JP4639770B2 - Inorganic powder-containing resin composition, transfer film, and method for producing plasma display panel - Google Patents

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Description

本発明は、無機粉体含有樹脂組成物およびそれを用いて得られる転写フィルムに関する。詳しくは、プラズマディスプレイパネルを構成するパネル材料の形成に好適な、無機粉体含有樹脂組成物および転写フィルムに関する。   The present invention relates to an inorganic powder-containing resin composition and a transfer film obtained using the same. Specifically, the present invention relates to an inorganic powder-containing resin composition and a transfer film suitable for forming a panel material constituting a plasma display panel.

近年、平板状の蛍光表示体としてプラズマディスプレイが注目されている。図1は交流型のプラズマディスプレイパネル(以下、「PDP」ともいう)の断面形状を示す模式図である。同図において、1および2は対抗配置されたガラス基板、3は隔壁であり、ガラス基板1、ガラス基板2および隔壁3によりセルが区画形成されている。4はガラス基板1に固定された透明電極、5は透明電極4の抵抗を下げる目的で、当該透明電極4上に形成されたバス電極、6はガラス基板2に固定されたアドレス電極、7はセル内に保持された蛍光物質、8は透明電極4およびバス電極5を被覆するようガラス基板1の表面に形成された誘電体層、9はアドレス電極6を被覆するようガラス基板2の表面に形成された誘電体層、10は例えば酸化マグネシウムよりなる保護膜である。また、カラーPDPにあっては、コントラストの高い画像を得るため、ガラス基板と誘電体層との間に、カラーフィルター(赤色・緑色・青色)やブラックマトリックスなどを設けることがある。   In recent years, a plasma display has attracted attention as a flat fluorescent display. FIG. 1 is a schematic view showing a cross-sectional shape of an AC type plasma display panel (hereinafter also referred to as “PDP”). In the figure, reference numerals 1 and 2 denote glass substrates arranged opposite to each other, 3 denotes a partition, and cells are defined by the glass substrate 1, the glass substrate 2, and the partition 3. 4 is a transparent electrode fixed on the glass substrate 1, 5 is a bus electrode formed on the transparent electrode 4 for the purpose of reducing the resistance of the transparent electrode 4, 6 is an address electrode fixed on the glass substrate 2, and 7 is Fluorescent material held in the cell, 8 is a dielectric layer formed on the surface of the glass substrate 1 so as to cover the transparent electrode 4 and the bus electrode 5, and 9 is on the surface of the glass substrate 2 so as to cover the address electrode 6. The formed dielectric layers 10 are protective films made of, for example, magnesium oxide. In the color PDP, a color filter (red / green / blue) or a black matrix may be provided between the glass substrate and the dielectric layer in order to obtain a high contrast image.

このようなPDPの誘電体層、隔壁、電極、蛍光体、カラーフィルターおよびブラックストライプ(マトリクス)等の製造方法としては、感光性無機粒子含有樹脂層を基板上に形成し、この膜にフォトマスクを介して紫外線を照射する方法やレーザー光を走査して直接描画する方法などで露光した上で現像することにより基板上にパターンを残存させ、これを焼成するフォトリソグラフィー法などが好適に用いられている。   As a method for manufacturing such a PDP dielectric layer, barrier rib, electrode, phosphor, color filter, black stripe (matrix), etc., a photosensitive inorganic particle-containing resin layer is formed on a substrate, and a photomask is formed on this film. A photolithography method or the like is preferably used in which a pattern is left on the substrate by developing after exposure by a method of irradiating ultraviolet rays through a laser or a method of direct drawing by scanning with laser light, and the like. ing.

特開平11−162339号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-162339 特開2001−84833号公報JP 2001-84833 A 特開2002−245932号公報JP 2002-245932 A 特開2003−51250号公報JP 2003-51250 A

前記フォトリソグラフィー法では、原理的にパターン精度に優れており、特に転写フィルムを用いる方法においては、膜厚の均一性および表面の均一性に優れたパターンを形成することができる。しかしながら、従来のフォトリソグラフィー法では、形成するパネル材料に必要な無機粉体含有樹脂層の膜厚を確保しつつパターニングを行うためには、無機粉体含有樹脂層の感度が不十分であり、得られるパターンの形状が良好なものになりにくいという問題があった。また、感度を確保するために光開始剤を増量すると、焼成処理における有機物の燃焼性が低下して、電極を形成した場合に抵抗値が高いものになってしまったり、隔壁を形成した場合に得られる隔壁が着色したりする原因になりやすいという問題があった。また、現像処理における現像速度が低下して、作業性が悪くなったりパターンに亀裂が生じたりする原因になりやすいという問題があった。   In principle, the photolithography method is excellent in pattern accuracy. In particular, in a method using a transfer film, a pattern having excellent film thickness uniformity and surface uniformity can be formed. However, in the conventional photolithography method, in order to perform patterning while ensuring the film thickness of the inorganic powder-containing resin layer necessary for the panel material to be formed, the sensitivity of the inorganic powder-containing resin layer is insufficient, There was a problem that the shape of the obtained pattern was difficult to be good. Also, if the photoinitiator is increased in order to ensure sensitivity, the flammability of the organic matter in the firing process is reduced, and when the electrode is formed, the resistance value is high, or when the partition is formed There was a problem that the resulting partition wall was likely to be colored. Further, there has been a problem that the developing speed in the developing process is lowered, and the workability is deteriorated and the pattern is easily cracked.

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものである。
本発明の第1の目的は、燃焼性や現像速度を低下させることなく、パターン形状に優れたPDPの構成要素(例えば誘電体層、隔壁、電極、抵抗体、蛍光体、カラーフィルター、ブラックマトリックス)を好適に形成することができる無機粉体含有樹脂組成物を提供することにある。
本発明の第2の目的は、作業性に優れ、パターン形状に優れたPDPの構成要素が形成できる転写フィルムを提供することにある。
本発明の第3の目的は、作業性に優れ、パターン形状に優れたPDPの構成要素が形成できるPDPの製造方法を提供することにある。
本発明のさらなる目的は、下記説明で明らかになろう。
The present invention has been made based on the above situation.
The first object of the present invention is to make PDP components excellent in pattern shape (for example, dielectric layers, barrier ribs, electrodes, resistors, phosphors, color filters, black matrices, and the like without reducing the combustibility and development speed). Is to provide an inorganic powder-containing resin composition that can be suitably formed.
The second object of the present invention is to provide a transfer film that can form a PDP component excellent in workability and pattern shape.
A third object of the present invention is to provide a method for manufacturing a PDP that is capable of forming a PDP component having excellent workability and excellent pattern shape.
Further objects of the present invention will become apparent from the following description.

本発明の無機粉体含有樹脂組成物(以下、単に「本発明の組成物」ともいう)は、(a)無機粉体、(b)結着樹脂、(c)多官能性(メタ)アクリレートおよび(d)下記式(1)または下記式(2)で表される化合物(以下、「化合物(I)」ともいう)を含有することを特徴とする。   The inorganic powder-containing resin composition of the present invention (hereinafter also simply referred to as “the composition of the present invention”) includes (a) inorganic powder, (b) binder resin, and (c) polyfunctional (meth) acrylate. And (d) a compound represented by the following formula (1) or the following formula (2) (hereinafter also referred to as “compound (I)”).

Figure 0004639770
Figure 0004639770

〔式(1)および式(2)において、R1およびRは、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜20の脂環式炭化水素基(但し、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のアルコキシル基、フェニル基およびハロゲン原子から選ばれる少なくとも1種で置換されてもよい。)、フェニル基(但し、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のアルコキシル基、フェニル基およびハロゲン原子から選ばれる少なくとも1種で置換されてもよい。)、炭素数4〜20の含酸素複素環含有基、炭素数4〜20の含窒素複素環含有基または炭素数4〜20の含硫黄複素環含有基であり(但し、R1およびRがいずれも水素原子である場合を除く)、Rは水素原子または炭素数1〜12のアルキル基であり、R、RおよびRは、それぞれ独立に、水素原子または炭素数1〜6のアルキル基である。〕 In [Equation (1) and (2), R 1 and R 2 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, alicyclic hydrocarbon group having 3 to 20 carbon atoms (provided that An alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group and a halogen atom, which may be substituted, and a phenyl group (however, an alkyl having 1 to 6 carbon atoms) Group, an alkoxyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group, and a halogen atom may be substituted.), An oxygen-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms, and a group having 4 to 20 carbon atoms A nitrogen-containing heterocyclic group or a sulfur-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms (except when R 1 and R 2 are both hydrogen atoms), and R 3 is a hydrogen atom or 1 carbon atom an 12 alkyl radical, R , R 5 and R 6 are each independently a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. ]

本発明の転写フィルムは、支持フィルム上に、本発明の無機粉体含有樹脂組成物からなる層が形成されてなることを特徴とする。
本発明のPDPの製造方法は、本発明の無機粉体含有樹脂組成物からなる無機粉体含有樹脂層を基板上に形成し、当該無機粉体含有樹脂層を露光処理してパターンの潜像を形成し、当該無機粉体含有樹脂層を現像処理してパターン層を形成し、当該パターン層を焼成処理することにより、無機パターンを有するパネル部材を形成することを特徴とする。
The transfer film of the present invention is characterized in that a layer made of the inorganic powder-containing resin composition of the present invention is formed on a support film.
In the method for producing the PDP of the present invention, an inorganic powder-containing resin layer made of the inorganic powder-containing resin composition of the present invention is formed on a substrate, and the inorganic powder-containing resin layer is exposed to light so as to form a latent image of a pattern. The inorganic powder-containing resin layer is developed to form a pattern layer, and the pattern layer is baked to form a panel member having an inorganic pattern.

本発明の無機粉体含有樹脂組成物、転写フィルムおよびプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、作業性に優れ、かつ優れたパターン形状を有するとともに良好な密着性を有する無機パターンを形成することができる。本発明の無機粉体含有樹脂組成物および転写フィルムは、プラズマディスプレイパネルのパネル部材の形成に好適に使用することができる。   According to the method for producing an inorganic powder-containing resin composition, a transfer film and a plasma display panel of the present invention, it is possible to form an inorganic pattern having excellent workability and excellent pattern shape and good adhesion. it can. The inorganic powder-containing resin composition and transfer film of the present invention can be suitably used for forming a panel member of a plasma display panel.

