CN105575868B - 基板校准方法与装置 - Google Patents

Abstract

本发明的基板校准装置用于校准薄膜沉积进出片腔中的基板，所述进出片腔具有顶部、底部、顶部与底部之间的侧壁及位于底部正上方用以承载基板的升降装置，所述底部正下方设置有用以升降所述升降装置的动力装置，所述顶部设置有基板校准装置，所述基板校准装置包括驱动机构、传动机构、导向杆，所述驱动机构驱动传动机构运动，所述导向杆临近所述传动机构的一端设置有滚轮装置，所述导向杆远离所述传动机构的一端设置有校准机构，所述滚轮装置随着所述传动机构的运动而运动，进而带动所述校准机构随着所述传动机构的运动而在导向杆上移动。本发明的基板校准机构可移动的对失准基板不同的方向同时驱使基板至预定基准位置，压力小，基板不易损坏。

Description

基板校准方法与装置

技术领域

本发明涉及真空薄膜沉积设备领域，尤其涉及一种基板校准方法及装置。

背景技术

在真空薄膜沉积设备系统中，大气机械手臂将镀膜基板从大气侧送入进出片腔，需进行基板位置校准，例如，公开号为1639839的中国专利公开一种用以支撑一基材的方法和设备。在一种情况下，一种用以支撑一基材的设备包括一支撑板，具有一第一主体安排成接近该支撑板。一第一推挤件径向地连接至第一主体并用来当第一主体旋转时，在平行于该支撑板的第一方向挤压基材。在另一种情况下，一具有一基材支撑件的真空隔绝室包含有一冷却板，其被移动以作动至少一个对准机构，该基材支撑件支撑放在其上面的基材。对准机构包含一推挤件，该推挤件将基材在第一方向朝该支撑件的中心推挤。推挤件可以另外旋转于垂直于第一方向的轴上。

但是，该专利在对基板校准的过程中，对准机构是固定不动的，会对正常传送的基板造成阻挡，对准机构持续的挤压基板易导致基板的损坏。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基板校准方法与装置，以解决现有技术基板校准过程中基板易损坏的问题。

为实现前述目的，本发明采用如下技术方案：一种基板校准装置，用于校准薄膜沉积进出片腔中的基板，所述进出片腔具有顶部、底部、顶部与底部之间的侧壁及位于底部正上方用以承载基板的升降装置，所述底部正下方设置有用以升降所述升降装置的动力装置，所述顶部设置有基板校准装置，所述基板校准装置包括驱动机构、传动机构、导向杆，所述驱动机构驱动传动机构运动，所述基板校准装置以传动机构为中心向外设有导向杆与之相连，所述导向杆方向与所述基板正确位置时的对角线方向或直角边的中心线方向重合，所述导向杆临近所述传动机构的一端设置有滚轮装置，所述导向杆远离所述传动机构的一端设置有校准机构，所述滚轮装置随着所述传动机构的运动而运动，进而带动所述校准机构随着所述传动机构的运动而在导向杆上移动。

优选的，所述传动机构是凸轮或槽轮，所述驱动机构驱动传动机构旋转。

优选的，当所述传动机构是凸轮的时候，所述导向杆上还设有位于所述校准机构外侧的弹性压紧机构，所述弹性压紧机构用以压紧所述校准机构，使所述滚轮装置与所述凸轮始终接触。

优选的，所述凸轮边缘包括凸部及平滑部，相邻的所述凸部之间通过所述平滑部相连接，所述滚轮装置随着所述凸轮的旋转而沿着凸轮边缘运动。

优选的，所述基板校准装置在所述导向杆上设有远端位置和校准位置。当所述校准机构位于远端位置时，所述升降装置将所述基板升至设定的高度进行校准，此时，所述导向杆上的滚轮装置与所述凸轮的凸部接触。

优选的，当校准机构位于校准位置时，所述导向杆上的滚轮装置与所述凸轮的平滑部接触。

优选的，所述槽轮设有互不连通的条形孔，所述条形孔自槽轮的中心斜向外延伸，所述条形孔设置有延伸部和平滑部，所述滚轮装置随着所述槽轮的旋转而沿着条形孔运动。

优选的，所述基板校准装置在所述导向杆上设有远端位置和校准位置。当所述校准机构位于远端位置时，所述升降装置将所述基板升至设定的高度进行校准，此时，所述导向杆上的滚轮装置与所述条形孔的延伸部接触。

优选的，当所述校准机构位于校准位置时，所述导向杆上的滚轮装置与所述条形孔的平滑部接触。

优选的，所述校准机构设置有校正臂，所述校正臂呈“L”或“一”形状分布，所述校正臂设有用以与待测所述基板侧边接触并驱使所述基板进入正确位置的滚动部件。

优选的，当所述校准机构的所述校正臂呈“一”形状时，所述导向杆的位置与被校正后所述基板对角线方向重合。

优选的，当所述校准机构的所述校正臂呈“L”形状时，所述导向杆的位置与被校正后所述基板的直角边的中心线重合。

优选的，所述滚动部件的长度等于一层所述基板的高度或多层所述基板的高度。

优选的，滚动部件的材质为工程塑料或金属铜。

优选的，所述导向杆还设有位于所述校准机构正下方的导轨部件，用以承载所述校准机构。

优选的，所述导向杆上还设有第一固定导向部件和第二固定导向部件，用以实现所述基板向预设位置中心点靠近。

优选的，所述导向杆有4根。

优先的，当所述校准机构位于所述远端位置时，任意两个所述校准机构之间的距离大于所述基板的对应边长，两个所述校准机构之间的距离随基板对应边长的变化呈比例的变化。

为实现本发明的目的，另外提供一种使用上述基板校准装置的基板校准方法，该方法包括如下步骤：

将所述基板从大气侧加载入进出片腔内，并放置于所述升降装置的销上；

所述升降装置将所述基板升到所述校准机构的校准位置；

所述驱动机构带动所述传动机构运动；

所述滚轮装置随着所述传动机构的运动而运动；

进而带动所述校准机构随着所述传动机构的运动而在导向杆上移动；

优选的，所述传动机构和所述校准机构的运动是同步的；

优选的，所述校准机构的行程是相同。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：本发明基板校准装置，用于校准薄膜沉积进出片腔中的基板，所述进出片腔具有顶部、底部、顶部与底部之间的侧壁及位于底部正上方用以承载基板的升降装置，所述底部正下方设置有用以升降所述升降装置的动力装置，所述顶部设置有基板校准装置，所述基板校准装置包括驱动机构、传动机构、导向杆，所述驱动机构驱动传动机构运动，所述导向杆临近所述传动机构的一端设置有滚轮装置，所述导向杆远离所述传动机构的一端设置有校准机构，所述滚轮装置随着所述传动机构的运动而运动，进而带动所述校准机构随着所述传动机构的运动而在导向杆上移动。本发明的基板校准机构可移动的对失准基板从不同的方向同时驱使基板至预定基准位置，压力小，基板不易损坏。

驱使基板到准确位置且与基板接触的部件，采用滚动的，从而减小摩擦，不容易损坏基板。且采用一个驱动机构带动传动机构转动，从而四个滚轮装置运动的同步性更好。

多基板同时处理，从而节省处理时间，提高工作效率。

校准机构的校正臂呈“一”型时，尤其适用于面积大于1.3m*1.5m的基板的校准。因校正臂能够直接作用于基板直角边的外侧面，使基板不易变形。

采用槽轮作为传动机构，省去弹性压紧机构，节省空间，减小腔体的大小，从而节省成本，同时抽真空的时间变短，提高产能。

附图说明

图1是现有技术中集束式基板处理装置平面布局示意图。

图2是本发明实施方式一中进出片腔中基板在校正功能实施前的位置状态侧面示意图。

图3是本发明实施方式一中进出片腔中基板在校正功能实施中的位置状态侧面示意图。

图4是本发明实施方式一中基板校准装置中部局部放大示意图。

图5是本发明实施方式一中基板校准装置侧向立体示意图。

图6是本发明实施方式一中滚动部件剖切后立体示意图。

图7是本发明实施方式一中弹性压紧机构剖切后立体示意图。

图8是本发明实施方式一中凸轮驱动原理示意图。

图9是本发明实施方式一中基板在校准机构中校正功能实施前的位置状态正面示意图。

图10是本发明实施方式一中在基板校准机构中校正功能实施中的位置状态正面示意图。

图11A是本发明实施方式一中失准基板与校准机构的相对位置平面示意图。

图11B是本发明实施方式一中失准基板经校准到与预定位置基板平行时与校准机构的相对位置平面示意图。

图11C是本发明实施方式一中失准基板校正后与校准机构的相对位置平面示意图。

图12是本发明实施方式一中实现多层基板同时校正的基板校准装置的结构侧向立体示意图。

图13是本发明实施方式一中实现多层基板同时校正功能的结构侧向立体示意图。

图14是本发明实施方式一中实现多层基板同时校正功能的结构正向示意图。

图15A是本发明实施方式一中实现多层基板同时校正功能后基板再传送过程与校准机构位置关系示意图。

图15B是实施多层基板同时校正功能案例中所需具有升降功能机械手搬送基板到设定位置时或抓取基板完成时各功能块的位置状态图。

图15C是实施多层基板同时实施校正功能具有升降功能机械手承载基板进行装载或卸载状态的立体示意图。

图16是本发明实施方式二中进出片腔中基板在校正功能实施前的位置状态侧面示意图。

图17是本发明实施方式二中基板校准装置侧向立体示意图。

图18是本发明实施方式二中基板在校正实施前的位置状态正面示意图。

图19是本发明实施方式二中基板在校正实施后的位置状态正面示意图。

图20是本发明实施方式三中槽轮驱动方式进出片腔中基板在校正功能实施前的位置状态侧面示意图。

图21是本发明实施方式三中槽轮驱动方式基板校准装置侧向立体示意图。

图22是本发明实施方式三中槽轮驱动方式基板校准装置中心局部放大侧向立体示意图。

图23是本发明实施方式三中槽轮驱动原理示意图。

图24是本发明使用基板校准装置的基板校准方法的流程图。

具体实施方式

以下将结合附图所示的具体实施例对本发明进行详细描述。

本发明提供一种基板校准装置，具有可移动的校准机构，以将待校准的基板校准到预定位置。下面将举例说明基板校准装置在薄膜沉积进出片腔中的应用。

图1现有技术中为集束式薄膜沉积系统150的具体实施例的平面布局图。沉积系统150包括传送室141，传送室141实现进出片腔100、沉积腔140之间的传输，进出片腔100设有一基板校准机构110。传送室141内部设有一真空机械手臂144，用来在多个沉积腔140与进出片腔100之间传送基板103。

大气侧130至少包括有大气机械手臂145及基板储存室143，基板储存室143用来储存多个基板103，大气机械手臂145用来在基板储存室143与进出片腔100之间传送基板103。

实施方式一

图2是本发明实施方式一的进出片腔100内校准功能实施前的侧面示意图。进出片腔100具有顶部101、底部109及位于底部109正上方用以承载基板103的升降装置104，底部109正下方设置有用以升降所述升降装置104的动力装置107，所述顶部101设置有基板校准装置110。

参考图2所示，基板103首先由大气机械手臂145进入进出片腔100内，放置在若干销105上，然后在升降装置104的作用下，上升至设定的校正高度位置，即图3所示的位置。

参考图4所示，本发明实施方式一中，基板校准装置110包括凸轮111、驱动机构114、导向杆112。所述驱动机构114为伺服马达、旋转气缸、液压系统等。所述凸轮边缘设有向外突出的4个凸部1111和4个平滑部1112，所述相邻的凸部1111之间是通过所述平滑部1112连接。其中，基板校准装置110以凸轮111为中心向外设有4根导向杆112与之相连，且四根导向杆112方向与基板103正确位置时的对角线方向重合。所述驱动机构114用来带动凸轮111旋转。

参考图5所示，本发明实施方式一中，每一根导向杆112临近驱动机构114的一端设有滚轮装置113，所述滚轮装置113随着所述凸轮111的旋转而沿着凸轮111边缘运动。每一根所述导向杆112远离所述驱动机构114另一端设有校准机构116，每一个所述校准机构116位于所述基板103的4个角的位置。所述校准机构116设有校正臂1162，所述校正臂1162呈“L”形状分布，所述校正臂1162的下方设有与待测所述基板103侧边接触并驱使所述基板103进入正确位置的滚动部件1161，所述每一校准机构116随着凸轮的111的旋转而在导向杆112上移动。所述滚动部1161作用于所述基板103的4个角的两侧。

参考图6所示，所述滚动部件1161用以驱使基板103的侧面进入正确的位置。滚动部件1161的材质为工程塑料或金属铜，以避免对基板侧面的划伤。

其中，每一根所述导向杆112在所述校准机构116外侧还设有弹性压紧机构118，其用以压紧所述校准机构116。参考图7-8所示，所述弹性压紧机构118的内部设有弹簧1181，所述弹簧1181与所述导向杆112连接，用以实现对校准机构116的弹性作用，避免在校正时所述滚轮装置113脱离所述凸轮111。

