KR101307434B1

KR101307434B1 - 얼라인을 위한 이송장치

Info

Publication number: KR101307434B1
Application number: KR1020110111899A
Authority: KR
Inventors: 김동균
Original assignee: 에프씨산업 주식회사
Priority date: 2011-10-31
Filing date: 2011-10-31
Publication date: 2013-09-12
Also published as: KR20130047093A

Abstract

본 발명의 얼라인을 위한 이송장치가 개시된다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 챔버 내부에 위치하는 상부 스테이지; 상기 상부 스테이지에 결합되는 이동축; 상기 챔버 상부에 장착되는 메인프레임; 및 상기 이동축을 축방향으로 회전시키는 모터와, 상기 모터를 수평방향으로 이동시키는 Z축 스테이지와, 상기 Z축 스테이지와 직교하는 수평방향으로 상기 Z축 스테이지를 이동시키는 X축 스테이지를 가지며, 상기 메인프레임에 수직이동가능하게 장착되는 이동모듈;을 포함하는, 얼라인을 위한 이송장치가 제공된다

Description

얼라인을 위한 이송장치{Apparatus For Aligning Touch Screen Panel}

본 발명은 얼라인(Align) 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다양한 장치에 적용될 수 있고, 대상물을 이송시키면서 얼라인을 수행할 수 있는 얼라인을 위한 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 터치 스크린(Touch Screen)은 화면에 나타난 문자나 특정 위치에 사람의 손 또는 물체가 닿으면 그 위치를 파악하여 저장된 소프트웨어에 의해 특정 처리를 할 수 있도록 화면에서 직접 입력자료를 받을 수 있는 스크린을 말한다.

터치 스크린은 일반 모니터의 화면에 터치 스크린 패널(Touch Screen Panel)을 부가하여 구성한다. 터치 스크린 패널에는 눈에 보이지 않는 격자모양으로 적외선이 흐르게 되는데, 손끝이나 기타 물체로 적외선 격자를 접촉하면 그 위치를 파악하여 입출력을 할 수 있다.

터치 스크린 패널은 터치 패널(Touch Panel)과 커버글라스(Cover Glass)를 합착하여 제조한다. 근래에는 터치 스크린 패널의 해상도를 높이고 제조 원가를 줄이기 위해 터치 패널과 커버글라스를 레진(Resin)으로 합착한다.

터치 패널과 커버글라스의 합착시, 대기상태에서 터치 스크린 패널의 합착을 수행하면 기포(Issue)가 발생되는 문제가 있다. 이를 방지하기 위해 진공상태의 챔버 내에서 합착을 수행할 수 있는 터치 스크린 패널의 진공 합착 시스템이 고려되고 있다.

이때, 진공 챔버안에서 터치 패널과 커버글라스의 합착을 정밀하게 수행하기 위해서는 이들의 배열 상태를 정밀하게 측정할 수 있는 촬영부와 이들을 이송시킬 수 있는 이송부를 포함한 얼라인 장치를 필요로 한다.

얼라인 장치는 각각의 터치 패널과 커버글라스의 위치를 개별적으로 촬영한 후 정렬위치로 이들을 이송시키게 되므로 터치 패널과 커버글라스를 각각 이송시킬 수 있는 한 쌍의 이동 스테이지를 필요로 한다.

그런데, 종래의 얼라인 장치는 챔버 내부에서 개별적으로 이동하는 스테이지에 의해 챔버의 크기가 커지는 문제가 있고, 챔버 내부 공간의 활용도가 낮게 되므로 챔버 내부에서 다량의 터치 스크린 패널의 합착을 수행할 수 없는 문제가 있다.

