JP4629129B2 - アライメント装置 - Google Patents

Description

本発明は、アライメント装置に関する。

液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネル等のフラットパネルは、一般に２枚の基板が貼り合わされて形成されている。例えば、液晶ディスプレイパネルは、薄膜トランジスタがマトリクス状に配置形成された素子基板と、遮光膜及びカラーフィルタ等が形成された対向基板とが極めて狭い間隔にて対向配置される。そして、両基板が重ね合わせられる際に、これら両基板間であって光硬化性樹脂を含むシール材に囲まれた領域に液晶が封入される。続いて、遮光マスクを介して紫外線をシール材に照射して、同シール材を硬化させ両基板を貼り合わせることによって液晶ディスプレイパネルが製造される。この遮光マスクと基板との位置合わせの際に使用されるアライメント装置が種々提案されている（例えば、特許文献１）。

一般に、この種のアライメント装置は、液晶を封入した重ね合わされた２枚の基板を載置するステージと、ステージを載置面上のＸ，Ｙ方向及び回転方向に移動させる移動機構と、ステージの上方位置において遮光マスクを保持するマスク保持部材とを備えている。そして、ステージに載置した重ね合わされた２枚の基板を、マスク保持部材に保持された遮光マスクに対峙させる。そして、移動機構を駆動制御してステージを、Ｘ，Ｙ方向及び回転方向に移動させて、つまり、遮光マスクに対して重ね合わされた２枚の基板を相対移動させて高精度の位置合わせを行うようになっている。

ところで、移動機構は、２枚の基板（液晶ディスプレイパネル）を載置したステージを移動させることによって、遮光マスクに対して２枚の基板（液晶ディスプレイパネル）を相対移動させて位置合わせすることから、２枚の基板（液晶ディスプレイパネル）の重量にステージの重量を加えた重量を移動させなければならかった。そのため、移動機構は、ステージの重量を考慮した機械的強度の高い構成が要求され、装置の大型化及びコスト高になるとともに、移動体機構を駆動させるための消費電力の増大にも繋がっていた。しかも、近年のディスプレイパネルの大型化に伴い、益々問題となってきている。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、装置全体を小型軽量化でき、ワークを位置合わせする際にその位置合わせの負荷を低減でき、消費電力の低減を図ることのできるアライメント装置を提供することにある。

請求項１に記載の発明は、基盤の上面に載置され、ワークを一方向及び前記一方向に対して直交する他方向に移動させるとともに水平回転させて、前記ワークの位置合わせを行うアライメント装置であって、前記基盤の上面に位置付けた正四角形又は長方形をなす４つの頂点のうち、一方の対角線上にある一対の頂点位置に、それぞれ前記一方向に沿って往復移動可能に設けられた２つの第１移動ブロックと、前記４つの頂点のうち他方の対角線上にある一対の頂点位置に、それぞれ前記他方向に沿って往復移動可能に設けられた２つの第２移動ブロックと、２つの第１駆動手段であってその各々が前記第１移動ブロックの対応する１つを前記一方向に沿って往復移動させる当該２つの第１駆動手段と、２つの第２駆動手段であってその各々が前記第２移動ブロックの対応する１つを前記他方向に沿って往復移動させる当該２つの第２駆動手段と、２つの第１回転テーブルであってその各々が前記対応する第１移動ブロックの上面に、水平回転可能に支持されるとともに、前記他方向に沿って往復移動可能に設けられている当該２つの第１回転テーブルと、２つの第２回転テーブルであってその各々が前記対応する第２移動ブロックの上面に、水平回転可能に支持されるとともに、前記一方向に沿って往復移動可能に設けられている当該２つの第２回転テーブルと、前記２つの第１回転テーブルと前記２つの第２回転テーブルとを前記一方向にそれぞれ連結する２つの第１連結部材と、前記２つの第１回転テーブルと前記２つの第２回転テーブルとを前記他方向にそれぞれ連結する２つの第２連結部材と、前記ワークを協働して支承する４つのアライメントテーブルであってその各々が前記第１回転テーブル及び前記第２回転テーブルのうちの対応する１つに設けられている当該４つのアライメントテーブルと、を備え、前記第１連結部材及び第２連結部材の各々がパイプである。

請求項１の発明によれば、ワークの４箇所を、各アライメントテーブルにて支承するとともに、各アライメントテーブルを第１及び第２連結部材を介して連動させて、ワークを一方向及び前記一方向に対して直交する他方向に移動させるとともに水平回転させるようにした。

従って、ワーク下面全体を支承し、位置合わせのためにワークを移動させる従来のアライメントステージに比べて、装置を小型化できそれに伴ってコストの低減を図ることができる。しかも、この従来のアライメントステージに比べてはるかに軽量化でき、移動体機構を駆動させるための消費電力を低減させることができる。

また、第１連結部材及び第２連結部材の各々をパイプで構成したので、第１連結部材及び第２連結部材を軽量化でき、移動体機構を駆動させるための消費電力をさらに低減させることができる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のアライメント装置において、前記基盤は、第１昇降手段にて上下方向に往復移動する。
請求項２の発明によれば、各アライメントテーブルに支承したワークを、待機位置からアライメント位置まで案内することができる。

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のアライメント装置において、前記基盤の上方位置に、間隔保持部材を介して平行に受け渡しプレートが配置され、前記受け渡しプレートは、その上面に凹設されて前記受け渡しプレートの上面から前記アライメントテーブルを突出可能に収容する収容凹部を有し、前記基盤の下方位置には受け渡し盤が配置されており、前記受け渡し盤は、その上面に配置されて、前記第１昇降手段の作動により前記基盤及び前記受け渡しプレートを貫通して前記受け渡しプレートの上面から出没可能な複数の受け渡しピンを有する。

請求項３の発明によれば、第１昇降手段にて基盤を上下動させるだけで、受け渡しピンに配置したワークを、受け渡しプレートに受け渡すことができるとともに、受け渡しプレートに載置されたワークを受け渡しピンに受け渡すことができることから、ワークをアライメントした後に加工処理を行う作業を、連続して行うことができる。

請求項４に記載の発明では、請求項２又は３に記載のアライメント装置が更に、４つの第２昇降手段であってその各々が前記第１回転テーブル及び前記第２回転テーブルのうちの対応する１つに配置されて、対応するアライメントテーブルを上下方向に往復移動させる当該４つの第２昇降手段を備える。

請求項４の発明によれば、各アライメントテーブルを上動させ受け渡しプレートからワークを離間させた状態で、アライメントを行うことができることから、アライメントのときに、受け渡しプレートとワークとが擦れることがない。
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のアライメント装置において、前記ワークを浮上させる機構が前記受け渡しプレートに配置されている。
請求項６に記載の発明では、請求項１乃至５のいずれか一項に記載のアライメント装置が、選択的に実行可能な水平回転モード及び平行移動モードを備えており、前記水平回転モードでは、前記第１回転テーブル及び前記第２回転テーブルを水平回転させるために、前記２つの第１駆動手段及び前記２つの第２駆動手段が全て駆動され、前記平行移動モードでは、前記第１回転テーブル及び前記第２回転テーブルを平行移動させるために、前記２つの第１駆動手段又は前記２つの第２駆動手段が駆動される。