所述校准机构116的正下方设有导轨部件117，用以承载所述校准机构116，实现校准机构116在导向杆112上的移动。

所述每一根所述导向杆112在滚轮装置113与校准机构116之间还设有第一固定导向部件119和第二固定导向部件115，以实现所述基板103向预设位置中心点靠近。

参考图9-10所示，所述基板校准装置110在所述导向杆112上设有远端位置A和校准位置B。但所述校准机构116位于远端位置A时，所述升降装置104将所述基板103上升至预设的高度进行校准，此时，所述导向杆112上的滚轮装置113与所述凸轮111的凸部1111接触。此时，其中一相邻的所述导向杆112之间的夹角为β。

参考图10所示，当所述校准机构116位于校准位置B时，所述导向杆112上的滚轮装置113与所述凸轮的平滑部1112接触。当校准机构116对基板103校准的过程中，即每一个校准机构116从远端位置A移动到校准位置B时，基板103从失准的位置到预设的位置，所述导向杆112之间的夹角β始终保持不变。以上设置，能保证每一个校准机构116和凸轮111同步运动的过程中，滚轮装置113与凸轮111外轮廓面有良好的接触，所述基板103不会受到过大的挤压力，基板不易损坏。

参考图11A-11C所示，基板103的边长分为长边和宽边，当校准机构位于所述远端位置A时，图11A中左边上下两个所述校准机构116之间的距离大于所述基板103的宽边，同理上边左右两个所述校准机构116之间的距离大于所述基板103的长边。当基板103的长宽尺寸变化时，四个校准机构116之间的远端位置A也要随着成比例变化。

如图11A四个所述校准机构116之间的距离能放入失准所述基板103。此时所述失准基板103与远端位置的基板的夹角为α，每一个所述校准机构116同时移动对失准基板103进行校准。每一个校准机构116先从不同的方向接触基板103，调整基板103的方向夹角从α变为0，进而随着基准机构116的移动使基板103移动到校准位置B。

在本实施例中，驱使基板103到准确位置且与基板接触的部件1161，采用滚动的，从而减小摩擦，不容易损坏基板。且采用一个驱动机构114带动凸轮111转动，从而四个滚轮装置113运动的同步性更好。

另外，为了节省处理时间，提高工作效率，在其他部件不变的情况，所述校准装置中110中的所述滚动部件1161可以实现多层基板同时校正的功能，只要将滚动部件长度增加到工作所需要的长度，如图12所示。

参考图13-14所示，长滚动部件1261用以同时校正4层基板。所述4层基板都是用托盘120承载的，所述托盘120固定所述升降装置104上，所述托盘120设有4块挡板122，所述挡板122位于所属基板103的外侧，用以固定所述托盘120。所述每一层托盘还设有若干销124，用以支撑所述基板103。

参考图15A所示，L1是所述基板103的长度，D1是相邻长滚动部件1261的距离。当D1大于L1时，实现多层所述基板103的出入。

参考图15B和15C所示，大气侧机械手臂145是可以升降，以调整机械手臂145的高度。调整所述机械手臂145的高度，可以分别把在不同高度的所述基板103放置在每一个所述托盘的销124上。当4层所述基板都放置在所述销124上，长滚动部件1261同时校准。

综上所述，本发明实施例方式一通过每一个所述校准机构116从不同方向作用于所述基板103的侧面，同时且相等位移的情况下，校正所述基板到预定位置，从而减小可移动校准机构116对所述基板103的压力，避免损坏基板。

实施方式二

图16是本发明实施方式二的进出片腔200内校准功能实施前的侧面示意图。进出片腔200具有顶部201、底部209及位于底部209正上方用以承载基板203的升降装置204，底部209正下方设置有用以升降所述升降装置204的动力装置207，所述顶部201设置有基板校准装置210。

