JP4654409B2 - ナノコンポジット磁石の製造方法 - Google Patents
ナノコンポジット磁石の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4654409B2 JP4654409B2 JP2004360408A JP2004360408A JP4654409B2 JP 4654409 B2 JP4654409 B2 JP 4654409B2 JP 2004360408 A JP2004360408 A JP 2004360408A JP 2004360408 A JP2004360408 A JP 2004360408A JP 4654409 B2 JP4654409 B2 JP 4654409B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- magnet
- nanocomposite
- smco
- phase
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/32—Spin-exchange-coupled multilayers, e.g. nanostructured superlattices
- H01F10/3222—Exchange coupled hard/soft multilayers, e.g. CoPt/Co or NiFe/CoSm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y25/00—Nanomagnetism, e.g. magnetoimpedance, anisotropic magnetoresistance, giant magnetoresistance or tunneling magnetoresistance
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/14—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
- H01F41/30—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates for applying nanostructures, e.g. by molecular beam epitaxy [MBE]
- H01F41/302—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates for applying nanostructures, e.g. by molecular beam epitaxy [MBE] for applying spin-exchange-coupled multilayers, e.g. nanostructured superlattices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
- H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
- H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
- H01F1/032—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of hard-magnetic materials
- H01F1/04—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of hard-magnetic materials metals or alloys
- H01F1/047—Alloys characterised by their composition
- H01F1/053—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals
- H01F1/055—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5
- H01F1/057—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5 and IIIa elements, e.g. Nd2Fe14B
- H01F1/0579—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5 and IIIa elements, e.g. Nd2Fe14B with exchange spin coupling between hard and soft nanophases, e.g. nanocomposite spring magnets
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/14—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
- H01F41/18—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates by cathode sputtering
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Hard Magnetic Materials (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Soft Magnetic Materials (AREA)
Description
℃に比べて高いことから、航空機などの高温用磁石材料として注目されており、現在精力的な研究が行われている。バルク用磁石としては一般にSm2(Co,Fe,Cu,Zr
