JP2006040907A - 半導体装置とその製造方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 77
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 17
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims abstract description 57
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 claims abstract description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 67
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 61
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 47
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 31
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 24
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 23
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 18
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 17
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 13
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 11
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 9
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims description 8
- 239000005380 borophosphosilicate glass Substances 0.000 claims description 7
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 6
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 5
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims description 5
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 claims description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 23
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 23
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 23
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 12
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 7
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 7
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 6
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 5
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 3
- 150000007523 nucleic acids Chemical class 0.000 description 3
- 102000039446 nucleic acids Human genes 0.000 description 3
- 108020004707 nucleic acids Proteins 0.000 description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- GNFTZDOKVXKIBK-UHFFFAOYSA-N 3-(2-methoxyethoxy)benzohydrazide Chemical compound COCCOC1=CC=CC(C(=O)NN)=C1 GNFTZDOKVXKIBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FGUUSXIOTUKUDN-IBGZPJMESA-N C1(=CC=CC=C1)N1C2=C(NC([C@H](C1)NC=1OC(=NN=1)C1=CC=CC=C1)=O)C=CC=C2 Chemical compound C1(=CC=CC=C1)N1C2=C(NC([C@H](C1)NC=1OC(=NN=1)C1=CC=CC=C1)=O)C=CC=C2 FGUUSXIOTUKUDN-IBGZPJMESA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009740 moulding (composite fabrication) Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7833—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with lightly doped drain or source extension, e.g. LDD MOSFET's; DDD MOSFET's
- H01L29/7834—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with lightly doped drain or source extension, e.g. LDD MOSFET's; DDD MOSFET's with a non-planar structure, e.g. the gate or the source or the drain being non-planar
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0603—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions
- H01L29/0642—Isolation within the component, i.e. internal isolation
- H01L29/0649—Dielectric regions, e.g. SiO2 regions, air gaps
