JP4609350B2 - 電子部品実装構造体の製造方法 - Google Patents
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Description
前記電子部品を押圧して、前記電極端子と前記接続端子とを前記突起電極を介して接続する接続工程とを備えたことを特徴とする電子部品実装構造体の製造方法であって、前記突起電極形成工程が、少なくとも底面が前記可視光を透過する容器に、前記可視光に感光する前記感光性樹脂と前記導電性フィラーとを含む液状樹脂を供給する樹脂供給工程と、複数の前記電極端子が一方の面上に形成された前記電子部品を、前記電極端子が前記底面に対向する方向で、かつ前記底面に対してあらかじめ設定した間隔を有して前記液状樹脂中に浸漬する工程と、前記容器の底面からフォトマスクの第1の開口部を介して選択的に前記可視光を照射し、前記電極端子上の前記液状樹脂を硬化させて、複数の前記電極端子上に一括して第1層目を形成する第1層形成工程と、前記電子部品をあらかじめ設定した距離だけ前記底面から引き上げる引き上げ工程と、前記第1の開口部より少なくとも小さい第2の開口部を有するフォトマスクを用いて選択的に可視光を照射し、前記第1層上の前記液状樹脂を硬化させて、前記第1層上に第2層目を形成する第2層形成工程と、前記引き上げ工程と前記第2層形成工程と同様の工程を順次繰り返して、層状構造の前記突起電極を形成することを特徴とする記載の電子部品実装構造体の製造方法である。
容器に前記可視光に感光する前記感光性樹脂と前記導電性フィラーとを含む液状樹脂を供給する樹脂供給工程と、複数の前記電極端子が一方の面上に形成された前記電子部品を、前記電極端子が前記液状樹脂の表面に対してあらかじめ設定した間隔を有して前記液状樹脂中に浸漬する工程と、前記液状樹脂の表面からフォトマスクの第1の開口部を介して選択的に前記可視光を照射し、前記電極端子上の前記液状樹脂を硬化させて、複数の前記電極端子上に一括して第1層目を形成する第1層形成工程と、前記電子部品をあらかじめ設定した距離だけ前記液状樹脂中に沈降させる沈降工程と、前記第1の開口部より少なくとも小さい第2の開口部を有するフォトマスクを用いて選択的に可視光を照射し、前記第1層上の前記液状樹脂を硬化させて、前記第1層上に第2層目を形成する第2層形成工程と、前記沈降工程と前記第2層形成工程と同様の工程を順次繰り返して、層状構造の前記突起電極を形成することを特徴とする電子部品実装構造体の製造方法である。
図1は、本発明の第1の実施の形態にかかる電子部品実装構造体1の構成を示す断面図である。本実施の形態の電子部品実装構造体1は、複数の電極端子3を有する電子部品2と、電極端子3に対応する位置に接続端子6を設けた実装基板5と、電極端子3と接続端子6とを接続する突起電極7とを備えている。そして、電子部品2の電極端子3と実装基板5の接続端子6とが、突起電極7により接続されている。さらに、突起電極7は可視光に感光する感光性樹脂と導電性フィラーとを含む導電性樹脂からなる。
図5は、本発明の第2の実施の形態にかかる電子部品実装構造体30の構成を示す断面図である。本実施の形態の電子部品実装構造体30は、複数の電極端子33を有する電子部品32と、電極端子33に対応する位置に接続端子36を設けた実装基板35と、電極端子33と接続端子36とを接続する突起電極37とを備えている。そして、電子部品32の電極端子33と実装基板35の接続端子36とが、突起電極37により接続されている。さらに、突起電極37は可視光に感光する感光性樹脂と導電性フィラーとを含む導電性樹脂からなる。
図9は、本発明の第3の実施の形態にかかる電子部品実装構造体70の構成を示す断面図である。本実施の形態の電子部品実装構造体70は、複数の電極端子73を有する電子部品72と、電極端子73に対応する位置に接続端子76を設けた実装基板75と、電極端子73と接続端子76とを接続する突起電極77とを備えている。そして、電子部品72の電極端子73と実装基板75の接続端子76とが、突起電極77により接続されている。さらに、突起電極77は可視光に感光する感光性樹脂と導電性フィラーとを含む導電性樹脂からなる。
2,32,50,72 電子部品(半導体素子)
3,33,52,57,73 電極端子
4,74 保護膜
5,35,62,75 実装基板
6,36,55,63,76 接続端子
7,37,60,77 突起電極
7a,37a,37d,60a,77a 第1層
7b,37b,60b,77b 第2層
7c,37c,60c,77c 第3層
7d 第4層
8,39,61,78 絶縁性樹脂
10,20 容器
15 半導体ウェハー
21 底部
22 外周部
23,40,79 フォトマスク
23a,40a 第1の開口部
23b,40b 第2の開口部
24 液状樹脂
25,41,80,81,82,190 可視光
33a 下段側電極端子
33b 上段側電極端子
34 第1保護膜
38 第2保護膜
40c 第3の開口部
51 半導体チップ
53 ダイボンド材
54 配線基板
56 貫通導体
58 金属細線
59 封止樹脂
79a,210 開口部
140 光源
150 光学系
160 液晶パネル(フォトマスク)
160a マスク領域
170 液晶パネル制御装置
180 縮小投影光学系
200 領域
220 液晶セル
Claims (7)
- 可視光に感光する感光性樹脂と導電性フィラーとを含む導電性樹脂からなる突起電極を、電子部品の電極端子上または実装基板の接続端子上に形成する突起電極形成工程と、
