部１
１を変位させるくし形電極部１３が設けられている。こ
のようにくし形電極１３を配置することにより、メディ
ア部１１は、１軸方向における揺動運動のみならず、二
軸方向の揺動運動をも行うことができる。そのため、メ
ディア部１１は、図中対角線方向への揺動運動をも行う
ことが可能となり、結果として、メディア部１１は所望
の方向へ変位できるように構成されている。
【０００６】このメディア部１１は、微小駆動素子の一
つであり、一般に、静電気力により駆動（揺動）され
る。なお、この微小駆動素子の駆動には、静電気力の代
わりに、磁気力や圧電力等を用いることも可能である。
つであり、一般に、静電気力により駆動（揺動）され
る。なお、この微小駆動素子の駆動には、静電気力の代
わりに、磁気力や圧電力等を用いることも可能である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような方
法により得られる駆動力は、微小駆動素子の駆動に十分
であるとはいえず、さらに、櫛形電極を用いた駆動法の
場合、微小駆動素子の変位量が櫛形電極電極の変位量に
限定されるので、メディア部１１の変位量を増大させる
ことに限界があった。そのため、図１１および図１２に
示すような構成を備えるデータ記憶装置の場合、微小駆
動素子であるメディア部に対してより効率的に情報の読
み／書きを行うためには、情報の読み／書きを行うプロ
ーブを多数設ける必要があった。その結果、製造コスト
が増大するという問題や、データ記憶手段からのデータ
の送受信に使用する配線の取り回しが複雑になるという
問題が存在している。
法により得られる駆動力は、微小駆動素子の駆動に十分
であるとはいえず、さらに、櫛形電極を用いた駆動法の
場合、微小駆動素子の変位量が櫛形電極電極の変位量に
限定されるので、メディア部１１の変位量を増大させる
ことに限界があった。そのため、図１１および図１２に
示すような構成を備えるデータ記憶装置の場合、微小駆
動素子であるメディア部に対してより効率的に情報の読
み／書きを行うためには、情報の読み／書きを行うプロ
ーブを多数設ける必要があった。その結果、製造コスト
が増大するという問題や、データ記憶手段からのデータ
の送受信に使用する配線の取り回しが複雑になるという
問題が存在している。
【０００８】そこで、本発明の目的は、微小駆動素子の
変位可能な範囲を増大すると共に、当該微小駆動素子を
可能な限り細かく制御することのできる変位増大機構を
提供することにある。
変位可能な範囲を増大すると共に、当該微小駆動素子を
可能な限り細かく制御することのできる変位増大機構を
提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明では前記目的を達
成するために為されたものであり、本発明は、動力発生
部において発生した動力を受けて変位する微小駆動素子
の変位量を増大させる微小駆動素子の変位量増大システ
ムであって、前記動力発生部において発生した動力を伝
達する第１動力伝達部と、前記第１動力伝達部により伝
達された動力を伝達する第２動力伝達部と、前記第２動
力伝達部により伝達された動力を受けて、前記第１動力
伝達部の変位量よりも大きい変位量で、変位する微小駆
動素子とから構成され、前記動力発生部、第１動力伝達
部、第２動力伝達部、そして微小駆動素子の間には、少
なくとも一つのヒンジ部が設けられている微小駆動素子
の変位増大機構に関するものである。
成するために為されたものであり、本発明は、動力発生
部において発生した動力を受けて変位する微小駆動素子
の変位量を増大させる微小駆動素子の変位量増大システ
ムであって、前記動力発生部において発生した動力を伝
達する第１動力伝達部と、前記第１動力伝達部により伝
達された動力を伝達する第２動力伝達部と、前記第２動
力伝達部により伝達された動力を受けて、前記第１動力
伝達部の変位量よりも大きい変位量で、変位する微小駆
動素子とから構成され、前記動力発生部、第１動力伝達
部、第２動力伝達部、そして微小駆動素子の間には、少
なくとも一つのヒンジ部が設けられている微小駆動素子
の変位増大機構に関するものである。
【００１０】本発明に係る微小駆動素子の変位増大機構
では、前記第１動力伝達部の一端部は前記第２動力伝達
部と、前記第１動力伝達部の他端部は固定部とそれぞれ
連結されており、前記動力発生部から動力が前記第１動
力伝達部に伝達された場合、前記第１動力伝達部の一端
部の変位量が、前記第１動力伝達部の他端部の変位量よ
りも大きくなるように構成されていることが好ましい。
では、前記第１動力伝達部の一端部は前記第２動力伝達
部と、前記第１動力伝達部の他端部は固定部とそれぞれ
連結されており、前記動力発生部から動力が前記第１動
力伝達部に伝達された場合、前記第１動力伝達部の一端
部の変位量が、前記第１動力伝達部の他端部の変位量よ
りも大きくなるように構成されていることが好ましい。
【００１１】さらに本発明に係る微小駆動素子の変位増
大機構では、前記第２動力伝達部の一端部は固定部と、
他端部は前記微小駆動素子とそれぞれ連結されており、
前記第１動力発生部から動力が伝達された場合、前記微
小駆動素子と連結された前記第２動力伝達部の一端部の
変位量が、前記固定部と連結された前記第２動力伝達部
の他端部の変位量よりも大きくなることが好ましい。
大機構では、前記第２動力伝達部の一端部は固定部と、
他端部は前記微小駆動素子とそれぞれ連結されており、
前記第１動力発生部から動力が伝達された場合、前記微
小駆動素子と連結された前記第２動力伝達部の一端部の
変位量が、前記固定部と連結された前記第２動力伝達部
の他端部の変位量よりも大きくなることが好ましい。
【００１２】ここで、前記ヒンジは弾性的な関節運動が
可能なように構成されており、前記動力発生部は、静電
気力、磁気力又は圧電力により動力を発生させる構成で
あると良い。
可能なように構成されており、前記動力発生部は、静電
気力、磁気力又は圧電力により動力を発生させる構成で
あると良い。
【００１３】さらに、前記第１動力伝達部と前記第２動
力伝達部との動作を容易にするために、前記第１動力伝
達部と前記第２動力伝達部との間にテコが設けられてい
る構成とすることが好ましい。そして、前記ヒンジ部と
前記レバーとは共振運動により変位が拡大される構成で
あることが好ましい。
力伝達部との動作を容易にするために、前記第１動力伝
達部と前記第２動力伝達部との間にテコが設けられてい
る構成とすることが好ましい。そして、前記ヒンジ部と
前記レバーとは共振運動により変位が拡大される構成で
あることが好ましい。
【００１４】さらに、本発明に係るマイクロ素子の変位
増大機構は、情報の記録／再生が行われるメディア部
と、前記メディア部を挟んで設けられた少なくとも一つ
以上の第２動力伝達部と、前記第２動力伝達部に対して
動力を伝達する一つ以上の第１動力伝達部と、前記第１
動力伝達部に対して所定方向に向かう動力を与える動力
発生部と、前記動力発生部、第１動力伝達部、第２動力
伝達部、そしてメディア部の間に形成された一つ以上の