)17の組成に近い焼結磁石が使われているが、近年各種デバイスの小型化が進み、micro-electromechanical system (MEMS) やmagnetic micro actuator system (MAGMAS) などのアクチュエーターなどに用いる数μm程度の膜厚の高い磁石特性を有する薄膜磁石の開発が望まれている。そのため容易に高い保磁力と高い最大エネルギー積(BH)maxの得ら
れる希土類合金系や耐熱性・耐食性に優れたFe−Pt系薄膜磁石の開発研究が盛んに行われている。現在開発の進められている薄膜磁石は、基本的に硬質磁性相のみで構成される磁石で、プロセス中の副産物として晶出する相が存在するものの第2相を積極的に磁石特性の向上に用いた薄膜磁石ではない。
E. F. Kneller and R. Hawig, IEEE Tran. Magn. 27, 3588 (1991) W. Liu, Z, Zhang, J. Liu, L. Chen, L. He X. Sum, D. J.Sellmayer, Adv. Mater., 14 1832 (2002) R. Andreescu and M. J. O'Sea, J. Appl. Phys,. 91 8183 (2002) E. E. Fullerton, J. S. Jiang, M. Grimsditch, C. H. Sowers, S. D. Bader, Phys, Rev. B 58, 12193 (1998)
)(Fe,Co,Nb,B)5.5のナノコンポジット薄膜磁石で約20MGOe(非特許
文献2)、Sm−Co/Co系又はSm−Co/Fe系ナノコンポジット薄膜磁石で約20MGOe(非特許文献3、4)であり、単相焼結磁石の最適値よりも低い値しか得られていないのが現状である。近年の各種デバイスの小型化に対応するためには、数μm程度の膜厚のよりすぐれた磁石特性を有する薄膜磁石の実現が望まれている。
有する硬磁性相と、Feよりなる軟磁性相とで実質的に構成され、硬磁性相である層と、軟磁性相である層とが交互に繰り返し積層された多層膜構造を有し、硬磁性相である層が、SmCo5相にCuが固溶した状態となっていることを特徴とする。
組成を有する硬磁性相と、Fe1-yCoy[yは原子比で0<y<0.4]よりなる軟磁性相とで実質的に構成され、硬磁性相である層と、軟磁性相である層とが交互に繰り返し積層された多層膜構造を有し、硬磁性相である層が、SmCo5相にCuが固溶した状態と
なっていることを特徴とする
従来のSmCo5/FeあるいはSmCo5/Coナノコンポジット薄膜磁石の最大エネルギー積が約20MGOe程度と低い値にとどまっている理由は、SmCo5相とFe相
あるいはCo層を積層したものを成膜後熱処理することにより、SmCo5相とFe相又
はCo相の相互拡散が起こり、界面構造が乱れて十分な交換結合が得られなくなるなど、ナノコンポジット構造の乱れに原因があるのではないかと予測される。
相ないしFeCo相である層のナノコンポジット組織をより微細化するとともに、両層を積層する際に、両層をCu層を介して交互に積層することにより、SmCo5相とFe相
ないしFeCo相の相互拡散を抑制して界面構造を最適化(急峻な界面構造の形成)させて、高い保磁力、高い最大エネルギー積、良好な角形性等のすぐれた磁石特性を有し、使用環境を広く選べ、薄膜磁石として好適に利用することができるナノコンポジット磁石を実現した。この出願の発明のナノコンポジット磁石によれば、30MGOeを超える最大エネルギー積が得られることを確認した。
。Sm(Co,Cu)5層の1層の膜厚が上記範囲であると、硬磁性相と軟磁性相が交換
結合し、高い保磁力及び高い残留磁化が得られ、高い最大エネルギー積の実現に寄与できるようになる。Sm(Co,Cu)5層の1層の膜厚が薄すぎると、相対的に軟磁性層の
体積分率が増えるので保磁力が減少し、最大エネルギー積が減少し、厚すぎると、相対的に軟磁性層が減少するため、残留磁化の増加が得られず、最大エネルギー積の増分が少なくなる。Fe層ないしFeCo層(軟磁性相)の1層の膜厚は3〜10nm程度であることが好ましい。Fe層ないしFeCo層の1層の膜厚が上記範囲であると、同様に、硬磁性相と軟磁性相が交換結合し、高い残留磁化が得られ、高い最大エネルギー積の実現に寄与できるようになる。Fe層ないしFeCo層の1層の膜厚が薄すぎると、残留磁化の増加が得られないため、最大エネルギー積の増分が少なくなり、厚すぎると、磁化反転が容易に起こるため、保磁力が大きく減少し、最大エネルギー積が減少する。また、Sm(Co,Cu)5層とFe層ないしFeCo層との積層膜全体の膜厚は、特に限定されないが
、薄膜磁石として利用する場合は、通常、数μm程度である。
e層ないしFeCo層の組の積層数は、多数組積層することにより厚膜化も可能であるが、薄膜磁石として使用する場合には、その多層膜全体の膜厚に対応させてその積層数を設定する。
〜0.4程度であることが好ましい。このようなCuの組成比は、SmCo5の有する高
い保磁力及び高い残留磁化を発現させ、高い最大エネルギー積の達成に寄与する。
子比で4.5<x<6.5]の組成を有する層とFe層ないしFeCo層を、Cu層を介して、スパッタ法により、交互に繰り返し積層して多層膜を形成した後、熱処理を施すことを特徴とする。
い保磁力及び高い残留磁化を得るために、xは原子比で4.5<x<6.5であることが必要である。xが上記範囲から外れると硬磁性相における保磁力及び残留磁化の値が不十分となり、高い最大エネルギー積を得ることができない。熱処理前で成膜直後のSmCox層はアモルファス相であり、熱処理により、Cu層からCuが拡散して結晶化されたS
m(Co,Cu)5相となる。
を最適化させ、SmCo5相に高い保磁力及び高い残留磁化を発現させる役割をする。
