JP2005209805A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】安定して製造することが可能な半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体パッケージ1の製造方法は、表面にボンディングパッドが形成された半導体チップ6と、表面にボンディングパッドが形成された半導体チップ9とを備える半導体パッケージの製造方法であって、以下の工程を備えている。ダイパッド5に半導体チップ6が搭載される。半導体チップ6のボンディングパッドに金線7が接続される。半導体チップ6上にスペーサ8が搭載されその上に半導体チップ9が搭載され、半導体チップ9の表面上に保持板4が配置される。半導体チップ9の表面上に保持板4を配置した後で、半導体チップ9のボンディングパッドに金線10が接続される。
【選択図】図2
【解決手段】半導体パッケージ1の製造方法は、表面にボンディングパッドが形成された半導体チップ6と、表面にボンディングパッドが形成された半導体チップ9とを備える半導体パッケージの製造方法であって、以下の工程を備えている。ダイパッド5に半導体チップ6が搭載される。半導体チップ6のボンディングパッドに金線7が接続される。半導体チップ6上にスペーサ8が搭載されその上に半導体チップ9が搭載され、半導体チップ9の表面上に保持板4が配置される。半導体チップ9の表面上に保持板4を配置した後で、半導体チップ9のボンディングパッドに金線10が接続される。
【選択図】図2
Description
本発明は、半導体装置およびその製造方法に関し、より特定的には、安定して製造することが可能な半導体装置およびその製造方法に関する。
従来、表面実装型の半導体パッケージは、銅合金または鉄−ニッケル系合金のリードフレームのダイパッドに半導体チップがダイボンディングにより搭載され、半導体チップのボンディングパッドとリードフレームのリードの先端とが金線等の金属細線でワイヤーボンディングされ、所定の形状を持った金型にて樹脂モールドされた構成を有していた。
近年、半導体パッケージの小型化や、1つで複数の機能を持つ半導体パッケージが要求されている。そこで、このような要求を満たすことのできる構成として、オーバーハング構造の半導体パッケージが提案されている。
オーバーハング構造の半導体パッケージの構成としては、大きく分けて2種類の構成が提案されている。オーバーハング構造の半導体パッケージの一の構成として、リードフレームと、リードフレームのダイパッドの表面に搭載されたダイパッドよりも面積の大きな第1の半導体チップと、リードフレームのダイパッドのもう一方の表面に搭載されたダイパッドよりも面積の大きな第2の半導体チップと、第1および第2の半導体チップの各々の表面の端部に形成されたボンディングパッド(電極パッド)とリードフレームのリード部の先端とを電気的に接続する金線と、これらを封止するための樹脂モールドとを有する半導体パッケージが提案されている。
また、オーバーハング構造の半導体パッケージの他の構成として、リードフレームと、リードフレームのダイパッドの表面に搭載されたダイパッドよりも面積の大きな第1の半導体チップと、第1の半導体チップ上に直接、またはスペーサを挟んで搭載された第1の半導体チップよりも面積の大きな第2の半導体チップと、第1および第2の半導体チップの各々の表面の端部に形成されたボンディングパッドとリードフレームのリード部の先端とを電気的に接続する金線と、これらを封止するための樹脂モールドとを有する半導体パッケージが提案されている。
なお、従来のオーバーハング構造の半導体パッケージの構成は、たとえば特開2001−358286号公報に開示されている。
特開2001−358286号公報
半導体パッケージの製造工程において、半導体チップのボンディングパッドに金線を接合する際には、半導体チップの表面の周辺部分にあるボンディングパッドに対して金線を押し付ける必要がある。しかしながら、上記オーバーハング構造の半導体パッケージでは、半導体パッケージの形状に起因して、半導体チップを裏面から支えることができなかった。
たとえば、上記一の構成のオーバーハング構造の半導体パッケージでは、第1の半導体チップの裏面にダイパッドを挟んで第2の半導体チップが搭載されているので、第1の半導体チップのボンディングパッドに接合している金線(以下、第1の金線)は、第2の半導体チップの裏面付近に存在している。このため、第2の半導体チップのボンディングパッドに金線(以下、第2の金線)を接合する際に、治工具が第1の金線に妨げられて、第2の半導体チップを裏面から支えることができないという問題があった。また、始めに第2の半導体チップを裏面から支えながら第2の金線を接合した後で、第1の金線を接合しようとすると、第2の金線と第1の半導体チップとのわずかな隙間に第1の金線を挿入して接合しなければならない。このため、第2の金線を接合した後で第1の金線を接合することも困難であった。