ヒンジ部とを含んでいる。
増大機構は、情報の記録／再生が行われるメディア部
と、前記メディア部を挟んで設けられた少なくとも一つ
以上の第２動力伝達部と、前記第２動力伝達部に対して
動力を伝達する一つ以上の第１動力伝達部と、前記第１
動力伝達部に対して所定方向に向かう動力を与える動力
発生部と、前記動力発生部、第１動力伝達部、第２動力
伝達部、そしてメディア部の間に形成された一つ以上の
ヒンジ部とを含んでいる。
【００１５】本発明に係るマイクロ素子の変位増大機構
では、前記ヒンジ部は弾性的な関節運動が可能であり、
前記第１動力伝達部と前記第２動力伝達部との間に形成
された第１テコと、前記第２動力伝達部と前記メディア
部との間に形成された第２テコとが含まれることが好ま
しい。なお、前記ヒンジ部と前記第１テコ及び第２テコ
は共振運動により変位が拡大される構成としても良い。
では、前記ヒンジ部は弾性的な関節運動が可能であり、
前記第１動力伝達部と前記第２動力伝達部との間に形成
された第１テコと、前記第２動力伝達部と前記メディア
部との間に形成された第２テコとが含まれることが好ま
しい。なお、前記ヒンジ部と前記第１テコ及び第２テコ
は共振運動により変位が拡大される構成としても良い。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明に係る微小駆動素子の変位量を増大させる変位増大機
構について説明する。なお、本発明は、一般的な梃子の
原理を、微小駆動素子を駆動させる機構（システム）に
導入することで、微小駆動素子の変位を増大させること
を特徴とする。
明に係る微小駆動素子の変位量を増大させる変位増大機
構について説明する。なお、本発明は、一般的な梃子の
原理を、微小駆動素子を駆動させる機構（システム）に
導入することで、微小駆動素子の変位を増大させること
を特徴とする。
【００１７】はじめに、図１または図２を適宜参照しな
がら、本発明の内容を説明するが、以下の説明におい
て、ターゲット２４とは、駆動対象をいい、動力発生部
２１とは、ターゲット２４を変位させる動力を発生する
部分をいう。ここで、動力発生部２１で発生される動力
は特に限定されるものではない。本実施の形態では、静
電気力、電磁気力、そして圧電力等が適宜利用可能であ
る。
がら、本発明の内容を説明するが、以下の説明におい
て、ターゲット２４とは、駆動対象をいい、動力発生部
２１とは、ターゲット２４を変位させる動力を発生する
部分をいう。ここで、動力発生部２１で発生される動力
は特に限定されるものではない。本実施の形態では、静
電気力、電磁気力、そして圧電力等が適宜利用可能であ
る。
【００１８】動力発生部２１と駆動対象であるターゲッ
ト２４とは、動力伝達部２２，２３やヒンジ部２０ａ，
２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇを介
して接続されている。
ト２４とは、動力伝達部２２，２３やヒンジ部２０ａ，
２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇを介
して接続されている。
【００１９】動力伝達部２２，２３およびヒンジ部２０
ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇ
は、動力発生部２１で発生された動力をターゲット２４
に伝達すると共に、ターゲット２４の変位する方向を規
定する。これら動力伝達部２２，２３や、ヒンジ部２０
ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇ
は、弾力性のある材料で構成されることが望ましい。
ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇ
は、動力発生部２１で発生された動力をターゲット２４
に伝達すると共に、ターゲット２４の変位する方向を規
定する。これら動力伝達部２２，２３や、ヒンジ部２０
ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇ
は、弾力性のある材料で構成されることが望ましい。
【００２０】動力発生部２１は、第１動力伝達部２２
に、ヒンジ部２０ａを介して連結されており、この第１
動力伝達部２２は、固定部２６にヒンジ部２０ｂを介し
て連結されている。さらにこの第１動力伝達部２２は、
第２動力伝達部２３にヒンジ部２０ｃを介して連結され
ている。
に、ヒンジ部２０ａを介して連結されており、この第１
動力伝達部２２は、固定部２６にヒンジ部２０ｂを介し
て連結されている。さらにこの第１動力伝達部２２は、
第２動力伝達部２３にヒンジ部２０ｃを介して連結され
ている。
【００２１】第２動力伝達部２３は、固定部２６および
ターゲット２４と、それぞれヒンジ部２０ｄおよびヒン
ジ部２０ｅを介して連結されている。ターゲット２４
は、第２動力伝達部２３のほかに支持部２５とも、ヒン
ジ部２０ｆを介して連結されている。そして、この支持
部２５は、固定部２６とヒンジ部２０ｇを介して連結さ
れている。
ターゲット２４と、それぞれヒンジ部２０ｄおよびヒン
ジ部２０ｅを介して連結されている。ターゲット２４
は、第２動力伝達部２３のほかに支持部２５とも、ヒン
ジ部２０ｆを介して連結されている。そして、この支持
部２５は、固定部２６とヒンジ部２０ｇを介して連結さ
れている。
【００２２】すなわち、ターゲット２４は、第１動力伝
達部２２と第１動力伝達部２３とを介して動力発生部２
１と連結されると共に、支持部２５を介して固定部２６
と連結されている。よって、このターゲット２４は、動
力発生部２１からの動力を第１動力伝達部２２と第１動
力伝達部２３とを介して受けて、駆動（変位）させられ
る。ここで、動力伝達部２２，２３や支持部２５は、そ
れぞれ固定部２６にも連結されているので、それぞれ平
衡性が保たれた状態で配置している。そして、これらを
繋ぐ全ての連結部分は、弾性変形が可能なヒンジ部２０
ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇ
となっている。
達部２２と第１動力伝達部２３とを介して動力発生部２
１と連結されると共に、支持部２５を介して固定部２６
と連結されている。よって、このターゲット２４は、動
力発生部２１からの動力を第１動力伝達部２２と第１動
力伝達部２３とを介して受けて、駆動（変位）させられ
る。ここで、動力伝達部２２，２３や支持部２５は、そ
れぞれ固定部２６にも連結されているので、それぞれ平
衡性が保たれた状態で配置している。そして、これらを
繋ぐ全ての連結部分は、弾性変形が可能なヒンジ部２０
ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇ
となっている。
【００２３】次に、前述の構造を有する変位量増大機構
の動作を説明する。
の動作を説明する。
【００２４】動力発生部２１により発生した一方向への
動力がヒンジ部２０ａに加わると、この動力発生部２１
からの動力は、ヒンジ部２０ａを介して第１動力伝達部
