JP4638768B2 - キャパシタ回路付フィルムキャリアテープ及びその製造方法、キャパシタ回路付表面実装フィルムキャリアテープ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
本件発明に係るキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの基本構造は、両端部に複数のスプロケットホールを備える樹脂フィルムの表面に配線パターンを備えるフィルムキャリアテープにおいて、前記樹脂フィルムは、下部半田ボールランド孔を備え、配線パターンに上部電極と下部電極との間に誘電層が位置する構造のキャパシタ回路を備え、当該キャパシタ回路の上部電極表面及びその他の配線パターンの一部が露出するようにカバー膜を設け、その露出部位が上部半田ボールランド孔として機能することを特徴としたものである。
本件発明に係るキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの製造方法は、樹脂フィルムとその上の導体層との間に接着剤層が存在するか否かにより、2種類の製造方法に分別できる。従って、第1製造方法及び第2製造方法として、分別する。
B工程: 前記第1フィルムリールから接着剤層及び保護フィルムを備える樹脂フィルムを巻き出し、前記樹脂フィルムの幅方向の両端部にはスプロケットホールを、前記樹脂フィルムの中央領域に下部半田ボールランド孔を連続的に形成し、リール状に巻き取り第2フィルムリールとする孔明加工工程。
C工程: 第2フィルムリールから孔明加工した樹脂フィルムを巻き出し、前記保護フィルムを剥離除去し、接着剤層に上部電極形成層、誘電層、下部電極形成層を形成し、リール状態で接着剤層をキュアリングし第3フィルムリールとするラミネート工程。
D工程: 第3フィルムリールから接着剤層キュアリングした樹脂フィルムを巻き出し、上部電極形成層をパターニングして、上部電極回路の形状を形成し、その他の部位の誘電層を露出させ、露出した部位の誘電層を除去し、リール状に巻き取ることで、半田ボールランド孔と配線パターンにキャパシタ回路(上部電極と下部電極との間に誘電層が位置する構造)とを備えるキャパシタ回路付フィルムキャリアテープとするキャパシタ回路形成工程。
E工程: 露出した前記誘電層を除去して、下部電極形成層の一部を露出させ、下部電極形成層をパターニングして下部電極回路を形成する下部電極回路形成工程。
F工程: 前記キャパシタ回路の上部電極表面及びその他の配線パターン(ターミナルパッドを含む場合有り)の一部が露出し、その露出部位が上部半田ボールランド孔として機能するようにカバー膜を設ける工程。
B工程: 第1’フィルムリールから下部電極形成層を形成した樹脂フィルムを巻き出し、下部電極形成層の上に誘電層を形成し、更に誘電層の上に導体層(上部電極形成層)を連続的に形成し、第2’フィルムリールとする誘電層形成工程。
C工程: 前記第2’フィルムリールから誘電層及び上部電極形成層を形成した樹脂フィルムを巻き出し、前記樹脂フィルムの幅方向の両端部にはスプロケットホールを連続的に形成し、リール状に巻き取り第3’フィルムリールとする孔明加工工程。
D工程: 第3’フィルムリールからスプロケットホールを形成した樹脂フィルムを巻き出し、樹脂フィルム表面から所定の箇所の樹脂フィルムを部分的に除去して、樹脂フィルムに下部半田ボールランド孔を連続的に形成し、巻き取ることで第4’フィルムリールとする半田ボールランド孔形成工程。
E工程: 第4’フィルムリールから樹脂フィルムを巻き出し、上部電極形成層をパターニングして、上部電極回路の形状を形成し、その他の部位の誘電層を露出させ、露出した部位の誘電層を除去し、リール状に巻き取ることで、半田ボールランド孔と配線パターンにキャパシタ回路(上部電極と下部電極との間に誘電層が位置する構造)とを備えるキャパシタ回路付フィルムキャリアテープとするとするキャパシタ回路形成工程。
F工程: 露出した前記誘電層を除去して、下部電極形成層の一部を露出させ、下部電極形成層をパターニングして下部電極回路を形成する下部電極回路形成工程
G工程:前記キャパシタ回路の上部電極表面及びその他の配線パターン(ターミナルパッドを含む場合有り)の一部が露出し、その露出部位が上部半田ボールランド孔として機能するようにカバー膜を設ける工程。
以上に述べたキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの半田ボールを配した部位にフリップチップ等の電子部品を表面実装することで、長尺のキャパシタ回路付表面実装フィルムキャリアテープとなる。