Sm(Co,Cu)5層の1層の膜厚が上記範囲であると、硬磁性相と軟磁性相が交換結
合し、高い保磁力及び高い残留磁化が得られ、高い最大エネルギー積の実現に寄与できるようになる。SmCox層の1層の膜厚が薄すぎると、相対的に軟磁性層の体積分率が増
えるので保磁力が減少し、最大エネルギー積が減少し、厚すぎると、相対的に軟磁性層が減少するため、残留磁化の増加が得られず、最大エネルギー積の増分が少なくなる。Fe層ないしFeCo層の1層の膜厚は3〜10nmであることが好ましい。Fe層ないしFeCo層の1層の膜厚が上記範囲であると、同様に、硬磁性相と軟磁性相が交換結合し、高い残留磁化が得られ、高い最大エネルギー積の実現に寄与できるようになる。Fe層ないしFeCo層の1層の膜厚が薄すぎると、残留磁化の増加が得られないため、最大エネルギー積の増分が少なくなり、厚すぎると、磁化反転が容易に起こるため、保磁力が大きく減少し、最大エネルギー積が減少する。また、Cu層の1層の膜厚は0.3〜1nmであることが好ましい。Cu層の1層の膜厚を上記範囲としたのは、上記のように、SmCo5相とFe相ないしFeCo層の相互拡散を抑制し、界面構造を最適化させ、SmCo5相の高い保磁力及び高い残留磁化を発現させるためである。Cu層の1層の膜厚が上記範囲より薄すぎても、厚すぎても、所期の効果を得ることができなくなる。
層膜全体の膜厚は、特に限定されないが、薄膜磁石として利用する場合は、通常、数μm程度である。また、SmCox層とFe層ないしFeCo層の組の積層数は、多数組積層
することにより厚膜化も可能であるが、薄膜磁石として使用する場合には、その多層膜全体の膜厚に対応させてその積層数を設定する。
度が、上記範囲より低すぎると、Cu層からのCuの拡散及びSm(Co,Cu)5の結
晶化が不十分となって、所望の磁石特性のナノコンポジット磁石が得られなくなり、上記範囲より高すぎると、SmCo5相とFe相ないしFeCo層との相互拡散の抑えができ
にくくなり、所望の磁石特性のナノコンポジット磁石が得られなくなる。また、熱処理時間は、25〜60分程度が好ましい。熱処理時間が短すぎると、Cu層からのCuの拡散及びSm(Co,Cu)5の結晶化が不十分となって、所望の磁石特性のナノコンポジッ
ト磁石が得られなくなり、熱処理時間が長すぎると、SmCo5相とFe相ないしFeC
o層との相互拡散の抑えができにくくなり、所望の磁石特性のナノコンポジット磁石が得られなくなる。
<多層(積層)膜の形成>
下記のスパッタ条件で熱酸化膜付シリコン基板上に、下地層としてCr層を厚さ50nm成膜した上に、その上に、硬磁性相としてSmCo6層を厚さ9nm成膜し、Cu層を
厚さ0.3nm成膜し、軟磁性相としてFe層を5nm、Cu層を厚さ0.3nm、・・・のように、SmCo6層、Fe層を、Cu層を介して、6組積層し、さらにその上にS
mCo6層を厚さ9nm成膜し、最後にその上に、保護層としてCr層を100nm成膜
し、多層膜を作製した。
真空圧(排気):2×10-8Pa
雰囲気:Arガス、0.1Pa
<熱処理>
次に、上記で作製した多層膜を3つ用意し、He雰囲気中で石英管封入し、それぞれ450℃で30分、500℃で30分、525℃で30分加熱して、実施例1〜3のナノコンポジット薄膜磁石を得た。
実施例1〜3において、Cu膜の厚みをそれぞれ0.5nmとしたこと以外は同様にして実施例4〜6のナノコンポジット薄膜磁石を得た。
実施例1〜3において、Cu膜の厚みをそれぞれ0.75nmとしたこと以外は同様にして実施例7〜9のナノコンポジット薄膜磁石を得た。
直後ではSmCo5がアモルファスになっていることがわかる。Cuを含まない加熱処理
した多層膜のX線回折パターンにおいても六方晶のSmCo5に起因する回折線は観測さ
れないが、実施例4のナノコンポジット薄膜磁石では、六方晶のSmCo5に起因する回
折線が観測され、(110)配向となっている。また、図2に、実施例5のナノコンポジット薄膜磁石とCuを含まない多層膜のX線回折パターンを示す。これらから、Cu層をSmCo6層とFe層の間に挿入することによって、SmCo5の結晶化温度が低下していることがわかる。
わかる。
pinning による効果と考えられる。つまりCu相の存在は、SmCO5/Feの相互拡散を抑制する効果のみならず、SmCO5の保磁力を高める効果も奏していることがわかる
。
Claims (2)
- Sm(Co,Cu)5の組成を有する硬磁性相と、Feよりなる軟磁性相とで実質的に構成されるナノコンポジット磁石の製造方法であって、基板上に、SmCox[xは原子比で4.5<x<6.5]の組成を有する層とFe層を、Cu層を介して、スパッタ法により、交互に繰り返し積層して多層膜を形成した後、熱処理を施すことを特徴とするナノコンポジット磁石の製造方法。
- Sm(Co,Cu)5の組成を有する硬磁性相と、Fe1-yCoy[yは原子比で0<y<0.4]よりなる軟磁性相とで実質的に構成されるナノコンポジット磁石の製造方法であって、基板上に、SmCox[xは原子比で4.5<x<6.5]の組成を有する層とFeCo層を、Cu層を介して、スパッタ法により、交互に繰り返し積層して多層膜を形成した後、熱処理を施すことを特徴とするナノコンポジット磁石の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004360408A JP4654409B2 (ja) | 2004-12-13 | 2004-12-13 | ナノコンポジット磁石の製造方法 |