升降装置204以升降所述基板203，所述顶部201设置有基板校准装置210。

参考图16所示，基板203首先由大气机械手臂145进入进出片腔200内，放置在若干销205上，然后在升降装置204的作用下，上升至设定的校正高度位置。

参考图17-19所示，本发明实施方式二中，基板校准装置210包括凸轮211、驱动机构214、导向杆212。所述驱动机构214为伺服马达、旋转气缸、液压系统等。所述凸轮边缘设有向外突出的4个凸部2111和4个平滑部2112，所述相邻的凸部2111之间是通过所述平滑部2112连接。其中，基板校准装置210以凸轮211为中心向外设有4根导向杆212与之相连，且四根导向杆212方向与基板203正确位置时的直角边的中心线方向重合，4根导向杆互相垂直。所述驱动机构214用来带动凸轮211旋转。

本发明实施方式二中，每一根导向杆212临近驱动机构214的一端设有滚轮装置213，所述滚轮装置213随着所述凸轮211的旋转而沿着凸轮211边缘运动。每一根所述导向杆212远离所述驱动机构214另一端设有校准机构216，每一个所述校准机构216位于所述基板203的4条直角边的外侧。所述校准机构216设有校正臂2162，所述校正臂2162呈“一”形状分布，所述校正臂2162的正下方设有与待测所述基板203侧边接触并驱使所述基板203进入正确位置的滚动部件2161，所述每一校准机构216随着凸轮的211的旋转而在导向杆212上移动。所述滚动部件2161作用于所述基板203的4条直角边的外侧进入预定的位置。所述滚动部件2161的材质为工程塑料或金属铜以避免对基板侧面的划伤。

其中，每一根所述导向杆212在所述校准机构216外侧还设有弹性压紧机构218，其用以压紧所述校准机构216，避免在校正时所述滚轮装置213脱离所述凸轮211。

所述校准机构216的下面设有导轨部件217，用以承载所述校准机构216，实现校准机构216在导向杆212上的移动。

所述每一根所述导向杆212在滚轮装置213与校准机构216之间还设有第三固定导向部件219，以实现所述基板203向预设位置中心点靠近。

参考图17-19所示，所述基板校准装置210在所述导向杆212上设有远端位置C和校准位置D。但所述校准机构216位于远端位置C时，所述升降装置104将所述基板203上升至预设的高度进行校准，此时，所述导向杆212上的滚轮装置213与所述凸轮211的凸部2111接触。

参考图17所示，当所述校准机构216位于校准位置D时，所述导向杆212上的滚轮装置213与所述凸轮的平滑部2112接触。

校准结构216对基板203校准的过程中，即每一个校准机构216从远端位置C移动到校准位置D时，基板203从失准的位置到预设的位置。以上设置，能保证每一个校准机构216和凸轮211同步运动的过程中，滚轮装置213与凸轮211外轮廓面有良好的接触，所述基板203不会受到过大的挤压力，基板不易损坏。

综上所述，本发明实施例方式二尤其适用于面积大于1.3m*1.5m的基板的校准。实施例方式二中校准机构的校正臂2162呈“一”型时，能够直接作用于基板直角边的外侧面，使基板不易变形。

实施方式三

图20是本发明实施方式三的进出片腔300内校准功能实施前的侧面示意图。进出片腔300具有顶部301、底部309及位于底部309正上方用以承载基板303的升降装置304，底部309正下方设置有用以升降所述升降装置304的动力装置307，所述顶部301设置有基板校准装置310。

参考图20所示，基板303首先由大气机械手臂145进入进出片腔300内，放置在若干销305上，然后在升降装304的作用下，上升至设定的校正高度位置。

参考图21-23所示，本发明实施方式三中，基板校准装置310包括槽轮311、驱动机构314、导向杆312。所述驱动机构314为伺服马达、旋转气缸、液压系统等。所述槽轮311内部设有4个互不连通的条形孔3111，所述条形孔3111自槽轮311的中心斜向外延伸。每一个所述条形孔3111设有延伸部3113和平滑部3112。其中，基板校准装置310以槽轮311为中心向外设有4根导向杆312与之相连，且四根导向杆312方向与基板303正确位置时的对角线方向重合。所述驱动机构314用来带动槽轮311旋转。

参考图21所示，本发明实施方式三中，每一根导向杆312临近驱动机构314的一端设有滚轮装置313，所述滚轮装置313随着所述槽轮311而沿着条形孔3111内轮廓线运动。每一根所述导向杆312远离所述驱动机构314另一端设有校准机构316，每一个所述校准机构316位于所述基板303的4个角的位置。所述校准机构316设有校正臂3162，所述校正臂3162呈“L”形状分布，所述校正臂3162的下方设有与待测所述基板303侧边接触并驱使所述基板303进入正确位置的滚动部件3161，所述每一校准机构316随着槽轮311的旋转而在导向杆312上移动。