また、上記他の構成のオーバーハング構造の半導体パッケージでは、第1の半導体チップの上に第2の半導体チップが搭載されているので、第1の半導体チップのボンディングパッドに接合している第1の金線は、第2の半導体チップの裏面付近に存在している。このため、上記他の構成の半導体パッケージでも同様に、治工具が第1の金線に妨げられて、第1または第2の半導体チップを裏面から支えることができないという問題があった。
このように、従来のオーバーハング構造の半導体パッケージの製造工程においては、半導体チップのボンディングパッドに金線を接合する際に、半導体チップを裏面から支えることはできなかった。このため、金線を押し付ける力を受けて半導体チップの位置がずれたり、半導体チップが撓んだりしてしまい、オーバーハング構造の半導体パッケージを安定して製造することができないという問題があった。特に、搭載される半導体チップの面積が下のチップの面積と比較して非常に大きい場合に、半導体チップの位置のずれや半導体チップの撓みは発生しやすいので、上記問題に起因して搭載する半導体チップの面積が制約されていた。
したがって、本発明の目的は、安定して製造することが可能な半導体装置およびその製造方法を提供することである。
本発明の半導体装置の製造方法は、表面に第1電極が形成された第1の半導体チップと、表面に第2電極が形成された第2の半導体チップとを備える半導体パッケージの製造方法であって、以下の工程を備えている。フレームに第1の半導体チップが搭載される。フレームに第2の半導体チップが搭載される。第1の半導体チップの第1電極に導線が接続される。第2の半導体チップの表面上に保持部材が配置される。第1電極に導線を接続し、第2の半導体チップの表面上に保持部材を配置した後で、第2の半導体チップの第2電極に導線が接続される。
本発明の半導体装置の製造方法によれば、第2の半導体チップが表面から保持部材により保持されるので、第2電極に対して導線が押し付けられても、第2の半導体チップの位置がずれたり、第2の半導体チップが撓んだりしなくなる。したがって、半導体装置を安定して製造することができる。また、裏面から第2の半導体チップを保持しなくてすむので、第1の半導体チップの第1電極に接合している導線に保持部材が妨げられることがなくなり、容易に第2の半導体チップを保持することができる。
以下、本発明の実施の形態について図に基づいて説明する。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1における半導体装置の構成を模式的に示す平面図である。図2は、図1のII−II線に沿った断面図である。
図1は、本発明の実施の形態1における半導体装置の構成を模式的に示す平面図である。図2は、図1のII−II線に沿った断面図である。
図1および図2に示すように、本実施の形態の半導体装置としての半導体パッケージ1は、モールド2と、複数のリード3と、保持部材として保持板4と、フレームとしてのダイパッド5と、第1の半導体チップとしての半導体チップ6と、第2の半導体チップとしての半導体チップ9と、導線としての複数の金線7および10とを備えている。保持板4は、たとえば略正方形の平面形状を有しており、保持板4の表面は半導体パッケージ1の上面のモールド2から露出している。また、複数のリード3は、半導体チップ6および9の外周を囲むように配置されており、リード3の一端は外部へ露出している。
半導体チップ6は、図示しない銀ペーストなどにより固着されてダイパッド5の一方の表面上に搭載されている。半導体チップ6の表面上にはスペーサ8が配置されており、スペーサ8を挟んで半導体チップ6の表面上に半導体チップ9が搭載されている。さらに、半導体チップ9の表面上には保持板4が配置されている。ダイパッド5と、半導体チップ6および9と、スペーサ8との各々は、たとえば略正方形の平面形状を有している。また、保持板4は、たとえばシリコン、銅、または鉄などよりなっている。
半導体チップ6の表面の周辺部分には、図示しない複数のボンディングパッドが形成されており、複数のボンディングパッドの各々と複数のリード3の各々とが金線7によって接続されている。また、半導体チップ9の表面には、図示しない複数のボンディングパッドが形成されており、複数のボンディングパッドの各々と複数のリード3の各々とが金線10によって接続されている。金線10は、金線7の上を跨ぐように配置されている。複数のリード3と、保持板4と、ダイパッド5と、半導体チップ6および9と、スペーサ8と、金線7および10との各々は、モールド2により封止されている。
続いて、本実施の形態の半導体パッケージ1の製造方法について説明する。
図3〜図8は、本発明の実施の形態1における半導体パッケージの製造方法を工程順に示す図である。なお、図3、図4、図6、図7は側面図であり、図5および図8は平面図である。
始めに、図3に示すように、リードフレームのダイパッド5と半導体チップ6とをたとえば銀ペーストなどで接着することにより、半導体チップ6がダイパッド5に搭載される。
次に、図4および図5に示すように、半導体チップ6の表面の周辺部分に形成された第1電極としての複数のボンディングパッド6aの各々と、複数のリード3の各々とが、金線7により接続される。
ボンディングパッド6aに金線7を接合する際には、半導体チップ6が従来の方法により保持される。すなわち、ボンディングパッド6aに対応する半導体チップ6の裏面に治工具30が配置され、半導体チップ6が治工具30によって裏面から支えられる。これにより、金線7を接合する際に、半導体チップ6の周辺部分に加わる下向き(図4中下方向)の力が治工具30で受け止められる。金線7を接合した後で治工具30は除去される。
次に、図6に示すように、半導体チップ6とスペーサ8とをたとえば銀ペーストなどで接着することにより、半導体チップ6の表面上にスペーサ8が配置される。そして、スペーサ8と半導体チップ9とをたとえば銀ペーストなどで接着することにより、スペーサ8を挟んで半導体チップ6の表面上に半導体チップ9が搭載される。さらに、本実施の形態においては、半導体チップ9と保持板4とをたとえば銀ペーストなどで接着することにより、半導体チップ9の表面上に保持板4が配置される。
次に、図7および図8に示すように、半導体チップ9の表面の周辺部分に形成された第2電極としての複数のボンディングパッド9aの各々と、複数のリード3の各々とが、金線10により接続される。
ボンディングパッド9aに金線10を接合する際には、半導体チップ9の周辺部分に下向き(図7中下方向)の力が加わる。この力を受けて、中心部分が盛り上がるように半導体チップ9は撓もうとする。しかし、本実施の形態では保持板4が半導体チップ9の表面上に配置されているので、保持板4の自重により半導体チップ9の中心部分に対して下向きの力を加えることができる。保持板4の自重による力により、半導体チップ9が撓まなくなる。また、保持板4の自重による力により、半導体チップ9の位置を固定することができるので、ボンディングパッド9aに金線10を接合する際に半導体チップ9の位置がずれなくなる。
その後、図2に示すように、複数のリード3と、保持板4と、ダイパッド5と、半導体チップ6および9と、スペーサ8と、金線7および10との各々が、たとえばエポキシ系の熱硬化性の封止用樹脂よりなるモールド2により樹脂封止される。すなわち、本実施の形態においては、表面がモールド2から露出するように保持板4も樹脂封止されている。
そして、モールド2から露出しているリード3が任意の形状に加工され、半導体パッケージ1が完成する。
そして、モールド2から露出しているリード3が任意の形状に加工され、半導体パッケージ1が完成する。
本実施の形態の半導体パッケージ1およびその製造方法によれば、半導体チップ9が表面から保持板4により保持されるので、ボンディングパッド9aに対して金線10が押し付けられても、半導体チップ9の位置がずれたり、半導体チップ9が撓んだりしなくなる。したがって、半導体パッケージを安定して製造することができる。また、裏面から半導体チップ9を保持しなくてすむので、半導体チップ6のボンディングパッド6aに接合している金線7に保持板が妨げられることがなくなり、容易に半導体チップ9を保持することができる。
本実施の形態の半導体パッケージ1およびその製造方法において、半導体チップ6はダイパッド5の一方の表面上に搭載され、半導体チップ9は半導体チップ6の表面上に搭載される。
これにより、半導体パッケージ1が、ダイパッド5の表面上に半導体チップ6および半導体チップ9が積層した構造となる。
本実施の形態の半導体パッケージ1およびその製造方法において、保持板4はシリコンを含んでいる。
シリコンは硬いので、半導体チップ9を安定して保持することができる。また、シリコンは、保持板4以外でも半導体パッケージ1に含まれている材料である。このため、半導体パッケージ1が保持板4を含むような構成となっても、半導体パッケージ1内に不純物(異なる材料)を混入することにはならない。したがって、不純物が混入することにより半導体パッケージ1の品質が低下することを抑止できる。さらに、半導体チップ9は通常シリコンを主成分としているので、保持板4と半導体チップ9との線膨張係数が近くなる。このため、半導体チップ9の動作時に半導体チップ9が高温になった場合でも、半導体チップ9と保持板4との間に線膨張係数の違いによる熱応力が発生しにくくなる。
本実施の形態の半導体パッケージ1およびその製造方法において、保持板4は銅を含んでいる。
銅は硬いので、半導体チップ9を安定して保持することができる。また、銅は、保持板4以外でも半導体パッケージ1に含まれている材料である。このため、半導体パッケージ1が保持板4を含むような構成となっても、半導体パッケージ1内に不純物(異なる材料)を混入することにはならない。したがって、不純物が混入することにより半導体パッケージ1の品質が低下することを抑止できる。さらに、銅は熱伝導率が高いので、半導体チップ9の動作時に半導体チップ9が高温になった場合でも、半導体チップ9の熱が保持板4を介して外部へ放熱されやすくなる。
本実施の形態の半導体パッケージ1およびその製造方法において、保持板4は鉄を含んでいる。
鉄は硬いので、半導体チップ9を安定して保持することができる。また、鉄は、保持板4以外でも半導体パッケージ1に含まれている材料である。このため、半導体パッケージ1が保持板4を含むような構成となっても、半導体パッケージ1内に不純物(異なる材料)を混入することにはならない。したがって、不純物が混入することにより半導体パッケージ1の品質が低下することを抑止できる。さらに、半導体チップ9は通常シリコンを主成分としており、鉄とシリコンとの線膨張係数は近い。このため、保持板4と半導体チップ9との線膨張係数が近くなり、半導体チップ9の動作時に半導体チップ9が高温になった場合でも、半導体チップ9と保持板4との間に線膨張係数の違いによる熱応力が発生しにくくなる。
本実施の形態の半導体パッケージ1は、ダイパッド5と、半導体チップ6および9と、保持板4との各々を封止するためのモールド2をさらに備えている。保持板4がモールド2から外部に露出している。
これにより、半導体チップ9の動作時に半導体チップ9が高温になった場合でも、半導体チップ9の熱が保持板4を介して外部へ放熱されやすくなる。
なお、本実施の形態の半導体パッケージ1においては、半導体チップ6の表面上にスペーサ8が配置される場合について示したが、スペーサ8が配置されずに、半導体チップ6の表面上に半導体チップ9が直接配置されてもよい。
また、本実施の形態の半導体パッケージ1においては、保持板4がモールド2から外部に露出している場合について示したが、保持板4は露出せずにモールド2の中に完全に埋め込まれていてもよい。
また、本実施の形態の半導体パッケージ1の製造方法においては、ボンディングパッド6aに金線7を接合する際には、図4に示すように、半導体チップ6が従来の方法により保持される場合について示した。しかしながら、半導体チップ6が従来の方法により保持される代わりに、半導体チップ6の表面に保持板を配置することにより半導体チップ6が保持され、ボンディングパッド6aに金線7を接合した後にこの保持板が除去されてもよい。この場合には、保持板の自重による力により、ボンディングパッド6aに金線7を接合する際に、半導体チップ6の位置がずれたり、半導体チップ6が撓んだりしなくなる。
また、半導体チップ6が従来の方法により保持される代わりに、半導体チップ6の表面上にスペーサ8および半導体チップ9および保持板4のうち少なくともいずれか1つを配置した後で、ボンディングパッド6aに金線7が接合されてもよい。この場合には、スペーサ8、半導体チップ9、または保持板4の自重による力により、ボンディングパッド6aに金線7を接合する際に、半導体チップ6の位置がずれたり、半導体チップ6が撓んだりしなくなる。
(実施の形態2)
図9は、本発明の実施の形態2における半導体パッケージの構成を概略的に示す断面図である。
図9は、本発明の実施の形態2における半導体パッケージの構成を概略的に示す断面図である。
図9に示すように、本実施の形態の半導体パッケージ11は保持板を備えていない。本実施の形態における半導体パッケージ11は、実施の形態1の図7および図8においてボンディングパッド9aに金線10を接合した後、保持板4を除去することにより製造される。
なお、これ以外の半導体パッケージ11の構成およびその製造方法は、図1〜図8に示す実施の形態1の半導体パッケージ1の構成およびその製造方法とほぼ同様であるので、同一の構成要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
本実施の形態における半導体パッケージ11の製造方法においては、半導体チップ9のボンディングパッド9aに金線10を接続した後、保持板4が除去される。
これにより、半導体パッケージ11が保持板を備えていない構成となるので、保持板がない分だけ半導体パッケージ11の小型化を図ることができる。
(実施の形態3)
実施の形態1および2においては、半導体チップ9の表面上に配置された保持板4を用いて半導体チップ9が保持される場合について示した。しかしながら、本発明の保持部材としては、保持板4を用いる代わりに、たとえば以下に示すような治工具を用いてもよい。
