JP4641237B2 - 多自由度アクチュエータ - Google Patents
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Description
前記第2の連結部材の両端部に回動可能に連結され、前記第2の曲面ガイドに揺動可能に支持される第2の移動子と、を有し、前記第1の揺動機構と前記第2の揺動機構は、前記第1の駆動部及び前記第2の駆動部の駆動力により前記出力軸が揺動動作する際、前記出力軸の揺動方向に応じて相対的に回動することを特徴とする。
12 ケーシング
16 出力軸
18,208,308 第1の揺動機構
20,220,310 第2の揺動機構
22,102,222,312 第1の駆動部
24,104,224,314 第2の駆動部
26 第1の曲面ガイド
28,228 第1の連結部材
30,230 第1の移動子
32 第2の曲面ガイド
34,234 第2の連結部材
36,236 第2の移動子
38 軸受部
31,37 軸受
40 ころがり軸受
68,70 位置センサ
48,50 サーボモータ
74 制御部
102,104 駆動部
106,108 固定子
114,116 永久磁石
226,232 球面ガイド
241〜244 エアシリンダ室(圧力室)
245〜248 ピストン
256 圧力制御弁
261〜264 4方電磁弁
270 制御部
304 テーブル
Claims (10)
- ケーシングと、
先端が該ケーシングの内部に挿入され、基端が前記ケーシングの開口部より外部に延在する出力軸と、
前記ケーシングの内部に収納され、前記出力軸の軸線と直交する軸回りに前記出力軸の基端を揺動可能に支持する第1の揺動機構と、
前記ケーシングの内部で前記第1の揺動機構と交差するように前記出力軸の軸線上に対向配置され、前記出力軸の軸線と直交する他方向の軸回りに前記出力軸の基端を揺動可能に支持する第2の揺動機構と、
前記第1の揺動機構を駆動して前記出力軸を一方向に揺動させる第1の駆動部と、
前記第2の揺動機構を駆動して前記出力軸を他方向に揺動させる第2の駆動部と、
を有し、
前記第1の揺動機構は、
前記出力軸の基端に対し直交する軸回りの揺動をガイドする第1の曲面ガイドと、
前記出力軸の基端が固定され、前記出力軸の軸線と直交する方向に延在形成された第1の連結部材と、
前記第1の連結部材の両端部に回動可能に連結され、前記第1の曲面ガイドに揺動可能に支持される第1の移動子と、を有し、
前記第2の揺動機構は、
前記出力軸の基端に対し前記第1の曲面ガイドと異なる位置で前記出力軸の基端に対し直交する他の軸回りの揺動をガイドする第2の曲面ガイドと、
前記出力軸の軸線上で前記第1の連結部材と交差するように対向配置され、前記第1の連結部材に対して相対的に回動可能に組み合わされた第2の連結部材と、
前記第2の連結部材の両端部に回動可能に連結され、前記第2の曲面ガイドに揺動可能に支持される第2の移動子と、
を有し、
前記第1の揺動機構と前記第2の揺動機構は、前記第1の駆動部及び前記第2の駆動部の駆動力により前記出力軸が揺動動作する際、前記出力軸の揺動方向に応じて相対的に回動することを特徴とする多自由度アクチュエータ。 - ケーシングと、
先端が該ケーシングの内部に挿入され、基端が前記ケーシングの開口部より外部に延在する出力軸と、
前記ケーシングの内部に設けられ、前記出力軸の基端に対し直交する軸回りの揺動をガイドする一対の第1の曲面ガイドと、
前記ケーシングの内部で前記出力軸の基端に対し前記一対の第1の曲面ガイドと異なる位置で前記出力軸の基端に対し直交する他の軸回りの揺動をガイドする一対の第2の曲面ガイドと、
前記出力軸の基端が固定され、前記出力軸の軸線と直交する方向に延在形成された第1の連結部材と、
前記出力軸の軸線上で前記第1の連結部材と交差するように対向配置され、前記第1の連結部材に対して相対的に回動可能に組み合わされた第2の連結部材と、
前記第1の連結部材の両端部に回動可能に連結され、前記一対の第1の曲面ガイドに揺動可能に支持される一対の第1の移動子と、
前記第2の連結部材の両端部に回動可能に連結され、前記一対の第2の曲面ガイドに揺動可能に支持される一対の第2の移動子と、
前記第1の移動子を駆動して前記出力軸を一方向に揺動させる第1の駆動部と、
前記第2の移動子を駆動して前記出力軸を他方向に揺動させる第2の駆動部と、
を有することを特徴とする多自由度アクチュエータ。 - 前記第1の移動子及び前記第2の移動子は、同一の曲率半径に沿って揺動させることを特徴とする請求項1または2の何れかに記載の多自由度アクチュエータ。
- 前記第1の連結部材と前記第2の連結部材は、前記出力軸と同軸上に配された前記第1の連結部材の中央孔及び前記第2の連結部材の中央孔を貫通する筒状軸受を介して回動可能に連結されたことを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の多自由度アクチュエータ。
- 前記第1の曲面ガイド及び前記第2の曲面ガイドは、前記移動子の揺動位置を検出する位置検出手段を有することを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載の多自由度アクチュエータ。
- 前記第1の曲面ガイド及び前記第2の曲面ガイドは、同一中心からの曲率半径上に形成されたガイド面を有することを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載の多自由度アクチュエータ。
- 前記ガイド面には、前記移動子の揺動動作に伴う摺動抵抗を軽減する低摩擦部材が設けられたことを特徴とする請求項6に記載の多自由度アクチュエータ。
- 前記第1の駆動部及び前記第2の駆動部は、供給される印加電圧に応じた電磁力による駆動力を発生し、前記移動子を駆動する駆動手段を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の多自由度アクチュエータ。
- 前記第1の駆動部及び前記第2の駆動部は、供給される作動流体の圧力により駆動力を発生し、前記移動子を駆動する駆動手段を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の多自由度アクチュエータ。
- ケーシングと、
該ケーシングの内部に挿入されたテーブルと、
前記ケーシングの軸線と直交する一方向の軸回りに前記テーブルを揺動可能に支持する第1の揺動機構と、
前記第1の揺動機構と交差するように前記テーブルの軸線上に対向配置され、前記テーブルの軸線と直交する他方向の軸回りに前記テーブルを揺動可能に支持する第2の揺動機構と、
前記一方向の軸回りに湾曲した第1のシリンダ室と、作動流体の圧力により前記第1のシリンダ室に沿って回動する第1のピストンとを有し、前記第1のピストンの回動と共に前記第1の揺動機構を駆動して前記テーブルを一方向に揺動させる第1の駆動部と、
前記他方向の軸回りに湾曲した第2のシリンダ室と、作動流体の圧力により該第2のシリンダ室に沿って回動する第2のピストンとを有し、前記第2のピストンの回動と共に前記第2の揺動機構を駆動して前記テーブルを他方向に揺動させる第2の駆動部と、
を有し、
前記第1の揺動機構と前記第2の揺動機構は、前記第1の駆動部及び前記第2の駆動部の駆動力により前記テーブルが揺動動作する際、前記テーブルの揺動方向に応じて相対的に回動することを特徴とする多自由度アクチュエータ。
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