PCT/JP2005/023208 WO2006064937A1 (ja) | 2004-12-13 | 2005-12-13 | ナノコンポジット磁石及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004360408A JP4654409B2 (ja) | 2004-12-13 | 2004-12-13 | ナノコンポジット磁石の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006173210A JP2006173210A (ja) | 2006-06-29 |
JP4654409B2 true JP4654409B2 (ja) | 2011-03-23 |
Family
ID=36587980
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004360408A Expired - Fee Related JP4654409B2 (ja) | 2004-12-13 | 2004-12-13 | ナノコンポジット磁石の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4654409B2 (ja) |
WO (1) | WO2006064937A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4924153B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2012-04-25 | Tdk株式会社 | 磁性材料及びこれを用いた磁石 |
JP5327433B2 (ja) * | 2008-08-22 | 2013-10-30 | ミネベア株式会社 | 微小回転電気機械のロータ磁石の製造方法 |
JP5330785B2 (ja) * | 2008-09-22 | 2013-10-30 | トヨタ自動車株式会社 | NdFeB/FeCoナノコンポジット磁石 |
CN102766835B (zh) * | 2012-07-26 | 2014-05-14 | 内蒙古科技大学 | 一种制备高性能SmCo永磁材料的方法 |
KR102043951B1 (ko) * | 2013-09-24 | 2019-11-12 | 엘지전자 주식회사 | 층구조를 갖는 경연자성 복합 자석 및 이의 제조방법 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04219912A (ja) * | 1990-12-19 | 1992-08-11 | Yaskawa Electric Corp | 希土類薄膜磁石の形成方法 |
JPH07106127A (ja) * | 1993-10-01 | 1995-04-21 | Toshiba Corp | 磁性膜およびそれを用いた磁気記録媒体 |
JPH097833A (ja) * | 1995-06-15 | 1997-01-10 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 薄膜磁石 |
JPH09162034A (ja) * | 1995-12-08 | 1997-06-20 | Yaskawa Electric Corp | 膜磁石及びその形成方法 |
JPH09237714A (ja) * | 1995-12-27 | 1997-09-09 | Hitachi Metals Ltd | 薄膜磁石ならびにr−tm−b系交換スプリング磁石およびその製造方法 |
JPH09266113A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-07 | Hitachi Metals Ltd | 硬磁性薄膜ならびに交換スプリング磁石およびその製造方法 |
JPH11214219A (ja) * | 1998-01-27 | 1999-08-06 | Tdk Corp | 薄膜磁石およびその製造方法 |
JP2005109431A (ja) * | 2003-09-12 | 2005-04-21 | Univ Waseda | Sm−Co合金系垂直磁気異方性薄膜及びその形成方法 |
JP2006084449A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Japan Science & Technology Agency | 磁気力顕微鏡用の磁性探針及びその製造方法 |
-
2004
- 2004-12-13 JP JP2004360408A patent/JP4654409B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-12-13 WO PCT/JP2005/023208 patent/WO2006064937A1/ja active Application Filing
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04219912A (ja) * | 1990-12-19 | 1992-08-11 | Yaskawa Electric Corp | 希土類薄膜磁石の形成方法 |
JPH07106127A (ja) * | 1993-10-01 | 1995-04-21 | Toshiba Corp | 磁性膜およびそれを用いた磁気記録媒体 |
JPH097833A (ja) * | 1995-06-15 | 1997-01-10 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 薄膜磁石 |
JPH09162034A (ja) * | 1995-12-08 | 1997-06-20 | Yaskawa Electric Corp | 膜磁石及びその形成方法 |
JPH09237714A (ja) * | 1995-12-27 | 1997-09-09 | Hitachi Metals Ltd | 薄膜磁石ならびにr−tm−b系交換スプリング磁石およびその製造方法 |