本件発明に係るキャパシタ回路付フィルムキャリアテープ1aの基本構造は、図2(e)に示すように、両端部に複数のスプロケットホール9を備える樹脂フィルム2の表面に配線パターンを備えるフィルムキャリアテープにおいて、前記樹脂フィルム2は、下部半田ボールランド孔10を備え、配線パターンに上部電極11と下部電極形成層6との間に誘電層7が位置する構造のキャパシタ回路を備えることを特徴としたものである。なお、図面では、説明を分かりやすくするために、各層の厚さは実際の製品の厚さ関係を反映させたものではなく、最も単純な構成と分かりやすい表記方法を採用した模式断面図として示している。その他の図面に関しても同様であることを、明記しておく。
上述のように、本件発明に係るキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの製造方法は、樹脂フィルムとその上の導体層との間に接着剤層が存在するか否かにより、2種類の製造方法に分別できる。以下、第1製造方法の実施形態及び第2製造方法の実施形態の順に説明する。
以上に述べたキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの半田ボールを配した部位にフリップチップ等の電子部品を表面実装することで、長尺のキャパシタ回路付表面実装フィルムキャリアテープとなる。
20a,20a’,20b,20c,20d,20e キャパシタ回路付フィルムキャリアテープ(接着剤層有り)
2 樹脂フィルム
3 接着剤層
4 保護フィルム
5 キャパシタ層形成材
6 下部電極形成層
7 誘電層
8 上部電極形成層
9 スプロケットホール
10 半田ボールランド孔
11 上部電極(回路)
12 下部電極(回路)
13 ポスト電極
14 カバー膜
15 半田ボール
16 補助金属層
30 シリコン基板
31 ポリイミド樹脂
Claims (23)
- 両端部に複数のスプロケットホールを備える樹脂フィルムの表面に配線パターンを備えるフィルムキャリアテープにおいて、
前記樹脂フィルムは、下部半田ボールランド孔を備え、配線パターンに上部電極と下部電極との間に誘電層が位置する構造のキャパシタ回路を備え、
前記キャパシタ回路の上部電極表面及びその他の配線パターンの一部が露出するようにカバー膜を設け、その露出部位が上部半田ボールランド孔として機能することを特徴としたキャパシタ回路付フィルムキャリアテープ。 - 前記カバー膜は、ソルダーマスクを用いて形成したものである請求項1に記載のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープ。
- 前記配線パターンは、当該配線パターン上にターミナルパッドとなるポスト電極を備えるものである請求項1又は請求項2に記載のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープ。
- 前記樹脂フィルムの下部半田ボールランド孔の底部及び他面側にあるカバー膜により形成された上部半田ボールランド孔の底部に金−銅合金層、金−銅−ケイ素合金層、ニッケル層、金層のいずれかの補助金属層を設け、半田ボールを配した請求項1〜請求項3のいずれかに記載のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープ。
- 請求項1〜請求項3のいずれかに記載のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの製造方法であって、以下のA工程〜F工程を経ることを特徴とするキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの製造方法。
A工程: リール状に巻き取られた樹脂フィルムから、巻き出された樹脂フィルムの幅方向の両端部領域(複数のスプロケットホールの形成を予定した領域)を除き、当該樹脂フィルムの中央領域に接着剤層と、当該接着剤層の上に保護フィルムを連続的に張り合わせて設け、リール状に巻き取り第1フィルムリールとする接着剤層形成工程。
B工程: 前記第1フィルムリールから接着剤層及び保護フィルムを備える樹脂フィルムを巻き出し、前記樹脂フィルムの幅方向の両端部にはスプロケットホールを、前記樹脂フィルムの中央領域に下部半田ボールランド孔を連続的に形成し、リール状に巻き取り第2フィルムリールとする孔明加工工程。
