JP4604689B2 - 微小部品供給装置 - Google Patents

Description

本発明は平板状の微小部品を振動により移送することが可能な微小部品供給装置に関する。

従来、部品に対して振動を与えることにより、部品の姿勢を統一させるとともに次工程に対して部品の供給を行う供給装置の一つとして、パーツフィーダがよく知られている。従来パーツフィーダでは、搬送路上を部品が積層した状態（以下、積層状態と呼ぶ）で搬送されることを防止するため、搬送方向の上部に障害物を設けている。すなわち、この障害物に積層状態の部品が触れることにより、部品の積層状態が崩され、部品が一層で搬送される。その結果、部品の積層状態での搬送を防止することができる。
特開２００２−２９４４号公報

しかしながら、近年、パーツフィーダにより姿勢が統一されるとともに次工程に搬送される対象物は、小型化および微小化してきている（以下、微小部品と呼ぶ。）。その一方、微小部品の搬送能力の向上が求められている。その結果、微小部品の搬送スピードが上昇しており、微小部品の搬送方向に設けられた障害物に積層状態で搬送された微小部品が噛み込んでしまい微小部品の搬送が度々停止するという課題が生じていた。

また、従来、搬送路が水平面から構成されていることから微小部品の摩擦または静電気による影響で、微小部品が搬送路に張り付いてしまう課題があった。

この課題に対しては、エア噴出装置または静電気除去装置を搬送路に設ける手法（特許文献１参照）が提案されているが、新たにエア噴出装置または静電気除去装置を新たに設ける必要があり、部品供給装置のコスト増加という新たな課題が生じる結果となっていた。

本発明の目的は、単層化された微小部品を安定しかつ低コストで供給することができる微小部品搬送装置を提供することである。

課題を解決するための手段及び効果

（１）
本発明に係る微小部品搬送装置は、平板状の微小部品に加振器からの振動を与えて平板状の微小部品を直線状に移送する微小部品供給装置であって、平板状の微小部品の姿勢を傾斜面に沿って傾斜させつつ移送する傾斜搬送路と、傾斜搬送路により移送された平板状の微小部品の単層化を図る単層化路とを備え、単層化路は、傾斜搬送路の移送方向の延長線上に設けられ、平板状の微小部品の短手方向の稜線よりも広い幅を有し、傾斜搬送路の有する傾斜面の傾斜方向とは異なる傾斜方向に平板状の微小部品を滑走させる滑走面と、滑走面の滑走方向の延長線上に設けられ、滑走面の下端に配設された水平面を有する底面と、底面に対向し、かつ滑走面の滑走方向に対向するように配設された単層化突出部とを含み、底面と単層化突出部の下面との隙間が、平板状の微小部品の板厚よりも大きく、平板状の微小部品の板厚の２倍よりも小さいものである。

本発明に係る微小部品搬送装置においては、傾斜搬送路と単層化路とを備える。傾斜搬送路の傾斜面に沿って傾斜状態の姿勢で平板状の微小部品が移送される。そして、単層化路により平板状の微小部品の単層化が図られる。この単層化路には、微小部品が傾斜搬送路の有する傾斜面とは異なる方向に滑走可能な滑走面が設けられる。滑走面の下端には、水平面を有する底面が配設され、単層化突出部が底面に対向して設けられ、かつ滑走面の滑走方向に対向して設けられる。この滑走面と単層化突出部との最小の相対距離が、平板状の微小部品の厚みよりも大きく、平板状の微小部品の厚みの２倍よりも小さい。

この場合、傾斜搬送路の傾斜面に沿って平板状の微小部品が移送され、単層化路において平板状の微小部品が傾斜面と異なった方向へ滑走される。それにより、平板状の微小部品が積層して移送された場合、平板状の微小部品の姿勢を変更することにより、積層状態の平板状の微小部品を個別分離した状態に変化させることができる。また、滑走面の下端に底面が形成されるとともに単層化突出部が形成されているので、仮に平板状の微小部品が積層状態で滑走された場合でも、単層化突出部が積層された平板状の微小部品に接触し、積層された平板状の微小部品のみの滑走を停止させることができる。その結果、平板状の微小部品の積層移送が確実に防止され、平板状の微小部品の安定した単層化移送を実現することができる。