JPH09266113A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-07 | Hitachi Metals Ltd | 硬磁性薄膜ならびに交換スプリング磁石およびその製造方法 |
JPH11214219A (ja) * | 1998-01-27 | 1999-08-06 | Tdk Corp | 薄膜磁石およびその製造方法 |
JP2005109431A (ja) * | 2003-09-12 | 2005-04-21 | Univ Waseda | Sm−Co合金系垂直磁気異方性薄膜及びその形成方法 |
JP2006084449A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Japan Science & Technology Agency | 磁気力顕微鏡用の磁性探針及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006064937A1 (ja) | 2006-06-22 |
JP2006173210A (ja) | 2006-06-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Li et al. | Prospect and status of iron-based rare-earth-free permanent magnetic materials | |
Cui et al. | Nd2Fe14B/FeCo anisotropic nanocomposite films with a large maximum energy product | |
CN115915906A (zh) | 存储器件 | |
Shindo et al. | Magnetic properties of exchange-coupled α-Fe/Nd–Fe–B multilayer thin-film magnets | |
EP2987189B1 (en) | Seed layer for perpendicular magnetic anisotropy (pma) thin film | |
KR100734062B1 (ko) | 영구자석박막 및 그 제조방법 | |
WO2006064937A1 (ja) | ナノコンポジット磁石及びその製造方法 | |
JP3318204B2 (ja) | 垂直磁化膜およびその製造法ならびに 垂直磁気記録媒体 | |
US7285338B2 (en) | Anisotropic thin-film rare-earth permanent magnet | |
JP6117706B2 (ja) | 希土類ナノコンポジット磁石 | |
Cui et al. | Anisotropic behavior of exchange coupling in textured Nd2Fe14B/α-Fe multilayer films | |
US20230039108A1 (en) | Perpendicular mtj element having a soft-magnetic adjacent layer and methods of making the same | |
JP3598171B2 (ja) | 交換スプリング磁石およびその製造方法 | |
CN107134341A (zh) | 一种垂直取向强磁性介质薄膜及其制备方法 | |
JP6923185B2 (ja) | 硬質磁性材料 | |
JPWO2006109615A1 (ja) | 積層型永久磁石 | |
CN1204571C (zh) | 一种纳米复合稀土永磁薄膜材料 | |
JPH07272929A (ja) | 希土類元素−Fe−B系薄膜永久磁石 | |
Pan et al. | (FeCo/Co–M) n soft magnetic multilayers with uniaxial anisotropy and very high saturation magnetization | |
CN114999801B (zh) | 一种提高NdFeB基永磁厚膜矫顽力的方法 | |
JP5390996B2 (ja) | 希土類高配向磁性薄膜とその製造方法、磁器部材および希土類永久磁石 | |
JPH09266113A (ja) | 硬磁性薄膜ならびに交換スプリング磁石およびその製造方法 | |
CN100452471C (zh) | 一种基于硬磁材料的自旋阀磁电阻器件及其制备方法 | |
KR20170108505A (ko) | 복합 영구자석 및 이의 제조방법 | |
KR100776406B1 (ko) | 마이크로 인덕터 및 그 제작 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071026 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100427 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100524 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101130 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101201 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140107 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140107 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |