JP4652932B2 - モールド型電子部品 - Google Patents

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Description

本発明は、モールド樹脂によって封止されたモールド型電子部品に関するものである。
従来、所定形状に加工したリードフレームに半導体チップを装着し、この半導体チップとリードとをワイヤーボンディングなどで導通させた後、モールド樹脂で半導体チップを被覆して絶縁封止したモールド型電子部品が知られている。
モールド樹脂による封止作業では、半導体チップ部分を凹状に窪ませて樹脂注入空間を形成した下金型と上金型とで半導体チップが載設されたリードフレームを挟持し、樹脂注入空間に加熱溶融させたモールド樹脂を圧入して行っている。
ここで、樹脂注入空間における下金型及び上金型の表面には、圧入されたモールド樹脂との接触面に比較的大きな凹凸を形成して、モールド型電子部品のモールド部分の表面の表面粗さが大きくなるようにしている。
このように、モールド部分の表面粗さを大きくすることによって、下金型及び上金型からモールド型電子部品のモールド部分を容易に離型させやすくすることができるとともに、モールド部分の表面に生じたキズやシミを目立たなくして外観の向上を図ることができる。
このようなモールド型電子部品では、モールド部分の上面に標印領域を設けている場合が多く、この標印領域に印刷あるいはレーザー照射を行って所要の標印を行っている。
特にレーザー照射で標印を行う場合には、レーザーによって標印部に溝状の段差を形成して標印しているため、モールド部分の表面の表面粗さが大きいと、標印の段差との差が少なくなって標印の視認性が悪くなるおそれがあるので、モールド部分の表面の表面粗さをできるだけ小さくすることによって標印の視認性を向上させることが行われている(例えば、特許文献1参照。)。
特開平06−143360号公報
しかしながら、モールド部分の表面の表面粗さを小さくした場合には、モールド封止時の下金型あるいは上金型からの離型性が悪くなり、離型不良によって作業中断が生じるおそれがあった。
そこで、モールド部分の表面の表面粗さを大きくして離型性を向上させると標印の視認性が悪くなり、標印の視認性とモールド部分の離型性とがトレードオフの関係となって、作業効率の向上を阻害することとなっていた。
本発明者は、このような現状に鑑み、標印の視認性を高めながらモールド部分の離型性を高めるべく研究開発を行って、本発明を成すに至ったものである。
そこで、請求項1に記載の発明は、半導体チップをモールド樹脂で封止してモールド部を形成し、このモールド部の表面にレーザーによって標印が行われる標印領域を有するモールド型電子部品において、前記標印領域以外における前記モールド部の表面粗さを、前記標印領域における前記モールド部の表面粗さよりも大きくし、前記標印領域における前記モールド部の表面粗さと同じ表面粗さとした低表面粗さ領域を前記標印領域に接続して設けるとともに、この低表面粗さ領域を前記標印領域に対して突出状に設けたことを特徴とするモールド型電子部品である。
請求項2に記載の発明は、半導体チップをモールド樹脂で封止してモールド部を形成し、このモールド部の表面にレーザーによって標印が行われる標印領域を有するモールド型電子部品において、前記標印領域以外における前記モールド部の表面粗さを、前記標印領域における前記モールド部の表面粗さよりも大きくし、前記標印領域における前記モールド部の表面粗さと同じ表面粗さとした低表面粗さ領域を前記標印領域に接続して突出状に設けたことを特徴とするモールド型電子部品である。
請求項3に記載の発明は、半導体チップと、前記半導体チップを封止するモールド部と、前記モールド部の表面にレーザー標印される標印領域と、前記モールド部の表面で、前記標印領域に接続して突出状に設けた低表面粗さ領域と、を有し、前記標印領域における前記モールド部の表面粗さは前記低表面粗さ領域の表面粗さと同じであり、かつ、前記標印領域以外における前記モールド部の表面粗さよりも低いことを特徴とするモールド型電子部品である。
請求項4に記載の発明は、前記標印領域における前記モールド部の表面粗さは3μm以下とすることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のモールド型電子部品である。
請求項5に記載の発明は、前記標印領域以外における前記モールド部の表面粗さは10μm以上としたことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のモールド型電子部品である。
請求項6に記載の発明は、前記低表面粗さ領域は、前記標印領域の横方向の中央部を最頂部として、前記標印領域上下方向に向けて突出させた三角状の領域であることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のモールド型電子部品である。