２２に伝達される。すなわち、第１動力伝達部２２は、
一方向へ向かう動力（応力）を受けることになる。
動力がヒンジ部２０ａに加わると、この動力発生部２１
からの動力は、ヒンジ部２０ａを介して第１動力伝達部
２２に伝達される。すなわち、第１動力伝達部２２は、
一方向へ向かう動力（応力）を受けることになる。
【００２５】この時、ヒンジ部２０ｂとヒンジ部２０ａ
との間に、梃子の原理が働く。その結果、第１動力伝達
部２２のヒンジ部２０ｃ側の一端の変位が、ヒンジ部２
０ｂ側の一端の変位よりも大きくなる。言い換えれば、
第１動力伝達部２２における、ヒンジ部２０ｂ側の距離
Ｒが、ヒンジ部２０ｃ側の距離Ｒ１よりも短いので、梃
子の原理により、第１動力伝達部２２のヒンジ部２０ｃ
側の変位がヒンジ部２０ｂ側の変位よりも大きくなり、
この第１動力伝達部２２は、図中矢印で示す方向に変位
する。
との間に、梃子の原理が働く。その結果、第１動力伝達
部２２のヒンジ部２０ｃ側の一端の変位が、ヒンジ部２
０ｂ側の一端の変位よりも大きくなる。言い換えれば、
第１動力伝達部２２における、ヒンジ部２０ｂ側の距離
Ｒが、ヒンジ部２０ｃ側の距離Ｒ１よりも短いので、梃
子の原理により、第１動力伝達部２２のヒンジ部２０ｃ
側の変位がヒンジ部２０ｂ側の変位よりも大きくなり、
この第１動力伝達部２２は、図中矢印で示す方向に変位
する。
【００２６】そして、第１動力伝達部２２に連結された
ヒンジ部２０ｂおよびヒンジ部２０ｃが弾性的に関節運
動（変形）することで、第１動力伝達部２２に加えられ
た動力を、第２動力伝達部２３に伝達する。
ヒンジ部２０ｂおよびヒンジ部２０ｃが弾性的に関節運
動（変形）することで、第１動力伝達部２２に加えられ
た動力を、第２動力伝達部２３に伝達する。
【００２７】第２動力伝達部２３においてもまた、ヒン
ジ部２０ｄとヒンジ部２０ｅとに梃子の原理が働き、ヒ
ンジ部２０ｅと連結された第２動力伝達部２３の一端部
側での変位が、ヒンジ部２０ｄが連結された第２動力伝
達部２３の他端側の変位より大きくなる。すなわち、第
２動力伝達部２３における、ヒンジ部２０ｄ側の距離Ｒ
３が、ヒンジ部２０ｅ側の距離Ｒ４よりも短いので、梃
子の原理により、ヒンジ部２０ｅ側の変位がヒンジ部２
０ｄ側の変位よりも大きくなり、第２動力伝達部２３は
図中矢印で示す方向に変位する。
ジ部２０ｄとヒンジ部２０ｅとに梃子の原理が働き、ヒ
ンジ部２０ｅと連結された第２動力伝達部２３の一端部
側での変位が、ヒンジ部２０ｄが連結された第２動力伝
達部２３の他端側の変位より大きくなる。すなわち、第
２動力伝達部２３における、ヒンジ部２０ｄ側の距離Ｒ
３が、ヒンジ部２０ｅ側の距離Ｒ４よりも短いので、梃
子の原理により、ヒンジ部２０ｅ側の変位がヒンジ部２
０ｄ側の変位よりも大きくなり、第２動力伝達部２３は
図中矢印で示す方向に変位する。
【００２８】その結果、第２動力伝達部２３からヒンジ
部２０ｅを介して動力を受けたターゲット２４は、動力
発生部２１と連結されたヒンジ部２０ａの変位量よりも
ずっと大きい変位量で変位することになる。
部２０ｅを介して動力を受けたターゲット２４は、動力
発生部２１と連結されたヒンジ部２０ａの変位量よりも
ずっと大きい変位量で変位することになる。
【００２９】ここで、ターゲット２４は、支持部２５に
ヒンジ部２０ｆを介して連結されており、この支持部２
５は、固定部２６にヒンジ部２０ｇを介して連結されて
いる。その結果、支持部２５にも、同様の梃子の原理が
働くことになる。そのため、指示部２５が図中矢印で示
す方向に変位することが可能となるので、ターゲット２
４のさらなる変位が許容される。よって、ターゲット２
４は、第１動力伝達部２２および第２動力伝達部２３を
介して受けた動力発生部２１からの動力による変位量よ
りもさらに大きい変位量をもって、一方向に変位するこ
とになる。
ヒンジ部２０ｆを介して連結されており、この支持部２
５は、固定部２６にヒンジ部２０ｇを介して連結されて
いる。その結果、支持部２５にも、同様の梃子の原理が
働くことになる。そのため、指示部２５が図中矢印で示
す方向に変位することが可能となるので、ターゲット２
４のさらなる変位が許容される。よって、ターゲット２
４は、第１動力伝達部２２および第２動力伝達部２３を
介して受けた動力発生部２１からの動力による変位量よ
りもさらに大きい変位量をもって、一方向に変位するこ
とになる。
【００３０】ここで、理解をより容易にするために、図
２を参照しながら説明する。図２は本発明に係る微小駆
動素子に使用される変位増大機構の原理図である。
２を参照しながら説明する。図２は本発明に係る微小駆
動素子に使用される変位増大機構の原理図である。
【００３１】なお、以下の説明において、図１に示した
各構成要素と同一の構成要素には、同一の符号を付し、
その詳細な説明は省略する。
各構成要素と同一の構成要素には、同一の符号を付し、
その詳細な説明は省略する。
【００３２】動力発生部２１が動力を発生し、一軸方向
の直線的変位を生じた場合、第１動力伝達部２２の一端
部に連結されたヒンジ部２０ｃはヒンジ部２０ａよりも
相対的に大きい変位量で変位する。すなわち、図中矢印
で示す方向に第１動力伝達部のヒンジ２０ｃ側は変位す
る。
の直線的変位を生じた場合、第１動力伝達部２２の一端
部に連結されたヒンジ部２０ｃはヒンジ部２０ａよりも
相対的に大きい変位量で変位する。すなわち、図中矢印
で示す方向に第１動力伝達部のヒンジ２０ｃ側は変位す
る。
【００３３】このとき、ヒンジ部２０ｂが回転軸として
働き、ヒンジ部２０ｃと連結された第１動力伝達部２２
の一端部の回転変位量が、ヒンジ部２０ａとヒンジ部２
０ｂとの距離Ｒと、ヒンジ部２０ａとヒンジ部２０ｃと
の距離Ｒ１との比率に応じて、変化する。
働き、ヒンジ部２０ｃと連結された第１動力伝達部２２
の一端部の回転変位量が、ヒンジ部２０ａとヒンジ部２
０ｂとの距離Ｒと、ヒンジ部２０ａとヒンジ部２０ｃと
の距離Ｒ１との比率に応じて、変化する。
【００３４】即ち、ＲよりもＲ１が大きい場合、ヒンジ
部２０ｃの変位量は、ヒンジ部２０ａの変位量よりも大
きくなる。したがって、第１動力伝達部２２の変位が、
当該第１動力伝達部２２にヒンジ部２０ｃを介して連結
された第２動力伝達部２３に、より大きな変位をもたら
すことになる。
部２０ｃの変位量は、ヒンジ部２０ａの変位量よりも大
きくなる。したがって、第１動力伝達部２２の変位が、
当該第１動力伝達部２２にヒンジ部２０ｃを介して連結
された第２動力伝達部２３に、より大きな変位をもたら
すことになる。
【００３５】第２動力伝達部２３は、固定部２６にヒン
ジ部２０ｄを介して連結されているので、ヒンジ部２０
ｄは回転軸として働く。すなわち、第２動力伝達部２３
のヒンジ部２０ｅ側は、図中矢印で示す方向に、ヒンジ
部２０ｄを回転軸として、変位する。ここでも梃子の原
理が働くので、第２動力伝達部２３のヒンジ部２０ｅが
連結された一端側の変位量が、ヒンジ部２０ｃとヒンジ
部２０ｄとの距離Ｒ２と、ヒンジ部２０ｃとヒンジ部２
０ｅとの距離Ｒ３の比率に応じて、増加する。
