JP3142810B2

JP3142810B2 - 圧電アクチュエータ

Info

Publication number: JP3142810B2
Application number: JP10028912A
Authority: JP
Inventors: 英孝前田; 和夫谷; 陽子鈴木; 瑞明鈴木
Original assignee: セイコーインスツルメンツ株式会社
Priority date: 1998-02-10
Filing date: 1998-02-10
Publication date: 2001-03-07
Anticipated expiration: 2018-02-10
Also published as: JPH11235059A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、圧電アクチュエ
ータに関し、更に詳しくは、回転移動体の移動分解能を
切換可能な圧電アクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】現在ＯＡ機器、情報処理機器の小型化が
進み、これに伴って、駆動・搬送に用いる動力源として
圧電アクチュエータが注目されている。このような圧電
アクチュエータの一例として、本願出願人らにより開発
されたマイクロ圧電モータが知られている（電気学会
第１５回センサ・シンポジウム TECHNICAL DIGEST１
８１頁〜１８４頁１９９７年）。

【０００３】図７に、そのマイクロ圧電モータの組立図
を示す。このマイクロ圧電モータ５００は、軸突起部１
１を持つ円盤状の回転移動体１と、振動体ブロック５０
２と、軸突起部１を支持する基盤シャーシ３とから構成
されている。振動体ブロック５０２には、伸縮運動を発
生する圧電素子４を支持体５２１に張着した屈曲変位機
構部５２２が３つ設けてある。前記屈曲変位機構部５２
２はＬ字形状をしており、このＬ字形状の短辺端部は振
動体ブロック５０２の中心部５２３に固定されている。
この屈曲変位機構部５２２は、回転移動体１の摺動部１
２に内包される円の接線方向と一致するように配置す
る。

【０００４】また、回転移動体１および基盤シャーシ３
には磁気吸着力の発生する磁石材料を用い、回転移動体
１と振動体ブロック５０２とを一定加圧下で接触させ
る。また、振動体ブロック５０２、特に屈曲変位機構部
５２２には、前記磁石材料の磁力の影響を受けないよう
に非磁性体材料を用いる。回転移動体１の軸突起部１１
は、振動体ブロック５０２の中空軸穴５２５にて軸支さ
れる。回転移動体１の本体は、金属または樹脂系で形成
し、振動体ブロック５０２との摺動面１２には酸化皮膜
処理を施す。また、回転移動体１や振動体ブロック５０
２などの形成には、エッチング等のフォトファブリケー
ション技術を用いる。

【０００５】図８は、このマイクロ圧電モータの動作原
理を示す説明図である。圧電素子４に特定周波数の駆動
電圧を印加することにより、当該圧電素子４が図中矢印
Ａ方向に伸縮する。この伸縮により屈曲変位機構部５２
２が図中矢印Ｂ方向に振動する。屈曲変位機構部５２２
が振動すると、当該屈曲変位機構部５２２の先端が回転
移動体１に接触する。接触方向は、回転移動体１に対し
て垂直ではなく、図中矢印Ｃの示す方向であるから、そ
の横方向の力の成分Ｃｈにより回転移動体１が移動する
ことになる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記従来のマイクロ圧
電モータ５００では、その動作原理上、圧電素子および
振動体ブロックのサイズによって回転移動体１の移動分
解能が異なるものとなる。例えば微動と粗動とを組み合
わせたような運動を要求される製品に適用する場合、通
電制御のみで移動分解能を切り替えることができれば便
利である。また、運動開始時に高トルクが必要とされる
製品へ適用する場合もある。

【０００７】ところが、上記従来のマイクロ圧電モータ
５００では、圧電素子および振動体ブロックが単一形態
であるため、回転移動体１の移動分解能を切換調整でき
ないという問題点があった。また、トルクに大きな変化
を持たせにくいという問題点があった。

【０００８】そこで、この発明は、上記に鑑みてなされ
たものであって、回転移動体の移動分解能を切換調整で
き且つトルクを大きく変化できる圧電アクチュエータを
提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、請求項１に係る圧電アクチュエータは、回転移動
体と、この回転移動体の内円接線方向に延出した一端固
定他端自由とした複数の梁部であってこれら梁部を２種
以上の異なるサイズのものとすると共に、前記複数の梁
部を略同一円周上に配置した支持体と、当該支持体の梁
部サイズに適合し前記梁部毎に貼設した複数の圧電体と
からなる振動体と、を備えたものである。