따라서 본 발명은 챔버 내부에서 스테이지를 효율적으로 이송시킬 수 있어 챔버의 크기를 줄일 수 있고, 챔버 내부 공간의 활용도를 높여 하나의 챔버 내부에서 다량의 터치 스크린 패널의 합착을 수행할 수 있는 얼라인을 위한 이송장치를 제공하고자 한다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 챔버 내부에 위치하는 상부 스테이지; 상기 상부 스테이지에 결합되는 이동축; 상기 챔버 상부에 장착되는 메인프레임; 및 상기 이동축을 축방향으로 회전시키는 모터와, 상기 모터를 수평방향으로 이동시키는 Z축 스테이지와, 상기 Z축 스테이지와 직교하는 수평방향으로 상기 Z축 스테이지를 이동시키는 X축 스테이지를 가지며, 상기 메인프레임에 수직이동가능하게 장착되는 이동모듈;을 포함하는, 얼라인을 위한 이송장치가 제공된다.

상기 이동모듈은 상기 메인프레임에 대해 상기 이동축을 수직이동시키는 적어도 하나의 Y축 이송부;를 더 포함하며, 상기 Y축 이송부는, 상기 메인프레임의 수직방향으로 장착되는 Y축 레일; 상기 Y축 레일에 이동가능하게 장착되는 Y축 가이드블럭; 및 상기 Y축 가이드블럭을 이동시키는 실린더;를 포함할 수 있다.

상기 이동모듈은, 상기 X축 스테이지를 이동가능하게 지지하며 상기 메인프레임의 상기 Y축 가이드블럭에 장착되는 X축 가이드레일;을 더 포함할 수 있다.

상기 이동모듈은, 상기 Z축 스테이지를 이동가능하게 지지하며 상기 X축 스테이지에 장착되는 Z축 가이드레일;을 더 포함할 수 있다.

상기 이동모듈은, 상기 모터가 상기 Z축 스테이지에 지지되도록 하는 지지프레임을 더 포함할 수 있다.

상기 Z축 스테이지, X축 스테이지, X축 가이드레일은 상기 이동축이 관통되면서 이동할 수 있도록 중공 형상을 가질 수 있다.

상기 이동모듈은, 상기 X축 스테이지가 상기 X축 가이드레일을 따라 이동하록 하는 X축 모터; 및 상기 Z축 스테이지가 상기 X축 스테이지를 따라 이동하도록 하는 Z축 모터;를 더 포함할 수 있다.

상기 지지프레임과 상기 Z축 스테이지의 사이에는 상기 이동축을 감싸도록 내부가 진공상태로 밀봉될 수 있다.

상기 얼라인을 위한 이송장치는, 상기 X축 가이드레일과 상기 챔버의 사이에 장착되는 주름관;을 더 포함할 수 있다.

이와 같이 본 발명의 얼라인을 위한 이송장치에 의하면, 챔버 내부에서 하나의 스테이지를 다축(X축, Y축, Z축 및 θ축) 방향으로 이송시킬 수 있어 챔버의 크기를 줄일 수 있고, 챔버 내부 공간의 활용도를 높여 하나의 챔버 내부에서 다량의 터치 스크린 패널의 합착을 수행할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인을 위한 이송장치가 적용된 일 실시예의 터치 스크린 패널 진공 합착시스템의 정면 구성도이다.
도 2는 도 1의 측면 구성도이다.
도 3은 도 1의 이동모듈 영역에 대한 확대도이다.
도 4는 도 3의 요부 영역에 대한 분해 사시도이다.
도 5 내지 도 7은 터치 스크린 패널의 진공 합착을 위해 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인을 위한 이송장치에 의해 얼라인이 이루어지는 동작을 보여주는 도면들이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 얼라인을 위한 이송장치가 적용된 다른 실시예의 터치 스크린 패널 진공 합착시스템의 정면 구성도이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.

본 발명의 얼라인을 위한 이송장치는 반도체, 터치 스크린 등 다양한 제품을 제조하는 다양한 각종 장비에 적용될 수 있는데, 설명의 편의상 본 실시예에서는 터치 스크린 패널의 제조공정에 사용하는 경우를 예로 들어 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인을 위한 이송장치가 적용된 일 실시예의 터치 스크린 패널 진공 합착시스템의 정면 구성도이고, 도 2는 도 1의 측면 구성도이다.

