JP4648061B2 - 電界変調型単電子トランジスタ - Google Patents
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- 基板の上に形成されて互いに離間して配置された半導体からなるソース及びドレインと、
前記ソース及びドレインの間に配置されて前記ソース及び前記ドレインに接続する半導体からなる細線部と、
前記基板の上に形成されたゲート電極と
を少なくとも備え、
前記ソース,前記細線部,及び前記ドレインが配列された第1方向に対して垂直な第2方向の前記細線部の寸法は、前記ソース及びドレインの前記第2方向の寸法より小さく、
前記ゲート電極は、前記細線部の前記第2方向の側に配置され、
前記ゲート電極側において、前記細線部は前記ソース及び前記ドレインより凹んで配置され、
前記細線部に単電子島が形成される
ことを特徴とする電界変調型単電子トランジスタ。 - 請求項1記載の電界変調型単電子トランジスタにおいて、
前記細線部の、前記第1方向に対して垂直な第3方向の側に配置された制御電極を備え、
前記ソースと前記ドレインとの間に印加されるソース・ドレイン電圧は、前記制御電極に印加される制御電圧と前記ゲート電極に印加されるゲート電圧との間の値である
ことを特徴とする電界変調型単電子トランジスタ。 - 請求項1又は2記載の電界変調型単電子トランジスタにおいて、
前記ソースと細線部との間及び前記ドレインと細線部との間に形成されたトンネル接合を備える
ことを特徴とする電界変調型単電子トランジスタ。
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JP2005119782A JP4648061B2 (ja) | 2005-04-18 | 2005-04-18 | 電界変調型単電子トランジスタ |
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