以下、本発明について詳細に説明する。
<無機粉体含有樹脂組成物>
(a)無機粉体
本発明の組成物を構成する無機粉体を構成する無機物質としては金属粒子を使用することができる。
ここに、PDPを構成する「誘電体層」および「隔壁」を形成するための組成物に含有される無機粉体については、軟化点が350〜700℃(好ましくは400〜620℃)の範囲内にあるガラス粉末を挙げることができる。ガラス粉末の軟化点が400℃未満である場合には、当該組成物による膜形成材料層の焼成工程において、結着樹脂などの有機物質が完全に分解除去されない段階でガラス粉末が溶融してしまうため、形成されるガラス焼結体中に有機物質の一部が残留し、この結果、得られる隔壁(ガラス焼結体)が着色されて、その光透過率が低下する傾向がある。一方、ガラス粉末の軟化点が620℃を超える場合には、620℃より高温で焼成する必要があるために、ガラス基板に歪みなどが発生しやすい。
好適なガラス粉末の具体例としては、I.酸化鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素(PbO−B2O3−SiO2系)の混合物、II.酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素(ZnO−B2O3−SiO2系)の混合物、III.酸化鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化アルミニウム(PbO−B2O3−SiO2−Al2O3系)の混合物、IV.酸化鉛、酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素(PbO−ZnO−B2O3−SiO2系)の混合物などを例示することができる。
これらガラス粉末は、隔壁以外の構成要素(例えば誘電体層・電極・抵抗体・蛍光体・カラーフィルター・ブラックマトリックス)を形成するための組成物中に含有(併用)されていてもよい。これらの構成要素を得るための無機粉体含有樹脂組成物におけるガラス粉末の含有量は、無機粉体全量に対して、通常、90質量%以下、好ましくは、5〜90質量%である。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
<Inorganic powder-containing resin composition>
(A) Examples of the inorganic substance constituting the inorganic powder constituting the composition of the inorganic powder present invention may it to use the metal particles.
Here, the inorganic powder contained in the composition for forming the “dielectric layer” and “partition wall” constituting the PDP has a softening point of 350 to 700 ° C. (preferably 400 to 620 ° C.). The glass powder inside can be mentioned. When the softening point of the glass powder is less than 400 ° C., the glass powder melts at a stage where organic substances such as the binder resin are not completely decomposed and removed in the baking process of the film forming material layer by the composition. Therefore, a part of the organic substance remains in the formed glass sintered body, and as a result, the obtained partition wall (glass sintered body) tends to be colored and its light transmittance tends to decrease. On the other hand, when the softening point of the glass powder exceeds 620 ° C., the glass substrate needs to be baked at a temperature higher than 620 ° C., so that the glass substrate is likely to be distorted.
Specific examples of suitable glass powders include: A mixture of lead oxide, boron oxide and silicon oxide (PbO—B 2 O 3 —SiO 2 system); II. A mixture of zinc oxide, boron oxide and silicon oxide (ZnO—B 2 O 3 —SiO 2 system), III. A mixture of lead oxide, boron oxide, silicon oxide and aluminum oxide (PbO-B 2 O 3 —SiO 2 —Al 2 O 3 series), IV. Examples thereof include a mixture of lead oxide, zinc oxide, boron oxide, and silicon oxide (PbO—ZnO—B 2 O 3 —SiO 2 system).
These glass powders may be contained (combined) in a composition for forming components other than the barrier ribs (for example, a dielectric layer, an electrode, a resistor, a phosphor, a color filter, and a black matrix). The content of the glass powder in the inorganic powder-containing resin composition for obtaining these constituent elements is usually 90% by mass or less, preferably 5 to 90% by mass with respect to the total amount of the inorganic powder.

PDPを構成する「電極」を形成するための組成物に含有される無機粉体としては、Ag、Au、Al、Ni、Ag−Pd合金、CuおよびCrなどからなる金属粒子を挙げることができる。
PDPを構成する「抵抗体」を形成するための組成物に含有される無機粉体としては、RuO2などからなる粒子を挙げることができる。
PDPを構成する「蛍光体」を形成するための組成物に含有される無機粉体としては、Y2O3:Eu3+、Y2SiO5:Eu3+、Y3Al5O12:Eu3+、YVO4:Eu3+、(Y, Gd)BO3:Eu3+、Zn3(PO4)2:Mnなどの赤色用蛍光物質;Zn2SiO4:Mn、BaAl12O19:Mn、BaMgAl14O23:Mn、LaPO4:(Ce, Tb)、Y3(Al, Ga)5O12:Tbなどの緑色用蛍光物質;Y2SiO5:Ce、BaMgAl10O17:Eu2+、BaMgAl14O23:Eu2+、(Ca, Sr, Ba)10(PO4)6Cl2:Eu2+、(Zn, Cd)S:Agなどの青色用蛍光物質などからなる粒子を挙げることができる。
PDPを構成する「カラーフィルター」を形成するための組成物に含有される無機粉体としては、Fe2O3、Pb3O4などの赤色用物質、Cr2O3などの緑色用物質、2(Al2Na2Si3O10)・Na2S4などの青色用物質などからなる粒子を挙げることができる。
PDPを構成する「ブラックマトリックス」を形成するための組成物に含有される無機粉体としては、Mn、Fe、Cr、Coなどからなる粒子を挙げることができる。
Examples of the inorganic powder contained in the composition for forming the “electrode” constituting the PDP include metal particles composed of Ag, Au, Al, Ni, Ag—Pd alloy, Cu, Cr, and the like. .
Examples of the inorganic powder contained in the composition for forming the “resistor” constituting the PDP include particles made of RuO 2 or the like.
As inorganic powders contained in the composition for forming the “phosphor” constituting the PDP, Y2O3: Eu 3+ , Y2SiO5: Eu 3+ , Y3Al5O12: Eu 3+ , YVO4: Eu 3+ , ( Y, Gd) BO3: Eu 3+ , Zn3 (PO4) 2: Red fluorescent material such as Mn; Zn2SiO4: Mn, BaAl12O19: Mn, BaMgAl14O23: Mn, LaPO4: (Ce, Tb), Y3 (Al, Ga) 5O12: fluorescent substance for green, such as Tb; Y2SiO5: Ce, BaMgAl10O17: Eu2 + , BaMgAl14O23: Eu2 + , (Ca, Sr, Ba) 10 (PO4) 6Cl2: Eu2 + , (Zn, Cd) S: Examples thereof include particles made of a blue fluorescent material such as Ag.
Inorganic powders contained in the composition for forming the “color filter” constituting the PDP include red materials such as Fe2O3 and Pb3O4, green materials such as Cr2O3, and blue materials such as 2 (Al2Na2Si3O10) and Na2S4. Examples thereof include particles composed of substances for use.
Examples of the inorganic powder contained in the composition for forming the “black matrix” constituting the PDP include particles composed of Mn, Fe, Cr, Co, and the like.

(b)結着樹脂
本発明の無機粉体含有樹脂組成物を構成する結着樹脂としては、種々の樹脂を用いることができるが、アルカリ可溶性樹脂を30〜100質量%の割合で含有する樹脂を用いることが好ましい。ここに、「アルカリ可溶性」とは、アルカリ性の現像液によって溶解し、目的とする現像処理が遂行される程度に溶解性を有する性質をいう。
かかるアルカリ可溶性樹脂の具体例としては、例えば(メタ)アクリル系樹脂、ヒドロキシスチレン樹脂、ノボラック樹脂、ポリエステル樹脂などを挙げることができる。
このようなアルカリ可溶性樹脂のうち、特に好ましいものとしては、下記のモノマー(イ)とモノマー(ハ)との共重合体、モノマー(イ)、モノマー(ロ)およびモノマー(ハ)の共重合体などのアクリル樹脂を挙げることができる。
(B) Binder Resin As the binder resin constituting the inorganic powder-containing resin composition of the present invention, various resins can be used, but a resin containing an alkali-soluble resin in a proportion of 30 to 100% by mass. Is preferably used. Here, “alkali-soluble” refers to the property of being dissolved in an alkaline developer and having a solubility to such an extent that the intended development processing is performed.
Specific examples of such alkali-soluble resins include (meth) acrylic resins, hydroxystyrene resins, novolac resins, and polyester resins.
Among such alkali-soluble resins, particularly preferred are the following copolymer of monomer (a) and monomer (c), monomer (a), monomer (b) and monomer (c): An acrylic resin such as

モノマー(イ):カルボキシル基含有モノマー類
アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸、ケイ皮酸、コハク酸モノ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレートなど。
モノマー(ロ):OH含有モノマー類
(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシプロピルなどの水酸基含有モノマー類;o−ヒドロキシスチレン、m−ヒドロキシスチレン、p−ヒドロキシスチレンなどのフェノール性水酸基含有モノマー類など。
モノマー(ハ):その他の共重合可能なモノマー類
(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸n−ブチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸n−ラウリル、(メタ)アクリル酸ベンジル、(メタ)アクリル酸グリシジル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタニルなどのモノマー(イ)以外の(メタ)アクリル酸エステル類;メチル−α−(ヒドロキシメチル)アクリレート、エチル−α−(ヒドロキシメチル)アクリレート、n−ブチル−α−(ヒドロキシメチル)アクリレートなどのα−ヒドロキシメチル基を有するアクリレート;スチレン、α−メチルスチレンなどの芳香族ビニル系モノマー類;ブタジエン、イソプレンなどの共役ジエン類;ポリスチレン、ポリ(メタ)アクリル酸メチル、ポリ(メタ)アクリル酸エチル、ポリ(メタ)アクリル酸ベンジル等のポリマー鎖の一方の末端に(メタ)アクリロイル基などの重合性不飽和基を有するマクロモノマー類など。
Monomer (I): Carboxyl group-containing monomers Acrylic acid, methacrylic acid, maleic acid, fumaric acid, crotonic acid, itaconic acid, citraconic acid, mesaconic acid, cinnamic acid, succinic acid mono (2- (meth) acryloyloxy) Ethyl), ω-carboxy-polycaprolactone mono (meth) acrylate, and the like.
Monomer (b): OH-containing monomers (hydroxy) -containing monomers such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate; o-hydroxystyrene, Phenolic hydroxyl group-containing monomers such as m-hydroxystyrene and p-hydroxystyrene.
Monomer (C): Other copolymerizable monomers (meth) methyl acrylate, (meth) ethyl acrylate, (meth) acrylate n-butyl, (meth) acrylate 2-ethylhexyl, (meth) acrylic acid (meth) acrylic acid esters other than monomer (ii) such as n-lauryl, benzyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, and dicyclopentanyl (meth) acrylate; methyl-α- (hydroxymethyl) ) Acrylates, acrylates having an α-hydroxymethyl group such as ethyl-α- (hydroxymethyl) acrylate, n-butyl-α- (hydroxymethyl) acrylate; aromatic vinyl monomers such as styrene and α-methylstyrene; Conjugated dienes such as butadiene and isoprene; polystyrene, poly (meth) a Methyl acrylic acid, poly (meth) acrylate, poly (meth) macromonomers having a polymerizable unsaturated group such as one terminus (meth) acryloyl groups in the polymer chain of benzyl acrylate and the like.