如图23所示，所述槽轮311通过所述导向杆312直接与所述校准机构316连接。当槽轮311旋转时，所述槽轮的每一条形孔3111能保证滚轮装置313与之始终接触。所述每一校准机构316的行程是相等的。

所述滚动部3161作用与所述基板303的4个角的两侧。所述滚动部件3161的材质为工程塑料或金属铜以避免对基板侧面的划伤。所述校准机构316的下方设有导轨部件317，用以承载所述校准机构316，实现校准机构116在导向杆312上的移动。

所述每一根所述导向杆312在滚轮装置313与校准机构316之间还设有第一固定导向部件319和第二固定导向部件315，以实现所述基板303向预设位置中心点靠近。

参考图21-22所示，所述基板校准装置310在所述导向杆312上设有远端位置E和校准位置F。但所述校准机构316位于远端位置E时，所述升降装置104将所述基板303上升至预设的高度进行校准，此时，所述导向杆312上的滚轮装置313位于所述槽轮条形孔3111的延伸部3113。

当所述校准机构316位于校准位置F时，所述导向杆312上的滚轮装置313位于所述槽轮条形孔3111的平滑部3112。校准结构316对基板303校准的过程中，即每一个校准机构316从远端位置E移动到校准位置F时，基板303从失准的位置到预设的位置。以上设置，滚轮装置313与条形孔3111内轮廓面有稳定可靠的接触，能保证每一个校准机构316和槽轮311同步运动的过程中，所述基板303不会受到过大的挤压力，基板不易损坏。

综上所述，本发明实施例方式三因采用槽轮311作为传动机构，而省去弹性压紧机构，节省空间，减小腔体大小，从而节省材料，同时抽真空的时间变短，提高产能。

下面，对本发明设计的基板校准方法的过程进行说明。图24是本发明的实施例中使用基板校准装置的基板校准方法流程图。

首先S10是进行基板校准之前执行的步骤，即通过大气侧机械手145从基板储存室143把基板加载入进出片腔。然后将基板放置在进出片腔中的升降装置的销上。

然后，把基板基准装置中的校准机构调至远端位置，避免碰伤基板，在S11步骤中，可以将升降装置升至基板校准装置，此时，基板处于失准位置，因此需要对其校正。

接着，S12步骤中驱动机构带动传动机构运动，即凸轮或槽轮。

接着，S13步骤中在传动机构的旋转下，导向杆上的滚轮装置随着传动机构运动。滚轮装置定点转动，而没有位移，所以会位于传动机构的不同位置。

在步骤S13实施的同时，S14步骤也在实施，即当滚轮装置处于凸轮凸部的时候，导向杆上的弹性压紧机构收缩，校准机构向远端位置移动；当滚轮装置处于平滑部的时候，导向杆上的弹性压紧机构伸长，校准机构向校准位置移动。且弹性压紧机构保证所述滚轮装置与凸轮始终接触。传动机构与校准机构的同步运动，确保各校准机构的行程是相同的，以使失准的基板移动到预定位置。

S14步骤中，当滚轮装置与槽轮接触的时候，槽轮的条形孔能保证滚轮装置与槽轮始终接触。进而实现校准机构在远端位置与校准位置之间的移动。

应当理解，虽然本说明书按照实施例加以描述，但并非每个实施例仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施例。上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本发明的可行性实施例的具体说明，它们并非用以限制本发明的保护范围，凡未脱离本发明技艺精神所作的等效实施例或变更均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (21)

1.一种基板校准装置，用于校准薄膜沉积进出片腔中的基板，所述进出片腔具有顶部、底部、顶部与底部之间的侧壁及位于底部正上方用以承载基板的升降装置，所述底部正下方设置有用以升降所述升降装置的动力装置，其特征在于：所述顶部设置有基板校准装置，所述基板校准装置包括驱动机构、传动机构、导向杆，所述驱动机构驱动传动机构运动，所述基板校准装置以传动机构为中心向外设有导向杆与之相连，所述导向杆方向与所述基板正确位置时的对角线方向或直角边的中心线方向重合，所述导向杆临近所述传动机构的一端设置有滚轮装置，所述导向杆远离所述传动机构的一端设置有校准机构，所述滚轮装置随着所述传动机构的运动而运动，进而带动所述校准机构随着所述传动机构的运动而在导向杆上移动。

