JP4626488B2 - 液晶装置、液晶装置の製造方法、及び電子機器 - Google Patents
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また、このような無機材料からなる配向膜とは別に、非水条件下で形成されたポリシラザン膜からなる配向膜も提案されている(例えば、特許文献1参照)。
さらに、無機配向膜は一般にアモルファスであり、その表面がポーラスになっていることから、この無機配向膜とシール材との間の密着性が低くなっている。その結果、これらシール部における気密性が低くなり、シール部としての防湿性が低くなるといった課題もある。
前記一対の基板のそれぞれの内面に無機配向膜が設けられ、
前記無機配向膜が、異なる分子量の複数のシランカップリング材によってそれぞれ表面処理されていることを特徴としている。
また、無機配向膜が、異なる分子量の複数のシランカップリング材によってそれぞれ表面処理されているので、大きな分子量のシランカップリング材によって主に無機配向膜の表面が撥水化され、小さな分子量のシランカップリング材によって主に無機配向膜表層部の間隙内が撥水化されるようになる。したがって、無機配向膜の表層部のほぼ全体が撥水化されることにより、防湿性の向上が十分に図られたものとなり、これによって水分(湿気)に起因する液晶の劣化が確実に防止され、品質の長期に亘る安定化、すなわち長寿命化が図られたものとなる。
また、シランカップリング材は撥水性だけでなく耐光性の向上にも効果があることから、無機配向膜の耐光性がより向上し、これによっても長寿命化が図られたものとなる。
さらに、シランカップリング材で表面処理されているので、ポーラスになっている無機配向膜表面のミクロ的なポア(孔)がシランカップリング材で埋め込まれて緻密になり、したがってこの無機配向膜とシール材との間の密着性が高まり、これら無機配向膜とシール材との界面におけるシール部での気密性が高まってその防湿性が高まる。
無機配向膜が珪素酸化物からなっている場合、その表面に分極した水酸基が多数存在してしまうが、この無機配向膜をシランカップリング材で表面処理することにより、前記の水酸基にシランカップリング材が反応することで、この水酸基による水の吸着等を無くすことができる。また、特に異なる分子量の複数のシランカップリング材で表面処理されているので、分子量の大きなシランカップリン材だけではその立体障害により全ての水酸基と反応するのが困難であるが、分子量の小さなシランカップリン材によっても表面処理することで、大きなシランカップリン材と反応した水酸基の間の、未反応の水酸基に関しても、小さなシランカップリン材と反応することで、この水酸基による水の吸着等を無くすことができる。
このようにすれば、分子量が大きい方のシランカップリング材はそのアルキル基によって良好な撥水性、耐光性を発揮するものとなる。一方、分子量が小さい方のシランカップリング材はそのアルキル基が短い(炭素数が少ない)ことにより、分子量が大きい方のシランカップリング材に対して立体障害を起こすことなく、無機配向膜表面に容易に反応し付着するようになる。
このようにすれば、分子量が大きい方のシランカップリング材はその撥水性、耐光性をより一層良好に発揮するものとなる。
前記一対の基板のそれぞれの内面に無機配向膜を形成する工程と、
前記無機配向膜を、異なる分子量の複数のシランカップリング材を用いて表面処理する工程と、を備えたことを特徴としている。
また、無機配向膜を、異なる分子量の複数のシランカップリング材を用いて表面処理するので、大きな分子量のシランカップリング材によって主に無機配向膜の表面を撥水化し、小さな分子量のシランカップリング材によって主に無機配向膜表層部の間隙内を撥水化することができる。したがって、無機配向膜の表層部のほぼ全体を撥水化することにより、防湿性の向上を十分に図ることができ、これにより水分(湿気)に起因する液晶の劣化を確実に防止し、品質の長期に亘る安定化、すなわち長寿命化を図ることができる。
さらに、シランカップリング材で表面処理することにより、ポーラスになっている無機配向膜表面のミクロ的なポア(孔)をシランカップリング材で埋め込んでこの表面を緻密にすることができ、したがってこの無機配向膜とシール材との間の密着性を高め、これら無機配向膜とシール材との界面におけるシール部での気密性を高めてその防湿性を高めることができる。
このようにすれば、無機配向膜によって液晶分子にプレチルト角が良好に付与されるようになり、また、無機配向膜に対してラビング処理等を行う必要もなくなる。
前記表面処理する工程において、分子量の大きいシランカップリング材で先に表面処理を行い、その後、分子量の小さいシランカップリング材で表面処理を行うのが好ましい。
このようにすれば、大きな分子量のシランカップリング材によって主に無機配向膜の表面を撥水化することができる。その際、分子量が大きいことで立体障害が起こり、このシランカップリング材によって例えば無機配向膜表層部の間隙内までは撥水化し難くなり、さらには、この大きなシランカップリン材と反応した水酸基の間の、未反応の水酸基に対しても反応し難くなる。しかし、その後小さな分子量のシランカップリン材によって表面処理するので、無機配向膜表層部の間隙内を撥水化し、さらには、未反応の水酸基に対しても反応して撥水化することが可能になる。したがって、無機配向膜の表層部のほぼ全体を良好に撥水化することが可能になる。
この電子機器によれば、水分(湿気)に起因する液晶の劣化が確実に防止され、長寿命化が図られた液晶装置を備えているので、この電子機器自体も長寿命化が図られた信頼性の高いものとなる。
そして、外部から入力された各種信号が、接続端子79を介して画像作製領域101に供給されることにより、液晶装置が駆動されるようになっている。
