JP4615682B2 - Mos型トランジスタの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置及びその製造方法、特に8Vから30Vの耐圧をもつ中耐圧構造を有するMOS型トランジスタに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来は図6に示すように、シリコン半導体基板101上に形成するゲート酸化膜102及び多結晶シリコンゲート電極104と、ゲート電極両端のシリコン基板表面に形成する低濃度の拡散層105と、ゲート電極両端からオフセットさせてシリコン基板表面に形成するソース・ドレインと呼ばれる高濃度の拡散層106及びその間のチャネル領域107から成っている構造のMOS型トランジスタが知られていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の構造を有するMOS型トランジスタにおいては前記低濃度領域はドレイン耐圧を上げるために非常に薄いため抵抗値は極めて大きく、それ故、on抵抗が大きくなりドレイン電流が小さくなってしまう上、ホットエレクトロン耐性も弱かった。また、ドレイン・ソース領域と基板間の容量が小さくならず、更に、高不純物濃度領域であるソース・ドレイン領域の端部は前記フィールド酸化膜に終端しているので、前記フィールド酸化膜下に形成されたチャネルストップ層との接合耐圧も低いと言う問題点を有していた。本発明は、従来の構造を有するMOS型トランジスタでは不可能であったドレイン耐圧が高く・on抵抗が小さく・ホットエレクトロン耐性が強く・ドレイン・ソース領域と基板間の容量が小さく・フィールド酸化膜下に形成されたチャネルストップとソース・ドレイン領域の接合耐圧の高い、しかもそのドレイン耐圧を制御することのできる8Vから30Vの耐圧をもつ中耐圧MOS型トランジスタをマスク増加なしで簡単なプロセスにより提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は次の手段を用いた。
(1)一導電型半導体基板上に形成されたフィールド酸化膜と、前記一導電型半導体基板上にゲート酸化膜を介して形成されたゲート電極と、前記フィールド酸化膜と前記ゲート電極とに囲まれている逆導電型ソース・ドレイン領域と、前記逆導電型ソース・ドレイン領域の濃度プロファイルが不純物を導入する領域と導入しない領域を変える事により任意に変えられる事と、前記ゲート電極と前記逆導電型ソース・ドレインとそれらの上層に形成される配線とを電気的に絶縁する層間膜と、前記配線と前記ゲート電極と前記逆導電型ソース・ドレインとを電気的に接続を行うためのコンタクト孔から成る事を特徴とする半導体装置。
(2)前記逆導電型ソース・ドレイン領域の不純物濃度を1E16〜5E20atoms/cm3としたことを特徴とする半導体装置。
(3)前記不純物を導入する領域をドット型にした事を特徴とした。
(4)前記不純物を導入する領域を格子型にした事を特徴とした。
(5)前記不純物を導入する領域としない領域をストライプ状にした事を特徴とした。
(6)中耐圧構造を有するMOS型トランジスタにおいて、半導体基板の表面にゲート絶縁膜を形成する工程と、前記ゲート絶縁膜の上にゲート電極をパターニングして形成する工程と、不純物を導入する領域と導入しない領域をパターニングしたフォトレジストをマスクとし前記半導体基板の表面にイオン注入及び熱処理をすることにより2つ以上の異なる不純物濃度の領域を同時に形成する工程と、前面に不純物を含む層間膜を成膜し、熱処理により平坦化する工程と、前記層間膜を選択的にエッチングし前記低濃度拡散領域及び前記ゲート電極にコンタクトホールを形成する工程と、熱処理を行う工程と、真空蒸着あるいはスパッタリング等により金属材を全面的に成膜した後フォトリソグラフィ法及びエッチングを行い前記金属材をパターニングする工程と、前記半導体基板の全体を表面保護膜で被覆する工程とからなることを特徴とした。
(7)前記不純物を導入する領域をドット型にした事を特徴とした。
(8)前記不純物を導入する領域を格子型にした事を特徴とした。
(9)前記不純物を導入する領域としない領域をストライプ状にした事を特徴とした。
(10)前記不純物を含む層間膜がBPSG層間膜である事を特徴とした。
(11)前記不純物を含む酸化膜成膜後の熱処理を800〜1050℃の温度で3分以内で行い活性化して形成する事を特徴とした。
【0005】
【発明の実施の形態】
本発明の半導体装置によれば、ドレイン耐圧が高く・on抵抗が小さく・ホットエレクトロン耐性が強く・ドレイン・ソース領域と基板間の容量が小さく・フィールド酸化膜下に形成されたチャネルストップとソース・ドレイン領域の接合耐圧の高い、しかもそのドレイン耐圧を制御することのできる8Vから30Vの動作領域に適したMOS型トランジスタをマスク増加なしで提供すること事ができる。
【0006】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施例を説明する。
【0007】
本発明にかかる半導体装置の第一実施例を詳細に説明する。図1は本発明の半導体装置の中耐圧構造を有するPチャネルMOS型トランジスタの模式的断面図である。
【0008】
PチャネルMOS型トランジスタは、P型シリコン半導体基板201上に形成されたN型ウェル領域202上に形成されたゲート酸化膜211及び多結晶シリコンゲート電極205と、ゲート電極両端のシリコン基板表面に不純物を導入する領域と導入しない領域及び熱処理から形成されるP型拡散層204とその間のチャネル領域207から成っている。素子の間に分離を目的としてフィールド酸化膜208及びチャネルストップ領域209が形成される。尚、必ずしもP型シリコン半導体基板を用いて、N型ウェル領域を作る必要はなく、N型シリコン半導体基板にPチャネルMOS型トランジスタを作ってもよい。
【0009】
また、逆導電型NチャネルMOS型トランジスタを形成する時は、N型シリコン半導体基板上にP型ウェル領域をつくり、P型ウェル領域上に形成するゲート酸化膜及び多結晶シリコンゲート電極と、ゲート電極両端のシリコン基板表面に不純物を導入する領域と導入しない領域及び熱処理から形成するN型拡散層とその間のチャネル領域から構成する。素子の間に分離を目的としてフィールド酸化膜及びチャネルストップ領域が形成される。尚、必ずしもN型シリコン半導体基板を用いる必要はなく、P型シリコン半導体基板を用いて、NチャネルMOS型トランジスタを作ってもよい。
【0010】
図2は、本発明にかかる半導体装置の第一実施例のPチャネルMOSの前記不純物を導入する領域と導入しない領域の形状を示す模式的平面図である。
【0011】
図2(a)はストライプ状に不純物を導入する領域と導入しない領域を形成する。その際の、不純物を導入する領域の幅及び間隔は必要とされるon抵抗、ホットエレクトロン耐性、ドレイン・ソース領域と基板間の容量、ドレイン・ソース領域とゲート電極のオーバーラップ容量、前記ドレイン・ソース拡散領域と酸化膜下のチャネルストップとの接合耐圧に応じて変える事により濃度を制御する。また、図2(b)はドット状に不純物を導入する領域を形成している。その際の不純物を導入する領域のドットのサイズおよび間隔は必要とされる特性により変更する。また、図2(c)は格子状に不純物を導入する領域を形成している。その際の不純物を導入する領域の格子の幅および間隔は、他の構造と同様で必要とされる特性により変更する。図3は図1の本発明の半導体装置の中耐圧構造を有するPチャネルMOS型トランジスタに導入した不純物の領域及び導入しなかった領域が図2(a)のストライプ状で、ドーズ量が5E15atom/cm2で形成したときのP型拡散層の濃度プロファイルA−A’を示した図である。
【0012】
図3から明らかなように、P型拡散層の濃度プロファイルが不純物を導入する領域と導入しない領域を変える事で容易に変える事ができる事がわかる。つまり、必要とされるドレイン耐圧、on抵抗、ホットエレクトロン耐性、ドレイン・ソース領域と基板間の容量、ドレイン・ソース領域とゲート電極のオーバーラップ容量、前記ドレイン・ソース拡散領域と酸化膜下のチャネルストップとの接合耐圧に応じて、前記拡散領域に導入する不純物の領域と導入しない領域を変える事により濃度を制御し、高集積化・高速化に適したMOS型トランジスタを得る事ができる。例として、図4を用いて説明する。
【0013】
図4は前記ドレイン・ソース領域をイオン注入法によりドーズ量が2.5E12atom/cm2で不純物を導入した領域と導入しなかった領域がストライプ状で形成したときの本発明である構造のドレイン電流と従来の構造で形成したときのドレイン電流の関係を示した図である。
【0014】
図4より、本発明が従来構造に比べ電流がたくさん流せていることから、on抵抗がかなり小さくなっていることが分かる。また、前記低濃度領域及び前記高濃度領域の濃度を変えることにより容易にドレイン耐圧・on抵抗・ドレイン耐圧・ホットエレクトロン耐性、ドレイン・ソース領域と基板間の容量、ドレイン・ソース領域とゲート電極のオーバーラップ容量、前記ドレイン・ソース拡散領域と酸化膜下のチャネルストップとの接合耐圧を変える事もできる。
【0015】
図5は、本発明にかかる半導体装置の第一実施例のPチャネルMOSの製造方法を示す工程順断面図である。
【0016】
