JP4639326B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
また、炭化珪素には、珪素と同様に、熱酸化法によって絶縁体である酸化珪素を形成できるという特徴がある。これらの理由から、炭化珪素を基板材料とした高耐圧で低いオン抵抗のMISFETが実現できると考えられ、数多くの研究開発が行われている。
酸化珪素膜の長期信頼性の指標として、絶縁破壊電荷総量(QBD)が広く利用されている。この値は、酸化珪素膜が絶縁破壊に至るまでに酸化珪素膜中を流れた電荷の総量を示すものである。
ところが、炭化珪素基板上に熱酸化法により形成された酸化珪素膜の5割が絶縁破壊するときのQBDは、室温において数〜数十mC/cm2であり、この値は珪素基板上に熱酸化法により形成された酸化珪素膜に比べて、1/10〜1/100小さいという報告がなされており(例えば、非特許文献1参照)、大きな問題を有している。
C.J. Anthony 外著 [Materials Science and Engineering B61-62, 460 (1999)]
本発明は、この知見に基づいてなされたものであって、本発明による半導体装置は、面内転位密度が1000個/cm2以下である六方晶系半導体領域を有するエピタキシャルウエハであることを特徴とする。
また、本発明による半導体装置は、上記の面内転位を含む転位密度が10000個/cm2以下である六方晶系半導体領域を有するエピタキシャルウエハであることを特徴とする。
そして、上記の転位が螺旋転位,刃状転位,面内転位のいずれか1又は2以上であることを特徴とする。
半導体装置におけるMIS構造は、ゲート絶縁膜が六方晶系半導体領域と接する部分で形成されているか、又は前記ゲート絶縁膜上に酸化珪素膜、窒化珪素膜、酸窒化珪素膜のいずれか1つ又は2以上を有する複合膜であることを特徴とする。
上記の半導体装置に使用される六方晶系半導体は、炭化珪素であるか又は窒化ガリウムであることを特徴とする。
また、上記六方晶系半導体の面方位が、下記[数3]であり、またオフ角度が0°〜8°であることを特徴とする。
また、本発明による半導体装置の製造方法は、金属−絶縁膜−半導体(MIS)構造のゲート絶縁膜を六方晶系半導体領域上に形成する半導体装置の製造方法であって、ゲート絶縁膜が形成された領域内に、上記の転位の総数が10個以下であることを特徴とする。
そして、上記の転位が螺旋転位,刃状転位,面内転位のいずれか1又は2以上であることを特徴とする半導体装置の製造方法である。
また、半導体装置の製造方法におけるMIS構造は、ゲート絶縁膜が六方晶系半導体領域と接する部分で形成されているか又は前記ゲート絶縁膜上に酸化珪素膜、窒化珪素膜、酸窒化珪素膜のいずれか1又は2以上を有する複合膜であることを特徴とする。
また、上記六法晶系半導体の面方位が、下記[数4]であり、また、オフ角度が0°から8°であることを特徴とする。
すなわち、上記のような転位、特に面内転位が六方晶系半導体領域を有するエピタキシャルウエハに生成されていると、その転位上に形成されたゲート絶縁膜/六方晶系半導体界面にマイクロラフネスが生じ、その部分(ウィークスポット)でゲート絶縁膜の内部電界の変化が局所的に速められ、絶縁破壊寿命の低下を生じさせることが原因である。
本発明は、このような転位、特に面内転位の数が少ない六方晶系半導体領域を有するエピタキシャルウエハを出発材料として、六方晶系半導体領域と接する部分にゲート絶縁膜を形成し、半導体装置を構成する。
本発明によれば、特性に優れた六方晶系半導体領域を有するエピタキシャルウエハが使用できると共に、高絶縁耐圧及び長期信頼性を有するゲート絶縁膜を有する半導体装置を製造することが可能となる。
これらのMIS構造を有する半導体装置は、DMOSFET,Lateral Resurf MOSFET,UMOSFETの半導体装置として使用できる。
まず、基板として、(0001)Si面から8°オフした表面を持つバルク基板上に4H-SiCをホモエピタキシャル成長させた炭化珪素基板を使用した。
図1に示すように、炭化珪素基板1に厚い絶縁膜2を形成しこれに窓開けし、通常のRCA洗浄をした後、犠牲酸化膜を形成しフッ酸で除去した。次いで、1000°C以上の大気圧の酸素雰囲気中で、50nm厚の酸化珪素膜3を炭化珪素基板上に形成した。
このサンプルを、TDDB測定装置6に接続し、真空引きされた金属製測定チャンバーで、光を遮断した状態で経時絶縁膜破壊(TDDB)測定を行った。