上記モノマー(イ)とモノマー(ハ)との共重合体や、モノマー(イ)、モノマー(ロ)およびモノマー(ハ)の共重合体は、モノマー(イ)に由来する共重合成分の存在により、アルカリ可溶性を有するものとなる。中でもモノマー(イ)、モノマー(ロ)およびモノマー(ハ)の共重合体は、(A)無機粉体の分散安定性や後述するアルカリ現像液への溶解性の観点から特に好ましい。
この共重合体におけるモノマー(イ)に由来する共重合成分の含有率は、好ましくは5〜60質量%、特に好ましくは10〜40質量%であり、モノマー(ロ)に由来する共重合成分の含有率は、好ましくは1〜50質量%、特に好ましくは5〜30質量%である。
The copolymer of the monomer (a) and the monomer (c) and the copolymer of the monomer (a), the monomer (b) and the monomer (c) are due to the presence of a copolymer component derived from the monomer (a). , Having alkali solubility. Among these, a copolymer of monomer (a), monomer (b) and monomer (c) is particularly preferred from the viewpoint of (A) dispersion stability of inorganic powder and solubility in an alkali developer described later.
The content of the copolymer component derived from the monomer (a) in this copolymer is preferably 5 to 60% by mass, particularly preferably 10 to 40% by mass, and the content of the copolymer component derived from the monomer (b) The content is preferably 1 to 50% by mass, particularly preferably 5 to 30% by mass.

本発明の組成物に用いられる結着樹脂として特に好ましい組成としては、メタクリル酸/メタクリル酸2−ヒドロキシプロピル/メタクリル酸n−ブチル共重合体や、メタクリル酸/コハク酸モノ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)/メタクリル酸2−ヒドロキシプロピル/メタクリル酸n−ブチル共重合体が挙げられる。   Particularly preferred compositions for the binder resin used in the composition of the present invention include methacrylic acid / 2-hydroxypropyl methacrylate / n-butyl methacrylate copolymer, and methacrylic acid / succinic acid mono (2- (meth)). Acryloyloxyethyl) / 2-hydroxypropyl methacrylate / n-butyl methacrylate copolymer.

上記アルカリ可溶性樹脂の分子量としては、Mwが5,000〜5,000,000であることが好ましく、さらに好ましくは10,000〜300,000とされる。
また、本発明の無機粉体含有樹脂組成物における結着樹脂の含有割合としては、無機粉体100質量部に対して、通常、1〜200質量部とされ、好ましくは、5〜100質量部、特に好ましくは、10〜80質量部とされる。
The molecular weight of the alkali-soluble resin is preferably 5,000 to 5,000,000, and more preferably 10,000 to 300,000.
The content ratio of the binder resin in the inorganic powder-containing resin composition of the present invention is usually 1 to 200 parts by mass, preferably 5 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the inorganic powder. Particularly preferably, the amount is 10 to 80 parts by mass.

(c)多官能性(メタ)アクリレート
本発明の組成物を構成する多官能性(メタ)アクリレートは、露光により重合し、露光部分をアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性にする性質を有する。
多官能性(メタ)アクリレートの具体例としては、エチレングリコール、プロピレングリコールなどのアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート類;ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコールなどのポリアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート類;両末端ヒドロキシポリブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトンなどの両末端ヒドロキシル化重合体のジ(メタ)アクリレート類;
グリセリン、1,2,4−ブタントリオール、トリメチロールアルカン、テトラメチロールアルカン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトールなどの3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類;3価以上の多価アルコールのポリアルキレングリコール付加物のポリ(メタ)アクリレート類;1,4−シクロヘキサンジオール、1,4−ベンゼンジオール類などの環式ポリオールのポリ(メタ)アクリレート類;ポリエステル(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、アルキド樹脂(メタ)アクリレート、シリコーン樹脂(メタ)アクリレート、スピラン樹脂(メタ)アクリレート等のオリゴ(メタ)アクリレート類などを挙げることができ、これらは単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。
これらのうち、トリメチロールプロパントリアクリレート等が特に好ましく用いられる。
上記多官能性(メタ)アクリレートの分子量としては、100〜2,000であることが好ましい。
本発明の無機粉体含有樹脂組成物における光重合性モノマーの含有割合としては、無機粉体100質量部に対して、通常、5〜50質量部とされ、好ましくは、10〜40質量部とされる。
(C) Polyfunctional (meth) acrylate The polyfunctional (meth) acrylate constituting the composition of the present invention has a property of being polymerized by exposure to render the exposed portion alkali-insoluble or alkali-insoluble.
Specific examples of polyfunctional (meth) acrylates include di (meth) acrylates of alkylene glycols such as ethylene glycol and propylene glycol; di (meth) acrylates of polyalkylene glycols such as polyethylene glycol and polypropylene glycol; Di (meth) acrylates of hydroxylated polymers at both ends, such as hydroxypolybutadiene, hydroxyterminated polyisoprene at both ends, hydroxypolycaprolactone at both ends;
Poly (meth) acrylates of trihydric or higher polyhydric alcohols such as glycerin, 1,2,4-butanetriol, trimethylolalkane, tetramethylolalkane, pentaerythritol, dipentaerythritol; Poly (meth) acrylates of polyalkylene glycol adducts; poly (meth) acrylates of cyclic polyols such as 1,4-cyclohexanediol and 1,4-benzenediol; polyester (meth) acrylate, epoxy (meth) Examples thereof include oligo (meth) acrylates such as acrylate, urethane (meth) acrylate, alkyd resin (meth) acrylate, silicone resin (meth) acrylate, and spirane resin (meth) acrylate. It can be used in combination on.
Of these, trimethylolpropane triacrylate and the like are particularly preferably used.
The molecular weight of the polyfunctional (meth) acrylate is preferably 100 to 2,000.
The content ratio of the photopolymerizable monomer in the inorganic powder-containing resin composition of the present invention is usually 5 to 50 parts by mass, preferably 10 to 40 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the inorganic powder. Is done.

(d)化合物(I)
本発明の組成物を構成する化合物(I)は、光重合開始剤として含有される。化合物(I)を用いることにより、高感度で硬化深度の良好な組成物を得ることができ、従って得られる構成要素のパターン形状が良好なものになるという効果を有する。また、光重合開始剤全体の含有量を少なくすることができることから、燃焼性や現像性に優れた組成物を得ることができる。
(D) Compound (I)
Compound (I) constituting the composition of the present invention is contained as a photopolymerization initiator. By using the compound (I), a composition having a high sensitivity and a good curing depth can be obtained, and therefore, the resulting component has a good pattern shape. Moreover, since content of the whole photoinitiator can be decreased, the composition excellent in combustibility and developability can be obtained.

化合物(I)を示す上記式(1)および上記式(2)中、R1およびRは、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜20の脂環式炭化水素基(但し、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のアルコキシル基、フェニル基およびハロゲン原子から選ばれる少なくとも1種で置換されてもよい。)、フェニル基(但し、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のアルコキシル基、フェニル基およびハロゲン原子から選ばれる少なくとも1種で置換されてもよい。)、炭素数4〜20の含酸素複素環含有基、炭素数4〜20の含窒素複素環含有基または炭素数4〜20の含硫黄複素環含有基である(但し、R1およびRがいずれも水素原子である場合を除く)。
炭素数3〜20の脂環式炭化水素基としては、シクロアルキル基、ビシクロアルキル基、トリシクロアルキル基、スピロアルキル基、ter−シクロアルキル基、テルペン骨格含有基、アダマンチル骨格含有基等が挙げられる。また、炭素数4〜20の含窒素複素環含有基、炭素数4〜20の含酸素複素環含有基、炭素数4〜20の含硫黄複素環含有基としては、たとえば、チオラニル基、アゼピニル基、ジヒドロアゼピニル基、ジオキソラニル基、トリアジニル基、オキサチアニル基、チアゾーリル基、オキサジアジニル基、ジオキサインダニイル基、ジヒアナフタレニル基、フラニル基、チオフェニル基、ピロリル基、オキサゾリル基、イソオキサゾリル基、チアゾリル基、イソチアゾリル基、ピラゾリル基、フラザニル基、ピラニル基、ピリジニル基、ピリダジニル基、ピリミジル基、ピラジニル基、ピロリニル基、モルホニル基、ピペラジニル基、キヌクリジニル基、インドーリル基、イソインドーリル基、ベンゾフラニル基、ベンゾチオフェニル基、インドリジニル基、クロメニル基、キノリニル基、イソキノリニル基、プリニル基、キナゾリニル基、シンノリニル基、フタラジニル基、プテリジニル基、カルバゾーリル基、アクリジニル基、フェナントリジニル基、チオキサンテニル基、フェナジニル基、フェノチアジニル基、フェノキサチイニル基、フェノキサジニル基、チアントレニル等が挙げられる。
In the above formula (1) and the above formula (2) showing the compound (I), R 1 and R 2 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, or an alicyclic ring having 3 to 20 carbon atoms. A hydrocarbon group (however, it may be substituted with at least one selected from an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group and a halogen atom), a phenyl group (however, And may be substituted with at least one selected from an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group, and a halogen atom.), An oxygen-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms , A nitrogen-containing heterocycle-containing group having 4 to 20 carbon atoms or a sulfur-containing heterocycle-containing group having 4 to 20 carbon atoms (except when R 1 and R 2 are both hydrogen atoms).
Examples of the alicyclic hydrocarbon group having 3 to 20 carbon atoms include a cycloalkyl group, a bicycloalkyl group, a tricycloalkyl group, a spiroalkyl group, a ter-cycloalkyl group, a terpene skeleton-containing group, and an adamantyl skeleton-containing group. It is done. Examples of the nitrogen-containing heterocycle-containing group having 4 to 20 carbon atoms, the oxygen-containing heterocycle-containing group having 4 to 20 carbon atoms, and the sulfur-containing heterocycle-containing group having 4 to 20 carbon atoms include, for example, thiolanyl group and azepinyl group. , Dihydroazepinyl group, dioxolanyl group, triazinyl group, oxathanyl group, thiazolyl group, oxadiazinyl group, dioxaindanyl group, dihyanaphthalenyl group, furanyl group, thiophenyl group, pyrrolyl group, isoxazolyl group, isoxazolyl group, thiazolyl Group, isothiazolyl group, pyrazolyl group, furazanyl group, pyranyl group, pyridinyl group, pyridazinyl group, pyrimidyl group, pyrazinyl group, pyrrolinyl group, morpholinyl group, piperazinyl group, quinuclidinyl group, indolyl group, isoindolyl group, benzofuranyl group, benzo Thiophenyl group, India Zinyl, chromenyl, quinolinyl, isoquinolinyl, purinyl, quinazolinyl, cinnolinyl, phthalazinyl, pteridinyl, carbazolyl, acridinyl, phenanthridinyl, thioxanthenyl, phenazinyl, phenothiazinyl, phenoxy Examples include a sathiinyl group, a phenoxazinyl group, and thiantenyl.

かかる化合物(I)の具体例としては、1−[9−エチル−6−ベンゾイル−9.H.−カルバゾール−3−イル]−ノナン−1,2−ノナン−2−オキシム−O−ベンゾアート、1−[9−エチル−6−ベンゾイル−9.H.−カルバゾール−3−イル]−ノナン−1,2−ノナン−2−オキシム−O−アセタート、1−[9−エチル−6−ベンゾイル−9.H.−カルバゾール−3−イル]−ペンタン−1,2−ペンタン−2−オキシム−O−アセタート、1−[9−エチル−6−ベンゾイル−9.H.−カルバゾール−3−イル]−オクタン−1−オンオキシム−O−アセタート、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾアート、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−エタン−1−オンオキシム−O−アセタート、1−[9−エチル−6−(1,3,5−トリメチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾアート、1−[9−ブチル−6−(2−エチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾアート、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−ビシクロヘプチルメタン−1−オンオキシム−O−ベンゾアート、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−ビシクロヘプチル−1−オンオキシム−O−アセタート、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−アダマンチルメタン−1−オンオキシム−O−ベンゾアート、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−アダマンチルメタン−1−オンオキシム−O−アセタート、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−テトラヒドロフラニルメタン−1−オンオキシム−O−ベンゾアート、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−テトラヒドロフラニルメタン−1−オンオキシム−O−アセタート、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−チオフェニルメタン−1−オンオキシム−O−ベンゾアート、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−チオフェニルメタン−1−オンオキシム−O−アセタート、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−モロフォニルメタン−1−オンオキシム−O−ベンゾアート、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−モロフォニルメタン−1−オンオキシム−O−アセタート、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−エタン−1−オンオキシム−O−ビシクロヘプタンカルボキシレート、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−エタン−1−オンオキシム−O−トリシクロデカンカルボシキレート、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−エタン−1−オンオキシム−O−アダマンタンカルボシキレート等を挙げることができる。これらは同時に2種以上を使用しても良い。
これらのうち、特に1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−エタン−1−オンオキシム−O−アセタートが好ましい。当該化合物は、上記式(1)で表され、Rがメチル基、Rがメチル基、Rがエチル基、Rがメチル基、RおよびRが水素原子である化合物である。
本発明の組成物における化合物(I)の含有割合としては、多官能性(メタ)アクリレート100質量部に対して、通常、0.1〜50.0質量部とされ、好ましくは、1.0〜30.0質量部とされる。
Specific examples of such compound (I) include 1- [9-ethyl-6-benzoyl-9.H.-carbazol-3-yl] -nonane-1,2-nonane-2-oxime-O-benzoate. 1- [9-ethyl-6-benzoyl-9.H.-carbazol-3-yl] -nonane-1,2-nonane-2-oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6-benzoyl -9.H.-Carbazol-3-yl] -pentane-1,2-pentane-2-oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6-benzoyl-9.H.-carbazol-3-yl ] -Octane-1-one oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-benzoate 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzo) Yl) -9.H.-carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6- (1,3,5-trimethylbenzoyl) -9.H.- Carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-benzoate, 1- [9-butyl-6- (2-ethylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] -ethane-1- Onoxime-O-benzoate, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] -bicycloheptylmethane-1-one oxime-O-benzoate, 1- [9-Ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] -bicycloheptyl-1-one oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl Benzoyl) -9.H.-Cal Basol-3-yl] -adamantylmethane-1-one oxime-O-benzoate, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] -adamantylmethane- 1-one oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] -tetrahydrofuranylmethane-1-one oxime-O-benzoate, 1 -[9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] -tetrahydrofuranylmethane-1-one oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6- (2 -Methylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] -thiophenylmethane-1-one oxime-O-benzoate, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzo) ) -9.H.-carbazol-3-yl] -thiophenylmethane-1-one oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9.H.-carbazole- 3-yl] -Morophonylmethane-1-one oxime-O-benzoate, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] -morophonyl Methane-1-one oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-bicycloheptanecarboxylate 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-tricyclodecanecarboxylate, 1- [9-ethyl -6 (2-Methylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-adamantane carboxylate and the like. Two or more of these may be used at the same time.
Of these, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-acetate is particularly preferable. The compound is a compound represented by the above formula (1), wherein R 1 is a methyl group, R 2 is a methyl group, R 3 is an ethyl group, R 4 is a methyl group, and R 5 and R 6 are hydrogen atoms. .
As a content rate of compound (I) in the composition of this invention, it is 0.1-50.0 mass parts normally with respect to 100 mass parts of polyfunctional (meth) acrylate, Preferably, it is 1.0. -30.0 parts by mass.

本発明の組成物には、化合物(I)以外の光重合開始剤を併用しても良い。その他の光重合開始剤の具体例としては、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾフェノン、カンファーキノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2−メチル−〔4’−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノ−1−プロパノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンなどのカルボニル化合物;アゾイソブチロニトリル、4−アジドベンズアルデヒドなどのアゾ化合物あるいはアジド化合物;メルカプタンジスルフィドなどの有機硫黄化合物;ベンゾイルパーオキシド、ジ−tert−ブチルパーオキシド、tert−ブチルハイドロパーオキシド、クメンハイドロパーオキシド、パラメタンハイドロパーオキシドなどの有機パーオキシド;1,3−ビス(トリクロロメチル)−5−(2’−クロロフェニル)−1,3,5−トリアジン、2−〔2−(2−フラニル)エチレニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジンなどのトリハロメタン類;2,2’−ビス(2−クロロフェニル)4,5,4’,5’−テトラフェニル1,2’−ビイミダゾールなどのイミダゾール二量体などを挙げることができる。これらは単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。
その他の光重合開始剤の含有割合としては、光重合開始剤全量に対して50質量%以下、好ましくは30質量%以下とされる。
In the composition of the present invention, a photopolymerization initiator other than the compound (I) may be used in combination. Specific examples of other photopolymerization initiators include benzyl, benzoin, benzophenone, camphorquinone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2,2-dimethoxy. 2-phenylacetophenone, 2-methyl- [4 ′-(methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butane-1 Carbonyl compounds such as -one; Azo compounds or azide compounds such as azoisobutyronitrile and 4-azidobenzaldehyde; Organic sulfur compounds such as mercaptan disulfide; Benzoyl peroxide, di-tert-butyl peroxide, tert-butyl hydroper Oxide, Kume Organic peroxides such as hydrogen peroxide and paraffin hydroperoxide; 1,3-bis (trichloromethyl) -5- (2′-chlorophenyl) -1,3,5-triazine, 2- [2- (2- Furanyl) ethylenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -1,3,5-triazine and the like; 2,2′-bis (2-chlorophenyl) 4,5,4 ′, 5′-tetraphenyl Examples thereof include imidazole dimers such as 1,2'-biimidazole. These can be used alone or in combination of two or more.
The content ratio of the other photopolymerization initiator is 50% by mass or less, preferably 30% by mass or less, based on the total amount of the photopolymerization initiator.

本発明の無機粉体含有樹脂組成物には、通常、適当な流動性または可塑性、良好な膜形成性を付与するために溶剤が含有される。用いられる溶剤としては、無機粉体との親和性、結着樹脂の溶解性が良好で、無機粉体含有樹脂組成物に適度な粘性を付与することができると共に、乾燥されることにより容易に蒸発除去できるものであることが好ましい。
また、特に好ましい溶剤として、標準沸点(1気圧における沸点)が100〜200℃であるケトン類、アルコール類およびエステル類(以下、これらを「特定溶剤」という。)を挙げることができる。
The inorganic powder-containing resin composition of the present invention usually contains a solvent for imparting appropriate fluidity or plasticity and good film-forming properties. As a solvent to be used, the affinity with inorganic powder and the solubility of the binder resin are good, and it can impart an appropriate viscosity to the inorganic powder-containing resin composition and is easily dried. It is preferable that it can be removed by evaporation.
Particularly preferred solvents include ketones, alcohols and esters (hereinafter referred to as “specific solvents”) having a normal boiling point (boiling point at 1 atm) of 100 to 200 ° C.