まず、工程aにおいて、P型シリコン半導体基板201の表面にNウェル層202を形成する。基板表面にマスクとして所定の形状にパターニングされたシリコン窒化膜を形成した後、N型の不純物例えぱ燐を2E12atoms/cm2のドーズ量でイオン注入する。この後、所謂LOCOS処理を行い、前工程で形成されたシリコン窒化膜を除去する。次に、1150℃で6時間加熱処理を施し、注入された不純物燐の拡散及び活性化を行い図示するようにNウェル層202を形成する。このNウェル層202にPチャネルMOS型トランジスタが形成される。また、必ずしもP型シリコン半導体基板を用いる必要はなく、N型シリコン半導体基板を用いて、N型ウェル領域を作り、N型ウェル領域中にPチャネルMOS型トランジスタを作ってもよく、またN型シリコン半導体基板中にPチャネルMOS型トランジスタを作ってもよい。
【0017】
工程bにおいてチャネルストップ領域209を形成する。この為に、まずトランジスタ素子の形成される活性領域を被覆するようにシリコン窒化膜601をパターニング形成する。Nウェル層202の上にはシリコン窒化膜601に重ねてフォトレジスト602も形成する。この状態で不純物ボロンを30KeVの加速エネルギーおよび2E13atoms/cm2のドーズ量でイオン注入しチャネルストップ領域209を形成する。図示するように、素子領域を含む部分にチャネルストップ領域209が形成される。
【0018】
続いて工程cにおいて所謂LOCOS処理を行い素子領域を囲むようにフィールド酸化膜206を形成する。この後、犠牲酸化およびその除去処理を行い、基板の表面に残された異物を除去し清浄化する。
【0019】
工程dにおいて基板表面の熱酸化処理はH20雰囲気中でゲート酸化膜211を成膜する。本発明では熱酸化処理をH20雰囲気中で860℃の温度で行い約300A程度に酸化膜を成膜した。通常、半導体装置の信頼性を保証するために熱酸化膜で形成されるゲート絶縁膜の膜厚は3MV/cm程度の膜厚に設定する必要がある。例えば、電源電圧が30VのMOS型トランジスタである時、1000A以上の酸化膜厚を必要とする。
【0020】
次に工程eにおいてゲート酸化膜211上にポリシリコン603をCVD法により堆積させる。本発明品では4000Aのポリシリコンを形成している。MOSトランジスタ用のゲート電極205を形成するため、ポリシリコン603をN型化する。このポリシリコン603にイオン注入ないし不純物核酸炉により不純物元素である燐を高濃度注入する。注入濃度はイオン注入/ポリシリコン膜厚=2E19atoms/cm3以上にする。尚、MOSトランジスタ用のゲート電極は必ずしもN型化する必要はなく、イオン注入ないし不純物拡散炉により不純物元素であるボロンを高濃度注入し、P型化してもよい。
【0021】
次に工程fにおいて前工程で形成されたフォトレジストを除去した後、P型MOSトランジスタのドレイン・ソース領域の拡散層204を形成する。不純物を導入する領域と導入しない領域をパターニングしたフォトレジストをマスクとし前記半導体基板の表面にP型不純物であるBF2またはボロンをドーズ量1×10 12 〜5×10 16 atoms/cm2イオン注入する。これは濃度に換算すると1×10 16 〜1×10 20 atoms/cm3程度である。この1回のイオン注入により2つ以上の異なる不純物濃度の領域を同時に形成する。その後、ドレイン・ソース領域の濃度プロファイルをなだらかにするために熱処理を加える。
【0022】
続いて工程gはPチャネルMOS型トランジスタの拡散層204を形成した後フォトレジストを除去し前面に例えばBPSG層間膜213を成膜する。この層間膜は例えばCVD法等により形成され引き続き900〜950℃で30分〜2時間程度の熱処理により平坦化される。続いて層間膜213を選択的にエッチングし高濃度拡散領域及びゲート電極205にコンタクトホール210を形成する。本発明では前記コンタクトホールはドライエッチング後ウエットエッチングによりラウンドエッチを行った。その後イオン注入した不純物の活性化及びコンタクト形状改善を行うために熱処理を行う。本発明では800〜1050℃で3分以内の熱処理を行った。
【0023】
続いて工程hにおいて真空蒸着あるいはスパッタリング等により金属材を全面的に成膜した後フォトリソグラフィ法及びエッチングを行いパターニングされたメタル配線212を形成する。最後に基板の全体を表面保護膜214で被覆する。上記はPチャネルMOS型トランジスタの実施例を説明したが、逆導電型の不純物を用いてNチャネルMOS型トランジスタを形成して同様な効果は得られる。
【0024】
【発明の効果】
