JP2005244227A5 - - Google Patents

Claims (21)

1. 基板を処理するためのスキャニング装置であって、基部と、回転サブシステムを含み、
   前記回転サブシステムは、
   基部に回転可能に連結されている第１ジョイントを含む第１リンクと、前記第１リンクと互いに所定距離離れており、前記第１リンクに回転可能に連結される第２ジョイントを含む第２リンクと、所定距離上記第２ジョイントから離れていて、基部があり、前記第２リンクに作動可能に連結され、前記第２リンクに含まれるエンドエフェクタと、
   第１回転方向において、前記第１ジョイントの周囲で前記第１リンクを連続的に回転させるように作動可能な第１アクチュエータと、
   第２回転方向において、前記第２ジョイントの周囲で前記第２リンクを連続的に回転させるように作動可能な第２アクチュエータと、を含み、そして、該第２アクチュエータは、前記第１リンクに固定して取り付けられたサーボモータを含んでおり、
   前記エンドエフェクタは前記第１及び第２アクチュエータの回転に際して、第１スキャンパスに沿って前記基部に関して線形往復運動するように作動可能であるスキャニング装置。
2. 前記第１回転方向は、前記第２回転方向と反対側である請求項１記載のスキャニング装置。
3. 前記基部は、移動機構に回転可能に連結されており、前記移動機構はそれ自体に関して、１以上の方向に基部を移動させるように作動可能である請求項１記載のスキャニング装置。
4. 前記移動機構は、第２スキャンパスに沿って基部を移動するように作動可能であり、前記第２スキャンパスは、通常、第１スキャンパスに垂直である請求項３記載のスキャニング装置。
5. 前記移動機構は、線形駆動システムを含み、前記線形駆動システムは前記エンドエフェクタの線形往復運動に関して、通常、垂直である方向に、前記回転サブシステムを線形移動させるように作動可能である請求項３記載のスキャニング装置。
6. 前記エンドエフェクタは、第３ジョイントによって前記第２リンクに作動可能に連結されており、前記エンドエフェクタは、さらに前記第２リンクに関して、１以上の方向に移動するように作動可能である請求項１記載のスキャニング装置。
7. 前記第３ジョイントは、２以上の自由度で前記エンドエフェクタを規定する請求項６記載のスキャニング装置。
8. 前記第３ジョイントは、第２リンクに関して前記エンドエフェクタの回転及び傾きを規定するように作動可能である請求項７記載のスキャニング装置。
9. 前記エンドエフェクタは、静電チャックを含む請求項１記載のスキャニング装置。
10. 前記第１アクチュエータは、基部に固定して取り付けられたサーボモータを含む請求項１記載のスキャニング装置。
11. 前記第１アクチュエータの第１回転速度は、前記エンドエフェクタの位置に関して変わるように作動可能である請求項１記載のスキャニング装置。
12. 前記第２アクチュエータの第２回転速度は、前記エンドエフェクタの位置に関して変わるように作動可能である請求項１記載のスキャニング装置。
13. 前記基部はさらに直進ジョイントを含み、前記基部は前記回転サブシステムを１以上の方向に移動させるように作動可能である請求項１記載のスキャニング装置。
14. 前記第１リンク及び第２リンクは、通常、単一平面に平行である請求項１記載のスキャニング装置。
15. 前記エンドエフェクタは、さらに前記単一平面に平行して回転するように作動可能である請求項１４記載のスキャニング装置。
16. 前記第１及び第２アクチュエータそれぞれに備えられた出力量を制御することによって、前記第１及び第２リンクそれぞれの回転速度を制御するように作動可能である制御器を、さらに含む請求項１記載のスキャニング装置。
17. 前記第１及び第２アクチュエータと関連する１以上の感知要素を含み、前記１以上の感知要素は前記第１及び第２リンクそれぞれの回転速度を感知し、前記制御器へ前記感知した速度をフィードバックするように作動可能である請求項１６記載のスキャニング装置。
18. 前記１以上の感知要素は、１以上のエンコーダを含む請求項１７記載のスキャニング装置。
19. 前記エンドエフェクタの線形往復運動は、通常、前記エンドエフェクタの所定スキャニング範囲内で一定であるように、前記制御器がそれぞれの回転速度を維持するように作動可能である請求項１６記載のスキャニング装置。
20. 前記エンドエフェクタの所定範囲内の移動は、少なくとも基板の直径の２倍である請求項１９記載のスキャニング装置。
21. 前記第１リンク及び第２リンク完全に延長される時、上記エンドエフェクタの最大スキャン距離は、通常、上記エンドエフェクタの最大位置間に決められ、上記最大スキャン距離は前記エンドエフェクタの所定スキャニング範囲より大きい請求項１９記載のスキャニング装置。