JP4647288B2 - 回転駆動装置及び電子線描画装置 - Google Patents
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Description
5;電子ビームユニット、6;駆動ユニット、7;ロードロック室、
8;電子ビーム発生系、9;電子ビームレンズ系、10;電子銃、
11;コンデンサレンズ、12;電子ビーム変調部、13;アパーチャ、
14;電子ビーム偏向部、15,16;フォーカスレンズ、
17;ターンテーブル、171;保持テーブル、172;位置検出面、
18;スピンドルモータ、19;スライドユニット、20;レジスト板保持機構、
29;位置変動検出手段、30;検出センサ、31;反射ミラー、
32;基板固定リング、33;ガイドリング、34;ガイドポスト、
35;スプリング、36;偏芯カム、37;搬送アーム、38;搬送駆動部
60;ガイドレール、61;搬送スライダ、62;ガイド溝、63;前側ガイド溝、
64;後側ガイド溝、65;保持アーム、66;スライダベース、
67;前側ガイドローラ、68;後側ガイドローラ対、69;ガイドローラ、
70;案内機構、71;押出棒。
Claims (7)
- 被加工基板を載置するターンテーブルと、ターンテーブルを回転するスピンドルモータとを有する回転駆動装置において、
前記ターンテーブルの全外周端に、端面に対して45度の角度に面取り形成された鏡面部分からなる位置検出面と、該位置検出面に対して直角あるいは45度の入射角でレーザ光を照射し、その反射光を受光してターンテーブルの軸方向と軸方向と直交する方向の位置変動を検出する位置変動検出手段とを有することを特徴とする回転駆動装置。 - 前記ターンテーブルに被加工基板を固定する基板保持機構を有し、
該基板保持機構は、基板固定リングとガイドリングと3本のガイドポストと弾性部材及び偏芯カムを有し、
前記基板固定リングはターンテーブルの上方に配置され、前記ガイドリングはターンテーブルを挟んで3本のガイドポストにより基板固定リングに連結され、前記弾性部材はターンテーブルとガイドリングの間に、ガイドリングに沿って設けられ、ガイドリングに対して下方に向かう力を与え、前記偏芯カムは、前記ガイドポストの直下に設けられ、回転することにより基板固定リングとガイドリングを上下に移動し、上下に移動する基板固定リングで被加工基板をターンテーブルに固定し、固定を解除する請求項1記載の回転駆動装置。 - 真空容器内に設置され、レジスト板を載置するターンテーブルと、ターンテーブルを回転するスピンドルモータと、スピンドルモータを横移動するスライドユニットを有する駆動ユニットにレジスト板を保持して回転と移動をさせながら、電子ビームユニットからレジスト板に電子ビームを照射して描画する電子線描画装置において、
前記ターンテーブルの全外周端に、端面に対して45度の角度に面取り形成された鏡面からなる位置検出面と、前記スライドユニットの移動ベースに設けられ、ターンテーブルの位置検出面に対して直角あるいは45度の入射角でレーザ光を照射し、その反射光を受光してターンテーブルの軸方向と直交する方向と軸方向の位置変動を検出する位置変動検出手段とを有することを特徴とする電子線描画装置。 - 前記位置変動検出手段で検出したターンテーブルの軸方向と直交する方向の位置変動成分を電子ビームユニットの偏向制御にフィードバックし、ターンテーブルの軸方向の位置変動成分を電子ビームユニットのフォーカス制御にフィードバックする請求項3記載の電子線描画装置。
- 前記駆動ユニットに、ターンテーブルにレジスト板を固定する基板保持機構を有し、
該基板保持機構は、基板固定リングとガイドリングと3本のガイドポストと弾性部材及び偏芯カムを有し、
前記基板固定リングはターンテーブルの上方に配置され、前記ガイドリングはターンテーブルを挟んで3本のガイドポストにより基板固定リングに連結され、前記弾性部材はターンテーブルとガイドリングの間に、ガイドリングに沿って設けられ、ガイドリングに対して下方に向かう力を与え、前記偏芯カムは、前記ガイドポストの直下に設けられ、回転することによりガイドリングと接離して基板固定リングとガイドリングを上下に移動し、上下に移動する基板固定リングによりレジスト板をターンテーブルに固定し、固定を解除する請求項3又は4記載の電子線描画装置。 - 前記駆動ユニットにレジスト板を搬入・搬出する搬送手段は、左右両端の先端部に設けられ、先端がR形状に形成され、レジスト板の板厚の1/3の厚さを有し、弾力性を有する材料で形成され、レジスト板を保持する1対の保持バーと、中央部に設けられ、レジスト板の外周面に接触してレジスト板の位置決めをする位置規制部を有する請求項5記載の電子線描画装置。
- 前記駆動ユニットにレジスト板を搬入・搬出する搬送手段は、1対のガイドレールに沿って移動自在な搬送スライダを有し、該搬送スライダはレジスト板を保持する保持アームとスライダベースを有し、保持アームはスライダベースに対して上下方向に移動自在に保持され、ターンテーブルの位置で前記ガイドレールのガイド溝に案内されて上下方向に移動する請求項5記載の電子線描画装置。
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