本発明によれば、装置全体を小型軽量化でき、ワークを位置合わせする際にその位置合わせの負荷を低減でき、消費電力の低減を図ることができる。

以下、本発明のアライメント装置を光照射装置（紫外線照射装置）に具体化した一実施形態を図面に従って説明する。尚、本実施形態の紫外線照射装置は、２枚の基板が貼り合わされて形成されている液晶ディスプレイパネルのその基板間に形成されたシール材に、遮光マスクを介して紫外線を照射して同シール材を硬化させ両基板を貼り合わせるための光照射装置である。

図１に示すように、床面に設置された紫外線照射装置１は、下側にステージ部２と上側に光照射部３を備える。ステージ部２は、シール材を硬化させる前のワークとしての液晶ディスプレイパネル（以下、パネルという）Ｐを載置し、同パネルＰを上方に設けられた光照射部３に案内（上動）させて位置合わせをする。

ステージ部２の上方に配置された光照射部３は、図示しない支持部材にて支持固定された２点鎖線で示すランプハウス５が設けられ、そのランプハウス５内には複数の紫外線ランプ６が下方に向かって紫外線を照射するように取り付けられている。

ランプハウス５の下側には、板状の光透過性のマスク保持部材７が配置され、そのマスク保持部材７の下面には遮光マスク８が吸着保持されている。そして、紫外線ランプ６から出射された紫外線は、遮光マスク８によって一部が遮光され、ステージ部２に載置されたパネルＰに形成したシール材のみに照射するようになっている。

ステージ部２は、四角枠状のフレーム１１が床面１２に設置固定されている。図１に示すように、フレーム１１を構成する左側及び右側フレーム１１ａ，１１ｂの内側に、支持ブロック１３がそれぞれ前後一対固設されている。

支持ブロック１３は、上下両端部に支持アーム１４が内側に向かって延出形成され、その上下一対の支持アーム１４間には、ボールネジ１５が回転可能に支持されている。下側支持アーム１４の下側面には、昇降モータＭ１が固設され、その回転軸にはボールネジ１５が駆動連結されている。従って、各支持ブロック１３に設けたボールネジ１５は、それぞれの昇降モータＭ１の正逆回転に基づいて正逆回転する。

四角枠状のフレーム１１の内側には、四角形状の基盤としての昇降盤１６が配設されている。昇降盤１６は、四角形状のステンレス板で形成され、その盤上には上下方向（Ｚ方向）に貫通した下側ガイド穴１７が左右方向（反Ｘ矢印方向及びＸ矢印方向）及び前後方向（反Ｙ矢印方向及びＹ矢印方向）に等間隔に複数形成されている。昇降盤１６は、その左右側面に前後一対の連結突片１８が延出形成されている。その左右両側面に形成された前後一対の連結突片１８は、前記支持ブロック１３に回転可能に支持されたボールネジ１５にそれぞれ螺合されている。

従って、各支持ブロック１３のボールネジ１５が正逆転されることによって、昇降盤１６は上下動する。因みに、本実施形態では、各昇降モータＭ１を正転させると、昇降盤１６は上動（上昇）し、各昇降モータＭ１を逆転させると、昇降盤１６は下動（下降）するようになっている。そして、本実施形態では、支持ブロック１３、ボールネジ１５及び昇降モータＭ１にて第１昇降手段を構成している。

昇降盤１６の上面１６ａの４箇所には間隔保持部材１９が固設され、その間隔保持部材１９の上端に受け渡しプレート２０が連結固定されている。従って、受け渡しプレート２０は、昇降盤１６とともに上下動する。受け渡しプレート２０は、四角形状のステンレス板であって、間隔保持部材１９を介して昇降盤１６と平行に配置されている。受け渡しプレート２０であって昇降盤１６に形成した各下側ガイド穴１７に相対向する位置には、図２に示すように、上下方向（Ｚ方向）に貫通した上側ガイド穴２１がそれぞれ形成されている。

また、図４に示すように、受け渡しプレート２０には、ノズル孔２２が等間隔（３００ｍｍピッチ程度）で設けられている。ノズル孔２２は、受け渡しプレート２０の下面に配管された空気導入管２３からの送られてくる空気が噴出し、受け渡しプレート２０に載置されるパネルＰを浮上（本実施形態では０．３ｍｍ）させるようになっている。

そして、本実施形態では、昇降盤１６（受け渡しプレート２０）は、受け渡しプレート２０が光照射部３に設けた遮光マスク８に隣接した下側位置（アライメント位置という）にまで上動し、下方は、昇降盤１６の下側に設置した受け渡し盤２５に隣接した上側位置（待機位置という）まで下動するようになっている。

昇降盤１６の下側に配置された受け渡し盤２５は、フレーム１１に支持固定されている。受け渡し盤２５は、四角形状のテーブル板であって、その上面には、昇降盤１６及び受け渡しプレート２０に形成された一対の各下側及び上側ガイド穴１７，２１を貫通する受け渡しピン２６がそれぞれ立設されている。各受け渡しピン２６は、昇降盤１６（受け渡しプレート２０）の上下動に基づいて、受け渡しプレート２０の上面２０ａから出没する。

詳述すると、昇降盤１６（受け渡しプレート２０）が待機位置にある時、各受け渡しピン２６の先端は受け渡しプレート２０の上面２０ａから上方に突出し、昇降盤１６（受け渡しプレート２０）がアライメント位置にある時、各受け渡しピン２６の先端は受け渡しプレート２０の上側ガイド穴２１から下方に抜け出るようになっている。

昇降盤１６（受け渡しプレート２０）が待機位置にあって、各受け渡しピン２６の先端は受け渡しプレート２０の上面２０ａから上方に突出している時、その各受け渡しピン２６の先端にパネルＰが載置される。そして、昇降盤１６（受け渡しプレート２０）を上動させ、各受け渡しピン２６の先端が受け渡しプレート２０の上側ガイド穴２１に没入すると、各受け渡しピン２６に載置されていたパネルＰは、受け渡しプレート２０に載置され受け渡される。

受け渡しプレート２０に受け渡されたパネルＰは、昇降盤１６（受け渡しプレート２０）がさらにアライメント位置まで上動すると、光照射部３に設けた遮光マスク８に相対向し隣接する位置に配置されるようになっている。