かかる特定溶剤の具体例としては、ジエチルケトン、メチルブチルケトン、ジプロピルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類;n−ペンタノール、4−メチル−2−ペンタノール、シクロヘキサノール、ジアセトンアルコールなどのアルコール類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルなどのエーテル系アルコール類;酢酸−n−ブチル、酢酸アミルなどの飽和脂肪族モノカルボン酸アルキルエステル類;乳酸エチル、乳酸−n−ブチルなどの乳酸エステル類;メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチル−3−エトキシプロピオネートなどのエーテル系エステル類などを例示することができ、これらのうち、メチルブチルケトン、シクロヘキサノン、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチル−3−エトキシプロピオネートなどが好ましい。これらの特定溶剤は、単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。
特定溶剤以外の溶剤の具体例としては、テレビン油、エチルセロソルブ、メチルセロソルブ、テルピネオール、ブチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトール、イソプロピルアルコール、ベンジルアルコールなどを挙げることができる。
本発明の無機粉体含有樹脂組成物における溶剤の含有割合としては、良好な膜形成性(流動性または可塑性)が得られる範囲内において適宜選択することができる。
Specific examples of the specific solvent include ketones such as diethyl ketone, methyl butyl ketone, dipropyl ketone, and cyclohexanone; alcohols such as n-pentanol, 4-methyl-2-pentanol, cyclohexanol, and diacetone alcohol. Ether ether alcohols such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether and propylene glycol monoethyl ether; saturated aliphatic monocarboxylic acids such as n-butyl acetate and amyl acetate Alkyl esters; lactic acid esters such as ethyl lactate and lactic acid-n-butyl; methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl acetate Examples include ether esters such as diacetate and ethyl-3-ethoxypropionate. Among these, methyl butyl ketone, cyclohexanone, diacetone alcohol, ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, lactic acid Ethyl, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethyl-3-ethoxypropionate and the like are preferable. These specific solvents can be used alone or in combination of two or more.
Specific examples of solvents other than the specific solvent include turpentine oil, ethyl cellosolve, methyl cellosolve, terpineol, butyl carbitol acetate, butyl carbitol, isopropyl alcohol, benzyl alcohol and the like.
The content ratio of the solvent in the inorganic powder-containing resin composition of the present invention can be appropriately selected within a range in which good film forming properties (fluidity or plasticity) are obtained.

また、本発明の無機粉体含有樹脂組成物には、任意成分として、可塑剤、分散剤、現像促進剤、接着助剤、ハレーション防止剤、レベリング剤、保存安定剤、消泡剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、増感剤、連鎖移動剤などの各種添加剤が含有されてもよい。
本発明の無機粉体含有樹脂組成物は、上記無機粉体、結着樹脂、光重合性モノマー、光重合開始剤および溶剤と必要に応じて上記任意成分を、ロール混練機、ミキサー、ホモミキサー、ボールミル、ビーズミルなどの混練機を用いて混練することにより調製することができる。
上記のようにして調製される無機粉体含有樹脂組成物は、塗布に適した流動性を有するペースト状の組成物であり、その粘度は、通常100〜1,000,000cp、好ましくは500〜300,000cpとされる。
In addition, the inorganic powder-containing resin composition of the present invention includes, as optional components, plasticizers, dispersants, development accelerators, adhesion assistants, antihalation agents, leveling agents, storage stabilizers, antifoaming agents, and antioxidants. Various additives such as an agent, an ultraviolet absorber, a sensitizer, and a chain transfer agent may be contained.
The inorganic powder-containing resin composition of the present invention comprises the above-mentioned inorganic powder, binder resin, photopolymerizable monomer, photopolymerization initiator and solvent and, if necessary, the above optional components, a roll kneader, a mixer, a homomixer It can be prepared by kneading using a kneader such as a ball mill or a bead mill.
The inorganic powder-containing resin composition prepared as described above is a paste-like composition having fluidity suitable for coating, and its viscosity is usually 100 to 1,000,000 cp, preferably 500 to 300,000 cp.

<転写フィルム>
本発明の転写フィルムは、支持フィルム上に、本発明の無機粉体含有樹脂組成物を塗布し、塗膜を乾燥して得られる層が形成されてなる。転写フィルムを構成する支持フィルムは、耐熱性および耐溶剤性を有すると共に可撓性を有する樹脂フィルムであることが好ましい。支持フィルムが可撓性を有することにより、ロールコータによってペースト状組成物を塗布することができ、無機粉体含有樹脂層をロール状に巻回した状態で保存し、供給することができる。支持フィルムを形成する樹脂としては、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリイミド、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニル、ポリフロロエチレンなどの含フッ素樹脂、ナイロン、セルロースなどを挙げることができる。支持フィルムの厚さとしては、例えば20〜100μmとされる。
<Transfer film>
The transfer film of the present invention is obtained by forming a layer obtained by applying the inorganic powder-containing resin composition of the present invention on a support film and drying the coating film. The support film constituting the transfer film is preferably a resin film having heat resistance and solvent resistance and flexibility. When the support film has flexibility, the paste-like composition can be applied by a roll coater, and the inorganic powder-containing resin layer can be stored and supplied in a state of being wound in a roll. Examples of the resin forming the support film include polyethylene terephthalate, polyester, polyethylene, polypropylene, polystyrene, polyimide, polyvinyl alcohol, polyvinyl chloride, polyfluoroethylene, and other fluorine-containing resins, nylon, and cellulose. The thickness of the support film is, for example, 20 to 100 μm.

無機粉体含有樹脂組成物を支持フィルム上に塗布する方法としては、膜厚の均一性に優れた膜厚の大きい(例えば10μm以上)塗膜を効率よく形成することができるものであることが必要とされ、具体的には、ロールコータによる塗布方法、ドクターブレードによる塗布方法、カーテンコータによる塗布方法、ダイコータによる塗布方法、ワイヤーコータによる塗布方法などを好ましいものとして挙げることができる。
なお、無機粉体含有樹脂組成物が塗布される支持フィルムの表面には離型処理が施されていることが好ましい。これにより、PDP構成要素形成の際に、支持フィルムの剥離操作を容易に行うことができる。
As a method of applying the inorganic powder-containing resin composition on the support film, it is possible to efficiently form a coating film having a large film thickness (for example, 10 μm or more) excellent in film thickness uniformity. Specifically, a coating method using a roll coater, a coating method using a doctor blade, a coating method using a curtain coater, a coating method using a die coater, a coating method using a wire coater, and the like can be mentioned as preferable examples.
The surface of the support film to which the inorganic powder-containing resin composition is applied is preferably subjected to a release treatment. Thereby, the peeling operation of a support film can be easily performed in the case of PDP component formation.

塗膜の乾燥条件としては、例えば、50〜150℃で0.5〜30分間程度とされ、乾燥後における溶剤の残存割合(無機粉体含有樹脂層中の含有率)は、通常2質量%以内とされる。
上記のようにして支持フィルム上に形成される無機粉体含有樹脂層の厚さとしては、無機粉体の含有率やサイズなどによっても異なるが、例えば5〜500μmとされる。
なお、無機粉体含有樹脂層の表面に設けられることのある保護フィルム層としては、ポリエチレンフィルム、ポリビニルアルコール系フィルムなどを挙げることができる。
As drying conditions of a coating film, it is set as about 0.5 to 30 minutes, for example at 50-150 degreeC, and the residual ratio (content rate in an inorganic powder containing resin layer) after drying is 2 mass% normally. It is assumed to be within.
The thickness of the inorganic powder-containing resin layer formed on the support film as described above is, for example, 5 to 500 μm, although it varies depending on the content and size of the inorganic powder.
Examples of the protective film layer that may be provided on the surface of the inorganic powder-containing resin layer include a polyethylene film and a polyvinyl alcohol film.

<PDPの製造方法>
本発明のPDPの製造方法は、本発明の無機粉体含有樹脂組成物または本発明の転写フィルムを用いて無機粉体含有樹脂層を基板上に形成し、当該無機粉体含有樹脂層を露光処理してパターンの潜像を形成し、当該無機粉体含有樹脂層を現像処理してパターン層を形成し、当該パターン層を焼成処理することにより、無機パターンを有するパネル部材を形成することを特徴とする。以下に、各工程について説明する。
<Manufacturing method of PDP>
In the method for producing the PDP of the present invention, an inorganic powder-containing resin layer is formed on a substrate using the inorganic powder-containing resin composition of the present invention or the transfer film of the present invention, and the inorganic powder-containing resin layer is exposed. Forming a pattern latent image, developing the inorganic powder-containing resin layer to form a pattern layer, and baking the pattern layer to form a panel member having an inorganic pattern. Features. Below, each process is demonstrated.