【００１０】すなわち、梁部のサイズを異なるものと
し、この梁部に適合する圧電体を貼着すれば、例えばサ
イズの小さい梁部および圧電体を振動励起することで、
回転移動体を微動させることができる。また、回転移動
体を粗動させるときは、サイズの大きな梁部および圧電
体により振動励起する。このようにすれば、通電する圧
電体を切り換えることにより、回転移動体の移動分解能
を切り換えることができる。また、各梁部にそれぞれの
サイズに応じた共振周波数の駆動電圧を印加すれば、最
大トルクを得ることができる。また、梁部を同一円周上
に設ける構成では、構成が簡単になり製造容易となる。

【００１１】また、請求項２に係る圧電アクチュエータ
は、回転移動体と、この回転移動体の内円接線方向に延
出した一端固定他端自由とした複数の梁部であってこれ
ら梁部を２種以上の異なるサイズのものとすると共に、
前記複数の梁部をサイズ毎に異なる径の円周上に配置し
た支持体と、当該支持体の梁部サイズに適合し前記梁部
毎に貼設した複数の圧電体とからなる振動体と、を備え
たものである。

【００１２】上記同様、梁部のサイズを異なるものと
し、この梁部に適合する圧電体を貼着すれば、前記梁部
のサイズにより回転移動体の移動量が異なるのだから、
通電する圧電体を切り換えることによって前記回転移動
体の移動分解能を切り換えることができる。また、各梁
部にそれぞれのサイズに応じた共振周波数の駆動電圧を
印加すれば、最大トルクを得ることができる。また、梁
部をサイズ毎に異なる径の円周上に設ける構成によれ
ば、梁部および圧電体を多く設けることができる。

【００１３】また、請求項３に係る圧電アクチュエータ
は、上記圧電アクチュエータにおいて、前記支持体がサ
イズの異なる梁部毎の分割構造になっており、それぞれ
の分割体を任意に選択して支持体を構成するようにした
ものである。

【００１４】すなわち、要求される回転移動体の移動分
解能があれば、その移動分解能の実現可能サイズの梁部
を持つ分割体を選定し、これらを組み合わせて支持体を
構成するようにする。このようにすれば、支持体構成部
品を共通化できる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、この発明につき図面を参照
しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこ
の発明が限定されるものではない。

【００１６】（実施の形態１）図１は、この発明の実施
の形態１に係るマイクロ圧電モータを示す組立図であ
る。図２は、図１に示した移動体ブロックを示す下面図
である。このマイクロ圧電モータ１００は、軸突起部１
１を持つ円盤状の回転移動体１と、振動体ブロック２
と、軸突起部１１を支持する基盤シャーシ３とから構成
されている。図２および図１に示すように、振動体ブ
ロック２には、大きいサイズの支持体２１ａと、小さい
サイズの支持体２１ｂとの２種類を円周方向に３個ずつ
交互に配置してある。支持体２１ａの下面には、大きい
サイズの圧電素子４ａが貼着してある。支持体２１ｂの
下面には、小さいサイズの圧電素子４ｂが貼着してあ
る。支持体２１ａと圧電素子４ａとで屈曲変位機構部２
２ａを、支持体２１ｂと圧電素子４ｂとで屈曲変位機構
部２２ｂを構成する。

【００１７】屈曲変位機構部２２ａおよび屈曲変位機構
部２２ｂ（屈曲変位機構部２２）はＬ字形状をしてお
り、このＬ字形状の短辺端部２２’は振動体ブロック２
の中心部２３に固定されている。また、屈曲変位機構部
２２ａと屈曲変位機構部２２ｂとは、振動体ブロック２
の外周円に沿って交互に略均等配置されている。外径は
数ミリ程度である。さらに、この屈曲変位機構部２２
は、前記回転移動体下面の摺動部１２に内包される円の
接線方向と一致するように配置する。