また、昇降盤１６（受け渡しプレート２０）がアライメント位置から待機位置へ下動するとき、その下動途中において各受け渡しピン２６の先端が受け渡しプレート２０の上側ガイド穴２１から上方に突出すると、受け渡しプレート２０の上面に載置されていたパネルＰは、各受け渡しピン２６に載置され受け渡される。そして、各受け渡しピン２６にパネルＰを受け渡した昇降盤１６（受け渡しプレート２０）は、待機位置まで下動して停止し次の受け渡し動作を待つ。

昇降盤１６と受け渡しプレート２０の間には、アライメント装置３０が設けられている。アライメント装置３０は、図３に示すように、４個のアライメントステージ３１を有している。各アライメントステージ３１は、昇降盤１６の上面１６ａに固設されている。なお、図３には、昇降盤１６に形成した下側ガイド穴１７及び間隔保持部材１９を説明の便宜上省略している。

４個のアライメントステージ３１は、昇降盤１６の中心位置Ｐｏから等距離にそれぞれ配置されている。詳述すると、４個のアライメントステージ３１は、昇降盤１６の中心位置Ｐｏを囲むように配置され、隣合うアライメントステージ３１同士を結ぶと正四角形となるように、その四角形の各頂点位置に配置されている。

なお、各アライメントステージ３１の各々について、特に限定して説明するときには、説明の便宜上、昇降盤１６の左側前側に設けたアライメントステージ３１を左前アライメントステージ３１ａといい、昇降盤１６の右側前側に設けたアライメントステージ３１を右前アライメントステージ３１ｂという。また、昇降盤１６の右側後側に設けたアライメントステージ３１を右後アライメントステージ３１ｃといい、昇降盤１６の左側後側に設けたアライメントステージ３１を左後アライメントステージ３１ｄという。

従って、右前アライメントステージ３１ｂと左後アライメントステージ３１ｄは、昇降盤１６の中心位置Ｐｏを挟んで対角線上の等距離位置に配置され、左前アライメントステージ３１ａと右後アライメントステージ３１ｃは昇降盤１６の中心位置Ｐｏを挟んで対角線上の等距離位置に配置されている。

図４に示すように、各アライメントステージ３１は、昇降盤１６の上面１６ａに固着された基台３２を有し、その基台３２には、ボールネジ３３が回転可能に支持されている。基台３２に対して回転可能に支持されたボールネジ３３は、基台３２に固設された移動モータＭ２の駆動により正逆回転する。

ここで、左前アライメントステージ３１ａの基台３２に設けられたボールネジ３３は、Ｘ矢印方向に配置され、図３に示すように、基台３２の左側に配置された移動モータＭ２はボールネジ３３を正逆回転させる。右前アライメントステージ３１ｂの基台３２に設けられたボールネジ３３は、Ｙ矢印方向に配置され、基台３２の前側に配置された移動モータＭ２はボールネジ３３を正逆回転させる。

右後アライメントステージ３１ｃの基台３２に設けられたボールネジ３３は、Ｘ矢印方向に配置され、基台３２の右側に配置された移動モータＭ２はボールネジ３３を正逆回転させる。左後アライメントステージ３１ｄの基台３２に設けられたボールネジ３３は、Ｙ矢印方向に配置され、基台３２の後側に配置された移動モータＭ２はボールネジ３３を正逆回転させる。

アライメントステージ３１の基台３２の上面には、移動ブロック３４が長手方向に摺動可能に配置され、その移動ブロック３４にはボールネジ３３が螺合されている。移動ブロック３４は、ボールネジ３３が正逆回転することによって、ボールネジ３３に沿って往復移動する。

詳述すると、左前アライメントステージ３１ａ及び右後アライメントステージ３１ｃに設けられたボールネジ３３に螺合した移動ブロック３４は、左右方向（Ｘ矢印方向）に往復移動する。尚、本実施形態では、左前アライメントステージ３１ａ及び右後アライメントステージ３１ｃの移動ブロック３４は、移動モータＭ２（ボールネジ３３）が正回転するとき、Ｘ矢印方向（右側方向）に移動し、移動モータＭ２（ボールネジ３３）が逆回転するとき、反Ｘ矢印方向（左側方向）に移動する。

また、右前アライメントステージ３１ｂ及び左後アライメントステージ３１ｄに設けられたボールネジ３３に螺合した移動ブロック３４は、前後方向（Ｙ矢印方向）に往復移動する。尚、本実施形態では、右前アライメントステージ３１ｂ及び左後アライメントステージ３１ｄの移動ブロック３４は、移動モータＭ２（ボールネジ３３）が正回転するとき、Ｙ矢印方向（後側方向）に移動し、移動モータＭ２（ボールネジ３３）が逆回転するとき、反Ｙ矢印方向（前側方向）に移動する。

そして、本実施形態では、左前アライメントステージ３１ａ及び右後アライメントステージ３１ｃの移動ブロック３４にて第１移動ブロックを構成し、右前アライメントステージ３１ｂ及び左後アライメントステージ３１ｄの移動ブロック３４にて第２移動ブロックを構成している。又、本実施形態では、左前アライメントステージ３１ａ及び右後アライメントステージ３１ｃの移動モータＭ２及びボールネジ３３にて第１駆動手段を構成し、右前アライメントステージ３１ｂ及び左後アライメントステージ３１ｄの移動モータＭ２及びボールネジ３３にて第２駆動手段を構成している。

各移動ブロック３４の上面には、回転板３５が配置されている。回転板３５は、同回転板３５の回転軸の中心軸線Ｃｔを中心に、移動ブロック３４に対して、水平方向に回転可能に支持されている。

回転板３５の上面には、ガイド部材３６が固設され、移動ブロック３４に対して、同回転板３５とともに中心軸線Ｃｔを中心に、水平方向に回転する。ガイド部材３６の上面には、ボールネジ３３の中心軸線方向と直交する方向に延びる断面コ字状のガイド溝３６ａが凹設されている。

ガイド部材３６は、上側に回転載置テーブル３７が配置されている。回転載置テーブル３７は四角形状の金属板であって、その下面に固設されたレール３８がガイド溝３６ａに嵌合されることによって支持されている。レール３８は、ガイド溝３６ａに沿って延出形成され、ガイド溝３６ａに対して摺動可能に嵌合して回転載置テーブル３７をガイド溝３６ａに沿って移動可能に案内する。従って、回転載置テーブル３７は、ガイド部材３６に対してガイド溝３６ａに沿って移動可能となるとともに、回転板３５（ガイド部材３６）とともに移動ブロック３４に対して、水平方向に回転可能となっている。

そして、本実施形態では、左前アライメントステージ３１ａ及び右後アライメントステージ３１ｃの回転板３５、ガイド部材３６及び回転載置テーブル３７にて第１回転テーブルを構成し、右前アライメントステージ３１ｂ及び左後アライメントステージ３１ｄの回転板３５、ガイド部材３６及び回転載置テーブル３７にて第２回転テーブルを構成している。