ジ部２０ｄを介して連結されているので、ヒンジ部２０
ｄは回転軸として働く。すなわち、第２動力伝達部２３
のヒンジ部２０ｅ側は、図中矢印で示す方向に、ヒンジ
部２０ｄを回転軸として、変位する。ここでも梃子の原
理が働くので、第２動力伝達部２３のヒンジ部２０ｅが
連結された一端側の変位量が、ヒンジ部２０ｃとヒンジ
部２０ｄとの距離Ｒ２と、ヒンジ部２０ｃとヒンジ部２
０ｅとの距離Ｒ３の比率に応じて、増加する。
【００３６】ヒンジ部２０ｅはターゲット２４と連結さ
れ、当該ターゲット２４は前述の第２動力伝達部２３と
類似した形状の支持部２５に、ヒンジ部２０ｆを介して
連結されている。さらに、この支持部２５は、固定部２
６にヒンジ部２０ｇを介して連結されている。
れ、当該ターゲット２４は前述の第２動力伝達部２３と
類似した形状の支持部２５に、ヒンジ部２０ｆを介して
連結されている。さらに、この支持部２５は、固定部２
６にヒンジ部２０ｇを介して連結されている。
【００３７】したがって、第２動力伝達部２３からター
ゲット２４に動力が伝達されると、前記ターゲット２４
は図中矢印方向に変位することになるが、この際の変位
量は、動力発生部２１によるヒンジ部２０ａの変位量よ
りも、大きい変位量となる。
ゲット２４に動力が伝達されると、前記ターゲット２４
は図中矢印方向に変位することになるが、この際の変位
量は、動力発生部２１によるヒンジ部２０ａの変位量よ
りも、大きい変位量となる。
【００３８】図３および図４は、本発明に係る変位増大
機構（テコ機構）をデータ記憶装置に適用した一例を示
した図面である。
機構（テコ機構）をデータ記憶装置に適用した一例を示
した図面である。
【００３９】ここで図３はデータ記憶装置の平面図であ
り、図４は本発明に係る変位増大機構（テコ機構）の動
作を示す一部拡大図である。この図３は、水平方向へ向
かう動力を僅かに与えることで、駆動される対象である
ターゲットが、大きな変位量をもって変位するように構
成されたデータ記憶装置に関するものである。
り、図４は本発明に係る変位増大機構（テコ機構）の動
作を示す一部拡大図である。この図３は、水平方向へ向
かう動力を僅かに与えることで、駆動される対象である
ターゲットが、大きな変位量をもって変位するように構
成されたデータ記憶装置に関するものである。
【００４０】図３に示すように、固定部であるフレーム
部３５には、動力発生部３１、ヒンジ部３０ａ，３０
ｂ，３０ｃ，３０ｄ，３０ｅ、第１動力伝達部３２、第
２動力伝達部３３、およびデータを記憶するメディア部
３４が設けられている。動力発生部３１は、第１動力伝
達部３２にヒンジ３０ａを介して連結されており、静電
力、磁気力、圧電力等の動力を発生させる。
部３５には、動力発生部３１、ヒンジ部３０ａ，３０
ｂ，３０ｃ，３０ｄ，３０ｅ、第１動力伝達部３２、第
２動力伝達部３３、およびデータを記憶するメディア部
３４が設けられている。動力発生部３１は、第１動力伝
達部３２にヒンジ３０ａを介して連結されており、静電
力、磁気力、圧電力等の動力を発生させる。
【００４１】第１動力伝達部３２の一端側は、フレーム
３５にヒンジ部３０ｂを介して連結されており、他端側
は、第２動力伝達部３３にヒンジ部３０ｃを介して連結
されている。第２動力伝達部３３の一端側は、フレーム
３５にヒンジ部３０ｄを介して連結されており、他端側
は、メディア部３４にヒンジ部３０ｅを介して連結され
ている。このような構造の変位増大機構が、メディア部
３４の４隅にそれぞれ形成されている。
３５にヒンジ部３０ｂを介して連結されており、他端側
は、第２動力伝達部３３にヒンジ部３０ｃを介して連結
されている。第２動力伝達部３３の一端側は、フレーム
３５にヒンジ部３０ｄを介して連結されており、他端側
は、メディア部３４にヒンジ部３０ｅを介して連結され
ている。このような構造の変位増大機構が、メディア部
３４の４隅にそれぞれ形成されている。
【００４２】このデータ記憶装置のメディア部３４は、
図１および図２の構成において説明したテコの原理を利
用して、変位させられる。すなわち、動力発生部３１に
おいて、ヒンジ部３０ａを変位させるために、静電力、
磁気力、または圧電力を発生させると、力が第１動力伝
達部３２、第２動力伝達部３３、および各ヒンジ部３０
ｃ，３０ｅを介してメディア部３４に伝達される。この
際、梃子の原理により、ヒンジ部３０ａの変位量に比べ
て前記メディア部３４の変位量は、大きく増加される。
ここで、メディア部３４の対角線上に位置する各隅に
は、同一構造の変位増大機構が形成されているので、メ
ディア部３４は、平面上で直線運動（揺動）をすること
が可能となっている。
図１および図２の構成において説明したテコの原理を利
用して、変位させられる。すなわち、動力発生部３１に
おいて、ヒンジ部３０ａを変位させるために、静電力、
磁気力、または圧電力を発生させると、力が第１動力伝
達部３２、第２動力伝達部３３、および各ヒンジ部３０
ｃ，３０ｅを介してメディア部３４に伝達される。この
際、梃子の原理により、ヒンジ部３０ａの変位量に比べ
て前記メディア部３４の変位量は、大きく増加される。
ここで、メディア部３４の対角線上に位置する各隅に
は、同一構造の変位増大機構が形成されているので、メ
ディア部３４は、平面上で直線運動（揺動）をすること
が可能となっている。
【００４３】図５は、本発明に係る微小駆動素子の変位
増大機構を、従来の微小メディアに適応した例を示す図
である。図５に示すように、くし形電極４１が、メディ
ア部４４を移動させるための動力発生部として働く構成
となっており、この構成では、メディア部４４は、本発
明に係る変位増大機構により直接的に変位させられる。
増大機構を、従来の微小メディアに適応した例を示す図
である。図５に示すように、くし形電極４１が、メディ
ア部４４を移動させるための動力発生部として働く構成
となっており、この構成では、メディア部４４は、本発
明に係る変位増大機構により直接的に変位させられる。
【００４４】くし形電極４１が、メディア部４４を移動
させるために動力を発生すると、メディア部４４は、本
発明に係る変位増大機構により、くし形電極４１の変位
量よりも相対的に大きい変位量で移動させられ、所定の
位置に変位させられる。
させるために動力を発生すると、メディア部４４は、本
発明に係る変位増大機構により、くし形電極４１の変位
量よりも相対的に大きい変位量で移動させられ、所定の
位置に変位させられる。
【００４５】ここで、第２動力伝達部４３およびメディ
ア部４４の変位をより円滑にするために、テコ４５，４
５’が、第１動力伝達部４２と第２動力伝達部４３との
間に設けられている。これにより、メディア部４４が平
面上で一方向に変位することになる。
ア部４４の変位をより円滑にするために、テコ４５，４
５’が、第１動力伝達部４２と第２動力伝達部４３との
間に設けられている。これにより、メディア部４４が平
面上で一方向に変位することになる。
【００４６】なお、メディア部４４に対して情報の記録
または再生を行うプローブは、メディア部４４の変位方