- H01L29/0653—Dielectric regions, e.g. SiO2 regions, air gaps adjoining the input or output region of a field-effect device, e.g. the source or drain region
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/08—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions with semiconductor regions connected to an electrode carrying current to be rectified, amplified or switched and such electrode being part of a semiconductor device which comprises three or more electrodes
- H01L29/0843—Source or drain regions of field-effect devices
- H01L29/0847—Source or drain regions of field-effect devices of field-effect transistors with insulated gate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/42364—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate characterised by the insulating layer, e.g. thickness or uniformity
- H01L29/42368—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate characterised by the insulating layer, e.g. thickness or uniformity the thickness being non-uniform
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66568—Lateral single gate silicon transistors
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
Abstract
【解決手段】 トレンチエッチング技術を使用し溝を形成し絶縁膜を埋め込み、イオン注入法を行い溝の側面に低濃度領域を形成することによりゲート電極の一端部と高濃度拡散領域の一端部の距離を自由に変える事により耐圧が容易に変えることができ、また小面積で提供できることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
(1)一導電型半導体基板上に形成された溝と、前記一導電型半導体基板上にゲート酸化膜を介して形成されたゲート電極と、前記溝に埋め込まれた絶縁膜と、前記溝の側壁に形成された低濃度の逆導電型ソース・ドレイン領域と、低濃度領域の抵抗値を下げるために形成されるウエル層と、配線と前記低濃度逆導電型ソース・ドレイン領域とを電気的に接続を行うためのソース・ドレイン領域だけを選択的に高濃度の逆導電型拡散層とした事と、前記ゲート電極と前記逆導電型ソース・ドレインとそれらの上層に形成される前記配線とを電気的に絶縁する層間膜と、前記配線と前記ゲート電極と前記高濃度逆導電型ソース・ドレインとを電気的に接続を行うためのコンタクト孔からなる事を特徴とする半導体装置。
上記はNチャネルMOS型トランジスタの実施例を説明したが、逆導電型の基板及び不純物を用いてPチャネルMOS型トランジスタを形成して同様な効果は得られる。
図4は、本発明にかかる半導体装置の第一実施例のNチャネルMOSの製造方法を示す工程順断面図である。
102 ウエル層
103 ゲート酸化膜
104 フィールド酸化
105 多結晶シリコンゲート電極
106 低濃度拡散層
107 高濃度拡散層
108 チャネルドープ層
109 コンタクトホール
110 メタル配線
201 P-半導体基板
202 P型ウエル層
203 N+高濃度拡散層
204 N-低濃度拡散層
205 多結晶シリコンゲート電極
206 酸化膜を埋め込んだ溝
207 チャネル領域
208 フィールド酸化膜
209 チャネルストップ層
210 絶縁膜
211 ゲート酸化膜
212 N型ウエル層
213 BPSG層間膜
214 保護膜
601 シリコン窒化膜
602 フォトレジスト
Claims (13)
- 一導電型半導体基板上に形成された溝と、前記一導電型半導体基板上にゲート酸化膜を介して形成されたゲート電極と、前記溝に埋め込まれた絶縁膜と、前記溝の側壁に形成された低濃度の逆導電型ソース・ドレイン領域と、低濃度領域の抵抗値を下げるために形成されるウエル層と、配線と前記低濃度逆導電型ソース・ドレイン領域とを電気的に接続を行うためのソース・ドレイン領域だけを選択的に高濃度の逆導電型拡散層とした事と、前記ゲート電極と前記逆導電型ソース・ドレインとそれらの上層に形成される前記配線とを電気的に絶縁する層間膜と、前記配線と前記ゲート電極と前記高濃度逆導電型ソース・ドレインとを電気的に接続を行うためのコンタクト孔からなる事を特徴とする半導体装置。
- 前記低濃度逆導電型ソース・ドレイン領域の不純物濃度を1E16〜1E18atoms/cm3である請求項1記載の半導体装置。
- 前記高濃度逆導電型拡散層の不純物濃度を1E19〜5E20atoms/cm3である請求項1記載の半導体装置。
- トレンチエッチング技術を用いて形成する前記溝の深さを変える事により、前記高濃度拡散領域と前記ゲートの距離を変え、容易に違う耐圧を持つMOS型トランジスタを提供できる半導体装置。
- 一導電型半導体基板上に選択的に形成された絶縁膜と、前記一導電型半導体基板上にゲート酸化膜を介して形成されたゲート電極と、前記溝に埋め込まれた絶縁膜と、前記フィールド酸化膜と前記絶縁膜とに囲まれた低濃度の逆導電型ソース・ドレイン領域と、低濃度領域の抵抗値を下げるために形成されるウエル層と、配線と前記低濃度逆導電型ソース・ドレイン領域とを電気的に接続を行うためのソース・ドレイン領域だけを選択的に高濃度の逆導電型拡散層とした事と、前記ゲート電極と前記逆導電型ソース・ドレインとそれらの上層に形成される前記配線とを電気的に絶縁する層間膜と、前記配線と前記ゲート電極と前記高濃度逆導電型ソース・ドレインとを電気的に接続を行うためのコンタクト孔からなる事を特徴とする半導体装置。
- 前記低濃度逆導電型ソース・ドレイン領域の不純物濃度を1E16〜1E18atoms/cm3である請求項5記載の半導体装置。
- 前記高濃度逆導電型拡散層の不純物濃度を1E19〜5E20atoms/cm3である請求項5記載の半導体装置。