(i)無機粉体含有樹脂層の形成工程
無機粉体含有樹脂層は、本発明の無機粉体含有樹脂組成物を基板上に塗布するか、本発明の転写フィルムを用い、基板上に当該転写フィルムにおける無機粉体含有樹脂層を転写することによって形成することができる。転写フィルムを用いる方法によれば、膜厚均一性に優れた無機粉体含有樹脂層を容易に形成することができ、形成されるパターンの膜厚均一化を図ることができる。さらに、上記転写フィルムを用いてn回転写を繰り返すことで、n層(nは2以上の整数を示す)の無機粉体含有樹脂層を有する積層体を形成してもよい。また、n層の無機粉体含有樹脂層からなる積層体を支持フィルム上に形成した転写フィルムを用いて基板上に一括転写することにより、上記積層体を形成してもよい。
無機粉体含有樹脂組成物の塗布方法としては、スクリーン印刷法、ロール塗布法、回転塗布法、流延塗布法など種々の方法が挙げられ、本発明の無機粉体含有樹脂組成物を塗布した後、塗膜を乾燥する方法により、無機粉体含有樹脂層Aを形成することができる。なお、上記工程をn回繰り返すことでn層の積層体を形成してもよい。
また、転写フィルムを用いる転写工程の一例を示せば以下のとおりである。必要に応じて使用される転写フィルムの保護フィルム層を剥離した後、基板の表面に、無機粉体含有樹脂層の表面が当接されるように転写フィルムを重ね合わせ、この転写フィルムを加熱ローラなどにより熱圧着した後、無機粉体含有樹脂層から支持フィルムを剥離除去する。これにより、基板の表面に無機粉体含有樹脂層が転写されて密着した状態となる。ここで、転写条件としては、例えば、加熱ローラの表面温度が40〜140℃、加熱ローラによるロール圧が0.1〜10kg/cm、加熱ローラの移動速度が0.1〜10m/分を示すことができる。また、基板は予熱されていてもよく、予熱温度としては例えば40〜140℃とすることができる。
(I) Step of forming inorganic powder-containing resin layer The inorganic powder-containing resin layer is formed by applying the inorganic powder-containing resin composition of the present invention on a substrate or using the transfer film of the present invention on the substrate. It can form by transferring the inorganic powder containing resin layer in a transfer film. According to the method using a transfer film, an inorganic powder-containing resin layer excellent in film thickness uniformity can be easily formed, and the film thickness of the formed pattern can be made uniform. Furthermore, you may form the laminated body which has an inorganic powder containing resin layer of n layer (n shows an integer greater than or equal to 2) by repeating transcription | transfer n times using the said transfer film. Alternatively, the laminate may be formed by collectively transferring a laminate comprising n layers of inorganic powder-containing resin layers onto a substrate using a transfer film formed on a support film.
Examples of the coating method of the inorganic powder-containing resin composition include various methods such as a screen printing method, a roll coating method, a spin coating method, and a casting coating method, and the inorganic powder-containing resin composition of the present invention was applied. Then, the inorganic powder containing resin layer A can be formed by the method of drying a coating film. Note that an n-layer stack may be formed by repeating the above steps n times.
An example of a transfer process using a transfer film is as follows. After peeling off the protective film layer of the transfer film used as necessary, the transfer film is overlaid on the surface of the substrate so that the surface of the resin layer containing the inorganic powder comes into contact with the transfer film. Then, the support film is peeled and removed from the inorganic powder-containing resin layer. As a result, the inorganic powder-containing resin layer is transferred and adhered to the surface of the substrate. Here, as the transfer conditions, for example, the surface temperature of the heating roller is 40 to 140 ° C., the roll pressure by the heating roller is 0.1 to 10 kg / cm, and the moving speed of the heating roller is 0.1 to 10 m / min. be able to. Moreover, the board | substrate may be preheated and can be 40-140 degreeC as preheating temperature, for example.

(ii)露光工程
無機粉体含有樹脂層の表面に、露光用マスクを介して紫外線などの放射線の選択的照射(露光)を行う方法や、レーザー光を走査する方法などで、パターンの潜像を形成する。ここに、放射線照射装置としては、フォトリソグラフィー法で一般的に使用されている紫外線照射装置、半導体および液晶表示装置を製造する際に使用されている露光装置、レーザー装置などが用いられるが、特に限定されるものではない。
なお、無機粉体含有樹脂層を転写により形成した場合には、当該樹脂層上に被覆されている支持フィルムを剥離しない状態で露光を行うのが好ましい。
(Ii) Exposure process The latent image of the pattern by a method of selectively irradiating (exposure) radiation such as ultraviolet rays to the surface of the inorganic powder-containing resin layer through an exposure mask or a method of scanning with laser light. Form. Here, as the radiation irradiation apparatus, an ultraviolet irradiation apparatus generally used in a photolithography method, an exposure apparatus used when manufacturing a semiconductor and a liquid crystal display device, a laser apparatus, etc. are used. It is not limited.
In addition, when the inorganic powder-containing resin layer is formed by transfer, it is preferable to perform the exposure without peeling off the support film coated on the resin layer.

(iii)現像工程
露光された無機粉体含有樹脂層を現像して、無機粉体含有樹脂層のパターンを形成する。ここに、現像処理条件としては、無機粉体含有樹脂層の種類に応じて、現像液の種類・組成・濃度、現像時間、現像温度、現像方法(例えば浸漬法、揺動法、シャワー法、スプレー法、パドル法など)、現像装置などを適宜選択することができる。
(Iii) Development step The exposed inorganic powder-containing resin layer is developed to form a pattern of the inorganic powder-containing resin layer. Here, as development processing conditions, depending on the type of the inorganic powder-containing resin layer, the type / composition / concentration of the developer, the development time, the development temperature, the development method (for example, dipping method, rocking method, shower method, A spray method, a paddle method, etc.), a developing device, and the like can be appropriately selected.

(vi)焼成工程
無機粉体含有樹脂層のパターンを焼成処理して、無機粉体含有樹脂層の残留部における有機物質を焼失させる。この工程により、無機粉体含有樹脂層のパターンから、誘電体層、隔壁、電極、抵抗体、蛍光体、カラーフィルター、ブラックマトリックス等のPDP構成要素が形成される。
ここに、焼成処理の温度としては、無機粉体含有樹脂層(残留部)中の有機物質が焼失される温度であることが必要であり、通常、400〜600℃とされる。また、焼成時間は、通常10〜90分間とされる。
(Vi) Firing Step The pattern of the inorganic powder-containing resin layer is fired to burn off the organic material in the remaining portion of the inorganic powder-containing resin layer. By this step, PDP components such as a dielectric layer, partition walls, electrodes, resistors, phosphors, color filters, and a black matrix are formed from the pattern of the inorganic powder-containing resin layer.
Here, the temperature of the baking treatment needs to be a temperature at which the organic substance in the inorganic powder-containing resin layer (residual portion) is burned off, and is usually 400 to 600 ° C. The firing time is usually 10 to 90 minutes.

以下、上記各工程に用いられる材料、各種条件などについて説明する。
<基板>
基板材料としては、例えばガラス、シリコーン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族アミド、ポリアミドイミド、ポリイミドなどの絶縁性材料からなる板状部材が挙げられる。この板状部材の表面に対しては、必要に応じて、シランカップリング剤などによる薬品処理;プラズマ処理;イオンプレーティング法、スパッタリング法、気相反応法、真空蒸着法などによる薄膜形成処理のような適宜の前処理を施されていてもよい。
なお、本発明においては、基板として、耐熱性を有するガラスを用いることが好ましい。ガラス基板としては、例えば旭硝子(株)製PD200を好ましいものとして挙げることができる。
Hereinafter, materials used in the above steps, various conditions, and the like will be described.
<Board>
Examples of the substrate material include plate-like members made of an insulating material such as glass, silicone, polycarbonate, polyester, aromatic amide, polyamideimide, and polyimide. For the surface of the plate-like member, chemical treatment with a silane coupling agent or the like, if necessary, plasma treatment; thin film formation treatment by an ion plating method, a sputtering method, a gas phase reaction method, a vacuum deposition method, etc. Such an appropriate pretreatment may be performed.
In the present invention, it is preferable to use glass having heat resistance as the substrate. As a glass substrate, Asahi Glass Co., Ltd. product PD200 can be mentioned as a preferable thing, for example.

<露光用マスク>
本発明の製造方法による露光工程において使用される露光用マスクの露光パターンとしては、材料によって異なるが、一般的に10〜500μm幅のストライプである。
<Exposure mask>
The exposure pattern of the exposure mask used in the exposure process according to the manufacturing method of the present invention is a stripe having a width of 10 to 500 μm, although it varies depending on the material.

<現像液>
本発明の製造方法による現像工程で使用される現像液としては、アルカリ現像液を好ましく使用することができる。
なお、無機粉体含有樹脂層に含有される無機粉体は、アルカリ可溶性樹脂により均一に分散されているため、アルカリ性溶液で結着樹脂であるアルカリ可溶性樹脂を溶解させ、洗浄することにより、無機粉体も同時に除去される。
アルカリ現像液の有効成分としては、例えば水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、リン酸水素ナトリウム、リン酸水素二アンモニウム、リン酸水素二カリウム、リン酸水素二ナトリウム、リン酸二水素アンモニウム、リン酸二水素カリウム、リン酸二水素ナトリウム、ケイ酸リチウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、ホウ酸リチウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニアなどの無機アルカリ性化合物;テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、トリメチルヒドロキシエチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミンなどの有機アルカリ性化合物などを挙げることができる。
アルカリ現像液は、前記アルカリ性化合物の1種または2種以上を水などに溶解させることにより調製することができる。ここに、アルカリ性現像液におけるアルカリ性化合物の濃度は、通常0.001〜10質量%とされ、好ましくは0.01〜5質量%とされる。なお、アルカリ現像液による現像処理がなされた後は、通常、水洗処理が施される。
<Developer>
As the developer used in the development step according to the production method of the present invention, an alkali developer can be preferably used.
In addition, since the inorganic powder contained in the inorganic powder-containing resin layer is uniformly dispersed by the alkali-soluble resin, the inorganic soluble resin, which is the binder resin, is dissolved in an alkaline solution and washed to obtain an inorganic powder. The powder is also removed at the same time.
As an active ingredient of the alkaline developer, for example, lithium hydroxide, sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium hydrogen phosphate, diammonium hydrogen phosphate, dipotassium hydrogen phosphate, disodium hydrogen phosphate, ammonium dihydrogen phosphate , Inorganic such as potassium dihydrogen phosphate, sodium dihydrogen phosphate, lithium silicate, sodium silicate, potassium silicate, lithium carbonate, sodium carbonate, potassium carbonate, lithium borate, sodium borate, potassium borate, ammonia Alkaline compounds; tetramethylammonium hydroxide, trimethylhydroxyethylammonium hydroxide, monomethylamine, dimethylamine, trimethylamine, monoethylamine, diethylamine, triethylamine, monoisopropylamine, diisopropyl Triethanolamine, and organic alkaline compounds such as ethanol amine.
The alkaline developer can be prepared by dissolving one or more of the alkaline compounds in water. Here, the concentration of the alkaline compound in the alkaline developer is usually 0.001 to 10% by mass, preferably 0.01 to 5% by mass. In addition, after the development process with an alkali developer is performed, a washing process is usually performed.