実施の形態1および2においては、半導体チップ9の表面上に配置された保持板4を用いて半導体チップ9が保持される場合について示した。しかしながら、本発明の保持部材としては、保持板4を用いる代わりに、たとえば以下に示すような治工具を用いてもよい。
図10は、本発明の実施の形態3における半導体パッケージの製造方法を示す側面図である。なお、図10の治工具4aは、内部の概略的な構造が明らかになるような形態で模式的に示されている。
図10に示すように、本実施の形態の半導体パッケージの製造方法においては、実施の形態1の図6において保持板4の代わりに治工具4aが半導体チップ9の表面上に配置される。治工具4aの半導体チップ9と接触する表面には複数の微小穴が開口されており、この微小穴から半導体チップ9が図10中矢印方向に吸引される。半導体チップ9のボンディングパッド9aに金線10を接続した後、治工具4aは除去される。
ボンディングパッド9aに金線10を接合する際には、半導体チップ9の周辺部分に下向き(図10中下方向)の力が加わる。しかし、半導体チップ9には、引っ張るような上向き(図10中上方向)の力が治工具4aによって加えられるので、金線10を接合する際に半導体チップ9に加わる下向きの力が打ち消される。したがって、半導体チップに加わる下向きの力が打ち消されるので半導体チップ9が撓まなくなり、半導体チップ9の位置がずれなくなる。
なお、本実施の形態においては、治工具4aに複数の微小穴が開口されている場合について示したが、微小穴の代わりに治工具4aをポーラスな材料により作成し、ポーラスな材料が有している穴から半導体チップ9を吸引してもよい。
また、本実施の形態においては、治工具4aが半導体チップ9を吸引する機能を有している場合について示したが、このような機能を治工具4aが有している場合に代わって、粘着力のある表面を有する治工具4aを用いて、治工具4aを半導体チップ9の表面に粘着させることにより半導体チップ9に上向きの力を加えてもよい。治工具4aがこのような構成であっても、半導体チップ9が撓まなくなり、半導体チップ9の位置がずれなくなる。
(実施の形態4)
図11は、本発明の実施の形態4における半導体パッケージの構成を概略的に示す断面図である。
図11は、本発明の実施の形態4における半導体パッケージの構成を概略的に示す断面図である。
図11に示すように、本実施の形態の半導体パッケージ12において、半導体チップ6は図示しない銀ペーストにより固着されてダイパッド5の一方の表面(図11中下側)上に搭載されている。また、半導体チップ9は図示しない銀ペーストにより固着されてダイパッド5のもう一方の表面(図11中上側)上に搭載されている。半導体チップ9の表面上には保持板4が配置されている。
なお、これ以外の半導体パッケージ12の構成は、図1および図2に示す実施の形態1の半導体パッケージ1の構成とほぼ同様であるので、同一の構成要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
続いて、本実施の形態の半導体パッケージ12の製造方法について説明する。
本実施の形態の製造方法は、まず図3〜図5に示す実施の形態1の製造工程と同様の製造工程を経る。よってその説明を省略する。
図12および図13は、本発明の実施の形態4における半導体パッケージの製造方法を工程順に示す側面図である。
図12に示すように、ダイパッド5を裏返し、ダイパッド5と半導体チップ9とをたとえば銀ペーストなどで接着することにより、半導体チップ6とは反対側のダイパッド5の表面(図12中上側)上に半導体チップ9が搭載される。さらに、半導体チップ9と保持板4とをたとえば銀ペーストなどで接着することにより、半導体チップ9の表面上に保持板4が配置される。
次に、図13に示すように、半導体チップ9の表面の周辺部分に形成された第2電極としての複数のボンディングパッド9aの各々と、複数のリード3の各々とが、金線10により接続される。
ボンディングパッド9aに金線10を接合する際には、半導体チップ9の周辺部分に下向き(図13中下方向)の力が加わる。この力を受けて、中心部分が盛り上がるように半導体チップ9は撓もうとする。しかし、本実施の形態では保持板4が半導体チップ9の表面上に配置されているので、保持板4の自重により半導体チップ9の中心部分に対して下向きの力を加えることができる。保持板4の自重による力により、半導体チップ9が撓まなくなる。また、保持板4の自重による力により、半導体チップ9の位置を固定することができるので、ボンディングパッド9aに金線10を接合する際に半導体チップ9の位置がずれなくなる。