- MOS型トランジスタの製造方法において、半導体基板の表面にイオン注入することによりウエル領域を形成する工程と、前記半導体基板の内部まで異方性エッチングを行い、トレンチを形成するトレンチ形成工程と、前記トレンチの側面に不純物をイオン注入することにより低濃度拡散領域を形成する工程と、前記トレンチ内部に絶縁膜を埋め込む工程と、前記半導体基板の表面にゲート絶縁膜を形成する工程と、前記ゲート絶縁膜の上にCVD法によりポリシリコンを全面的に成膜した後イオン注入ないし不純物拡散炉により不純物元素である燐を高濃度注入する工程と、フォトリソグラフィ法及びエッチングを行い前記ポリシリコンをパターニングする工程と、前記ポリシリコン中の不純物を熱処理を加えることにより前記半導体基板の表面に拡散させ高濃度拡散領域を形成する工程と、不純物を導入する領域と導入しない領域をパターニングしたフォトレジストをマスクとし前記半導体基板の表面にイオン注入することにより高濃度拡散領域を形成する工程と、前面に不純物を含む層間膜を成膜し、熱処理により平坦化する工程と、前記層間膜を選択的にエッチングし前記高濃度拡散領域及び前記ゲート電極にコンタクトホールを形成する工程と、真空蒸着あるいはスパッタリング等により金属材を全面的に成膜した後フォトリソグラフィ法及びエッチングを行い前記金属材をパターニングする工程と、前記半導体基板の全体を表面保護膜で被覆する工程とからなるMOS型トランジスタの製造方法。
- 前記不純物を含む層間膜がBPSG層間膜である請求項8記載の半導体装置の製造方法。
- 前記不純物を含む酸化膜成膜後の熱処理を800〜1050℃の温度で30分以内で行い活性化して形成する請求項8記載の半導体装置の製造方法。
- MOS型トランジスタの製造方法において、半導体基板の表面にイオン注入することによりウエル領域を形成する工程と、前記半導体基板表面上に不純物をイオン注入することにより低濃度拡散領域を形成する工程と、前記半導体基板に絶縁膜を成膜しフォトリソグラフィ法及びエッチングを行い前記ポリシリコンをパターニングする工程と、前記半導体基板の表面にゲート絶縁膜を形成する工程と、前記ゲート絶縁膜の上にCVD法によりポリシリコンを全面的に成膜した後イオン注入ないし不純物拡散炉により不純物元素である燐を高濃度注入する工程と、フォトリソグラフィ法及びエッチングを行い前記ポリシリコンをパターニングする工程と、前記ポリシリコン中の不純物を熱処理を加えることにより前記半導体基板の表面に拡散させ高濃度拡散領域を形成する工程と、不純物を導入する領域と導入しない領域をパターニングしたフォトレジストをマスクとし前記半導体基板の表面にイオン注入することにより高濃度拡散領域を形成する工程と、前面に不純物を含む層間膜を成膜し、熱処理により平坦化する工程と、前記層間膜を選択的にエッチングし前記高濃度拡散領域及び前記ゲート電極にコンタクトホールを形成する工程と、真空蒸着あるいはスパッタリング等により金属材を全面的に成膜した後フォトリソグラフィ法及びエッチングを行い前記金属材をパターニングする工程と、前記半導体基板の全体を表面保護膜で被覆する工程とからなるMOS型トランジスタの製造方法。
- 前記不純物を含む層間膜がBPSG層間膜である請求項11記載の半導体装置の製造方法。
- 前記不純物を含む酸化膜成膜後の熱処理を800〜1050℃の温度で30分以内で行い活性化して形成する請求項11記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004206477A JP2006040907A (ja) | 2004-06-18 | 2004-07-13 | 半導体装置とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004180700 | 2004-06-18 | ||
JP2004186162 | 2004-06-24 | ||
JP2004206477A JP2006040907A (ja) | 2004-06-18 | 2004-07-13 | 半導体装置とその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006040907A true JP2006040907A (ja) | 2006-02-09 |
Family
ID=35905635
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004206477A Pending JP2006040907A (ja) | 2004-06-18 | 2004-07-13 | 半導体装置とその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006040907A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010045216A (ja) * | 2008-08-13 | 2010-02-25 | Seiko Instruments Inc | 半導体装置 |
US7893517B2 (en) | 2006-11-30 | 2011-02-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device with block layer and method of manufacturing the same |
JP2012231064A (ja) * | 2011-04-27 | 2012-11-22 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
-
2004
- 2004-07-13 JP JP2004206477A patent/JP2006040907A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7893517B2 (en) | 2006-11-30 | 2011-02-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device with block layer and method of manufacturing the same |
JP2010045216A (ja) * | 2008-08-13 | 2010-02-25 | Seiko Instruments Inc | 半導体装置 |
JP2012231064A (ja) * | 2011-04-27 | 2012-11-22 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
US9064689B2 (en) | 2011-04-27 | 2015-06-23 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070507 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081016 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090130 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091105 |
|
A02 | Decision of refusal |
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|
RD01 | Notification of change of attorney |
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|
RD01 | Notification of change of attorney |
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