向とは、異なる方向に動くように構成されることが好ま
しい。すなわち、メディア部４４の上部にメディア部４
４をスキャンするプローブを配置させる場合、プロープ
の変位方向が、メディア部４４の変位方向に対して、垂
直方向とになるように設けると良い。
または再生を行うプローブは、メディア部４４の変位方
向とは、異なる方向に動くように構成されることが好ま
しい。すなわち、メディア部４４の上部にメディア部４
４をスキャンするプローブを配置させる場合、プロープ
の変位方向が、メディア部４４の変位方向に対して、垂
直方向とになるように設けると良い。
【００４７】図６は、図５のテコ４５，４５’を設け
て、メディア部の変位量を増大させる場合の、テコの作
用を説明する図である。図６に示すように、一方向、た
とえば動力伝達部の左側方向から力を加えると、メディ
ア部４４は反対側、すなわち右側方向に移動する。この
際、第１動力伝達部４３からメディア部４４に力が伝達
される間に、その変位が増大させられることが判る。こ
こで、テコ４５，４５’が設けられているので、変位対
象であるメディア部の変位量が急激に増加することにな
っても、メディア部４４は目的の方向に円滑に変位す
る。
て、メディア部の変位量を増大させる場合の、テコの作
用を説明する図である。図６に示すように、一方向、た
とえば動力伝達部の左側方向から力を加えると、メディ
ア部４４は反対側、すなわち右側方向に移動する。この
際、第１動力伝達部４３からメディア部４４に力が伝達
される間に、その変位が増大させられることが判る。こ
こで、テコ４５，４５’が設けられているので、変位対
象であるメディア部の変位量が急激に増加することにな
っても、メディア部４４は目的の方向に円滑に変位す
る。
【００４８】言い換えれば、第１動力伝達部４２と第２
動力伝達部４３との間、そして第２動力伝達部４３とメ
ディア部４４との間に、テコが設けられていない場合に
は、メディア４４の変位範囲が狭い範囲に限られること
になる。
動力伝達部４３との間、そして第２動力伝達部４３とメ
ディア部４４との間に、テコが設けられていない場合に
は、メディア４４の変位範囲が狭い範囲に限られること
になる。
【００４９】図７乃至図１０は、本発明に係る変位増大
機構（テコ機構）を、小型記憶システムのプローブに応
用した場合を示す図である。この図に示す例では、図３
または図４に示す変位増大機構が、メディア３４を水平
方向に動かす為に設けられているのに加えて、変位増大
機構（テコ機構）は、プローブ部５４を垂直方向に動か
す為にも設けられている。
機構（テコ機構）を、小型記憶システムのプローブに応
用した場合を示す図である。この図に示す例では、図３
または図４に示す変位増大機構が、メディア３４を水平
方向に動かす為に設けられているのに加えて、変位増大
機構（テコ機構）は、プローブ部５４を垂直方向に動か
す為にも設けられている。
【００５０】図７に示す変位増大機構の構成は、前述の
図５に示す構成と同一である。すなわち、くし形電極５
１２より発生された動力を、第１動力伝達部５２および
第２動力伝達部５３に伝達することで、プローブ部５４
の変位量がさらに増大させられる。
図５に示す構成と同一である。すなわち、くし形電極５
１２より発生された動力を、第１動力伝達部５２および
第２動力伝達部５３に伝達することで、プローブ部５４
の変位量がさらに増大させられる。
【００５１】また、第１動力伝達部５２と第２動力伝達
部５３との間、そして第２動力伝達部５３とプローブ部
５４との間には、その変位動作を容易にするためにテコ
５５，５５’が設けられている。
部５３との間、そして第２動力伝達部５３とプローブ部
５４との間には、その変位動作を容易にするためにテコ
５５，５５’が設けられている。
【００５２】図８には、図７のプローブ部５４が示して
あるが、このプローブ部５４には、くし形電極５４が設
けられており、図７に示したテコ５５、５５’を介して
精密に制御されるように構成されている。そして、この
プローブ部５４には、固定ポール５４２、弾性部材５４
３、および弾性部材５４３により支持される移動板５４
４とが設けられている。
あるが、このプローブ部５４には、くし形電極５４が設
けられており、図７に示したテコ５５、５５’を介して
精密に制御されるように構成されている。そして、この
プローブ部５４には、固定ポール５４２、弾性部材５４
３、および弾性部材５４３により支持される移動板５４
４とが設けられている。
【００５３】データの記録／再生を行うプローブ５４５
は、その両側に設けられた圧電体５４６により、メディ
ア部（図示せず）とプローブ５４５との距離が調節可能
となるように、昇降自在に構成されている。
は、その両側に設けられた圧電体５４６により、メディ
ア部（図示せず）とプローブ５４５との距離が調節可能
となるように、昇降自在に構成されている。
【００５４】したがって、微小駆動素子の変位量を増大
させるために、変位増大機構（テコ機構）が、図７およ
び図８に示すような構成で設けられると、駆動対象であ
る微小駆動素子を、水平方向および垂直方向に動かすこ
とができる。
させるために、変位増大機構（テコ機構）が、図７およ
び図８に示すような構成で設けられると、駆動対象であ
る微小駆動素子を、水平方向および垂直方向に動かすこ
とができる。
【００５５】さらに、図９および図１０に示すように、
図７のプローブ部５４に、プローブ５４５が上下方向に
変位するようにするために、前述の圧電体５４６に換え
て、固定子くし形電極５４７と回転子くし形電極５４８
を設けた構成とすることも可能である。
図７のプローブ部５４に、プローブ５４５が上下方向に
変位するようにするために、前述の圧電体５４６に換え
て、固定子くし形電極５４７と回転子くし形電極５４８
を設けた構成とすることも可能である。
【００５６】このように、本発明に係る変位増大機構
と、変位発生機構とを組み合わせると、２軸方向のみな
らず３軸方向の変位が可能な微小駆動素子を提供するこ
とが可能となる。さらに、本発明では、ヒンジ部の弾性
変形微小素子の変位を増幅することができるので、テコ
およびヒンジ部の共振特性を利用して、微小駆動素子の
変位量を可能な限り増大させることのできる変位増大機
構を提供することができる。
と、変位発生機構とを組み合わせると、２軸方向のみな
らず３軸方向の変位が可能な微小駆動素子を提供するこ
とが可能となる。さらに、本発明では、ヒンジ部の弾性
変形微小素子の変位を増幅することができるので、テコ
およびヒンジ部の共振特性を利用して、微小駆動素子の
変位量を可能な限り増大させることのできる変位増大機
構を提供することができる。
【００５７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、マイ
クロ単位の精密な部品において、簡単な構造でその変位
量を増大させることができる。微小駆動素子の変位を増
大させる変位増大機構（テコ機構）では、情報記録装置
において必要とされるヘッドのような高価なプロープの
使用量を減らすことができる。さらに、従来の装置に比