2.根据权利要求1所述的基板校准装置，其特征在于，所述传动机构是凸轮或槽轮，所述驱动机构驱动传动机构旋转。

3.根据权利要求1所述的基板校准装置，其特征在于，当所述传动机构是凸轮的时候，所述导向杆上还设有位于所述校准机构外侧的弹性压紧机构，所述弹性压紧机构用以压紧所述校准机构，使所述滚轮装置与所述凸轮始终接触。

4.根据权利要求2所述的基板校准装置，其特征在于，所述凸轮边缘包括凸部及平滑部，相邻的所述凸部之间通过所述平滑部相连接，所述滚轮装置随着所述凸轮的旋转而沿着凸轮边缘运动。

5.根据权利要求4所述的基板校准装置，其特征在于，所述基板校准装置在所述导向杆上设有远端位置和校准位置，当所述校准机构位于远端位置时，所述升降装置将所述基板升至设定的高度进行校准，此时，所述导向杆上的滚轮装置与所述凸轮的凸部接触。

6.根据权利要求5所述的基板校准装置，其特征在于，当校准机构位于校准位置时，所述导向杆上的滚轮装置与所述凸轮的平滑部接触。

7.根据权利要求2所述的基板校准装置，其特征在于，所述槽轮设有互不连通的条形孔，所述条形孔自槽轮的中心斜向外延伸，所述条形孔设置有延伸部和平滑部，所述滚轮装置随着所述槽轮的旋转而沿着条形孔运动。

8.根据权利要求7所述的基板校准装置，其特征在于，所述基板校准装置在所述导向杆上设有远端位置和校准位置，当所述校准机构位于远端位置时，所述升降装置将所述基板升至设定的高度进行校准，此时，所述导向杆上的滚轮装置与所述条形孔的延伸部接触。

9.根据权利要求7所述的基板校准装置，其特征在于，当所述校准机构位于校准位置时，所述导向杆上的滚轮装置与所述条形孔的平滑部接触。

10.根据权利要求1所述的基板校准装置，其特征在于，所述校准机构设置有校正臂，所述校正臂呈“L”或“一”形状分布，所述校正臂设有用以与待测所述基板侧边接触并驱使所述基板进入正确位置的滚动部件。

11.根据权利要求10所述的基板校准装置，其特征在于，当所述校准机构的所述校正臂呈“L”形状时，所述导向杆的位置与被校正后所述基板对角线方向重合。

12.根据权利要求10所述的基板校准装置，其特征在于，当所述校准机构的所述校正臂呈“一”形状时，所述导向杆的位置与被校正后所述基板的直角边的中心线重合。

13.根据权利要求10所述的基板校准装置，其特征在于，所述滚动部件的长度等于一层所述基板的高度或多层所述基板的高度。

14.根据权利要求10所述的基板校准装置，其特征在于，滚动部件的材质为工程塑料或金属铜。

15.根据权利要求1所述的基板校准装置，其特征在于，所述导向杆还设有位于所述校准机构正下方的导轨部件，用以承载所述校准机构。

16.根据权利要求1所述的基板校准装置，其特征在于，所述导向杆上还设有第一固定导向部件和第二固定导向部件，用以实现所述基板向预设位置中心点靠近。

17.根据权利要求1-16中任意一项所述的基板校准装置，其特征在于，所述导向杆有4根。

18.根据权利要求5或8所述的基板校准装置，其特征在于，当所述校准机构位于所述远端位置时，任意两个所述校准机构之间的距离大于所述基板的对应边长，两个校准机构之间的距离随基板对应边长的变化呈比例的变化。

19.一种使用权利要求1的基板校准装置的基板校准方法，该方法包括如下步骤：

将所述基板从大气侧加载入进出片腔内，并放置于所述升降装置的销上；

所述升降装置将所述基板升到所述校准机构的校准位置；

所述驱动机构带动所述传动机构运动；

所述滚轮装置随着所述传动机构的运动而运动；

进而带动所述校准机构随着所述传动机构的运动而在导向杆上移动。

20.根据权利要求19所述的基板校准方法，所述传动机构和所述校准机构的运动是同步的。

21.根据权利要求19所述的基板校准方法，所述校准机构的行程是相同的。