請求項7に記載の発明は、前記低表面粗さ領域には、押し当て部材を押し当てるための押下領域が形成されたことを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載のモールド型電子部品である。
前記押下領域は、モールド部の対角線上に配置されることを特徴とする請求項7に記載のモールド型電子部品である。
この発明によれば、半導体チップをモールド樹脂で封止してモールド部を形成し、このモールド部の表面にレーザーによって標印が行われる標印領域を有するモールド型電子部品において、標印領域以外におけるモールド部の表面粗さを、標印領域におけるモールド部の表面粗さよりも大きくしたことによって、標印領域では標印の視認性を高めて品質の向上を図ることができるとともに、標印領域以外のモールド部は金型からの離型性を高めて生産性の向上を図ることができる。
また、この発明によれば、標印領域におけるモールド部の表面粗さと同じ表面粗さとした低表面粗さ領域を標印領域に接続して設けるとともに、この低表面粗さ領域を標印領域に対して突出状に設けたことによって、モールド部の離型時に、突出状の低表面粗さ領域に離型にともなう応力を集中させて表面粗さの小さい領域の離型を促しやすくすることができ、標印領域を容易に離型させることができる。
さらに、この発明によれば、標印領域におけるモールド部の表面粗さは3μm以下とし、標印領域以外におけるモールド部の表面粗さは10μm以上としたことによって、標印の視認性と、モールド部の離型性とをバランスさせたモールド型電子部品を提供できる。
本発明のモールド型電子部品では、モールド樹脂によって半導体チップを封止したモールド部の表面に標印を行うための標印領域を設けているものであって、モールド部では標印領域におけるモールド部表面の表面粗さは小さくする一方で、標印領域以外のモールド部表面の表面粗さは、標印領域部分の表面粗さよりも大きくしているものである。
このように、1つのモールド型電子部品に異なる表面粗さの領域を設けることにより、標印の視認性と、モールド部の金型からの離型性をバランスさせることができる。
以下において、図面に基づいて本発明の実施形態を詳説する。本実施形態のモールド型電子部品では、図1に模式的に示すように、リードフレームのアイランド11に半導体チップ12を着設して、この半導体チップ12に設けた外部接続端子とリードフレームの各リード13,13とを金属線14,14によってワイヤーボンディングしており、このように半導体チップ12が載設されたリードフレームをモールド用下金型15とモールド用上金型16とで上下方向に挟持して、半導体チップ12をモールド樹脂によってモールディングしている。
本実施形態では、モールド用下金型15に下部モールド部形成用凹部15aを設けるとともに、モールド用上金型16に上部モールド部形成用凹部16aを設けて、下部モールド部形成用凹部15aと上部モールド部形成用凹部16aとで樹脂注入空間17を形成しており、この樹脂注入空間17の内部に半導体チップ12が位置するようにして樹脂注入空間17に溶融したモールド樹脂を圧入するようにしている。
図1中、16bはモールド用上金型16に設けた離型補助ロッドであって、上部モールド部形成用凹部16aからモールド型電子部品を離型させる際に、離型補助ロッド16bをモールド用上金型16に対して降下させることによりモールド型電子部品を押し下げて、上部モールド部形成用凹部16aからの離型を促すようにしている。
本実施形態では、下部モールド部形成用凹部15aの表面、及び上部モールド部形成用凹部16aの表面には表面処理を行って所要の凹凸を設け、下部モールド部形成用凹部15a及び上部モールド部形成用凹部16aからのモールド型電子部品の離型性を向上させている。
そして、モールド型電子部品のモールド部には、下部モールド部形成用凹部15aの表面と当接したモールド部の下面側に、下部モールド部形成用凹部15aの表面の凹凸が転写されて凹凸が形成され、同様に上部モールド部形成用凹部16aの表面と当接したモールド部の上面側に、上部モールド部形成用凹部16aの表面の凹凸が転写されて凹凸が形成され、この凹凸の大きさがモールド部における表面粗さを規定することとなっている。
特に、本実施形態では、図2に模式的に示すように、モールド部20の上面に標印が形成される標印領域Rを設けており、この標印領域Rにおけるモールド部20の表面粗さを、標印領域R以外におけるモールド部20の表面粗さよりも小さくしている。
すなわち、標印領域R以外におけるモールド部20の表面粗さは、下部モールド部形成用凹部15a及び上部モールド部形成用凹部16aからのモールド型電子部品の十分な離型性が確保できる程度の凹凸が形成されるようにするために、標印領域Rにおけるモールド部20の表面粗さよりも大きい表面粗さとしている。
本実施形態では、標印領域Rに形成されるレーザー標印での標印の深さを10μm程度としているので、標印領域Rでは、モールド部20の表面粗さを3μm以下としている。3μm以上とした場合には、標印の視認性が大きく低下するために望ましくない。
