CN106125313A - 降低熔结密封过程中气泡的调节结构 - Google Patents

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    • H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings

Abstract

本发明的降低熔结密封过程中气泡的调节结构，在激光头和熔结材料之间，沿激光头的主光轴，依次设置激光束调整透镜和半透半反射透镜，激光光斑照射熔结材料完成熔结过程。本发明实施例提供的降低熔结密封过程中气泡的调节结构，利用透光膜的半透光性改善了激光束的能量分布，使得激光束能量均匀性得以改善。进而利用透镜与透光膜的结合可以使得能量分布和光斑形状相配合，灵活适应Frit封装工艺对熔结尺寸的要求。

Description

降低熔结密封过程中气泡的调节结构
技术领域
本发明涉及熔结结构，具体涉及一种玻璃粉的熔结结构。
背景技术
AM-OLED的Frit(熔结)封装工艺是为了最大限度地避免水分和氧气的渗透。是在面板边缘的透明阳极和金属反射阴极之间使用熔结玻璃粉，激光通过透明阳极加热熔结玻璃粉，使玻璃粉熔结，形成水分和氧气的壁障。
但是由于激光均匀性(laser uniformity)的原因，激光光束的能量分布由中心向边缘成正态分布。为了保证光束的平均能量强度可以满足熔结能量阈值，往往光束中心的能量强度大大高于熔结能量阈值，使得熔结玻璃粉一侧的LTPS膜层中H+释放，在玻璃粉熔结过程中气化，使熔结的玻璃中产生大量的空孔，形成细小的水分和氧气的通道，降低了玻璃粉熔结后的壁障效果。
发明内容
有鉴于此，本发明提供一种降低熔结密封过程中气泡的调节结构，解决玻璃粉的熔结过程中能量分布不均匀，熔结的玻璃中易于产生大量空孔的技术问题。
本发明的降低熔结密封过程中气泡的调节结构，在激光头和熔结材料之间，沿激光头的主光轴，依次设置激光束调整透镜和半透半反射透镜，激光光斑照射熔结材料完成熔结过程。
所述半透半反射透镜的直径小于半透半反射透镜设置位置的激光束调整透镜出射光斑的直径。
所述半透半反射透镜镀单层半透膜或复合层半透膜。
所述激光束调整透镜出射的激光形成第一光斑，通过半透半反射透镜出射的激光形成第二光斑，第二光斑位于第一光斑中心，第一光斑与第二光斑的能量相当或者第一光斑的能量大于第二光斑的能量。
所述半透半反射透镜设置为凹透镜。
所述半透半反射透镜设置为平光透镜。
所述激光束调整透镜为一组沿主光轴可调节的透镜。
所述半透半反射透镜为一组沿主光轴可调节的透镜。
所述半透半反射透镜的直径小于激光束调正透镜的直径。
所述激光头和激光束调正透镜之间，沿激光头的主光轴，设置扩束透镜。
本发明提供的降低熔结密封过程中气泡的调节结构，将透镜与半透膜相结合，使得光束的光斑尺寸和能量分布可以灵活适应Frit封装工艺对熔结尺寸的要求。利用透光膜的半透光性改善了激光束的能量分布，使得激光束能量均匀性得以改善。进而利用透镜与透光膜的结合可以使得能量分布和光斑形状相配合，灵活适应Frit封装工艺对熔结尺寸的要求。
当光斑中间部分的能量与周边相同时，可以避免激光光斑中间温度高，造成LTPS基板中H+的释放。当光斑中间部分的能量比周边低时，两侧熔融frit的温度增高，可以更好的使两侧的frit熔融，并均匀流动填充，达到提高封装效果的作用。
附图说明
图1为本发明降低熔结密封过程中气泡的调节结构一实施例的结构示意图；
图2为本发明降低熔结密封过程中气泡的调节结构另一实施例的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
参考图1，本发明一个实施例的降低熔结密封过程中气泡的调节结构包括以下结构：
在激光头01和熔结材料之间，沿激光头01的主光轴，依次设置激光束调整透镜02和半透半反射透镜03；
激光光斑照射熔结材料完成熔结过程。
通过激光束调整透镜02出射的激光形成第一光斑，第一光斑通过半透半反射透镜03出射的激光形成第二光斑，第二光斑位于第一光斑中心。
激光束调整透镜02，用于调整第一光斑照射在熔结材料上的直径；
半透半反射透镜03，用于调整第二光斑的能量(密度)，并调整第二光斑照射在熔结材料上的直径。
半透半反射透镜03的直径小于半透半反射透镜03设置位置的激光束调整透镜02出射光斑的直径。
上述半透半反射透镜03可以镀单层半透膜，或复合层半透膜。
本发明一个实施例的降低熔结密封过程中气泡的调节结构中，通过改变半透半反射透镜03的透光率，使得第一光斑与第二光斑的能量相当，或者第一光斑的能量大于第二光斑的能量。