その後、図11に示すように、複数のリード3と、保持板4と、ダイパッド5と、半導体チップ6および9と、金線7および10の各々が、たとえばエポキシ系の熱硬化性の封止用樹脂よりなるモールド2により樹脂封止される。すなわち、本実施の形態においては、保持板4が除去されることなく、モールド2により樹脂封止される。そして、モールド2から露出しているリード3が任意の形状に加工され、半導体パッケージ12が完成する。
本実施の形態の半導体パッケージ12およびその製造方法において、半導体チップ6はダイパッド5の一方の表面上に搭載され、半導体チップ9はダイパッド5の他方の表面上に搭載される。
これにより、半導体パッケージ12が、ダイパッド5の表面上に半導体チップ6および半導体チップ9が積層した構造となる。このような構造の半導体パッケージ11によっても、実施の形態1の半導体パッケージ1とほぼ同様の効果を得ることができる。
(実施の形態5)
図14は、本発明の実施の形態5における半導体パッケージの構成を概略的に示す断面図である。
図14は、本発明の実施の形態5における半導体パッケージの構成を概略的に示す断面図である。
図14に示すように、本実施の形態の半導体パッケージ13は保持板を備えていない。本実施の形態における半導体パッケージ13は、実施の形態4の図13においてボンディングパッド9aに金線10を接合した後、保持板4を除去することにより製造される。
なお、これ以外の半導体パッケージ13の構成およびその製造方法は、図11〜図13に示す実施の形態4の半導体パッケージ12の構成およびその製造方法とほぼ同様であるので、同一の構成要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
本実施の形態における半導体パッケージ13の製造方法においては、半導体チップ9のボンディングパッド9aに金線10を接続した後、保持板4が除去される。
これにより、半導体パッケージ13が保持板を備えていない構成となるので、保持板がない分だけ半導体パッケージ13の小型化を図ることができる。
(実施の形態6)
実施の形態3および4においては、半導体チップ9の表面上に配置された保持板4を用いて半導体チップ9が保持される場合について示した。しかしながら、本発明の保持部材としては、保持板4を用いる代わりに、たとえば以下に示すような治工具を用いて半導体チップ9が保持されてもよい。
実施の形態3および4においては、半導体チップ9の表面上に配置された保持板4を用いて半導体チップ9が保持される場合について示した。しかしながら、本発明の保持部材としては、保持板4を用いる代わりに、たとえば以下に示すような治工具を用いて半導体チップ9が保持されてもよい。
図15は、本発明の実施の形態6における半導体パッケージの製造方法を示す側面図である。なお、図15の治工具4aは、内部の概略的な構造が明らかになるような形態で模式的に示されている。
図15に示すように、本実施の形態の半導体パッケージの製造方法においては、実施の形態3の図12において保持板4の代わりに治工具4aが半導体チップ9の表面上に配置される。治工具4aの半導体チップ9と接触する表面には複数の微小穴が開口されており、この微小穴から半導体チップ9が図10中矢印方向に吸引される。半導体チップ9のボンディングパッド9aに金線10を接続した後、治工具4aは除去される。
ボンディングパッド9aに金線10を接合する際には、半導体チップ9の周辺部分に下向き(図15中下方向)の力が加わる。しかし、半導体チップ9には、引っ張るような上向き(図15中上方向)の力が治工具4aによって加えられるので、金線10を接合する際に半導体チップ9に加わる下向きの力が打ち消される。したがって、半導体チップ9が撓まなくなり、半導体チップ9の位置がずれなくなる。
なお、本実施の形態においては、治工具4aに複数の微小穴が開口されている場合について示したが、微小穴の代わりに治工具4aをポーラスな材料により作成し、ポーラスな材料が有している穴から半導体チップ9を吸引してもよい。
また、本実施の形態においては、治工具4aが半導体チップ9を吸引する機能を有している場合について示したが、このような機能を治工具4aが有している場合に代わって、粘着力のある表面を有する治工具4aを用いて、治工具4aを半導体チップ9の表面に粘着させることにより半導体チップ9に上向きの力を加えてもよい。治工具4aがこのような構成であっても、半導体チップ9が撓まなくなり、半導体チップ9の位置がずれなくなる。
以上に開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考慮されるべきである。本発明の範囲は、以上の実施の形態ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての修正や変形を含むものと意図される。