一方、標印領域R以外におけるモールド部20の表面粗さは10μm以上としている。10μm以上とすることによって十分な離型性を得ることができる。なお、10μm以下とした場合には、モールド用下金型15またはモールド用上金型16からモールド部20が離型できずに離型不良を生じる場合があった。
モールド部20を上記した表面粗さとするために、本実施形態では、上部モールド部形成用凹部16a表面を、表面粗さが3μm以下となるようにサンドブラストで表面処理を行い、次いで、上部モールド部形成用凹部16aの標印領域Rの対応部分にマスクを貼着して、さらに表面粗さが10μm以上となるようにサンドブラストで表面処理を行って、モールド用上金型16によって異なる表面粗さを有するモールド部20が形成されるようにしている。
下部モールド部形成用凹部15aは、表面粗さが10μm以上となるようにサンドブラストで表面処理を行っている。上部モールド部形成用凹部16a及び下部モールド部形成用凹部15aの表面処理はサンドブラストによる処理に限定するものではなく、適宜の処理によって上記した表面粗さが得られるようにしてよい。
このように、標印が行われる標印領域Rのモールド部20の表面は、表面粗さを小さくして標印の認識性を高める一方で、標印領域R以外のモールド部20の表面は、表面粗さを大きくすることによって、モールド用下金型15及びモールド用上金型16からのモールド型電子部品の離型性を向上させることができる。
本実施形態では、標印領域Rは、図3に示すように、モールド部20の上面中央部に略矩形状に設けているが、標印領域Rは、矩形形状に限定するものではなく適宜の形状としてよい。図3中、標印領域Rの「BU12345」は、標印例を示しているものである。
特に、標印領域Rには、図4に示すように、標印領域Rにおけるモールド部20の表面粗さと同じ表面粗さとした低表面粗さ領域Sを標印領域Rに接続させて設け、この低表面粗さ領域Sを標印領域Rに対して突出状に設けてもよい。
本実施形態では、低表面粗さ領域Sは、図4における標印領域Rの横方向の中央部から標印領域Rの上下方向の下方に向けて突出している。
このように、低表面粗さ領域Sを設けることによって、上部モールド部形成用凹部16aからモールド部20を離型させる場合に、表面粗さが小さいことによって離型しにくい標印領域R部分及び低表面粗さ領域S部分のモールド部20が最後まで上部モールド部形成用凹部16aに張り付いた状態となった時に、モールド部20の離型のために加えた引き剥がしの力に起因した応力を、標印領域Rに対して突出状となっている低表面粗さ領域Sに集中させて作用させることができ、低表面粗さ領域S部分から速やかに引き剥がしを開始させることができるので、標印領域Rを上部モールド部形成用凹部16aから容易に離型させることができる。
なお、低表面粗さ領域Sは、図4に示したように、矩形状とした標印領域Rの横方向の中央部において下方向あるいは上方向、あるいはその両方に突出状に設けてもよいし、あるいは、図5に示すように、標印領域R'の横方向の中央部を最頂部として、標印領域R'の上下方向に向けてそれぞれ漸次細幅としながら突出させた三角状低表面粗さ領域S'を設けてもよい。
三角状低表面粗さ領域S'を設けることにより、表面粗さの小さい領域を増やすことができるので、標印の視認性を向上させることができるとともに、低表面粗さ領域S'及び標印領域R'で形成される矩形状の領域の角部を、モールド部20の隣り合った2つの角部から等距離に配置できる。
したがって、低表面粗さ領域S'及び標印領域R'で形成される矩形状の領域の角部に、モールド部20の離型のために加えた引き剥がしの力に起因した応力を集中させて作用させることができ、モールド部20を上部モールド部形成用凹部16aから容易に離型させることができる。
あるいは、図6に示すように、低表面粗さ領域S"は、モールド用上金型16に設けた離型補助ロッド16bによるモールド部20の押下領域Tと、モールド部20の上面中央に設けた矩形状の標印領域Rとを接続するように標印領域Rから突出させて設けてもよい。押下領域Tは、低表面粗さ領域S"内に含まれるように低表面粗さ領域S"を設けることが望ましい。
特に、押下領域Tは、通常、平面視矩形状のモールド部20の対角線上に配置されることが多く、低表面粗さ領域S"は、モールド部20の対角線に沿って伸延させて設けることが望ましい。
このように、離型補助ロッド16bによって押下されるモールド部20の押下領域Tに低表面粗さ領域S"を位置させていることにより、離型補助ロッド16bによるモールド部20の押し下げにともなって、上部モールド部形成用凹部16aから比較的引き剥がしにくい低表面粗さ領域S"を離型補助ロッド16bによって速やかに引き剥がすことができ、しかも、低表面粗さ領域S"に沿って引き剥がしを進行させることができるので、そのまま標印領域Rまで上部モールド部形成用凹部16aから容易に離型させることができる。