【００１８】前記屈曲変位機構部２２の自由端が描く楕
円運動の方向によって、回転移動体１の回転方向が決ま
る。ここでは、回転移動体１を軸支した構成であるか
ら、屈曲変位機構部２２の運動軌跡を回転移動体１の運
動軌跡に一致させてやれば、屈曲変位機構部２２から回
転移動体１への運動転換が効率的なものとなる。図中で
は屈曲変位機構部２２が時計回りに延出してあるが、こ
の延出方向を反対にすると、回転移動体１の回転方向が
反対になる。また、回転中心から屈曲変位機構部２２ま
での距離と、振動体ブロック２に設ける屈曲変位機構部
２２の形状および数とにより、マイクロ圧電モータ１０
０の回転トルクおよび回転速度が決まる。これら回転中
心から屈曲変位機構部２２までの距離や、屈曲変位機構
部２２の形状および数は、要求されるモータの仕様に基
づき設定する。この際、各屈曲変位機構部２２の固有振
動数は形状に依存するので、シミュレーションモデルの
結果と実験データとから、仕様に合うよう決定する。

【００１９】前記圧電素子４とは、歪発生機能、共振機
能および電圧発生機能を兼ね備えた材料をいう。すなわ
ち、印加された電圧に応じて応力ないし変位を生じ、印
加電圧の周波数により共振現象を生じさせ、加えられた
圧力に応じて電圧が発生する特性を示す材料である。本
例の圧電素子４には、圧電定数の高い薄膜ジルコンチタ
ン酸鉛を用いてある。また、チタン酸バリウム、ニオブ
酸リチウムやジルコンチタン酸鉛などを用いても良い。
また、これら圧電セラミックスの代わりに、傾斜機能材
料やリチウムナイオベートを用いることもできる。

【００２０】振動体ブロック２には、ステンレス、ベリ
リウム銅、リン青銅、黄銅、ジュラルミン、チタンやシ
リコン材の金属系または非金属系の弾性材料を用いる。
また、回転移動体１および基盤シャーシ３には磁気吸着
力の発生する磁石材料を用い、回転移動体１と振動体ブ
ロック２とを一定加圧下で接触させている。例えば回転
移動体１にはステンレス系、基盤シャーシ３にはネオジ
ウム系の磁石材料を用いる。この磁石材料によって基盤
シャーシ３が回転移動体側に引き寄せられるので、回転
移動体１の摺動部１２と振動体ブロック２の屈曲変位機
構部２２との間で安定した密着性が得られる。また、振
動体ブロック２、特に屈曲変位機構部２２には、前記磁
石材料の磁力の影響を受けないように非磁性体材料を用
いるのが好ましい。

【００２１】回転移動体１の軸突起部１１は、振動体ブ
ロック２の中空軸穴２５に回転自在に軸支してある。逆
に、回転移動体側に中空軸穴を設け、振動体ブロック側
に軸突起部を設けるようにしてもよい。回転移動体１の
摺動部１２は、屈曲変位機構部２２と摩擦する部分であ
るから、摩擦係数が大きいこと、耐磨耗性に優れるこ
と、安定した摩擦係数を維持できることなどの要求を満
たす材料を用いるのが好ましい。例えば回転移動体１の
本体を金属または樹脂で形成しておき、振動体ブロック
２との摺動面１２に酸化皮膜処理を施すようにする。ま
た、前記摺動面１２を、セルロース系繊維、カーボン系
繊維、ウィスカとフェノール樹脂との複合材料、ポリイ
ミド樹脂とポリアミド樹脂との複合材料を用いて形成す
るようにしてもよい。

【００２２】回転移動体１や振動体ブロック２の形成に
は、エッチング等のフォトファブリケーション技術を用
いるのが好ましい。非機械加工プロセスを用いること
で、加工形成時に発生する変形、応力および機械的スト
レスを排除できるためである。また、部品の高精度化よ
り、各要素部品の組立調整工程を最小限に抑えることが
できると共に、機能および再現性が安定するためであ
る。本例の屈曲変位機構部２２は、百ミクロン程度の銅
系材料をエッチングすることにより形成する。