도 1에 도시된 바와 같이 일 실시예의 터치 스크린 패널 진공 합착시스템(1)은 터치패널(미도시)과 커버글라스(미도시)를 합착하기 위한 챔버(10)를 구비한다.

챔버(10, Chamber)는 터치 스크린 패널의 진공 합착시 기포가 발생되지 않도록 내부가 진공 상태로 유지될 수 있다. 챔버(10)에는 내부로 로딩(Loading)된 커버글라스를 그립(Grip)할 수 있는 상부 스테이지(20)와, 터치패널이 안착되는 하부스테이지(40)가 장착될 수 있다.

상부 스테이지(20)는 챔버(10)의 하부에 장착된 비젼유닛(60)을 이용하여 터치패널과 커버글라스의 합착 위치를 정렬하도록 다양한 축 방향으로 움직일 수 있다.

즉, 상부 스테이지(20)는 이동축(30)과 연결된 이동모듈(100)에 의해 X축, Y축, Z축 및 θ축 방향으로 이동하면서 터치패널과 커버글라스의 얼라인을 수행할 수 있다. 상부 스테이지(20)는 점착 러버(Rubber), 정전척(ESC, Electrostatic Chuck) 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.

하부 스테이지(30)는 상부 스테이지(20)의 하부에 위치한다. 하부 스테이지(30)에는 로봇암(미도시) 등에 의해 챔버(20) 내부로 로딩된 터치패널이 안착될 수 있다.

챔버(10)의 하부 영역에는 터치패널과 커버글라스의 정밀한 합착을 위해 비젼 카메라를 구비하는 비젼유닛(60)과, 합착된 터치 스크린 패널을 챔버(10)의 내부로 언로딩(Unloading)시킬 때 패널의 틀어짐을 방지하기 위한 가경화 유닛(50)이 장착될 수 있다.

챔버(10)는 도 2에 도시된 바와 같이 진공 펌프, 밸브, 게이지 등을 구비하며 챔버(10)를 진공상태로 만들기 위한 펌핑 유닛(80)이 장착될 수 있다. 펌핑 유닛(80)에 의해 챔버(10)의 내부는 진공 상태로 유지될 수 있다. 미설명 부호 70은 센터링 유닛이다.

이와 같이 구성되는 터치 스크린 패널 진공 합착시스템(1)은 디스펜서(미도시)에 의해 레진으로 댐(Dam), 필(Fill)이 도포된 터치패널 및 커버글라스를 챔버(10) 내부로 로딩시켜 진공합착 공정을 수행한다.

여기서 전술한 바와 같이 본 실시예의 얼라인을 위한 이송장치는 상부 스테이지(20)와 연결된 이동축(30)을 X축, Y축, Z축 및 θ축 방향(도 4참조)으로 이동시킬 수 있는 이동모듈(100)에 의해 상부 스테이지(20)는 챔버(10) 내부에서 다양한 방향으로 움직이면서 얼라인을 정밀하게 수행할 수 있다.

도 3은 도 1의 이동모듈 영역에 대한 확대도이고, 도 4는 도 3의 요부 영역에 대한 분해 사시도이다.

도 3에 도시된 바와 같이 이동모듈(100)은 챔버(10) 상부에 장착되는 메인프레임(101)에 결합되면서 챔버(10)의 상부 영역에 설치될 수 있다. 메인프레임(101)은 챔버(10)의 상부에 수직으로 길게 배치될 수 있으며, 한 쌍으로 마련될 수 있다.

이동모듈(100)은 이동축(30)을 축방향으로 회전시키는 모터(110)와, 모터(110)를 수평방향으로 이동시키는 Z축 스테이지(120)와, Z축 스테이지(120)와 직교하는 수평방향으로 Z축 스테이지(120)를 이동시키는 X축 스테이지(130)와, 이동축(30)을 메인프레임(101)의 길이 방향을 따라 이동시키는 Y축 이송부(140)를 포함하여 구성될 수 있다.