べて、配線構造が簡単にできる。また、従来に比べて大
きい精度を要せず、共振型の駆動装置を用いる場合に
は、低電力で装置を駆動させることが可能となり、より
経済性に優れたシステムを提供することが可能となる。
クロ単位の精密な部品において、簡単な構造でその変位
量を増大させることができる。微小駆動素子の変位を増
大させる変位増大機構（テコ機構）では、情報記録装置
において必要とされるヘッドのような高価なプロープの
使用量を減らすことができる。さらに、従来の装置に比
べて、配線構造が簡単にできる。また、従来に比べて大
きい精度を要せず、共振型の駆動装置を用いる場合に
は、低電力で装置を駆動させることが可能となり、より
経済性に優れたシステムを提供することが可能となる。
【図１】本発明に係る微小駆動素子に使用される変位増
大機構を説明する図面である。
大機構を説明する図面である。
【図２】本発明に係る微小駆動素子に使用される変位増
大機構の原理図である。
大機構の原理図である。
【図３】本発明に係る変位増大機構（テコ機構）をデー
タ記憶装置に適用した一例を示した図面である。
タ記憶装置に適用した一例を示した図面である。
【図４】本発明に係る変位増大機構（テコ機構）をデー
タ記憶装置に適用した一例を示した図面である。
タ記憶装置に適用した一例を示した図面である。
【図５】本発明に係る微小駆動素子の変位増大機構を、
従来の微小メディアに適応した例を示す図である。
従来の微小メディアに適応した例を示す図である。
【図６】テコを設けてメディア部の変位量を増大させる
場合の、テコの動作を説明する図である。
場合の、テコの動作を説明する図である。
【図７】本発明に係る変位増大機構（テコ機構）を、小
型記憶システムのプローブに応用した場合を示す図であ
る。
型記憶システムのプローブに応用した場合を示す図であ
る。
【図８】本発明に係る変位増大機構（テコ機構）を、小
型記憶システムのプローブに応用した場合を示す図であ
る。
型記憶システムのプローブに応用した場合を示す図であ
る。
【図９】本発明に係る変位増大機構（テコ機構）を、小
型記憶システムのプローブに応用した場合を示す図であ
る。
型記憶システムのプローブに応用した場合を示す図であ
る。
【図１０】本発明に係る変位増大機構（テコ機構）を、
小型記憶システムのプローブに応用した場合を示す図で
ある。
小型記憶システムのプローブに応用した場合を示す図で
ある。
【図１１】微小駆動素子の従来の駆動装置を示した図面
である
である
【図１２】微小駆動素子の従来の駆動装置を示した図面
である
である
１１，３４，４４・・・メディア部
１２・・・プローブ
１３・・・くし形電極
１４・・・弾性要素
２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２
０ｇ・・・ヒンジ部 ２１，３１，４１，５１・・・動力発生部 ２２，３２，４２，５２・・・第１動力伝達部 ２３，３３，４３，５３・・・第２動力伝達部 ２４・・・ターゲット ２５・・・支持部 ２６，３５・・・固定部 ３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ，３０ｅ・・・ヒンジ
部 ４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ，４０ｅ，４０ｆ，４
０ｇ・・・ヒンジ部 ４５，４５’・・・テコ ５４１・・・くし形電極部 ５４２・・・固定ポール ５４３・・・弾性部材 ５４４・・・移動部 ５４５・・・プローブ ５４６・・・圧電体 ５４７・・・固定子くし形電極 ５４８・・・回転子くし形電極
０ｇ・・・ヒンジ部 ２１，３１，４１，５１・・・動力発生部 ２２，３２，４２，５２・・・第１動力伝達部 ２３，３３，４３，５３・・・第２動力伝達部 ２４・・・ターゲット ２５・・・支持部 ２６，３５・・・固定部 ３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ，３０ｅ・・・ヒンジ
部 ４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ，４０ｅ，４０ｆ，４
０ｇ・・・ヒンジ部 ４５，４５’・・・テコ ５４１・・・くし形電極部 ５４２・・・固定ポール ５４３・・・弾性部材 ５４４・・・移動部 ５４５・・・プローブ ５４６・・・圧電体 ５４７・・・固定子くし形電極 ５４８・・・回転子くし形電極
Claims (12)
- 【請求項１】 動力発生部において発生した動力を受け
て変位する微小駆動素子の変位量を増大させる微小駆動
素子の変位量増大システムであって、 前記動力発生部において発生した動力を伝達する第１動
力伝達部と、 前記第１動力伝達部により伝達された動力を伝達する第
２動力伝達部と、 前記第２動力伝達部により伝達された動力を受けて、前
記第１動力伝達部の変位量よりも大きい変位量で、変位
する微小駆動素子とから構成され、 前記動力発生部、第１動力伝達部、第２動力伝達部、そ
して微小駆動素子の間には、少なくとも一つのヒンジ部
が設けられていることを特徴とする微小駆動素子の変位
増大機構。 - 【請求項２】前記第１動力伝達部の一端部は前記第２動
力伝達部と、前記第１動力伝達部の他端部は固定部とそ
れぞれ連結されており、 前記動力発生部から動力が前記第１動力伝達部に伝達さ
れた場合、 前記第１動力伝達部の一端部の変位量が、前記第１動力
伝達部の他端部の変位量よりも大きくなることを特徴と
する請求項１に記載の微小駆動素子の変位増大機構。 - 【請求項３】前記第２動力伝達部の一端部は固定部と、
前記第２動力伝達部の他端部は前記微小駆動素子とそれ
ぞれ連結されており、 前記第１動力発生部から動力が伝達された場合、 前記微小駆動素子と連結された前記第２動力伝達部の一
端部の変位量が、前記固定部と連結された前記第２動力
伝達部の他端部の変位量よりも大きくなることを特徴と
する請求項２に記載の微小駆動素子の変位増大機構。 - 【請求項４】 前記ヒンジ部は、弾性的な関節運動が可
能なことを特徴とする請求項１に記載の微小駆動素子の
変位増大機構。 - 【請求項５】 前記動力発生部は、静電気力、磁気力又
は圧電力により動力を発生させることを特徴とする請求
項１に記載の微小駆動素子の変位増大機構。 - 【請求項６】 前記第１動力伝達部と前記第２動力伝達
部との動作を容易にするために、前記第１動力伝達部と
前記第２動力伝達部との間にテコをさらに含むことを特
徴とする請求項１に記載の微小駆動素子の変位増大機
構。 - 【請求項７】 前記第２動力伝達部と前記微小駆動素子
との動作を容易にするために、前記第２動力伝達部と前
記微小駆動素子との間にテコをさらに含むことを特徴と
する請求項１に記載の微小駆動素子の変位増大機構。 - 【請求項８】 前記ヒンジ部と前記テコとは、共振運動
により変位が増大されることを特徴とする請求項４、請
求項６又は請求項７のいずれか一項に記載の微小駆動素
子の変位増大機構。 - 【請求項９】情報の記録／再生が行われるメディア部
と、 前記メディア部を挟んで設けられた少なくとも一つ以上