各アライメントステージ３１の回転載置テーブル３７は、図３、図４に示すように、隣合う回転載置テーブル３７同士が回転載置テーブル３７に設けた加締め金具３９を介して、ステンレスパイプよりなる第１連結部材としての前側又は後側Ｘ軸連結ロッド４０ａ，４０ｂと第２連結部材としての左側又は右側Ｙ軸連結ロッド４１ａ，４１ｂにて連結固定されている。

詳述すると、図３に示すように、左前アライメントステージ３１ａの回転載置テーブル３７と右前アライメントステージ３１ｂの回転載置テーブル３７は、前側Ｘ軸連結ロッド４０ａと連結されている。前側Ｘ軸連結ロッド４０ａは、その中心軸線Ｃｘが左前アライメントステージ３１ａのボールネジ３３の中心軸線と平面視で一致するように連結されている。また、前側Ｘ軸連結ロッド４０ａは、その中心軸線Ｃｘが右前アライメントステージ３１ｂのボールネジ３３の中心軸線と平面視で直交するとともに右前アライメントステージ３１ｂの回転板３５の中心軸線Ｃｔを交差するように連結されている。

また、右前アライメントステージ３１ｂの回転載置テーブル３７と右後アライメントステージ３１ｃの回転載置テーブル３７は、右側Ｙ軸連結ロッド４１ｂと連結されている。右側Ｙ軸連結ロッド４１ｂは、その中心軸線Ｃｙが右前アライメントステージ３１ｂのボールネジ３３の中心軸線と平面視で一致するように連結されている。また、右側Ｙ軸連結ロッド４１ｂは、その中心軸線Ｃｙが右後アライメントステージ３１ｃのボールネジ３３の中心軸線と平面視で直交するとともに右後アライメントステージ３１ｃの回転板３５の中心軸線Ｃｔを交差するように連結されている。

さらに、右後アライメントステージ３１ｃの回転載置テーブル３７と左後アライメントステージ３１ｄの回転載置テーブル３７は、後側Ｘ軸連結ロッド４０ｂと連結されている。後側Ｘ軸連結ロッド４０ｂは、その中心軸線Ｃｘが右後アライメントステージ３１ｃのボールネジ３３の中心軸線と平面視で一致するように連結されている。また、後側Ｘ軸連結ロッド４０ｂは、その中心軸線Ｃｘが左後アライメントステージ３１ｄのボールネジ３３の中心軸線と平面視で直交するとともに左後アライメントステージ３１ｄの回転板３５の中心軸線Ｃｔを交差するように連結されている。

さらにまた、左後アライメントステージ３１ｄの回転載置テーブル３７と左前アライメントステージ３１ａの回転載置テーブル３７は、左側Ｙ軸連結ロッド４１ａと連結されている。左側Ｙ軸連結ロッド４１ａは、その中心軸線Ｃｙが左後アライメントステージ３１ｄのボールネジ３３の中心軸線と平面視で一致するように連結されている。また、左側Ｙ軸連結ロッド４１ａは、その中心軸線Ｃｙが左前アライメントステージ３１ａのボールネジ３３の中心軸線と平面視で直交するとともに左前アライメントステージ３１ａの回転板３５の中心軸線Ｃｔを交差するように連結されている。

尚、ここで、左前アライメントステージ３１ａの回転載置テーブル３７において、前側Ｘ軸連結ロッド４０ａの中心軸線Ｃｘと左側Ｙ軸連結ロッド４１ａの中心軸線Ｃｙのクロスポイントを、垂直（Ｚ矢印方向）に通過する軸を基準軸Ｃｋという。

また、右前アライメントステージ３１ｂの回転載置テーブル３７において、前側Ｘ軸連結ロッド４０ａの中心軸線Ｃｘと右側Ｙ軸連結ロッド４１ｂの中心軸線Ｃｙのクロスポイントを、垂直（Ｚ矢印方向）に通過する軸を基準軸Ｃｋという。

さらに、右後アライメントステージ３１ｃの回転載置テーブル３７において、右側Ｙ軸連結ロッド４１ｂの中心軸線Ｃｙと後側Ｘ軸連結ロッド４０ｂの中心軸線Ｃｘのクロスポイントを、垂直（Ｚ矢印方向）に通過する軸を基準軸Ｃｋという。

さらにまた、左後アライメントステージ３１ｄの回転載置テーブル３７において、後側Ｘ軸連結ロッド４０ｂの中心軸線Ｃｘと左側Ｙ軸連結ロッド４１ａの中心軸線Ｃｙのクロスポイントを、垂直（Ｚ矢印方向）に通過する軸を基準軸Ｃｋという。

いま、各アライメントステージ３１の回転載置テーブル３７が、図３に示す状態にあるとき、各アライメントステージ３１の移動モータＭ２を同じ回転数で一斉に回転させて、左前及び右後アライメントステージ３１ａ，３１ｃの移動ブロック３４をＸ矢印方向（右側方向）に、右前及び左後アライメントステージ３１ｂ，３１ｄの移動ブロック３４を反Ｙ矢印方向（前側方向）に、一斉に同じ速さで移動させる。

このとき、各アライメントステージ３１の回転載置テーブル３７は、それぞれ連結ロッド４０ａ，４０ｂ，４１ａ，４１ｂにて連結固定されているとともに、回転板３５の中心軸線Ｃｔを中心に水平回転可能になっている。その結果、各アライメントステージ３１の回転載置テーブル３７は、それぞれ左右方向又は前後方向に移動するとともに、それぞれの方向に移動しながら中心軸線Ｃｔを中心に図３において反時計回り方向に回転する。

つまり、左前アライメントステージ３１ａの回転載置テーブル３７は、Ｘ矢印方向に移動しながら中心軸線Ｃｔを中心に図３において反時計回り方向に回転する。右前アライメントステージ３１ｂの回転載置テーブル３７は、Ｙ矢印方向に移動しながら中心軸線Ｃｔを中心に図３において反時計回り方向に回転する。右後アライメントステージ３１ｃの回転載置テーブル３７は、反Ｘ矢印方向に移動しながら中心軸線Ｃｔを中心に図３において反時計回り方向に回転する。左後アライメントステージ３１ｄの回転載置テーブル３７は、反Ｙ矢印方向に移動しながら中心軸線Ｃｔを中心に図３において反時計回り方向に回転する。

その結果、各アライメントステージ３１の回転板３５の中心軸線Ｃｔを結ぶ四角形は、その四角形の中心軸、即ち昇降盤１６の中心位置Ｐｏを垂直に通過する軸線を中心に反時計回り方向に水平回転する。以下、この移動を左回転移動モードという。

反対に、各アライメントステージ３１の移動モータＭ２を同じ回転数で一斉に回転させて、左前及び右後アライメントステージ３１ａ，３１ｃの移動ブロック３４を反Ｘ矢印方向（左側方向）に、右前及び左後アライメントステージ３１ｂ，３１ｄの移動ブロック３４をＹ矢印方向（後側方向）に、一斉に同じ速さで移動させる。