以下、本発明の実施例について説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。なお、以下において「部」は「質量部」を示す。
また、Mwは、東ソー株式会社製ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)(商品名HLC−802A)により測定したポリスチレン換算の重量平均分子量である。
Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these examples. In the following, “part” means “part by mass”.
Moreover, Mw is the weight average molecular weight of polystyrene conversion measured by the gel permeation chromatography (GPC) (brand name HLC-802A) by Tosoh Corporation.

<実施例1>
(1)無機粉体含有樹脂組成物の調製
(a)無機粉体としてAg粉体(平均粒径2.2μm)100部およびガラスフリット(Bi23 −B23 −SiO2 系、平均粒径3μm、不定形、軟化点520℃、熱膨張係数α300=87×10−7/℃)10部、(b)結着樹脂として、メタクリル酸/メタクリル酸2−ヒドロキシプロピル/メタクリル酸−n−ブチル=25/25/50(質量%)共重合体(Mw=50,000)30部、(c)多官能性(メタ)アクリレートとして、トリメチロールプロパントリアクリレート30部、(d)化合物(I)として1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−エタン−1−オンオキシム−O−アセタート3部、分散剤としてオレイン酸1部および溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテル100部をビーズミルで混練りした後、ステンレスメッシュ(500メッシュ、25μm径)でフィルタリングすることにより、無機粉体含有樹脂組成物(I)を調製した。
(2)無機粉体含有樹脂層の形成
ガラス基板上に無機粉体含有樹脂組成物(I)を厚さ10μmでスクリーン印刷により塗布したのち、100℃のクリーンオーブンで5分乾燥して、無機粉体含有樹脂層を形成した。
(3)無機粉体含有樹脂層の露光工程
ガラス基板上に形成された無機粉体含有樹脂層に対して、ライン幅100μm、スペース幅400μmのストライプ状ネガ用露光用マスクを介して、超高圧水銀灯によりg線(436nm)、h線(405nm)およびi線(365nm)の混合光を照射した。その際の露光量は、365nmのセンサーで測定した照度換算で400mJ/cmとした。
(4)現像工程
露光処理された無機粉体含有樹脂層に対して、液温30℃の0.3質量%の炭酸ナトリウム水溶液を現像液とするシャワー法による現像処理を60秒間行い、続いて、超純水を用いて水洗を行った。これにより、紫外線が照射されていない未硬化の無機粉体含有樹脂層を除去し、無機粉体含有樹脂層パターンを形成した。
(5)焼成工程
無機粉体含有樹脂層のパターンが形成されたガラス基板を焼成炉内で590℃の温度雰囲気下で30分間にわたり焼成処理を行った。これによりガラス基板の表面にパターン幅100μm、厚み6μmの電極が形成されてなるパネル材料を得ることができた。得られた電極はパターン形状および形状の均一性に優れ、亀裂は認められなかった。
<Example 1>
(1) Preparation of resin composition containing inorganic powder (a) As inorganic powder, 100 parts of Ag powder (average particle size 2.2 μm) and glass frit (Bi 2 O 3 —B 2 O 3 —SiO 2 system) Average particle diameter 3 μm, irregular shape, softening point 520 ° C., thermal expansion coefficient α 300 = 87 × 10 −7 / ° C.) 10 parts, (b) Binder resin as methacrylic acid / 2-hydroxypropyl methacrylate / methacrylic acid -N-butyl = 25/25/50 (mass%) copolymer (Mw = 50,000) 30 parts, (c) 30 parts of trimethylolpropane triacrylate as polyfunctional (meth) acrylate, (d) 1- [9-Ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] -ethane-1-oneoxime-O-acetate 3 parts as compound (I), oleic acid as dispersant 1 part and solvent Then, 100 parts of propylene glycol monomethyl ether was kneaded with a bead mill, and then filtered with a stainless mesh (500 mesh, 25 μm diameter) to prepare an inorganic powder-containing resin composition (I).
(2) Formation of inorganic powder-containing resin layer After coating the inorganic powder-containing resin composition (I) on a glass substrate with a thickness of 10 μm by screen printing, it is dried in a clean oven at 100 ° C. for 5 minutes to make inorganic A powder-containing resin layer was formed.
(3) Inorganic powder-containing resin layer exposure step Ultrahigh pressure is applied to the inorganic powder-containing resin layer formed on the glass substrate through a striped negative exposure mask having a line width of 100 μm and a space width of 400 μm. A mixed light of g-line (436 nm), h-line (405 nm) and i-line (365 nm) was irradiated with a mercury lamp. The exposure amount at that time was 400 mJ / cm 2 in terms of illuminance measured by a 365 nm sensor.
(4) Development process The exposed inorganic powder-containing resin layer is subjected to a development process by a shower method using a 0.3% by mass sodium carbonate aqueous solution at a liquid temperature of 30 ° C. for 60 seconds, followed by Then, it was washed with ultrapure water. Thereby, the uncured inorganic powder-containing resin layer not irradiated with ultraviolet rays was removed, and an inorganic powder-containing resin layer pattern was formed.
(5) Firing step The glass substrate on which the pattern of the inorganic powder-containing resin layer was formed was baked for 30 minutes in a 590 ° C. temperature atmosphere in a firing furnace. Thus, a panel material in which an electrode having a pattern width of 100 μm and a thickness of 6 μm was formed on the surface of the glass substrate could be obtained. The obtained electrode was excellent in pattern shape and shape uniformity, and no cracks were observed.

<実施例2>
(1)無機粉体含有樹脂組成物の調製
(a)無機粉体としてガラスフリット(Bi23 −B23 −SiO2 系、平均粒径3μm、不定形、軟化点520℃、熱膨張係数α300=87×10−7/℃)100部、(b)結着樹脂として、メタクリル酸/メタクリル酸2−ヒドロキシプロピル/メタクリル酸−n−ブチル=25/25/50(質量%)共重合体(Mw=50,000)20部、(c)多官能性(メタ)アクリレートとして、トリメチロールプロパントリアクリレート20部、(d)化合物(I)として、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−エタン−1−オンオキシム−O−アセタート3部、可塑剤としてジ−2−エチルヘキシルアゼレート4部および溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテル100部をビーズミルで混練りした後、ステンレスメッシュ(500メッシュ、25μm径)でフィルタリングすることにより、無機粉体含有樹脂組成物(II)を調製した。
(2)無機粉体含有樹脂層の形成
ガラス基板上に無機粉体含有樹脂組成物(II)を厚さ200μmでスクリーン印刷により塗布したのち、100℃のクリーンオーブンで30分乾燥して、無機粉体含有樹脂層を形成した。
(3)無機粉体含有樹脂層の露光工程
ガラス基板上に形成された無機粉体含有樹脂層に対して、ライン幅100μm、スペース幅400μmのストライプ状ネガ用露光用マスクを介して、超高圧水銀灯によりg線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm)の混合光を照射した。その際の露光量は、365nmのセンサーで測定した照度換算で1J/cmとした。
(4)現像工程
露光処理された無機粉体含有樹脂層に対して、液温30℃の1.0質量%の炭酸ナトリウム水溶液を現像液とするシャワー法による無機粉体含有樹脂層の現像処理を450秒間行い、続いて、超純水を用いて水洗を行った。 これにより、紫外線が照射されていない未硬化の無機粉体含有樹脂層を除去し、無機粉体含有樹脂層パターンを形成した。
(5)焼成工程
無機粉体含有樹脂層のパターンが形成されたガラス基板を焼成炉内で590℃の温度雰囲気下で30分間にわたり焼成処理を行った。これによりガラス基板の表面にパターン幅100μm、厚み135μmの隔壁が形成されてなるパネル材料を得ることができた。得られた隔壁はパターン形状および形状の均一性に優れ、亀裂は認められなかった。
<Example 2>
(1) Preparation of resin composition containing inorganic powder (a) Glass frit (Bi 2 O 3 —B 2 O 3 —SiO 2 system, average particle size 3 μm, amorphous, softening point 520 ° C., heat as inorganic powder (Expansion coefficient α 300 = 87 × 10 −7 / ° C.) 100 parts, (b) As binder resin, methacrylic acid / 2-hydroxypropyl methacrylate / n-butyl methacrylate = 25/25/50 (mass%) 20 parts of copolymer (Mw = 50,000), (c) 20 parts of trimethylolpropane triacrylate as polyfunctional (meth) acrylate, (d) 1- [9-ethyl-6 as compound (I) -(2-Methylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-acetate 3 parts, di-2-ethylhexylazelate 4 parts as plasticizer and propylene glycol as solvent After 100 parts of recall monomethyl ether was kneaded with a bead mill, an inorganic powder-containing resin composition (II) was prepared by filtering with a stainless mesh (500 mesh, 25 μm diameter).
(2) Formation of inorganic powder-containing resin layer An inorganic powder-containing resin composition (II) was applied on a glass substrate by screen printing at a thickness of 200 μm, and then dried in a clean oven at 100 ° C. for 30 minutes to make inorganic A powder-containing resin layer was formed.
(3) Inorganic powder-containing resin layer exposure step Ultrahigh pressure is applied to the inorganic powder-containing resin layer formed on the glass substrate through a striped negative exposure mask having a line width of 100 μm and a space width of 400 μm. A mixed light of g-line (436 nm), h-line (405 nm), and i-line (365 nm) was irradiated with a mercury lamp. The exposure amount at that time was 1 J / cm 2 in terms of illuminance measured by a 365 nm sensor.
(4) Development step Development treatment of the inorganic powder-containing resin layer by a shower method using a 1.0% by mass sodium carbonate aqueous solution having a liquid temperature of 30 ° C. as a developer for the exposed inorganic powder-containing resin layer For 450 seconds, followed by washing with ultrapure water. Thereby, the uncured inorganic powder-containing resin layer not irradiated with ultraviolet rays was removed, and an inorganic powder-containing resin layer pattern was formed.
(5) Firing step The glass substrate on which the pattern of the inorganic powder-containing resin layer was formed was baked for 30 minutes in a 590 ° C. temperature atmosphere in a firing furnace. As a result, a panel material in which partition walls having a pattern width of 100 μm and a thickness of 135 μm were formed on the surface of the glass substrate could be obtained. The obtained partition wall was excellent in pattern shape and shape uniformity, and no crack was observed.