の第２動力伝達部と、 前記第２動力伝達部に対して動力を伝達する一つ以上の
第１動力伝達部と、 前記第１動力伝達部に対して所定方向に向かう動力を与
える動力発生部と、 前記動力発生部、第１動力伝達部、第２動力伝達部、そ
してメディア部の間に形成された一つ以上のヒンジ部と
を含むことを特徴とするマイクロ素子の変位増大機構。 - 【請求項１０】 前記ヒンジ部は弾性的な関節運動が可
能なことを特徴とする請求項９に記載のマイクロ素子の
変位増大機構。 - 【請求項１１】 前記第１動力伝達部と前記第２動力伝
達部との間に形成された第１テコと、 前記第２動力伝達部と前記メディア部との間に形成され
た第２テコとをさらに含むことを特徴とする請求項９に
記載のマイクロ素子の変位増大機構。 - 【請求項１２】 前記ヒンジ部と前記第１テコ及び第２
テコは共振運動により変位が拡大されることを特徴とす
る請求項９乃至請求項１１のいずれか一項に記載のマイ
クロ素子の変位増大機構。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2001-78672 | 2001-12-12 | ||
| KR10-2001-0078672A KR100434543B1 (ko) | 2001-12-12 | 2001-12-12 | 마이크로 소자에 사용되는 운동 확대 시스템 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006012731A Division JP2006167909A (ja) | 2001-12-12 | 2006-01-20 | 微小駆動素子の変位量増大システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003205497A true JP2003205497A (ja) | 2003-07-22 |
Family
ID=36669173
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002307846A Pending JP2003205497A (ja) | 2001-12-12 | 2002-10-23 | 微小駆動素子の変位量増大システム |
| JP2006012731A Pending JP2006167909A (ja) | 2001-12-12 | 2006-01-20 | 微小駆動素子の変位量増大システム |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006012731A Pending JP2006167909A (ja) | 2001-12-12 | 2006-01-20 | 微小駆動素子の変位量増大システム |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20030107296A1 (ja) |
| JP (2) | JP2003205497A (ja) |
| KR (1) | KR100434543B1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005141229A (ja) * | 2003-11-06 | 2005-06-02 | Samsung Electronics Co Ltd | 周波数変調可能な共振型スキャナー |
| JP2006170971A (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-29 | Korea Electronics Telecommun | 駆動ヘッド及びそれを備えた個人用原子顕微鏡 |
| JP2017192192A (ja) * | 2016-04-12 | 2017-10-19 | 有限会社メカノトランスフォーマ | 圧電アクチュエータおよび圧電式バルブ |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100552687B1 (ko) * | 2003-08-22 | 2006-02-20 | 삼성전자주식회사 | 대면적 스테이지를 구비한 2축 액츄에이터 |
| CN101906065B (zh) | 2004-12-28 | 2012-10-17 | 株式会社半导体能源研究所 | 蒽衍生物、使用它的发光元件和使用它的发光器件 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4435666A (en) * | 1981-05-26 | 1984-03-06 | Nippon Electric Co., Ltd. | Lever actuator comprising a longitudinal-effect electroexpansive transducer and designed to prevent actuation from degrading the actuator |
| US4506154A (en) * | 1982-10-22 | 1985-03-19 | Scire Fredric E | Planar biaxial micropositioning stage |
| US4622484A (en) * | 1984-06-21 | 1986-11-11 | Nec Corporation | Piezoelectric relay with a piezoelectric longitudinal effect actuator |
| US5025346A (en) * | 1989-02-17 | 1991-06-18 | Regents Of The University Of California | Laterally driven resonant microstructures |
| KR100393183B1 (ko) * | 1996-10-31 | 2003-10-17 | 삼성전자주식회사 | 마이크로액츄에이터의상보형정전구동장치 |
| JPH10335675A (ja) * | 1997-05-30 | 1998-12-18 | Aisin Seiki Co Ltd | 半導体マイクロマシン |
| DE19739594C2 (de) * | 1997-09-10 | 2001-09-06 | Daimler Chrysler Ag | Elektrostriktiver Stellantrieb |
| KR100263752B1 (ko) * | 1997-09-26 | 2000-08-16 | 김덕중 | 비선형성 저감 구조의 빗형상체를 가지는 일렉트로스테틱마이크로 액츄에이터 |
| KR100264007B1 (ko) * | 1997-10-22 | 2000-08-16 | 김덕중 | 마이크로 액튜에이터의 제어 장치 |