C工程: 第2フィルムリールから孔明加工した樹脂フィルムを巻き出し、前記保護フィルムを剥離除去し、接着剤層に上部電極形成層、誘電層、下部電極形成層を形成し、リール状態で接着剤層をキュアリングし第3フィルムリールとするラミネート工程。
D工程: 第3フィルムリールから接着剤層キュアリングした樹脂フィルムを巻き出し、上部電極形成層をパターニングして、上部電極回路の形状を形成し、その他の部位の誘電層を露出させ、露出した部位の誘電層を除去し、リール状に巻き取ることで、下部半田ボールランド孔と配線パターンにキャパシタ回路(上部電極と下部電極との間に誘電層が位置する構造)とを備えるキャパシタ回路付フィルムキャリアテープとするキャパシタ回路形成工程。
E工程: 露出した前記誘電層を除去して、下部電極形成層の一部を露出させ、下部電極形成層をパターニングして下部電極回路を形成する下部電極回路形成工程。
F工程: 前記キャパシタ回路の上部電極表面及びその他の配線パターン(ターミナルパッドを含む場合有り)の一部が露出し、その露出部位が上部半田ボールランド孔として機能するようにカバー膜を設ける工程。 - 前記D工程において、誘電層を除去した後に、再度上部電極をエッチング加工して形状調整を行う上部電極調整工程を付加した請求項5に記載のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの製造方法。
- 当該配線パターン上にターミナルパッドとなるポスト電極を設ける工程を付加した請求項5又は請求項6に記載のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの製造方法。
- 樹脂フィルム側の下部半田ボールランド孔及びカバー膜側の上部半田ボールランド孔の底部に金−銅合金層、金−銅−ケイ素合金層、ニッケル層、金層のいずれかの補助金属層を設ける工程を付加した請求項5〜請求項7のいずれかに記載のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの製造方法。
- 樹脂フィルム側の下部半田ボールランド孔及びカバー膜側の上部半田ボールランド孔内に半田ボールを配する工程を付加した請求項5〜請求項8のいずれかに記載のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの製造方法。
- 請求項1〜請求項3のいずれかに記載のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの製造方法であって、以下のA工程〜G工程を経ることを特徴とするキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの製造方法。
A工程: リール状に巻き取られた樹脂フィルムから、巻き出された樹脂フィルムの幅方向の両端部領域(複数のスプロケットホールの形成を予定した領域)を除き、当該樹脂フィルムの中央領域に導体層(下部電極形成層)を連続的に設け導体層付樹脂フィルムとし、リール状に巻き取り第1’フィルムリールとする下部電極形成層形成工程。
B工程: 第1’フィルムリールから下部電極形成層を形成した樹脂フィルムを巻き出し、下部電極形成層の上に誘電層を形成し、更に誘電層の上に導体層(上部電極形成層)を連続的に形成し、第2’フィルムリールとする誘電層形成工程。
C工程: 前記第2’フィルムリールから誘電層及び上部電極形成層を形成した樹脂フィルムを巻き出し、前記樹脂フィルムの幅方向の両端部にはスプロケットホールを連続的に形成し、リール状に巻き取り第3’フィルムリールとする孔明加工工程。
D工程: 第3’フィルムリールからスプロケットホールを形成した樹脂フィルムを巻き出し、樹脂フィルム表面から所定の箇所の樹脂フィルムを部分的に除去して、樹脂フィルムに下部半田ボールランド孔を連続的に形成し、巻き取ることで第4’フィルムリールとする下部半田ボールランド孔形成工程。
E工程: 第4’フィルムリールから樹脂フィルムを巻き出し、上部電極形成層をパターニングして、上部電極回路の形状を形成し、その他の部位の誘電層を露出させ、露出した部位の誘電層を除去し、リール状に巻き取ることで、下部半田ボールランド孔と配線パターンにキャパシタ回路(上部電極と下部電極との間に誘電層が位置する構造)とを備えるキャパシタ回路付フィルムキャリアテープとするとするキャパシタ回路形成工程。
F工程: 露出した前記誘電層を除去して、下部電極形成層の一部を露出させ、下部電極形成層をパターニングして下部電極回路を形成する下部電極回路形成工程
