JP4635480B2 - インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
12 マスク
14 潜像
16 レジスト
18 凹部
20 ノズル
22 チャンバー
24 接着層
26 固定基板
30 振動板
32 PZT電極
Claims (1)
- アモルファス化された感光性ガラスの基板の一方の面に形成されたチャンバーと、前記チャンバーに連通するとともに前記基板の他方の面に開口するノズルと、前記基板における前記一方の面において前記チャンバーに連通するインク供給路と、を備えるとともに、前記ノズルの周囲に前記ノズルの口径よりも大きな直径を有する凹陥部が形成されているインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
感光性ガラスの基板のノズルを形成する領域を露光し、次いで加熱、結晶化させた後、弗酸エッチングしてノズルを形成する工程と、
前記ノズルを形成した基板の一方の面におけるチャンバーを形成する領域とインク供給路を形成する領域とを露光し、次いで加熱、結晶化させる工程と、
前記露光および加熱、結晶化を行った基板の一方の面において、チャンバーを形成する領域をパターニングし、次いでブラストまたはドライエッチングでチャンバーとなる段差を形成する工程と、
前記チャンバーとなる段差を形成した基板を弗酸エッチングして前記基板の前記一方の面にインク供給路となる段差を、他方の面のノズル開口部周囲に凹陥部を形成する工程と、
前記インク供給路および前記凹陥部を形成した基板を熱処理してアモルファス化する工程と、
を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004175575A JP4635480B2 (ja) | 2004-06-14 | 2004-06-14 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004175575A JP4635480B2 (ja) | 2004-06-14 | 2004-06-14 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005349796A JP2005349796A (ja) | 2005-12-22 |
JP4635480B2 true JP4635480B2 (ja) | 2011-02-23 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004175575A Expired - Fee Related JP4635480B2 (ja) | 2004-06-14 | 2004-06-14 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
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JP (1) | JP4635480B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4942218B2 (ja) * | 2008-12-16 | 2012-05-30 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
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-
2004
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2004106199A (ja) * | 2002-09-13 | 2004-04-08 | Hitachi Koki Co Ltd | インクジェットヘッドのノズル形成方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005349796A (ja) | 2005-12-22 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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