모터(110)는 이동모듈(100)의 상부 영역에 배치되는데, 모터(110)의 축(111)은 커플링(115)에 의해 이동축(30)과 연결될 수 있다. 모터(110)는 정역회전가능하게 구성되면서 도 4에 도시된 바와 같이 이동축(30)을 θ축 방향으로 회전시킬 수 있다. 예를 들어 모터(110)는 DC 모터가 사용될 수 있다.

모터(110)는 지지프레임(170)에 의해 Z축 스테이지(120)에 지지결합될 수 있다. 지지프레임(170)은 모터(110)의 하부 영역과 Z축 스테이지(120)의 상부 영역을 연결하는 다양한 형태일 수 있다.

예를 들어 지지프레임(170)은 도 4에 도시된 바와 같이 모터(110)의 회전축과 연결된 이동축(30)이 관통할 수 있도록 내부에 관통공(171)이 형성된 플레이트와 수직으로 배치된 다수의 프레임이 결합된 형상을 가질 수 있다.

지지프레임(170)과 결합되는 Z축 스테이지(120)는 지지프레임(170)과 마찬가지로 이동축(30)이 통과할 수 있도록 내부에 관통공(121)이 형성된 플레이트 형상을 가질 수 있다.

모터(110)와 지지프레임(170) 및 Z축 스테이지(120)는 실질적으로 일체로 구성될 수 있다. 따라서 Z축 스테이지(120)가 Z축 방향으로 이동하면, 실질적으로 모터(110)와 연결된 이동축(30)을 Z축 방향으로 이동시킬 수 있다.

Z축 스테이지(120)는 X축 스테이지(130)에 이동가능하게 결합되면서 X축 스테이지(130)에 대해 Z축 방향으로 이동하면서 이동축(30)을 Z축 방향으로 이동시킨다.

이를 위해 Z축 스테이지(120)를 X축 스테이지(130)에 대해 이동가능하게 지지하도록 X축 스테이지(130)에는 Z축 가이드레일(160)이 장착될 수 있다.

Z축 가이드레일(160)은 Z축 스테이지(120)의 하부, X축 스테이지(130)의 상부에 위치하면서 Z축 스테이지(120)가 Z축 방향으로 이동할 수 있도록 다양한 형태로 구성될 수 있다. Z축 가이드레일(160)는 이동축(30)이 통과할 수 있도록 내부에 관통공(161)이 형성된 플레이트 형상을 가질 수 있다.

Z축 가이드레일(160)과 X축 스테이지(130)는 LM가이드 조합으로 이루어질 수 있다. 이때, Z축 스테이지(120)가 X축 스테이지(130)에 장착된 Z축 가이드레일(160)을 따라 이동하도록 하는 Z축 모터(190)가 장착될 수 있다.

Z축 모터(190)는 Z축 스테이지(120)에 결합되면서 도시하지는 않았지만 랙 앤 피니언 기어 또는 다양한 선형이동가능한 구성들을 부가하여 Z축 스테이지(120)가 이동할 수 있도록 동력을 제공한다.

이러한 구성으로 Z축 스테이지(120)는 Z축 방향으로 좌우 이동하면서 실질적으로 이동축(30)을 Z축 방향으로 이동시킬 수 있으며, 이동축(30)에 장착된 상부 스테이지(20)는 Z축 방향으로 이동할 수 있다.

X축 스테이지(130)는 Z축 스테이지(120)와 직교하는 수평방향, 즉 X축 방향으로 X축 스테이지(130)의 상부에 위치한 Z축 스테이지(120)를 함께 이동시킬 수 있다. X축 스테이지(130)는 Z축 스테이지(120)를 함께 이동시킬 수 있으므로 실질적으로 이동축(30)을 X축 방향으로 이동시킬 수 있으며, 이동축(30)에 장착된 상부 스테이지(20)는 X축 방향으로 이동할 수 있다.

X축 스테이지(130)는 이동축(30)이 통과할 수 있도록 내부에 관통공이 형성된 플레이트 형상을 가질 수 있다. 관통홀은 Z축 스테이지(120)가 이동하면서 내부에 삽입된 이동축(30)을 간섭하지 않도록 Z축 방향을 따라 길게 형성된 장공일 수 있다.