上述したように本発明によれば、8Vから30Vの中耐圧領域での動作を要求されるMOS型トランジスタのドレイン・ソース領域の濃度プロファイルを不純物を導入する領域と導入しない領域を変える事及び熱処理により容易に変えることができ、これによって、従来のLDD構造を有するMOS型トランジスタでは不可能であったドレイン耐圧が高い・on抵抗が小さい・ホットエレクトロン耐性が強い・ドレイン・ソース領域と基板間の容量が小さい・フィールド酸化膜下に形成されたチャネルストップとソース・ドレイン領域の接合耐圧の高い、しかもそのドレイン耐圧を制御することのできる8Vから30Vの耐圧をもつ中耐圧MOS型トランジスタをマスク増加なしで簡単なプロセスにより提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体装置の第一実施例を示すPチャネルMOS型トランジスタの模式的断面図である。
【図2】本発明にかかる半導体装置の第一実施例のPチャネルMOSの前記不純物を導入する領域と導入しない領域の形状を示す模式的平面図である。
【図3】図1の本発明の半導体装置の中耐圧構造を有するPチャネルMOS型トランジスタに導入した不純物の領域及び導入しなかった領域が図2(a)で、ドーズ量が5E15atom/cm2で形成したときのP型拡散層の濃度プロファイルA−A’を示した図である。
【図4】図1の本発明の半導体装置の中耐圧構造を有するPチャネルMOS型トランジスタのドレイン・ソース領域をイオン注入法によりドーズ量が2.5E12atom/cm2で不純物を導入した領域と導入しなかった領域がストライプ状で形成したときの本発明である構造のドレイン電流と従来の構造で形成したときのドレイン電流の関係を示した図である。
【図5】本発明の半導体装置の第一実施例で示したPチャネルMOS型トランジスタの工程順断面図である。
【図6】従来の製造方法での最終断面図である。
【符号の説明】
101半導体基板
102ゲート酸化膜
104多結晶シリコンゲート電極
105低濃度拡散層
106高濃度拡散層
107チャネルドープ層
201P--型シリコン半導体基板
202N--型ウェル層
204濃度勾配の緩やかなP型拡散層
205多結晶シリコンゲート電極
207チャネル領域
208フィールド酸化膜
209チャネルストップ
210コンタクトホール
211ゲート酸化膜
212メタル配線
213BPSG層間膜
214保護膜
215不純物を導入する領域
216不純物を導入しない領域
601シリコン窒化膜
602フォトレジスト
603ポリシリコン
Claims (5)
- 半導体基板の表面にMOS型トランジスタのゲート酸化膜を形成する工程と、
前記ゲート酸化膜の上にゲート電極をパターニングして形成する工程と、
前記MOS型トランジスタのソース・ドレイン領域の各々の領域内において不純物を導入する領域と導入しない領域がパターニングされたフォトレジストをマスクとし、前記半導体基板の表面に前記不純物をイオン注入することにより、前記MOS型トランジスタのソース・ドレイン領域内の全域に、前記不純物が導入された領域と導入されない領域とを同時に形成する工程と、
前記ゲート電極から前記ソース・ドレイン領域内の高濃度の領域に後で形成されるコンタクトホールに向かって前記不純物の濃度が次第に高くなり、前記コンタクトホールから前記ソース・ドレイン領域にそれぞれ接しているフィールド酸化膜に向かって前記不純物の濃度が次第に低くなる不純物プロファイルが形成されるように、第1の熱処理を行う工程と、
前記半導体基板の全面に不純物を含む層間膜を成膜し、第2の熱処理により平坦化する工程と、
前記層間膜を選択的にエッチングし前記ソース・ドレイン領域内の高濃度の領域及び前記ゲート電極にコンタクトホールを形成する工程と、
前記イオン注入した不純物の活性化及び前記コンタクトホ−ルの形状改善を行うための第3の熱処理を行う工程と、
真空蒸着あるいはスパッタリング等により金属材を全面的に成膜する工程と、
前記金属材をパターニングする工程と、
前記半導体基板の全体を表面保護膜で被覆する工程と、
からなるMOS型トランジスタの製造方法。 - 前記不純物を導入する領域をドット型にした事を特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記不純物を導入する領域を格子型にした事を特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記不純物を含む層間膜がBPSG層間膜である事を特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第3の熱処理を800〜1050℃の温度とし3分以内で行う請求項1記載の半導体装置の製造方法。
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