その結果、前回と逆に、各アライメントステージ３１の回転板３５の中心軸線Ｃｔを結ぶ四角形は、その四角形の中心軸、即ち昇降盤１６の中心位置Ｐｏを垂直に通過する軸線を中心に時計回り方向に水平回転する。以下、この移動を右回転移動モードという。

また、左前アライメントステージ３１ａと右後アライメントステージ３１ｃの移動モータＭ２を同じ回転数で回転させて、左前及び右後アライメントステージ３１ａ，３１ｃの移動ブロック３４をＸ矢印方向（右側方向）に移動させる。一方、右前及び左後アライメントステージ３１ｂ，３１ｄの移動ブロック３４は停止させた状態にする。

このとき、右前及び左後アライメントステージ３１ｂ，３１ｄの回転載置テーブル３７が、それぞれ移動ブロック３４（ガイド部材３６）に対してガイド溝３６ａに沿って左右方向に移動可能になっていることから、各アライメントステージ３１の回転載置テーブル３７は、それぞれ右側方向（Ｘ矢印方向）に移動する。その結果、各アライメントステージ３１の回転板３５の中心軸線Ｃｔを結ぶ四角形は、Ｘ矢印方向に平行移動する。以下、この移動を右側平行移動モードという。

反対に、左前アライメントステージ３１ａと右後アライメントステージ３１ｃの移動モータＭ２を同じ回転数で回転させて、左前及び右後アライメントステージ３１ａ，３１ｃの移動ブロック３４を反Ｘ矢印方向（左側方向）に移動させる。一方、右前及び左後アライメントステージ３１ｂ，３１ｄの移動ブロック３４は停止させた状態にする。

このとき、各アライメントステージ３１の回転載置テーブル３７は、それぞれ左側方向（反Ｘ矢印方向）に移動することから、各アライメントステージ３１の回転板３５の中心軸線Ｃｔを結ぶ四角形は、反Ｘ矢印方向に平行移動する。以下、この移動を左側平行移動モードという。

さらに、右前アライメントステージ３１ｂと左後アライメントステージ３１ｄの移動モータＭ２を同じ回転数で回転させて、右前及び左後アライメントステージ３１ｂ，３１ｄの移動ブロック３４をＹ矢印方向（後側方向）に移動させる。一方、左前及び右後アライメントステージ３１ａ，３１ｃの移動ブロック３４は停止させた状態にする。

このとき、左前及び右後アライメントステージ３１ａ，３１ｃの回転載置テーブル３７は、それぞれ移動ブロック３４（ガイド部材３６）に対してガイド溝３６ａに沿って上下方向に移動可能になっていることから、各アライメントステージ３１の回転載置テーブル３７は、それぞれ後側方向（Ｙ矢印方向）に移動する。その結果、各アライメントステージ３１の回転板３５の中心軸線Ｃｔを結ぶ四角形は、Ｙ矢印方向に平行移動する。以下、この移動を後側平行移動モードという。

反対に、右前アライメントステージ３１ｂと左後アライメントステージ３１ｄの移動モータＭ２を同じ回転数で回転させて、右前及び左後アライメントステージ３１ｂ，３１ｄの移動ブロック３４を反Ｙ矢印方向（前側方向）に移動させる。一方、左前及び右後アライメントステージ３１ａ，３１ｃの移動ブロック３４は停止させた状態にする。

このとき、各アライメントステージ３１の回転載置テーブル３７は、それぞれ前側方向（反Ｙ矢印方向）に移動することから、各アライメントステージ３１の回転板３５の中心軸線Ｃｔを結ぶ四角形は、反Ｙ矢印方向に平行移動する。以下、この移動を前側平行移動モードという。

このように、各モードで各移動モータＭ２を回転制御することによって、各アライメントステージ３１の回転板３５の中心軸線Ｃｔを結ぶ四角形は、水平回転方向に往復回動させることができるとともに、Ｘ矢印方向、Ｙ矢印方向に往復移動させることができる。

各アライメントステージ３１の回転載置テーブル３７の上面には、第２昇降手段としての昇降用エアシリンダＳＬが設けられている。昇降用エアシリンダＳＬは、そのピストンロッドＳＬａが上方に向くとともに、ピストンロッドＳＬａの中心軸線が前記基準軸Ｃｋと一致するように、回転載置テーブル３７に固着される。ピストンロッドＳＬａの先端には、円板状の昇降ステージＳＴが連結固定され、昇降用エアシリンダＳＬは昇降ステージＳＴを上下動させるようになっている。

昇降ステージＳＴの上面には、金属製の円柱体４４が固着され、その円柱体４４は、受け渡しプレート２０に形成した貫通穴２０ｂを貫通するようになっている。受け渡しプレート２０に形成した貫通穴２０ｂは、受け渡しプレート２０の上面側には大径の収容凹部２０ｃが拡開形成されている。

円柱体４４の上面には、円板状のアライメントテーブルＡＴが固着され、アライメントテーブルＡＴは、昇降用エアシリンダＳＬの駆動により、収容凹部２０ｃに収容されたり、受け渡しプレート２０の上面から突出（本実施形態では、０．３ｍｍ）するようになっている。尚、アライメントテーブルＡＴ及び円柱体４４の中心軸は前記基準軸Ｃｋと一致するようになっている。

従って、受け渡しプレート２０に載置されたパネルＰは、各アライメントステージ３１のアライメントテーブルＡＴが受け渡しプレート２０の収容凹部２０ｃから突出すると、受け渡しプレート２０から０．３ｍｍ上方に各アライメントテーブルＡＴにて持ち上げられる。

そして、パネルＰを各アライメントテーブルＡＴにて持ち上げた状態で、前記各回転載置テーブル３７が前記した各種移動モードを実行すると、各アライメントテーブルＡＴに持ち上げられたパネルＰは、各回転載置テーブル３７とともに左回転移動、右回転移動、右側平行移動、左側平行移動、後側平行移動、及び、前側平行移動を行うことになる。

つまり、パネルＰを、各モードで各移動モータＭ２を回転制御することによって、水平回転方向に往復回動させるとともに、Ｘ矢印方向、Ｙ矢印方向に往復移動させることができる。

図５に示すように、各アライメントテーブルＡＴの上面には、中央部に複数の吸引孔４６が形成され、吸引孔４６は円柱体４４に形成された通路を介して同円柱体４４の側面に設けたポート４７と連通している。各アライメントテーブルＡＴの上面には、吸着溝４８が形成され、吸引孔４６に繋がっている。そして、各アライメントテーブルＡＴの上面にパネルＰが載置されたとき、吸着溝４８の開口部がパネルＰにて塞がれ、塞がれた空間の空気を吸引孔４６を介して吸引することによってパネルＰをアライメントテーブルＡＴに吸着するようになっている。また、パネルＰをアライメントテーブルＡＴに吸着した状態で、吸引孔４６から吸着溝４８に空気を導入することによって、パネルＰをアライメントテーブルＡＴから開放する。