X축 스테이지(130)의 하부에는 X축 가이드레일(150)이 배치된다. X축 가이드레일(150)은 X축 스테이지(130)를 이동가능하게 지지하도록 다양한 형태로 제작될 수 있다.

예를 들어 X축 가이드레일(150)은 X축 방향으로 길게 배치된 플레이트 형상을 가지며 내부에 X축 스테이지(130)의 관통홀과 연통되면서 이동축(30)이 관통할 수 있는 관통공(150)이 형성될 수 있다. X축 가이드레일(150)은 후술할 Y축 이송부(140)의 Y축 가이드블럭(143)에 장착될 수 있다.

X축 가이드레일(150)과 X축 스테이지(130)는 LM가이드 조합으로 이루어질 수 있다. 그리고 X축 스테이지(130)가 X축 가이드레일(150)을 따라 이동하도록 하는 X축 모터(180)가 장착될 수 있다.

X축 모터(180)는 X축 스테이지(130)에 결합되면서 도시하지는 않았지만 랙 앤 피니언 기어 또는 다양한 선형이동가능한 구성들을 부가하여 X축 스테이지(130)가 이동할 수 있도록 동력을 제공한다.

Y축 이송부(140)는 전술한 이동모듈(100)의 구성들이 메인프레임(101)에 대해 수직이동하도록 하며, 실질적으로 이동축(30)을 수직이동시키도록 한다. Y축 이송부(140)는 적어도 하나가 마련될 수 있는데 본 실시예는 한 쌍으로 마련된다.

Y축 이송부(140)는 메인프레임(101)의 수직방향으로 장착되는 Y축 레일(141)과, Y축 레일(141)에 이동가능하게 장착되는 Y축 가이드블럭(143)과, Y축 가이드블럭(143)을 이동시키는 실린더(145)를 포함하여 구성될 수 있다.

여기서 실린더(145)는 Y축 가이드블럭(143)이 Y축 레일(141)을 따라 Y축 방향으로 상하 이동하도록 동력을 제공한다. 이때, 전술한 바와 같이 Y축 가이드블럭(143)에는 X축 가이드레일(150)이 장착되므로 X축 가이드레일(150)은 Y축 방향으로 이동할 수 있으며, 전술한 구성들의 결합관계를 통해 실질적으로 이동축(30)이 Y축 방향으로 이동할 수 있다.

Y축 이송부(140)는 이동축(30)을 Y축 방향으로 선형 이송시킬 수 있다면 전술한 형태에 제한되지 않고 다양한 선형이동수단을 부가하여 변형실시 가능하다.

이와 같이 구성되는 본 실시예의 얼라인을 위한 이송장치는 상부 스테이지(20)와 연결된 이동축(30)을 X축, Y축, Z축 및 θ축 방향(도 4참조)으로 이동시킬 수 있는 이동모듈(100)에 의해 상부 스테이지(20)는 챔버(10) 내부에서 다양한 방향으로 움직이면서 얼라인을 정밀하게 수행할 수 있다.

한편, 챔버(10)의 내부는 진공 상태를 유지할 필요가 있으므로 전술한 지지프레임(170)과 상기 Z축 스테이지(120)의 사이에는 이동축(30)을 감싸도록 진공씰(200)이 형성될 수 있다. 진공씰(200)은 덮개 형상으로 Z축 스테이지(120)의 상부와 이동축(30)의 측면 영역을 밀봉시키는 형태일 수 있다.

따라서 지지프레임(170)과 상기 Z축 스테이지(120)의 사이의 내부공간은 진공상태로 밀봉될 수 있다.

또한, X축 가이드레일(150)에는 전술한 바와 같이 관통공(151)이 형성되며, 이동축(30)은 관통공(151)의 내측 및 챔버(10)에 형성된 챔버공(11)을 통해 챔버(10)의 내부에 위치한 상부 스테이지(20)와 연결된 구조를 갖는다.