TDDB測定によりゲート絶縁膜3を完全に絶縁破壊させた後、サンプルは燐酸によりAl電極4及びオーミック電極5を除去し、その後フッ酸によりゲート絶縁膜3及び厚い絶縁膜4を除去し、最終エッチング工程として、加熱された溶融KOHエッチング溶液中に浸すことにより炭化珪素表面層をエッチングし、転位が形成されている面を表出させた。
図2に、TDDB測定(ストレス電界E=9 MV/cm)から得られたQBD値と1つのゲート絶縁膜領域内に生じている転位数の相関図を示す。
この図において、ゲート絶縁膜形成領域内7に、面内転位9の個数以上に螺旋転位10や刃状転位11が多数存在するにも関わらず、面内転位9の部分で選択的にゲート絶縁膜の絶縁破壊8が生じていることが確認された。
一方、螺旋転位10あるいは刃状転位11により絶縁破壊したMOSキャパシタのほとんどでは、ゲート絶縁膜形成領域には面内転位9が存在しないことが確認された。
図4に示すように、7割以上のMOSキャパシタが面内転位によりゲート絶縁膜の絶縁破壊が引き起こされていることが分る。
本実施例において、1C/cm2以上のQBD値を保障するためには、図2から、ゲート絶縁膜が形成される領域に含まれる転位の数は10個以下でなければならないことが理解できる。そして、この条件を達成するための炭化珪素エピタキシャルウエハ上の転位密度を、測定に用いたサンプル上に形成されたMOSキャパシタのゲート絶縁膜形成領域の面積を用いて算出した結果、10000個/cm2以下でなければならないことがわかった。
これを実現するための面内転位密度を、上述の転位密度の算出と同様な解析を行った結果、炭化珪素エピタキシャルウエハ上の面内転位密度は1000個/cm2以下でなければならないことを見出した。
2 絶縁膜
3 酸化珪素膜
4 Al電極
5 オーミック電極
6 TDDB測定装置
7 ゲート絶縁膜形成領域内
8 絶縁破壊
9 面内転位
10 螺旋転位
11 刃状転位
12 面内転位で絶縁破壊したMOSキャパシタ
13 螺旋転位又は刃状転位で絶縁破壊したMOSキャパシタ
Claims (7)
- 面内転位密度が1000個/cm2以下である六方晶系半導体領域を有するエピタキシャルウエハの半導体装置であって、六方晶系半導体が炭化珪素であり、当該六方晶系半導体上にゲート絶縁膜が形成された金属−絶縁膜−半導体(MIS)構造を有し、前記ゲート絶縁膜が形成された領域内に、転位の総数が10個以下であることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1に記載された半導体装置において、転位密度が10000個/cm2以下である六方晶系半導体領域を有するエピタキシャルウエハであることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1又は2に記載された半導体装置において、前記転位が螺旋転位,刃状転位,面内転位のいずれか1又は2以上であることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1〜3のいずれかに記載された半導体装置において、前記ゲート絶縁膜が、酸化珪素、窒化珪素、酸窒化珪素、窒化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウムのいずれか1からなる膜であることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1〜3のいずれかに記載された半導体装置において、前記ゲート絶縁膜が、前記六方晶系半導体に接して形成された酸化珪素膜、窒化珪素膜、酸窒化珪素膜、窒化アルミニウム膜、酸化ジルコニウム膜、酸化ハフニウム膜のいずれか1上に酸化珪素膜、窒化珪素膜、酸窒化珪素膜のいずれか1又は2以上を有する複合膜であることを特徴とする半導体装置。
- 請求項5に記載された半導体装置において、DMOSFET,Lateral Resurf MOSFET又はUMOSFETであることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1〜6のいずれかに記載された半導体装置において、前記六方晶系半導体の面方位が下記[数1]であり、かつオフ角度が0°〜8°であることを特徴とする半導体装置。
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