【００２３】また、前記支持体２１と圧電素子４とは接
着により一体化する。係る接着に要求される条件は、非
常に薄い接着層であること、接着層が非常に硬く且つ強
靱であること、支持体２１と圧電素子４との接着後は共
振周波数付近の抵抗値が小さいことである。支持体２１
と圧電素子４との間には、直接接合または接着剤による
接合であっても接合界面が存在する。この接合界面は、
支持体２１と圧電素子４との間の伝搬特性を決める重要
な因子となる。このため、接着剤の特性およびその膜厚
管理が重要となる。例えば前記接着剤には、ホットメル
トおよびエポキシ樹脂に代表される高分子接着材を用い
る。本例では、エポキシ系の接着剤を用いて最適膜厚に
なるようにしている。なお、接着剤を用いないで圧電素
子４を直接接合してもよい。また、薄膜形成、圧膜形成
のプロセス手段により圧電素子４を設けるようにしても
よい。

【００２４】また、屈曲変位機構部２２としては、１枚
の圧電素子で構成されるユニモルフ型、２枚の圧電素子
で構成されるバイモルフ型、または、４枚以上の圧電素
子で構成されるマルチモルフ型があり、いずれを用いる
ようにしても良い。圧電素子４や支持体２１の材料およ
びこれらの接着方法は、マイクロ圧電モータ１００に要
求される屈曲変位機構部２２の変位量、力、応答性およ
び構造的制約条件により設定される。本例の屈曲変位機
構部２２では、ユニモルフ型構成を採用してあある。変
位電圧特性上でヒステリシスを持ちにくい特性を持つた
めである。また、バイモルフ型と比較して変位量は小さ
いが発生力が大きいこと、回転移動体の負荷荷重および
加圧力が適当であるためである。なお、マイクロ圧電モ
ータ１００の仕様により、マルチモルフ型を採用し、厚
みを一定に維持した上で層数を増やすことで変位と力と
を増加させることもできる。また、屈曲変位機構部２２
の固定端から自由端にかけてテーパを設け、応答性を向
上させることもできる。係る構成による振動体ブロック
２によれば、屈曲変位機構部２２の屈曲変位を極めて安
定に励起することができる。

【００２５】符号５は、圧電素子４ａ、４ｂに電力を供
給する電源である。電源５には、切換部６が接続されて
いる。選択部６は、屈曲変位機構部２２ａまたは／およ
び屈曲変位機構部２２ｂを選択する。回転移動体１を微
動させるときは、小さい屈曲変位機構部２２ａを選択
し、圧電素子４ａに電力を供給する。回転移動体１を粗
動させるときは大きい屈曲変位機構部２２ｂを選択し、
圧電素子４ｂに電力を供給する。また、最大トルクを得
るときには、屈曲変位機構部２２ａと屈曲変位機構部２
２ｂとの両方を選択して、圧電素子４ａ、４ｂに電力を
供給する。選択部６の選択は、このマイクロ圧電モータ
１００を適用する装置の制御部Ｃなどにより行う。

【００２６】図３に、入力信号を印加した時の屈曲変位
機構部２２の固定端から自由端の振動挙動を示す。横軸
の左端から右端が、屈曲変位機構部２２の固定端から自
由端までの有効長となる。縦軸は屈曲変位機構部２２の
変位量を表す。変位量が０のときは、振動が励起されて
いないことを示す。屈曲変位機構部２２は、入力信号の
印加条件によって微少な変位および力の混在する振動を
発し、縦運動と楕円運動を励起する。振動モードでは、
屈曲変位機構部２２の変位が正側に位置するので、当該
屈曲変位機構部２２から回転移動体１に運動が伝わる。
また、回転移動体１の回転方向は、楕円運動の横方向成
分により決まる。このため、振動体ブロック２の屈曲変
位機構部２２は、回転移動体１に要求される回転方向に
従って配置する。この屈曲変位機構部２２の配置方向に
よって、回転移動体１が時計周りに回転するか、反時計
周りに回転するかが決まる。

【００２７】屈曲変位機構部２２に入力する駆動電圧お
よび周波数は、屈曲変位機構部２２の寸法、形状に応じ
た固有振動数に合致するように調整する。入力信号を共
振周波数近傍に設定すれば屈曲変位機構部２２の最大振
幅が得られるからである。屈曲変位機構部２２ａと屈曲
変位機構部２２ｂとでは、サイズが異なるためそれぞれ
固有振動数が異なる。信号発生器６は、屈曲変位機構部
２２ａおよび屈曲変位機構部２２ｂの固有振動数の信号
を発生する。なお、振動体ブロック２の振動モードに
は、屈曲変位機構部２２の長辺方向を利用した変位拡大
の１次振動モードと２次以上の振動モードとによる運動
機構が有効利用可能である。