昇降ステージＳＴと回転載置テーブル３７との間であって昇降用エアシリンダＳＬの周りには、３個の昇降ガイド部材５０が等角度の間隔で設けられている。昇降ガイド部材５０は、円筒形のガイド筒５０ａとガイド筒５０ａに貫挿されるカイド軸５０ｂを有している。ガイド筒５０ａは、下端が回転載置テーブル３７に固定され、上側が支持板５１にて支持固定されている。カイド軸５０ｂは上端部が昇降ステージＳＴの下面に固着され、下側がガイド筒５０ａに対して摺動可能に貫挿されている。

昇降ステージＳＴの下面には、ストッパーピン５２が、昇降用エアシリンダＳＬを囲むように３個固着されており、その先端に形成したネジ部５２ａが支持板５１を上下方向に移動可能に貫通し支持板５１の下面から下方に突出形成されている。ストッパーピン５２に形成したネジ部５２ａの先端には２個のナット５３が螺着され、昇降ステージＳＴが上動するとき、ナット５３と支持板５１とが係合して、予め定めた距離（本実施形態では０．３ｍｍ）以上に上動しないように規制するようになっている。

次に、上記のように構成した紫外線照射装置１の電気的構成を図６に示す電気ブロック回路図に従って説明する。
図６において、制御装置６１は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を備えたマイクロコンピュータより構成されている。制御装置６１（ＣＰＵ）は、ＲＯＭに記憶したプログラムに従って、パネルＰを待機位置とアライメント位置との間を案内させるための案内処理、遮光マスク８に対峙したパネルＰを同遮光マスク８に対して位置合わせするための位置合わせ処理等を実行する。

撮像装置６２は、遮光マスク８及びパネルＰに設けたアライメントマーク（図示しない）を撮像する。撮像装置６２は、制御装置６１からの制御信号に応答して、アライメントの撮像を開始し、その撮像した画像データを制御装置６１に出力するようになっている。

制御装置６１は、撮像装置６２が撮像したアライメントマークの画像データに基づいて、遮光マスク８に対してパネルＰが、Ｘ矢印方向、Ｙ矢印方向及び水平回転方向に位置ずれを生じているか演算するようになっている。

制御装置６１は、演算した遮光マスク８に対するパネルＰの、Ｘ矢印方向、Ｙ矢印方向及び水平回転方向の位置ずれに基づいて、パネルＰを左回転移動、右回転移動、右側平行移動、左側平行移動、後側平行移動、又は、前側平行移動させてその位置ずれをゼロにするために移動ブロック３４をＸ矢印方向またはＹ矢印方向に往復移動させるための移動制御信号を生成する。

制御装置６１は、移動モータ駆動回路６３と電気的に接続されている。移動モータ駆動回路６３は、各移動モータＭ２に接続され、制御装置６１からの移動制御信号に応答して各移動モータＭ２を正逆回転させるようになっている。

制御装置６１は、昇降盤１６を昇降させるための昇降制御信号を生成し、昇降モータ駆動回路６４に出力する。昇降モータ駆動回路６４は、各昇降モータＭ１に接続され、制御装置６１からの昇降制御信号に応答して各昇降モータＭ１を正逆回転させるようになっている。

制御装置６１は、浮上用バルブ駆動回路６５に接続され、その浮上用バルブ駆動回路６５は浮上用電磁バルブ６６に接続されている。浮上用電磁バルブ６６は、図示しないエア供給手段から供給されるエアを受け渡しプレート２０に形成したノズル孔２２に供給するための電磁バルブであって、制御装置６１からの開閉信号に応答して浮上用バルブ駆動回路６５にて開閉動作される。

また、制御装置６１は、シリンダ用バルブ駆動回路６７に接続され、そのシリンダ用バルブ駆動回路６７はシリンダ用電磁バルブ６８に接続されている。シリンダ用電磁バルブ６８は、図示しないエア供給手段から供給されるエアを昇降用エアシリンダＳＬに給排するための電磁バルブであって、制御装置６１からの制御信号に応答してシリンダ用バルブ駆動回路６７にて切換動作される。詳述すると、制御装置６１がアライメントテーブルＡＴを上動させるための制御信号を出力したとき、シリンダ用電磁バルブ６８は、昇降用エアシリンダＳＬにエアを供給しアライメントテーブルＡＴを上動させる。反対に、制御装置６１がアライメントテーブルＡＴを下動させるための制御信号を出力したとき、シリンダ用電磁バルブ６８は、昇降用エアシリンダＳＬからエアを吸排しアライメントテーブルＡＴを下動させる。

さらに、制御装置６１は、吸着用バルブ駆動回路６９に接続され、その吸着用バルブ駆動回路６９は吸着用電磁バルブ７０に接続されている。吸着用電磁バルブ７０は、円柱体４４に設けたポート４７（吸引孔４６）からエアを吸引するための電磁バルブであって、制御装置６１からの開閉信号に応答して吸着用バルブ駆動回路６９にて開閉動作される。

さらにまた、制御装置６１は、ランプ駆動回路７１に接続され、そのランプ駆動回路７１は紫外線ランプ６に接続されている。制御装置６１は、ランプ駆動回路７１を介して紫外線ランプ６を点灯制御する。

次に、上記のように構成した紫外線照射装置に設けたアライメント装置３０の作用を説明する。
いま、昇降盤１６（受け渡しプレート２０）が、図１に示すように、受け渡し盤２５に隣接した待機位置にある。従って、受け渡し盤２５に設けた各受け渡しピン２６の先端が受け渡しプレート２０の上面２０ａから上方に突出している。この状態から、フォーク状のロボットハンドを使ってパネルＰを、受け渡しプレート２０の上面２０ａから上方に突出している各受け渡しピン２６の先端に載置する。

受け渡しピン２６の先端にパネルＰが載置されると、制御装置６１は、昇降モータ駆動回路６４を介して昇降モータＭ１を正転させ、昇降盤１６（受け渡しプレート２０）をアライメント位置まで上動させる。この上動途中、各受け渡しピン２６が受け渡しプレート２０に没入すると、各受け渡しピン２６に載置されていたパネルＰが、受け渡しプレート２０に受け渡されて載置される。