<比較例1>
無機粉体含有樹脂組成物(I)の(d)成分の代わりに2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンを用いた以外は無機粉体含有樹脂組成物(I)と同様に調製することにより、無機粉体含有樹脂組成物(III)を調製した。
無機粉体含有樹脂組成物(I)の代わりに無機粉体含有樹脂組成物(III)を用いた以外は、実施例1と同様にして無機粉体含有樹脂層を形成し、露光・現像を行ったところ、現像工程でパターン部(紫外線照射部)が溶解し、パターンを得ることができなかった。
<Comparative Example 1>
Inorganic powder except that 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one is used in place of the component (d) of the inorganic powder-containing resin composition (I) By preparing in the same manner as the containing resin composition (I), an inorganic powder-containing resin composition (III) was prepared.
An inorganic powder-containing resin layer is formed in the same manner as in Example 1 except that the inorganic powder-containing resin composition (III) is used instead of the inorganic powder-containing resin composition (I), and exposure and development are performed. As a result, the pattern portion (ultraviolet irradiation portion) was dissolved in the development step, and a pattern could not be obtained.

<比較例2>
無機粉体含有樹脂組成物(II)の(d)成分の代わりに2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンを用いた以外は無機粉体含有樹脂組成物(II)と同様に調製することにより、無機粉体含有樹脂組成物(IV)を調製した。
無機粉体含有樹脂組成物(II)の代わりに無機粉体含有樹脂組成物(IV)を用いた以外は、実施例1と同様にして無機粉体含有樹脂層を形成し、露光・現像を行ったところ、現像工程でパターン部(紫外線照射部)が溶解し、パターンを得ることができなかった。
<Comparative Example 2>
Inorganic powder except that 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one is used in place of the component (d) of the inorganic powder-containing resin composition (II) An inorganic powder-containing resin composition (IV) was prepared by preparing in the same manner as the containing resin composition (II).
An inorganic powder-containing resin layer is formed in the same manner as in Example 1 except that the inorganic powder-containing resin composition (IV) is used instead of the inorganic powder-containing resin composition (II), and exposure and development are performed. As a result, the pattern portion (ultraviolet irradiation portion) was dissolved in the development step, and a pattern could not be obtained.

<実施例3>
(1)転写フィルムの製造工程
無機粉体含有樹脂組成物(II)を予め離型処理したPETフィルムよりなる支持フィルム(幅200mm、長さ30m、厚さ38μm)上にダイレクトリバースコーターを用いて塗布して、塗膜を100℃で5分間乾燥して溶剤を完全に除去し、厚さ25μmの無機粉体含有樹脂層を有する転写フィルム(I)を形成した
(2)転写フィルムの転写工程
ガラス基板上に無機粉体含有樹脂層の表面が当接されるよう転写フィルム(I)を重ね合わせ、加熱ローラーにて熱圧着した。ここで、圧着条件としては、加熱ローラーの表面温度90℃、ロール圧を2kg/cm、加熱ローラーの移動速度を0.5m/minとした。
(3)露光工程
ガラス基板上に圧着した転写フィルム(I)に対して、ライン幅100μm、スペース幅400μmのストライプ状ネガ用露光用マスクを介して、超高圧水銀灯によりg線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm)の混合光を照射した。その際の露光量は、365nmのセンサーで測定した照度換算で1J/cmとした。露光後、無機粉体含有樹脂層上の支持フィルムを剥離した。
(4)現像工程
露光処理された無機粉体含有樹脂層に対して、液温30℃の1.0質量%の炭酸ナトリウム水溶液を現像液とするシャワー法による無機粉体含有樹脂層の現像処理を450秒間行い、続いて、超純水を用いて水洗を行った。これにより、紫外線が照射されていない未硬化の無機粉体含有樹脂層を除去し、無機粉体含有樹脂層パターンを形成した。
(5)焼成工程
無機粉体含有樹脂層のパターンが形成されたガラス基板を焼成炉内で590℃の温度雰囲気下で30分間にわたり焼成処理を行った。これによりガラス基板の表面にパターン幅100μm、厚み120μmの隔壁が形成されてなるパネル材料を得ることができた。得られた隔壁はパターン形状および形状の均一性に優れ、亀裂は認められなかった。
<Example 3>
(1) Production process of transfer film Using a direct reverse coater on a support film (width 200 mm, length 30 m, thickness 38 μm) made of a PET film which has been pre-molded with the inorganic powder-containing resin composition (II). The transfer film (I) having an inorganic powder-containing resin layer with a thickness of 25 μm was formed by applying and drying the coating film at 100 ° C. for 5 minutes to completely remove the solvent. (2) Transfer process of transfer film The transfer film (I) was superposed on the glass substrate so that the surface of the inorganic powder-containing resin layer was in contact with the glass substrate, and thermocompression bonded with a heating roller. Here, as pressure bonding conditions, the surface temperature of the heating roller was 90 ° C., the roll pressure was 2 kg / cm, and the moving speed of the heating roller was 0.5 m / min.
(3) Exposure process The transfer film (I) pressure-bonded onto the glass substrate is subjected to g-line (436 nm), h with an ultrahigh pressure mercury lamp through a striped negative exposure mask having a line width of 100 μm and a space width of 400 μm. A mixed light of a line (405 nm) and i line (365 nm) was irradiated. The exposure amount at that time was 1 J / cm 2 in terms of illuminance measured by a 365 nm sensor. After the exposure, the support film on the inorganic powder-containing resin layer was peeled off.
(4) Development step Development treatment of the inorganic powder-containing resin layer by a shower method using a 1.0% by mass sodium carbonate aqueous solution at a liquid temperature of 30 ° C. as a developer for the exposed inorganic powder-containing resin layer. For 450 seconds, followed by washing with ultrapure water. Thereby, the uncured inorganic powder-containing resin layer not irradiated with ultraviolet rays was removed, and an inorganic powder-containing resin layer pattern was formed.
(5) Firing step The glass substrate on which the pattern of the inorganic powder-containing resin layer was formed was baked for 30 minutes in a 590 ° C. temperature atmosphere in a firing furnace. As a result, a panel material in which partition walls having a pattern width of 100 μm and a thickness of 120 μm were formed on the surface of the glass substrate could be obtained. The obtained partition wall was excellent in pattern shape and shape uniformity, and no crack was observed.

<比較例3>
無機粉体含有樹脂組成物(II)の代わりに無機粉体含有樹脂組成物(IV)を用いた以外は、実施例3と同様にして転写フィルムを形成し、転写・露光・現像を行ったところ、現像工程でパターン部(紫外線照射部)が溶解し、パターンを得ることができなかった。
<Comparative Example 3>
A transfer film was formed in the same manner as in Example 3 except that the inorganic powder-containing resin composition (IV) was used instead of the inorganic powder-containing resin composition (II), and transfer, exposure and development were performed. However, the pattern portion (ultraviolet irradiation portion) was dissolved in the development process, and a pattern could not be obtained.

交流型プラズマディスプレイパネルの断面形状を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the cross-sectional shape of an alternating current type plasma display panel.

符号の説明Explanation of symbols

1 ガラス基板 2 ガラス基板
3 隔壁 4 透明電極
5 バス電極 6 アドレス電極
7 蛍光物質 8 誘電体層
9 誘電体層 10 保護層


DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass substrate 2 Glass substrate 3 Partition 4 Transparent electrode 5 Bus electrode 6 Address electrode 7 Fluorescent substance 8 Dielectric layer 9 Dielectric layer 10 Protective layer


Claims (3)

(a)金属粒子、(b)結着樹脂、(c)多官能性(メタ)アクリレートおよび(d)下記式(1)または下記式(2)で表される化合物を含有する、電極形成用樹脂組成物。
Figure 0004639770
〔式(1)および式(2)において、R1およびR2は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜20の脂環式炭化水素基(但し、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のアルコキシル基、フェニル基およびハロゲン原子から選ばれる少なくとも1種で置換されてもよい。)、フェニル基(但し、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のアルコキシル基、フェニル基およびハロゲン原子から選ばれる少なくとも1種で置換されてもよい。)、炭素数4〜20の含酸素複素環含有基、炭素数4〜20の含窒素複素環含有基または炭素数4〜20の含硫黄複素環含有基であり(但し、R1およびR2がいずれも水素原子である場合を除く)、R3は水素原子または炭素数1〜12のアルキル基であり、R4、R5およびR6は、それぞれ独立に、水素原子または炭素数1〜6のアルキル基である。〕
(A) Metal particles , (b) binder resin, (c) polyfunctional (meth) acrylate and (d) a compound represented by the following formula (1) or the following formula (2) for electrode formation Resin composition.
Figure 0004639770
[In Formula (1) and Formula (2), R1 and R2 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 20 carbon atoms (provided that An alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group and a halogen atom, which may be substituted with at least one selected from the above, a phenyl group (however, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, May be substituted with at least one selected from an alkoxyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group, and a halogen atom.), An oxygen-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms, and a nitrogen-containing group having 4 to 20 carbon atoms A heterocycle-containing group or a sulfur-containing heterocycle-containing group having 4 to 20 carbon atoms (except when R1 and R2 are both hydrogen atoms), and R3 is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms R4, 5 and R6 are each independently a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. ]
支持フィルム上に、請求項1記載の電極形成用樹脂組成物からなる層が形成されてなることを特徴とする、転写フィルム。 A transfer film, wherein a layer made of the electrode forming resin composition according to claim 1 is formed on a support film. 請求項1記載の電極形成用樹脂組成物からなる無機粉体含有樹脂層を基板上に形成し、当該無機粉体含有樹脂層を露光処理してパターンの潜像を形成し、当該無機粉体含有樹脂層を現像処理してパターン層を形成し、当該パターン層を焼成処理することにより、無機パターンを有するパネル部材を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。 An inorganic powder-containing resin layer comprising the resin composition for forming an electrode according to claim 1 is formed on a substrate, the inorganic powder-containing resin layer is exposed to light to form a latent image of the pattern, and the inorganic powder A method for producing a plasma display panel, comprising: forming a pattern layer by developing a resin layer, and baking the pattern layer to form a panel member having an inorganic pattern.
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