【００２８】実験の結果、入力信号の電圧振幅が、０．
５〜数十ボルト、周波数が数十Ｋ〜数百Ｋヘルツの範囲
で、屈曲変位機構部２２の各振動モードが確認できた。
また、２次振動モード以上を用いるのが好ましい。さら
に、入力信号の位相差を利用したり、デューティ比を制
御したり、多重振動モードを利用することにより、回転
移動体１を安定して回転させることができる。

【００２９】（実施の形態２）図４は、この発明の実施
の形態２に係るマイクロ圧電モータの振動体ブロックを
示す下面図である。この実施の形態２に係るマイクロ圧
電モータは、実施の形態１に係るマイクロ圧電モータ１
００と略同様の構成であるが、振動体ブロック８の形状
が異なる。以下、実施の形態１との相違点について説明
し、同一の構成については説明および図示を省略する。
この振動体ブロック８は、大きいサイズの支持体８１ａ
を内側周に６個均等配置し、小さいサイズの支持体８１
ｂを外側周に１２個均等配置した構成である。これら支
持体８１は、Ｌ字形状をしており、短辺端部で固定され
ている。また、支持体８１ａの下面には、大きいサイズ
の圧電素子４ａが貼着してある。支持体８１ｂの下面に
は、小さいサイズの圧電素子４ｂが貼着してある。支持
体８１ａと圧電素子４ａとで屈曲変位機構部８２ａを、
支持体８１ｂと圧電素子４ｂとで屈曲変位機構部８２ｂ
を構成する。屈曲変位機構部８２ａおよび屈曲変位機構
部８２ｂは、回転移動体下面の摺動部（図１参照）に内
包される円の接線方向と一致するように配置されてい
る。

【００３０】このように、サイズの異なる屈曲変位機構
部８２ａと屈曲変位機構部８２ｂとを異なる径の円周上
に配置しても、屈曲変位機構部２２ａと屈曲変位機構部
２２ｂとを別々に駆動することで、回転移動体の微動ま
たは粗動の切換をすることができる。また、屈曲変位機
構部２２ａと屈曲変位機構部２２ｂとの両方を駆動する
ことで、最大トルクを得ることができる。なお、この実
施の形態２では、大きいサイズの屈曲変位機構部８２ａ
を内側周、小さいサイズの屈曲変位機構部８２ｂを外側
周に配置しているが、この逆、すなわち大きいサイズの
屈曲変位機構部８２ａを外側周、小さいサイズの屈曲変
位機構部８２ｂを内側周に配置するようにしてもよい。
また、屈曲変位機構部８２ａおよび屈曲変位機構部８２
ｂの個数は、上記実施の形態１および２のものに限られ
ない。

【００３１】（実施の形態３）図５は、この発明の実施
の形態３に係るマイクロ圧電モータの振動体ブロックを
示す斜視図である。この実施の形態３に係るマイクロ圧
電モータは、実施の形態１に係るマイクロ圧電モータ１
００と略同様の構成であるが、振動体ブロック９の構造
が異なる。以下、実施の形態１との相違点について説明
し、同一の構成については説明および図示を省略する。
この振動体ブロック９は、分割体９ａと分割体９ｂとの
２分割構造である。分割体９ａは、大きいサイズの支持
体９１ａを３個均等配置した構成である。支持体９１ａ
の下面には、大きいサイズの圧電素子４ａが貼着してあ
る。支持体９１ａと圧電素子４ａとで屈曲変位機構部９
２ａを構成する。符号９３ａは、分割体９ｂを填め込む
填込部である。また、分割体９ｂは、小さいサイズの支
持体９１ｂを３個均等配置した構成である。支持体９１
ｂの下面には、小さいサイズの圧電素子４ｂが貼着して
ある。支持体９１ｂと圧電素子４ｂとで屈曲変位機構部
９２ｂを構成する。符号９３ｂは、分割体９ａの填込部
９３ａに填め込む填込部である。屈曲変位機構部９２ａ
および屈曲変位機構部９２ｂは、回転移動体下面の摺動
部（図１参照）に内包される円の接線方向と一致するよ
うに配置されている。