이때, 이동축(30)은 전술한 이동모듈(100)에 의해 다축(X축, Y축, Z축 및 θ축) 방향으로 움직이기 때문에 챔버(30) 내부의 진공 상태가 깨질 우려가 있다.

따라서 X축 가이드레일(150)과 챔버(10)의 사이에는 주름관(300)이 장착될 수 있다.

주름관(300)은 챔버(10)의 챔버공(11) 입구 영역과 가이드레일(150)의 관통공(151)을 연결하면서 주름진 형상이 변화되면서 챔버(10)를 밀폐하는 구조를 가질 수 있다. 주름관(300)은 이동축(30)이 다축방향으로 이동하는 것을 방지하면서 챔버(10) 내부를 밀폐할 수 있다면 주름관 이외에도 유연한 재질의 고무 등으로 변형실시가능하다.

도 5 내지 도 7은 터치 스크린 패널의 진공 합착을 위해 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인을 위한 이송장치에 의해 얼라인이 이루어지는 동작을 보여주는 도면들이다.

도 5 내지 도 7 및 전술한 도면들을 참조하면서 본 실시예의 얼라인을 위한 이송장치가 터치 스크린 패널의 진공 합착을 위해 사용되는 예를 설명하기로 한다.

도 5의 (a)에 도시된 바와 같이 챔버(10)의 내부로 커버글라스(G1)가 로딩되면서 하부 스테이지(40)에 안착될 수 있다. 하부 스테이지(40)에 커버글라스(G1)가 안착되면, 이동모듈(100)은 Y축 이송부(140)에 의해 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이 Y축 방향으로 하강하면서 이동축(30)을 하강시키도록 동작한다.

따라서 상부 스테이지(30)가 Y축 방향으로 하강하면서 커버글라스(G1)를 흡착할 수 있다. 이때, Y축 이송부(140)에 의해 Y축 방향으로 약간 상승, 예를 들어 1mm 정도 상승한 후 비젼유닛(60)은 카메라로 커버글라스(G1)에 대한 이미지를 인식할 수 있다.

이어서 도 6의 (c)에 도시된 바와 같이 커버글라스(G1)를 흡착한 상부 스테이지(30)는 도 6의 (d)와 같이 챔버(10) 내부로 로딩이 이루어질 터치패널(G2)과의 간섭을 도피하도록 Y축 이송부(140)에 의해 Y축 방향으로 좀 더 상승할 수 있다.

커버글라스(G1)를 흡착한 상부 스테이지(30)가 일정 높이로 상승하면 도 6의 (d)와 같이 커버글라스(G1)와 합착될 터치패널(G2)이 로딩되면서 하부 스테이지(40)에 안착된다. 비젼유닛(60)은 카메라로 터치패널(G2)에 대한 이미지를 인식하면서 커버글라스(G1)와 합착될 터치패널(G2)의 얼라인의 위치를 비교할 수 있다.

이때, 도 7의 (e)에 도시된 바와 같이 커버글라스(G1)를 흡착한 상부 스테이지(30)는 이동모듈(100)에 의해 얼라인 위치만큼 수평(X축, Z축) 방향으로 움직이거나 θ축) 방향으로 회전할 수 있다.

상부 스테이지(30)의 위치가 조절된 후에는 도 7의 (f)에 도시된 바와 같이 상부 스테이지(30)가 Y축 방향으로 하강하면서 커버글라스(G1)와 터치패널(G2)은 얼라인이 이루어진 상태로 합착될 수 있다.

합착이 완료된 후에는 챔버(10) 하부에 배치된 가경화 유닛(50)으로 합착된 위치가 틀어지지 않도록 자외선을 조사하여 가경화시키고, 챔버(10) 내부의 진공을 파기하고 챔버(10)를 열어서 합착된 터치 패널 스크린을 언로딩할 수 있다.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 얼라인을 위한 이송장치가 적용된 다른 실시예의 터치 스크린 패널 진공 합착시스템의 정면 구성도이다. 도 8에 도시된 바와 같이 이동모듈(100)은 하나의 챔버(10)에 다수개가 배치되면서 적용될 수 있다.