本発明にかかるモールド型電子部品のモールド工程の説明図である。 本発明の実施形態にかかるモールド型電子部品の断面概略模式図である。 標印領域の形成状態を示すモールド型電子部品の平面模式図である。 他の実施形態のモールド型電子部品の平面模式図である。 他の実施形態のモールド型電子部品の平面模式図である。 他の実施形態のモールド型電子部品の平面模式図である。
11 アイランド
12 半導体チップ
13 リード
14 金属線
15 モールド用下金型
15a 下部モールド部形成用凹部
16 モールド用上金型
16a 上部モールド部形成用凹部
16b 離型補助ロッド
17 樹脂注入空間
20 モールド部
R 標印領域
S 低表面粗さ領域

Claims (8)

  1. 半導体チップをモールド樹脂で封止してモールド部を形成し、このモールド部の表面にレーザーによって標印が行われる標印領域を有するモールド型電子部品において、
    前記標印領域以外における前記モールド部の表面粗さを、前記標印領域における前記モールド部の表面粗さよりも大きくし
    前記標印領域における前記モールド部の表面粗さと同じ表面粗さとした低表面粗さ領域を前記標印領域に接続して設けるとともに、この低表面粗さ領域を前記標印領域に対して突出状に設けたことを特徴とするモールド型電子部品。
  2. 半導体チップをモールド樹脂で封止してモールド部を形成し、このモールド部の表面にレーザーによって標印が行われる標印領域を有するモールド型電子部品において、
    前記標印領域以外における前記モールド部の表面粗さを、前記標印領域における前記モールド部の表面粗さよりも大きくし、
    前記標印領域における前記モールド部の表面粗さと同じ表面粗さとした低表面粗さ領域を前記標印領域に接続して突出状に設けたことを特徴とするモールド型電子部品。
  3. 半導体チップと、
    前記半導体チップを封止するモールド部と、
    前記モールド部の表面にレーザー標印される標印領域と、
    前記モールド部の表面で、前記標印領域に接続して突出状に設けた低表面粗さ領域と、を有し、
    前記標印領域における前記モールド部の表面粗さは前記低表面粗さ領域の表面粗さと同じであり、かつ、前記標印領域以外における前記モールド部の表面粗さよりも低いことを特徴とするモールド型電子部品
  4. 前記標印領域における前記モールド部の表面粗さは3μm以下とすることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のモールド型電子部品。
  5. 前記標印領域以外における前記モールド部の表面粗さは10μm以上としたことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のモールド型電子部品。
  6. 前記低表面粗さ領域は、前記標印領域の横方向の中央部を最頂部として、前記標印領域上下方向に向けて突出させた三角状の領域であることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のモールド型電子部品。
  7. 前記低表面粗さ領域には、押し当て部材を押し当てるための押下領域が形成されたことを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載のモールド型電子部品。
  8. 前記押下領域は、モールド部の対角線上に配置されることを特徴とする請求項7に記載のモールド型電子部品。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5715747B2 (ja) * 2008-09-30 2015-05-13 セミコンダクター・コンポーネンツ・インダストリーズ・リミテッド・ライアビリティ・カンパニー 回路装置およびその製造方法
JP5779227B2 (ja) 2013-03-22 2015-09-16 株式会社東芝 半導体装置の製造方法
KR102000348B1 (ko) * 2016-09-28 2019-07-15 아사히 가세이 일렉트로닉스 가부시끼가이샤 자기 센서
JP7527906B2 (ja) 2020-09-10 2024-08-05 ローム株式会社 半導体装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61158953U (ja) * 1985-03-25 1986-10-02
JPS62221138A (ja) * 1986-03-24 1987-09-29 Akita Denshi Kk 半導体装置およびその製造に用いるモ−ルド金型
JPS63175448A (ja) * 1987-01-16 1988-07-19 Hitachi Ltd 半導体装置
JP2599473B2 (ja) * 1990-01-23 1997-04-09 松下電子工業株式会社 樹脂封止型半導体用パッケージ

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