G工程:前記キャパシタ回路の上部電極表面及びその他の配線パターン(ターミナルパッドを含む場合有り)の一部が露出し、その露出部位が上部半田ボールランド孔として機能するようにカバー膜を設ける工程。 - 前記E工程において、誘電層を除去した後に、再度上部電極をエッチング加工して形状調整を行う上部電極調整工程を付加した請求項10に記載のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの製造方法。
- 露出した前記誘電層を除去して、下部電極形成層の一部を露出させ、下部電極形成層をパターニングして下部電極回路を形成する下部電極回路形成工程を付加した請求項10又は請求項11に記載のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの製造方法。
- 当該配線パターン上にターミナルパッドとなるポスト電極を設ける工程を付加した請求項10〜請求項12のいずれかに記載のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの製造方法。
- 樹脂フィルム側の下部半田ボールランド孔及びカバー膜側の上部半田ボールランド孔の底部に金−銅合金層、金−銅−ケイ素合金層、ニッケル層、金層のいずれかの補助金属層を設ける工程を付加した請求項10〜請求項13のいずれかに記載のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの製造方法。
- 樹脂フィルム側の下部半田ボールランド孔及びカバー膜側の上部半田ボールランド孔内に半田ボールを配する工程を付加した請求項10〜請求項14のいずれかに記載のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの製造方法。
- 前記A工程で用いる導体層付樹脂フィルムは、ポリイミド樹脂と銅箔とを張り合わせて得られるものである請求項10〜請求項15のいずれかに記載のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの製造方法。
- 前記A工程で用いる導体層付樹脂フィルムは、ポリイミド樹脂を銅箔表面にキャスティングして得られるものである請求項10〜請求項15のいずれかに記載のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの製造方法。
- 前記A工程で用いる導体層付樹脂フィルムは、ポリイミド樹脂にエアロゾルデポジション法で金属層を形成し得られるものである請求項10〜請求項15のいずれかに記載のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの製造方法。
- 前記A工程で用いる導体層付樹脂フィルムは、樹脂フィルム上にスパッタリング蒸着法又はダイレクトメタライゼーション法で銅、ニッケル、コバルト若しくはこれらの合金のいずれからなるシード層を設け、その後電解法で銅、ニッケル、ニッケル合金のいずれかを析出成長させて得られるものである請求項10〜請求項15のいずれかに記載のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの製造方法。
- 前記B工程で形成する誘電層は、スパッタリング蒸着法又はエアロゾルデポジション法のいずれかの方法を用いることを特徴とする請求項10〜請求項19のいずれかに記載のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの製造方法。
- 前記B工程で形成する上部電極形成層は、スパッタリング蒸着法又はエアロゾルデポジション法のいずれかの方法を用いることを特徴とする請求項10〜請求項20のいずれかに記載のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープの製造方法。
- 請求項4に記載の半田ボールを配したキャパシタ回路付フィルムキャリアテープに電子部品を表面実装して得られることを特徴としたキャパシタ回路付表面実装フィルムキャリアテープ。
- 請求項4に記載のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープに対する電子部品表面実装方法であって、
リール状のキャパシタ回路付フィルムキャリアテープを連続的に巻き出し、ボンダー装置を用いて所定位置に電子部品を接合搭載することを特徴としたキャパシタ回路付表面実装フィルムキャリアテープの表面実装方法。
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