이와 같이 본 발명의 얼라인을 위한 이송장치에 의하면, 챔버 내부에서 하부 스테이지는 고정시키고 상부 스테이지를 다축(X축, Y축, Z축 및 θ축) 방향으로효율적으로 이송시킬 수 있기 때문에 챔버의 크기를 줄일 수 있고, 챔버 내부 공간의 활용도를 높여 하나의 챔버 내부에서 다량의 터치 스크린 패널의 합착을 수행할 수 있다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

1 : 합착 시스템 10 : 챔버
20 : 상부 스테이지 30 : 이동축
40 : 하부 스테이지 50 : 가경화 유닛
60 : 비젼 유닛 70 : 센터링 유닛
80 : 펌핑 유닛 100 : 이동모듈
101 : 메인프레임 110 : 모터
120 : Z축 스테이지 130 : X축 스테이지
140 : Y축 이송부 141 : Y축 레일
143 : Y축 가이드블럭 145 : 실린더
150 : X축 가이드레일 160 : Z축 가이드레일
170 : 지지프레임 180 : X축 모터
190 : Z축 모터 200 : 진공씰(seal)
300 : 주름관

Claims

챔버 내부에 위치하는 상부 스테이지;
상기 상부 스테이지에 결합되는 이동축;
상기 챔버 상부에 장착되는 메인프레임; 및
상기 이동축을 축방향으로 회전시키는 모터와, 상기 모터를 수평방향으로 이동시키는 Z축 스테이지와, 상기 Z축 스테이지와 직교하는 수평방향으로 상기 Z축 스테이지를 이동시키는 X축 스테이지를 가지며, 상기 메인프레임에 수직이동가능하게 장착되는 이동모듈;
을 포함하는, 얼라인을 위한 이송장치.
제1항에 있어서,
상기 이동모듈은 상기 메인프레임에 대해 상기 이동축을 수직이동시키는 적어도 하나의 Y축 이송부;를 더 포함하며,
상기 Y축 이송부는,
상기 메인프레임의 수직방향으로 장착되는 Y축 레일;
상기 Y축 레일에 이동가능하게 장착되는 Y축 가이드블럭; 및
상기 Y축 가이드블럭을 이동시키는 실린더;
를 포함하는, 얼라인을 위한 이송장치.
제2항에 있어서,
상기 이동모듈은,
상기 X축 스테이지를 이동가능하게 지지하며 상기 메인프레임의 상기 Y축 가이드블럭에 장착되는 X축 가이드레일;을 더 포함하는, 얼라인을 위한 이송장치.
제2항에 있어서,
상기 이동모듈은,
상기 Z축 스테이지를 이동가능하게 지지하며 상기 X축 스테이지에 장착되는 Z축 가이드레일;을 더 포함하는, 얼라인을 위한 이송장치.
제3항에 있어서,
상기 이동모듈은,
상기 모터가 상기 Z축 스테이지에 지지되도록 하는 지지프레임을 더 포함하는, 얼라인을 위한 이송장치.
제5항에 있어서,
상기 Z축 스테이지, X축 스테이지, X축 가이드레일은 상기 이동축이 관통되면서 이동할 수 있도록 중공 형상을 갖는, 얼라인을 위한 이송장치.
제6항에 있어서,
상기 이동모듈은,
상기 X축 스테이지가 상기 X축 가이드레일을 따라 이동하록 하는 X축 모터; 및
상기 Z축 스테이지가 상기 X축 스테이지를 따라 이동하도록 하는 Z축 모터;
를 더 포함하는, 얼라인을 위한 이송장치.
제7항에 있어서,
상기 지지프레임과 상기 Z축 스테이지의 사이에는 상기 이동축을 감싸도록 내부가 진공상태로 밀봉되는, 얼라인을 위한 이송장치.
제8항에 있어서,
상기 얼라인을 위한 이송장치는,
상기 X축 가이드레일과 상기 챔버의 사이에 장착되는 주름관;을 더 포함하는, 얼라인을 위한 이송장치.