昇降盤１６（受け渡しプレート２０）がアライメント位置まで上動すると、制御装置６１は、昇降モータ駆動回路６４を介して昇降モータＭ１を停止させる。
次に、制御装置６１は、浮上用バルブ駆動回路６５を介して浮上用電磁バルブ６６を作動して受け渡しプレート２０に形成したノズル孔２２からエアを噴出させ、パネルＰを受け渡しプレート２０から０．３ｍｍ浮上させる。続いて、制御装置６１は、シリンダ用バルブ駆動回路６７を介してシリンダ用電磁バルブ６８を作動して各昇降用エアシリンダＳＬにエアを供給し、ロッドＳＬａを伸長させ、各アライメントテーブルＡＴを受け渡しプレート２０から０．３ｍｍ上動させる。

これと同時に、制御装置６１は、吸着用バルブ駆動回路６９を介して吸着用電磁バルブ７０を作動させて、各アライメントテーブルＡＴの吸引孔４６から空気を吸引することに
よってパネルＰをアライメントテーブルＡＴに吸着させる。これによって、浮上していたパネルＰは、各アライメントテーブルＡＴに載置固定される。

続いて、アライメント動作を行う。まず、制御装置６１は、撮像装置６２を動作させ、撮像装置６２が撮像したアライメントマークの画像データを取得する。制御装置６１は、取得したアライメントマークの画像データに基づいて、遮光マスク８に対してパネルＰが、Ｘ矢印方向、Ｙ矢印方向及び水平回転方向に位置ずれを生じているか演算する。

そして、位置ずれが演算されると、制御装置６１は、位置ずれに応じて、パネルＰを左回転移動、右回転移動、右側平行移動、左側平行移動、後側平行移動、又は、前側平行移動させてその位置ずれをゼロにするために移動ブロック３４をＸ矢印方向またはＹ矢印方向に往復移動させるための移動制御信号を生成する。制御装置６１は、その生成した移動制御信号を移動モータ駆動回路６３に出力して、各移動モータＭ２を適宜駆動制御して遮光マスク８に対するパネルＰに位置ずれをゼロにする。

遮光マスク８に対するパネルＰの位置ずれが解消されると、制御装置６１は、浮上用バルブ駆動回路６５を介して浮上用電磁バルブ６６を切り換えて受け渡しプレート２０に形成したノズル孔２２からのエアの噴出を停止させる。続いて、制御装置６１は、シリンダ用バルブ駆動回路６７を介してシリンダ用電磁バルブ６８を切り換えて各昇降用エアシリンダＳＬからエアを吸排して、ロッドＳＬａを収縮させ、各アライメントテーブルＡＴを収容凹部２０ｃ内に収容させる。

その結果、パネルＰは、受け渡しプレート２０の上面２０ａに自重のみで載置され、静止状態となって、アライメントが終了する。
アライメントが終了すると、制御装置６１は、ランプ駆動回路７１を介して紫外線ランプ６を点灯させて、パネルＰ（基板間）に形成されたシール材に、遮光マスク８を介して紫外線を照射して同シール材を硬化させパネルＰ（両基板）を貼り合わせる。

この紫外線を照射時において、紫外線にてパネルＰ（両基板）が温度上昇して、パネルＰを構成するそれぞれの基板が少し伸張する。このとき、パネルＰ（両基板）は、受け渡しプレート２０の上面２０ａに自重のみで載置されているだけなので、両基板は、同一の伸びを行い、伸びの違いにより応力の発生はない。

シール材を硬化させパネルＰ（両基板）を貼り合わせが完了すると、制御装置６１は、ランプ駆動回路７１を介して紫外線ランプ６を消灯させた後、昇降モータ駆動回路６４を介して昇降モータＭ１を高速逆正転させ、昇降盤１６（受け渡しプレート２０）を高速で各受け渡しピン２６が受け渡しプレート２０から突出する直前（例えば、３ｍｍ手前）まで高速で下降させる。

各受け渡しピン２６が受け渡しプレート２０から突出する３ｍｍ手前まで昇降盤１６（受け渡しプレート２０）が下降すると、制御装置６１は、昇降モータ駆動回路６４を介して昇降モータＭ１を、一旦回転を停止させた後、昇降モータＭ１を低速で逆正転させて、昇降盤１６（受け渡しプレート２０）を低速で５ｍｍ程度下降させる。

これによって、この低速下降途中において各受け渡しピン２６の先端が受け渡しプレート２０の上側ガイド穴２１から上方に突出し、受け渡しプレート２０の上面に載置されていたパネルＰは、各受け渡しピン２６に載置され受け渡される。

そして、各受け渡しピン２６にパネルＰが受け渡されると、制御装置６１は、昇降モータ駆動回路６４を介して昇降モータＭ１を、一旦回転を停止させた後、昇降モータＭ１を高速で逆正転させて、昇降盤１６（受け渡しプレート２０）を、待機位置まで高速で下降して停止し次の受け渡し動作を待つ。

次に、上記のように構成した実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態によれば、アライメント装置３０は、互いに離間した４つのアライメントステージ３１からなり、その互いに離間したアライメントステージ３１にそれぞれ設けた、アライメントテーブルＡＴにてパネルＰを支承した。そして、４箇所に位置するアライメントテーブルＡＴを、連結ロッド４０ａ，４０ｂ，４１ａ、４１ｂを介して連動させて、パネルＰを、位置ずれに応じて左回転移動、右回転移動、右側平行移動、左側平行移動、後側平行移動、又は、前側平行移動させるようにした。従って、遮光マスク８に対するパネルＰの位置ずれをゼロにすることができる。

（２）上記実施形態によれば、パネルＰの４箇所を、各アライメントステージ３１のアライメントテーブルＡＴにて支承するようにした。しかも、連結ロッド４０ａ，４０ｂ，４１ａ、４１ｂを介して連動させて、パネルＰを移動させた。

従って、パネルＰ下面全体を支承し、位置合わせのためにパネルＰを移動させるアライメントステージに比べて、装置を小型化できそれに伴ってコストの低減を図ることができる。しかも、この従来のアライメントステージに比べてはるかに軽量化でき、移動体機構を駆動させるための消費電力を低減させることができる。

しかも、連結ロッド４０ａ，４０ｂ，４１ａ、４１ｂを、パイプで構成したので、さらに軽量化でき、移動体機構を駆動させるための消費電力をさらに低減させることができる。

（３）上記実施形態によれば、昇降盤１６を上動させるだけで、受け渡しピン２６に配置したパネルＰを、受け渡しプレート２０に受け渡すことができるとともに、昇降盤１６を下動させるだけで、受け渡しプレート２０に載置されたパネルＰを受け渡しピン２６に受け渡すことができることから、パネルＰを遮光マスク８に対してアライメントした後に、紫外線を照射してパネル貼り合わせ加工を行う作業を、連続して行うことができる。

このとき、各アライメントテーブルＡＴを上動させて、パネルＰを受け渡しプレート２０から離間した状態で、アライメントを行うようにした。従って、アライメントのときに、受け渡しプレート２０とパネルＰが擦れることがない。

尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、昇降盤１６と受け渡しプレート２０との間に、アライメント装置３０を設け、各アライメントステージ３１のアライメントテーブルＡＴを受け渡しプレート２０の上面２０ａに対して出没させた。これを、受け渡しプレート２０を省略して実施してもよい。この場合、直接、パネルＰを各アライメントステージ３１のアライメントテーブルＡＴに載置する必要がある。

・上記実施形態では、アライメント装置３０の各アライメントステージ３１を、正四角形となるように、昇降盤１６に配置したが、長方形に配置してもよい。
・上記実施形態では、アライメント装置３０をより軽量化するために、前側Ｘ軸及び後側Ｘ軸連結ロッド４０ａ，４０ｂ、左側Ｙ軸及び右側Ｙ軸連結ロッド４１ａ，４１ｂをパイプにしたが、棒状のロッドであってもよい。

・上記実施形態では、アライメント装置３０を昇降盤１６に配置し、アライメント装置３０に載置したパネルＰを遮光マスク８と対峙するアライメント位置まで上昇させるようにした。これを、遮光マスク８を下降させてアライメント装置３０に載置したパネルＰに対峙させて実施してもよい。

・上記実施形態では、アライメント装置３０を紫外線照射装置１に具体化した。これを、紫外線以外の光照射装置、液晶ディスプレイパネルの２枚の基板を貼り合わせるための装置、その他フラットパネルの製造装置、半導体装置のアライメント装置等、に応用してもよい。

本実施形態を説明するための紫外線照射装置の概略図である。 同じく概略平面図である。 アライメント装置の取付状態を示す平面図。 アライメント装置を構成するアライメントステージの正面図。 同じくアライメントステージの平面図。 紫外線照射装置１の電気的構成を説明するための電気ブロック回路図。

符号の説明

１…紫外線照射装置、２…ステージ部、３…光照射部、５…ランプハウス、６…紫外線ランプ、７…マスク保持部材、８…遮光マスク、１３…支持ブロック、１５…ボールネジ、１６…昇降盤、１９…間隔保持部材、２０…受け渡しプレート、２５…受け渡し盤、２６…受け渡しピン、３０…アライメント装置、３１…アライメントステージ、３１ａ…左前アライメントステージ、３１ｂ…右前アライメントステージ、３１ｃ…右後アライメントステージ、３１ｄ…左後アライメントステージ、３２…基台、３３…ボールネジ、３４…移動ブロック、３５…回転板、３６…ガイド部材、３７…回転載置テーブル、３９…割締め金具、４０ａ…前側Ｘ軸連結ロッド、４０ｂ…後側Ｘ軸連結ロッド、４１ａ…左側Ｙ軸連結ロッド、４１ｂ…右側Ｙ軸連結ロッド、６１…制御装置、６２…撮像装置、６６…浮上用電磁バルブ、６８…シリンダ用電磁バルブ、７０…吸着用電磁バルブ、ＡＴ…アライメントテーブル、Ｐ…液晶ディスプレイパネル、Ｍ１…昇降モータ、Ｍ２…移動モータ、ＳＬ…昇降用エアシリンダ、ＳＴ…昇降ステージ。

Claims (6)

1. 基盤の上面に載置され、ワークを一方向及び前記一方向に対して直交する他方向に移動させるとともに水平回転させて、前記ワークの位置合わせを行うアライメント装置であって、
   前記基盤の上面に位置付けた正四角形又は長方形をなす４つの頂点のうち、一方の対角線上にある一対の頂点位置に、それぞれ前記一方向に沿って往復移動可能に設けられた２つの第１移動ブロックと、
   前記４つの頂点のうち他方の対角線上にある一対の頂点位置に、それぞれ前記他方向に沿って往復移動可能に設けられた２つの第２移動ブロックと、
   ２つの第１駆動手段であってその各々が前記第１移動ブロックの対応する１つを前記一方向に沿って往復移動させる当該２つの第１駆動手段と、
   ２つの第２駆動手段であってその各々が前記第２移動ブロックの対応する１つを前記他方向に沿って往復移動させる当該２つの第２駆動手段と、
   ２つの第１回転テーブルであってその各々が前記対応する第１移動ブロックの上面に、水平回転可能に支持されるとともに、前記他方向に沿って往復移動可能に設けられている当該２つの第１回転テーブルと、
   ２つの第２回転テーブルであってその各々が前記対応する第２移動ブロックの上面に、水平回転可能に支持されるとともに、前記一方向に沿って往復移動可能に設けられている当該２つの第２回転テーブルと、
   前記２つの第１回転テーブルと前記２つの第２回転テーブルとを前記一方向にそれぞれ連結する２つの第１連結部材と、
   前記２つの第１回転テーブルと前記２つの第２回転テーブルとを前記他方向にそれぞれ連結する２つの第２連結部材と、
   前記ワークを協働して支承する４つのアライメントテーブルであってその各々が前記第１回転テーブル及び前記第２回転テーブルのうちの対応する１つに設けられている当該４つのアライメントテーブルと、
   を備え、
   前記第１連結部材及び第２連結部材の各々がパイプであることを特徴とするアライメント装置。
2. 請求項１に記載のアライメント装置において、
   前記基盤は、第１昇降手段にて上下方向に往復移動することを特徴とするアライメント装置。
3. 請求項２に記載のアライメント装置において、
   前記基盤の上方位置に、間隔保持部材を介して平行に受け渡しプレートが配置され、
   前記受け渡しプレートは、その上面に凹設されて前記受け渡しプレートの上面から前記アライメントテーブルを突出可能に収容する収容凹部を有し、
   前記基盤の下方位置には受け渡し盤が配置されており、前記受け渡し盤は、その上面に配置されて、前記第１昇降手段の作動により前記基盤及び前記受け渡しプレートを貫通して前記受け渡しプレートの上面から出没可能な複数の受け渡しピンを有する
   ことを特徴とするアライメント装置。
4. 請求項２又は３に記載のアライメント装置は更に、
   ４つの第２昇降手段であってその各々が前記第１回転テーブル及び前記第２回転テーブルのうちの対応する１つに配置されて、対応するアライメントテーブルを上下方向に往復移動させる当該４つの第２昇降手段を備えることを特徴とするアライメント装置。
5. 請求項４に記載のアライメント装置において、
   前記ワークを浮上させる機構が前記受け渡しプレートに配置されていることを特徴とするアライメント装置。
6. 請求項１乃至５のいずれか一項に記載のアライメント装置は、選択的に実行可能な水平回転モード及び平行移動モードを備えており、
   前記水平回転モードでは、前記第１回転テーブル及び前記第２回転テーブルを水平回転させるために、前記２つの第１駆動手段及び前記２つの第２駆動手段が全て駆動され、
   前記平行移動モードでは、前記第１回転テーブル及び前記第２回転テーブルを平行移動させるために、前記２つの第１駆動手段又は前記２つの第２駆動手段が駆動される
   ことを特徴とするアライメント装置。

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