前記突起電極が形成された前記電子部品または前記実装基板を、前記突起電極を介して前記電極端子と前記接続端子とを位置合せする位置合せ工程と、
前記電子部品を押圧して、前記電極端子と前記接続端子とを前記突起電極を介して接続する接続工程
とを備えたことを特徴とする電子部品実装構造体の製造方法であって、
前記突起電極形成工程が、
少なくとも底面が前記可視光を透過する容器に、前記可視光に感光する前記感光性樹脂と前記導電性フィラーとを含む液状樹脂を供給する樹脂供給工程と、
複数の前記電極端子が一方の面上に形成された前記電子部品を、前記電極端子が前記底面に対向する方向で、かつ前記底面に対してあらかじめ設定した間隔を有して前記液状樹脂中に浸漬する工程と、
前記容器の底面からフォトマスクの第1の開口部を介して選択的に前記可視光を照射し、前記電極端子上の前記液状樹脂を硬化させて、複数の前記電極端子上に一括して第1層目を形成する第1層形成工程と、
前記電子部品をあらかじめ設定した距離だけ前記底面から引き上げる引き上げ工程と、
前記第1の開口部より少なくとも小さい第2の開口部を有するフォトマスクを用いて選択的に可視光を照射し、前記第1層上の前記液状樹脂を硬化させて、前記第1層上に第2層目を形成する第2層形成工程と、
前記引き上げ工程と前記第2層形成工程と同様の工程を順次繰り返して、層状構造の前記突起電極を形成することを特徴とする記載の電子部品実装構造体の製造方法。 - 前記底面が前記フォトマスクからなることを特徴とする請求項1に記載の電子部品実装構造体の製造方法。
- 可視光に感光する感光性樹脂と導電性フィラーとを含む導電性樹脂からなる突起電極を、電子部品の電極端子上または実装基板の接続端子上に形成する突起電極形成工程と、
前記突起電極が形成された前記電子部品または前記実装基板を、前記突起電極を介して前記電極端子と前記接続端子とを位置合せする位置合せ工程と、
前記電子部品を押圧して、前記電極端子と前記接続端子とを前記突起電極を介して接続する接続工程
とを備えたことを特徴とする電子部品実装構造体の製造方法であって、
前記突起電極形成工程が、
容器に前記可視光に感光する前記感光性樹脂と前記導電性フィラーとを含む液状樹脂を供給する樹脂供給工程と、
複数の前記電極端子が一方の面上に形成された前記電子部品を、前記電極端子が前記液状樹脂の表面に対してあらかじめ設定した間隔を有して前記液状樹脂中に浸漬する工程と、
前記液状樹脂の表面からフォトマスクの第1の開口部を介して選択的に前記可視光を照射し、前記電極端子上の前記液状樹脂を硬化させて、複数の前記電極端子上に一括して第1層目を形成する第1層形成工程と、
前記電子部品をあらかじめ設定した距離だけ前記液状樹脂中に沈降させる沈降工程と、
前記第1の開口部より少なくとも小さい第2の開口部を有するフォトマスクを用いて選択的に可視光を照射し、前記第1層上の前記液状樹脂を硬化させて、前記第1層上に第2層目を形成する第2層形成工程と、
前記沈降工程と前記第2層形成工程と同様の工程を順次繰り返して、層状構造の前記突起電極を形成することを特徴とする電子部品実装構造体の製造方法。 - 可視光に感光する感光性樹脂と導電性フィラーとを含む導電性樹脂からなる突起電極を、電子部品の電極端子上または実装基板の接続端子上に形成する突起電極形成工程と、
前記突起電極が形成された前記電子部品または前記実装基板を、前記突起電極を介して前記電極端子と前記接続端子とを位置合せする位置合せ工程と、
前記電子部品を押圧して、前記電極端子と前記接続端子とを前記突起電極を介して接続する接続工程
とを備えたことを特徴とする電子部品実装構造体の製造方法であって、
前記突起電極形成工程が、前記電極端子が形成された前記電子部品上に、前記可視光に感光する前記感光性樹脂と前記導電性フィラーとを含む液状樹脂を前記突起電極の厚みに相当する厚みに供給する樹脂供給工程と、
前記液状樹脂に対して、フォトマスクの開口部を介して選択的に、かつ光強度を順次増加しながら前記可視光を照射して、前記電極端子上の前記液状樹脂を硬化させ前記突起電極を成長させる工程とからなることを特徴とする電子部品実装構造体の製造方法。 - 可視光を透過する透明基材と、前記透明基材表面上に形成され、少なくとも可視光を透過する透明導電性薄膜からなる接続端子を含む実装基板と、前記接続端子に対応する位置に電極端子を設けた電子部品とを、あらかじめ設定した間隔を有して配置する配置工程と、前記電子部品と前記実装基板との間に、可視光に感光する感光性樹脂と導電性フィラーとを含む液状樹脂を供給する樹脂供給工程と、
前記実装基板の前記電子部品に対向する面とは反対側の面からフォトマスクの開口部を介して選択的に、かつ光強度を順次増加しながら可視光を照射して前記接続端子上の前記液状樹脂を硬化させ突起電極を成長させて、複数の前記接続端子と複数の前記電極端子とを一括して接続することを特徴とする電子部品実装構造体の製造方法。 - 前記フォトマスクは、液晶セルが二次元的に配置された透過式の液晶パネルを用い、前記開口部の大きさを前記液晶セルに印加する電圧により電気的に制御することを特徴とする請求項3から請求項5までのいずれか1項に記載の電子部品実装構造体の製造方法。
- 前記フォトマスクは前記液晶パネルを用い、かつ前記液晶パネルを透過した光像を縮小投影して前記液状樹脂に照射することを特徴とする請求項6に記載の電子部品実装構造体の製造方法。
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