【００３２】図６に、分割体９ａと分割体９ｂとを組み
立て構成した振動体ブロック９を示す。係る構成では、
屈曲変位機構部９２のサイズが異なる分割体９ａ、９ｂ
を複数用意しておくことで、任意の組み合わせにより振
動体ブロック９を構成することができる。すなわち、屈
曲変位機構部９２のサイズが同じものについては部品を
共通化できるので、製造効率が良くなる。また、要求さ
れる回転移動体の移動分解能に適した屈曲変位機構部９
２を得ることができる。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように、この発明の圧電ア
クチュエータ（請求項１）は、梁部のサイズを異なるも
のとし、この梁部に適合する圧電体を貼着したので、サ
イズの小さい梁部および圧電体により回転移動体を微動
させ、サイズの大きな梁部および圧電体により回転移動
体を粗動させることができる。すなわち、通電する圧電
体を切り換えることにより、回転移動体の移動分解能を
切り換えることができる。また、両梁部を駆動すること
で最大トルクを得ることができる。また、梁部を同一円
周上に設けたので、構成が簡単になり製造容易となる。

【００３４】つぎに、この発明の圧電アクチュエータ
（請求項２）は、梁部のサイズを異なるものとし、この
梁部に適合する圧電体を貼着したので、通電する圧電体
を切り換えることによって前記回転移動体の移動分解能
を切り換えることができる。また、両梁部を駆動すれば
最大トルクを得ることができる。また、梁部をサイズ毎
に異なる径の円周上に設けたので、梁部および圧電体を
多く設けることができる。

【００３５】つぎに、この発明の圧電アクチュエータ
（請求項３）は、支持体がサイズの異なる梁部毎の分割
構造になっており、それぞれの分割体を任意に選択して
支持体を構成するようにしたので、支持体構成部品を共
通化できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態１に係るマイクロ圧電モ
ータを示す組立図である。

【図２】図１に示した振動体ブロックを示す下面図であ
る。

【図３】入力信号を印加した時の屈曲変位機構部の固定
端から自由端の振動挙動を示すグラフ図である。

【図４】この発明の実施の形態２に係るマイクロ圧電モ
ータの振動体ブロックを示す下面図である。

【図５】この発明の実施の形態３に係るマイクロ圧電モ
ータの振動体ブロックを示す斜視図である。

【図６】図５に示した分割体を組み合わせて振動体ブロ
ックとした場合を示す斜視図である。

【図７】従来のマイクロ圧電モータの一例を示す組立図
である。

【図８】図７に示したマイクロ圧電モータの動作原理を
示す説明図である。

【符号の説明】

１００マイクロ圧電モータ１回転移動体１１軸突起部１２摺動部２振動体ブロック３基盤シャーシ４圧電素子２１支持体２２屈曲変位機構部２３中心部２４外周部分２５中空軸穴５電源６選択部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者鈴木瑞明千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地セイコーインスツルメンツ株式会社内 (56)参考文献特開平６−277624（ＪＰ，Ａ) 特開平４−29576（ＪＰ，Ａ) 実開平５−67194（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H02N 2/00

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】回転移動体と、この回転移動体の内円接線方向に延出した一端固定他端
自由とした複数の梁部であってこれら梁部を２種以上の
異なるサイズのものとすると共に、前記複数の梁部を略
同一円周上に配置した支持体と、当該支持体の梁部サイ
ズに適合し前記梁部毎に貼設した複数の圧電体とからな
る振動体と、を備えたことを特徴とする圧電アクチュエ
ータ。
【請求項２】回転移動体と、この回転移動体の内円接線方向に延出した一端固定他端
自由とした複数の梁部であってこれら梁部を２種以上の
異なるサイズのものとすると共に、前記複数の梁部をサ
イズ毎に異なる径の円周上に配置した支持体と、当該支
持体の梁部サイズに適合し前記梁部毎に貼設した複数の
圧電体とからなる振動体と、を備えたことを特徴とする
圧電アクチュエータ。
【請求項３】前記支持体がサイズの異なる梁部毎の分
割構造になっており、それぞれの分割体を任意に選択し
て支持体を構成するようにしたことを特徴とする請求項
１または２に記載の圧電アクチュエータ。