また、TFT素子30の形成領域に対応する基板本体10Aの表面に、第1遮光膜11aが形成されている。第1遮光膜11aは、液晶装置に入射した光が、半導体層1aのチャネル領域1a’、低濃度ソース領域1bおよび低濃度ドレイン領域1cに侵入することを防止するものである。
そこで、本発明では、このようなシラノール基における水酸基の活性を消失させ、この水酸基に起因する前述した不都合を回避するべく、シランカップリング材によって無機配向膜16(22)(柱状構造体16a(22a))を表面処理している。すなわち、このような斜方蒸着法で形成された無機配向膜16、22は、前述したように、異なる分子量の複数のシランカップリング材によって表面処理されている。使用するシランカップリング材の数(種類)については、3以上であってもよいが、処理により得られる効果を考えた場合、分子量の異なる2種類のシランカップリング材を用いれば十分である。
YSiX3 …(式)
X:珪素原子に結合している加水分解基で、−OR、−Cl、−NR2、など
Y:有機マトリックスなどと反応する有機官能基で、アルキル基(−R)、など
A;(C18H37)Si(OCH3)3
B;(C2H5)Si(OCH3)3
気相法では、例えば無機配向膜を形成した基板をCVD装置に入れ、2種類のシランカップリング材をそれぞれ蒸気として導入することにより、このシランカップリング材の蒸気によって無機配向膜を表面処理する。その際、2種類のシランカップリング材の沸点が近い場合には、これらを同時に装置内に入れ、同時に表面処理を行うこともできる。
また、この液相法においても、前記の気相法の場合と同じ理由により、分子量の大きいシランカップリング材Aで先に表面処理を行い、その後、分子量の小さいシランカップリング材Bで表面処理を行うのが好ましい。
ここで、特に防湿性(耐湿性)に関しては、分子量の大きいシランカップリング材Aによってその表層部が撥水化されているのに加え、分子量の小さいシランカップリング材Bによって無機配向膜16(22)表層部の間隙内まで撥水化されているので、膜全体として、以下のメカニズムにより防湿性(耐湿性)が向上したものとなっている。
このように異なる分子量のシランカップリング材で複数回の撥水化処理(表面処理)を行った後、基板10、20等を組み立てて本発明の液晶装置とすることにより、この液晶装置60は、外部から水や湿気が浸入しようとしても、これが撥水化された無機配向膜16、22の表層部に入り込み難いことから、結果として無機配向膜16、22の表層部に水や湿気がほとんど浸入しないものとなる。
非選択電圧印加時の液晶装置60では、基板に対して水平配向した液晶分子が液晶50の厚さ方向に約90°ねじれたらせん状に積層配置されている。そのため、液晶装置60に入射した直線偏光は、約90°旋光されて液晶装置60から出射する。この直線偏光は、偏光板18の透過軸と一致するため、偏光板18を透過する。したがって、非選択電圧印加時の液晶装置60では白表示が行われるようになっている(ノーマリーホワイトモード)。
さらに、無機配向膜16、22とシール材19との界面におけるシール部での気密性が高められているので、このシール部での防湿性が高まり、したがってこの点でも長寿命化が図られたものとなる。
また、配向膜として無機配向膜16、22を用いているので、有機配向膜に比べ耐光性および耐熱性に優れ、したがって耐久性に優れたものとなる。
なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない限り種々の変更が可能である。
次に、本発明の電子機器の一実施形態としてのプロジェクタについて、図8を用いて説明する。図8は、プロジェクタの要部を示す概略構成図である。このプロジェクタは、前記実施形態に係る液晶装置を光変調手段として備えたものである。
Claims (3)
- 互いに対向する一対の基板間に液晶を挟持してなる液晶装置であって、
前記一対の基板のそれぞれの内面に珪素酸化物からなる無機配向膜が設けられ、
前記無機配向膜が、異なる分子量の複数のシランカップリング材によってそれぞれ表面処理されてなり、
前記複数のシランカップリング材が、以下の式によって表されるものであり、
YSiX 3 …(式)
(ただし、前記式中のYはアルキル基、Xはメトキシ基である)
前記複数のシランカップリング材のうちの分子量の大きい方のシランカップリング材は、そのアルキル基の炭素数が18以上であることを特徴とする液晶装置。 - 互いに対向する一対の基板間に液晶を挟持してなる液晶装置の製造方法であって、
前記一対の基板のそれぞれの内面に斜法蒸着法で珪素酸化物からなる無機配向膜を形成する工程と、
前記無機配向膜を、異なる分子量の複数のシランカップリング材を用いて表面処理する工程と、を備え、
前記複数のシランカップリング材として、以下の式によって表されるものを用いるとともに、
YSiX 3 …(式)
(ただし、前記式中のYはアルキル基、Xはメトキシ基である)
前記複数のシランカップリング材のうちの分子量の大きい方のシランカップリング材として、そのアルキル基の炭素数が18以上であるものを用い、かつ、分子量の小さい方のシランカップリング材として、そのアルキル基の炭素数が8以下であるものを用い、
前記表面処理する工程においては、分子量の大きいシランカップリング材で先に表面処理を行い、その後、分子量の小さいシランカップリング材で表面処理を行うことを特徴とする液晶装置の製造方法。 - 請求項1記載の液晶装置、あるいは請求項2に記載の製造方法によって得られた液晶装置を備えることを特徴とする電子機器。
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