| US6459088B1 (en) * | 1998-01-16 | 2002-10-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Drive stage and scanning probe microscope and information recording/reproducing apparatus using the same |
| US6346710B1 (en) * | 1998-08-31 | 2002-02-12 | Olympus Optical Co., Ltd. | Stage apparatus including displacement amplifying mechanism |
-
2001
- 2001-12-12 KR KR10-2001-0078672A patent/KR100434543B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2002
- 2002-09-19 US US10/246,418 patent/US20030107296A1/en not_active Abandoned
- 2002-10-23 JP JP2002307846A patent/JP2003205497A/ja active Pending
-
2006
- 2006-01-20 JP JP2006012731A patent/JP2006167909A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005141229A (ja) * | 2003-11-06 | 2005-06-02 | Samsung Electronics Co Ltd | 周波数変調可能な共振型スキャナー |
| JP2006170971A (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-29 | Korea Electronics Telecommun | 駆動ヘッド及びそれを備えた個人用原子顕微鏡 |
| JP2017192192A (ja) * | 2016-04-12 | 2017-10-19 | 有限会社メカノトランスフォーマ | 圧電アクチュエータおよび圧電式バルブ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20030048690A (ko) | 2003-06-25 |
| KR100434543B1 (ko) | 2004-06-05 |
| US20030107296A1 (en) | 2003-06-12 |
| JP2006167909A (ja) | 2006-06-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR960011843B1 (ko) | 진동성의 헤드(Head)를 갖는 기억장치 | |
| US6542326B1 (en) | Microactuator-induced reactive forces for fine positioning a sensor | |
| Izuhara et al. | Design and characterization of a thin linear ultrasonic motor for miniature focus systems | |
| JP4881406B2 (ja) | 圧電モータ及び圧電モータ付き電子機器 | |
| JP2006167909A (ja) | 微小駆動素子の変位量増大システム | |
| US7944129B2 (en) | Ultrasonic actuator and magnetic recording apparatus using the same | |
| US6362938B1 (en) | Fine drive and positioning units and memory apparatus | |
| JP4578799B2 (ja) | 圧電アクチュエータ及びそれを用いた電子機器 | |
| US7855946B2 (en) | Recording and reproducing apparatus provided with probe memory | |
| JP2000224876A (ja) | 微小駆動装置及び微小駆動装置を用いた情報記憶装置 | |
| Cho et al. | Swing-arm-type PZT dual actuator with fast seeking for optical disk drive | |
| Zhong et al. | A suspension integrated with a piezoelectric microactuator for dual stage actuation | |
| JP4472825B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JP4080669B2 (ja) | ヘッド位置決め機構 | |
| JP4137334B2 (ja) | ヘッド位置決め機構 | |
| JP3764815B2 (ja) | 記憶装置および微小位置決め装置 | |
| JP2585729B2 (ja) | 磁気デイスク装置用アクセス機構 | |
| JP3130503B2 (ja) | 記憶装置 | |
| JP2582508B2 (ja) | 磁気記憶装置 | |
| JP3142810B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JP2763988B2 (ja) | 磁気記憶装置 | |
| JPH03241534A (ja) | 情報記録再生装置 | |
| JPH1064203A (ja) | 光ピックアップの駆動装置 | |
| JPH05325437A (ja) | リニアガイド装置 | |
| JPH0541548A (ja) | 圧電アクチユエータ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050222 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050302 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050602 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050720 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20051018 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20051021 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060120 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060412 |