本发明另一个实施例的降低熔结密封过程中气泡的调节结构中，上述半透半反射透镜03可以设置为平光透镜，以保持第二光斑的能量均衡，与第一光斑的能量相当。使得第一光斑和第二光斑照射的熔结材料能量均衡，熔结过程平顺稳定。
本发明另一个实施例的降低熔结密封过程中气泡的调节结构中，上述半透半反射透镜03也可以设置为凹透镜，以保持第二光斑的能量低于第二光斑的能量。使得第一光斑照射的熔结材料的熔结过程快于第二光斑照射的熔结材料的熔结过程。
本发明另一个实施例的降低熔结密封过程中气泡的调节结构中，设置激光束调整透镜02为一组沿主光轴可(移动)调节的透镜，适时调整第一光斑的面积。
本发明另一个实施例的降低熔结密封过程中气泡的调节结构中，设置半透半反射透镜03为一组沿主光轴可(移动)调节的透镜，适时调整第二光斑的面积。
本发明实施例降低熔结密封过程中气泡的调节结构，可以有效克服激光光斑能量分布不均衡的缺陷，适度、适时调整能量集中的光斑中心面积的有效能量，使得熔结密封过程中不会因激光均匀性在固化的熔结材料中产生空孔，避免了熔结材料隔水隔气性能的下降。
如图1所示，本发明一实施例的降低熔结密封过程中气泡的调节结构包括设置在激光主光轴上的激光束调正透镜02，位于激光束调正透镜02一侧的激光头01，位于激光束调正透镜02另一侧的半透半反射透镜03，半透半反射透镜03的直径小于激光束调正透镜02的直径。
半透半反射透镜03为平光透镜或凹透镜。
进一步优化，半透半反射透镜03为一组沿主光轴可调节的透镜。
进一步优化，激光束调整透镜02为一组沿主光轴可调节的透镜。
如图2所示，本发明另一实施例的降低熔结密封过程中气泡的调节结构在上述实施例基本结构不变的基础上，在激光头01和激光束调正透镜02之间设置扩束透镜21，用于将激光的平行光线均匀扩散为激光束调正透镜02的入射光线。可以有效避免激光的平行光线集中在主光轴附近，造成不必要的能量损失。
在实际应用中，激光头01产生的平行光能量集中在主光轴附近，通过扩束透镜21形成较大的出射光斑使能量在一定面积上均匀分布，激光束调整透镜02将该出射光斑进一步调整为出射的第一光斑，以适应照射熔结材料尺寸的需要。第一光斑沿主光轴方向照射，在第一光斑的中心位置，通过半透半反射透镜03形成滤除主光轴部分多余能量的出射的第二光斑，第一光斑与第二光斑作为一个整体照射在透明阳极41和LTPS层43间的熔结材料(粉末)上，根据需要调节第一光斑与第二光斑的能量分布比例，形成熔结材料不同的熔结特性，使得形成水分和氧气的壁障的同时不会造成H+的释放，造成空孔削弱壁障功能。
扩束透镜21、单一或成组的激光束调整透镜02和单一或成组的半透半反射透镜03的镜片选择遵循透镜聚焦成像原理，焦距、焦点位置和透镜类型间的约束关系通过公知公式可以进行推导，本实施例中不作具体限定。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.降低熔结密封过程中气泡的调节结构，其特征在于：在激光头(01)和熔结材料之间，沿激光头(01)的主光轴，依次设置激光束调整透镜(02)和半透半反射透镜(03)，激光光斑照射熔结材料完成熔结过程。
2.如权利要求1所述的降低熔结密封过程中气泡的调节结构，其特征在于：所述半透半反射透镜(03)的直径小于半透半反射透镜(03)设置位置的激光束调整透镜(02)出射光斑的直径。
3.如权利要求1所述的降低熔结密封过程中气泡的调节结构，其特征在于：所述半透半反射透镜(03)镀单层半透膜或复合层半透膜。
4.如权利要求1所述的降低熔结密封过程中气泡的调节结构，其特征在于：所述激光束调整透镜(02)出射的激光形成第一光斑，通过半透半反射透镜(03)出射的激光形成第二光斑，第二光斑位于第一光斑中心，第一光斑与第二光斑的能量相当或者第一光斑的能量大于第二光斑的能量。
5.如权利要求1所述的降低熔结密封过程中气泡的调节结构，其特征在于：所述半透半反射透镜(03)设置为凹透镜。
6.如权利要求1所述的降低熔结密封过程中气泡的调节结构，其特征在于：所述半透半反射透镜(03)设置为平光透镜。
7.如权利要求1所述的降低熔结密封过程中气泡的调节结构，其特征在于：所述激光束调整透镜(02)为一组沿主光轴可调节的透镜。
8.如权利要求1所述的降低熔结密封过程中气泡的调节结构，其特征在于：所述半透半反射透镜(03)为一组沿主光轴可调节的透镜。
9.如权利要求1所述的降低熔结密封过程中气泡的调节结构，其特征在于：所述半透半反射透镜(03)的直径小于激光束调正透镜(02)的直径。
10.如权利要求1所述的降低熔结密封过程中气泡的调节结构，其特征在于：所述激光头(01)和激光束调正透镜(02)之间，沿激光头(01)的主光轴，设置扩束透镜(21)。
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