JP4611431B1 - レーザー照射装置及びレーザー加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、レーザー光線を出射する光源と、1又は複数のレンズを有し、光源から出射されるレーザー光線を対象物に導光及び集光する照射光学系とを備えるレーザー照射装置であって、この照射光学系の少なくとも一つのレンズの素材として、複屈折材料が用いられていることを特徴とするレーザー照射装置及びレーザー加工方法である。この照射光学系が、凹レンズ又は凸レンズである第1レンズと、凸レンズである第2レンズとをレーザー光線の進行方向順に有し、この第1レンズ及び第2レンズの間隔を変化可能に構成するビームエキスパンダを含み、この第1レンズ及び/又は第2レンズの素材として、複屈折材料が用いられているとよい。
【選択図】図1
Description
レーザー光線を出射する光源と、
1又は複数のレンズを有し、光源から出射されるレーザー光線を対象物に導光及び集光する照射光学系と
を備えるレーザー照射装置であって、
上記照射光学系が、凹レンズ又は凸レンズである第1レンズと、凸レンズである第2レンズとをレーザー光線の進行方向順に有し、この第1レンズ及び第2レンズの間隔を変化可能に構成するビームエキスパンダを含み、
上記第1レンズ及び/又は第2レンズの素材として、複屈折材料が用いられていることを特徴とするレーザー照射装置である。
[実施例1及び実施例2]
〈実験系の説明〉
少なくとも光源、ビームエキスパンダ、1/2波長板、集光レンズを備える照射光学系を用いて、加工痕跡の観察しやすいホウ珪酸ガラスの内部に1又は2つのビームウエストを配置し、加工溝を形成した。その後、この加工溝と直交する断面観察画像を撮影した。
実施例1及び2で使用するビームエキスパンダは、凹レンズと複屈折性を有する凸レンズとを備え、両レンズ間隔を変化可能に構成されている。この両レンズ間隔(Lm)を変化させることで、光軸上に形成される2つのビームウエストの間隔を変化させることができる。また、実施例1及び2で使用する1/2波長板を照射光学系の光軸回りに回転させると、2つの集光スポットにおけるレーザーパワー配分を変化させることができる。
比較例1で使用する照射光学系は、少なくとも光源、ビームエキスパンダ、集光レンズを備える標準的な構成であり、ビームエキスパンダの凸レンズは複屈折性を有するものではなく、また1/2波長板も含まれていない。
加工条件及び実験結果を下記表3、図6〜図8に示す。
[実施例3及び実施例4]
〈実験系の説明〉
実験系は、上記実験1での実施例1及び実施例2の場合と同様である。実験2では、エキスパンダレンズ間隔Lmを一定とし、1/2波長板を照射光学系の光軸回りに回転させて、2つのウエストのパワー配分を変化させた。
加工条件及び実験結果を下記表4、図9、図10に示す。
[実施例5及び比較例2]
〈実験系の説明〉
実験3では、小さなビームウエスト径を維持しながら、焦点深度の深い加工を実現することについて検討した。実験3における実験系の構成は、図1に示すとおりであり、ビームエキスパンダは凹レンズ及び凸レンズを配置した標準的なレンズ構成とし、複屈折性を有する凸レンズは1/4波長板と共に集光レンズの直前に配置している。なお、ビームウエスト間隔は、両ウエストのレイリー長が重なるように設定したが、必ずしもこの間隔が最適というわけではない。
加工条件及び実験結果を下記表5、図11に示す。実施例5におけるウエスト径、レイリー長及びパワー密度は、2つのビームウエスト間でほぼ同じ値を示した。
2 ステージ
3 照射光学系
4 1/2波長板
5 ビームエキスパンダ
6 ミラー
7 複屈折レンズ
8 1/4波長板
9 集光レンズ
10 凹レンズ
11 凸レンズ
12 常光
13 異常光
14 照射光学系
15 ビームエキスパンダ
16 凹レンズ
17 複屈折性凸レンズ
18 照射光学系
19 複屈折性集光レンズ
P レーザー光線
Q 対象物
R 光軸
S 結晶軸
Claims (11)
- レーザー光線を出射する光源と、
1又は複数のレンズを有し、光源から出射されるレーザー光線を対象物に導光及び集光する照射光学系と
を備えるレーザー照射装置であって、
上記照射光学系が、凹レンズ又は凸レンズである第1レンズと、凸レンズである第2レンズとをレーザー光線の進行方向順に有し、この第1レンズ及び第2レンズの間隔を変化可能に構成するビームエキスパンダを含み、
上記第1レンズ及び/又は第2レンズの素材として、複屈折材料が用いられていることを特徴とするレーザー照射装置。 - 上記照射光学系が、レーザー光線の進行方向最後に配設される集光レンズを含み、
この集光レンズの素材として、複屈折材料が用いられている請求項1に記載のレーザー照射装置。 - 上記複屈折材料を素材とするレンズの結晶軸方向が、照射光学系の光軸方向と直交する請求項1又は請求項2に記載のレーザー照射装置。
- 上記複屈折材料が水晶である請求項1、請求項2又は請求項3に記載のレーザー照射装置。
- 上記照射光学系に対する対象物の位置を、照射光学系の光軸と垂直な面内における直交2方向に加え、光軸方向にも相対的に移動させる相対的移動手段を備える請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のレーザー照射装置。
- 上記照射光学系が、光軸を中心に回転可能な1/2波長板を含み、
この1/2波長板が、レーザー光線の進行方向を基準として上記複屈折材料を素材とするレンズの前に配設される請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のレーザー照射装置。 - 上記照射光学系が1/4波長板を含み、
この1/4波長板が、レーザー光線の進行方向を基準として上記複屈折材料を素材とするレンズの後に配設される請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のレーザー照射装置。 - 上記レーザー光線の波長が200nm以上11μm以下である請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のレーザー照射装置。
- 上記レーザー光線の発振手段が連続発振又はパルス発振である請求項1から請求項8のいずれか1項に記載のレーザー照射装置。
- 請求項1から請求項9のいずれか1項に記載のレーザー照射装置を用いるレーザー加工方法。
- 請求項1から請求項9のいずれか1項に記載のレーザー照射装置により形成される複数のビームウエストの間隔を、レイリー長の0.5倍から10倍に調節する請求項10に記載のレーザー加工方法。
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