1,11〜13 半導体パッケージ、2 モールド、3 リード、4 保持板、4a,30 治工具、5 ダイパッド、6,9 半導体チップ、6a,9aボンディングパッド、7,10 金線、8 スペーサ。
Claims (16)
- 表面に第1電極が形成された第1の半導体チップと、表面に第2電極が形成された第2の半導体チップとを備える半導体パッケージの製造方法であって、
フレームに前記第1の半導体チップを搭載する工程と、
前記フレームに第2の半導体チップを搭載する工程と、
前記第1半導体チップの前記第1電極に導線を接続する第1接続工程と、
前記第2の半導体チップの表面上に保持部材を配置する配置工程と、
前記第1接続工程および前記配置工程の後で、前記第2の半導体チップの前記第2電極に導線を接続する第2接続工程とを含む半導体装置の製造方法。 - 前記第1の半導体チップは前記フレームの表面上に搭載され、前記第2の半導体チップは前記第1の半導体チップの表面上に搭載されることを特徴とする、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の半導体チップは前記フレームの一方の表面上に搭載され、前記第2の半導体チップは前記フレームの他方の表面上に搭載されることを特徴とする、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2接続工程の後で、前記保持部材を除去する除去工程をさらに含む、請求項1〜3のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記保持部材は前記第2の半導体チップを吸引する機能を有することを特徴とする、請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記保持部材は前記第2の半導体チップと接着するための接着部分を有することを特徴とする、請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記保持部材はシリコンを含んでいることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記保持部材は銅を含んでいることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記保持部材は鉄を含んでいることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- フレームと、
前記フレームに搭載された第1および第2の半導体チップと、
前記第2の半導体チップの表面上に配置された保持部材とを備える半導体装置。 - 前記第1の半導体チップは前記フレームの表面上に搭載され、前記第2の半導体チップは前記第1の半導体チップの表面上に搭載されていることを特徴とする、請求項10に記載の半導体装置。
- 前記第1の半導体チップは前記フレームの一方の表面上に搭載され、前記第2の半導体チップは前記フレームの他方の表面上に搭載されることを特徴とする、請求項10に記載の半導体装置。
- 前記保持部材はシリコンを含んでいることを特徴とする、請求項10〜12のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記保持部材は銅を含んでいることを特徴とする、請求項10〜12のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記保持部材は鉄を含んでいることを特徴とする、請求項10〜12のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記フレームと、前記第1および前記第2の半導体チップと、前記保持部材との各々を封止するためのモールドをさらに備え、
前記保持部材が前記モールドから外部に露出していることを特徴とする、請求項10〜15のいずれかに記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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ID=34899459
Family Applications (1)
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JP2004013383A Pending JP2005209805A (ja) | 2004-01-21 | 2004-01-21 | 半導体装置およびその製造方法 |
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JP (1) | JP2005209805A (ja) |
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