さらに、平板状の微小部品の移送方向と異なる方向で単層化突出部が設けられているので、従来の移送方向に沿って設けられていた積層防止構造と異なり、微小部品供給装置の移送時の詰まり（噛み込み）を防止することができる。すなわち、平板状の微小部品の移送能力を向上させた場合でも、移送方向と微小部品の滑走方向とが異なるため、噛み込みが生じない。また、新たな部材または装置を必要としないため、低コストでかつ安定した単層化の部品供給が可能となる。

（２）
滑走面は、水平面に向かって水平に対する傾斜角度が漸減する曲面により形成されてもよい。また、曲面は、平板状の微小部品の最長稜線よりも大きい曲率半径を有していてもよい。

この場合、平板状の微小部品と滑走面とが接触する領域を最小領域にすることができるので、曲面上を一定速度で滑走させることができる。その結果、積層状態の平板状の微小部品に対して単層化突出部から適切な力を与えることができ、平板状の微小部品の積層移送を確実に防止することができる。

（３）
水平面は、平板状の微小部品の短手方向の稜線よりも狭い幅を有していてもよい。この場合、滑走面を滑走した平板状の微小部品の下面全体が、水平面上に移動せず、平板状の微小部品の下面の一部が滑走面に残った状態で、滑走面の滑走方向と異なる方向に移送される。その結果、平板状の微小部品の下面全体が水平面と完全に密着しないので、平板状の微小部品と水平面との間で生じうる静電気または摩擦を減少させることができ、平板状の微小部品の搬送不良を防止することができる。

また、エア噴出装置または静電気除去装置を必要としないため、コスト上昇を削減することができる。

以下、本発明に係る実施の形態について説明する。

（一実施の形態）
図１は、本発明に係る一実施の形態に係る微小部品供給装置１００の一例を示す模式的斜視図である。（ａ）は微小部品供給装置１００の上面を示し、（ｂ）は微小部品供給装置１００の側面を示す。

図１（ａ），（ｂ）に示すように、微小部品供給装置１００は、パーツフィーダ２００、リニアフィーダ３００およびステージ９００を含む。また、図１（ｂ）に示すように、パーツフィーダ２００は、ボウル状搬送部２１０と圧電式振動部２２０とを含む。リニアフィーダ３００の詳細な構成については後述する。

本実施の形態における微小部品供給装置１００においては、ステージ９００上にパーツフィーダ２００およびリニアフィーダ３００が設けられる。パーツフィーダ２００の微小部品排出部２１１には、リニアフィーダ３００の微小部品搬入部３１１が接続されている。さらに、リニアフィーダ３００の微小部品還流路３１７には、パーツフィーダ２００の受け入れ路２１７が接続されている。

パーツフィーダ２００の圧電式振動部２２０により発振された振動が、圧電式振動部２２０の上部に載置されたボウル状搬送部２１０に与えられる。ボウル状搬送部２１０内には、ボウル状搬送部２１０の内周に沿って螺旋状の微小部品搬送路が設けられる（図示せず）。ボウル状搬送部２１０の中央底部に微小部品８００が供給され、圧電式振動部２２０からの振動により微小部品８００が螺旋状の搬送路上を搬送され、微小部品排出部２１１からリニアフィーダ３００の微小部品搬入部３１１に与えられる。

また、後述するように、リニアフィーダ３００には、圧電式振動部３０２が設けられており、圧電式振動部３０２により発振された振動が、リニアフィーダ３００の各搬送路に与えられる。それにより、微小部品供給装置１００は、微小部品供給装置１００の次工程に微小部品８００を供給することができる。

また、リニアフィーダ３００の搬送路内において所定姿勢に整理されなかった微小部品８００が存在する場合、または次工程においてトラブルが生じて次工程側に微小部品８００を搬送させないようにする場合、還流部材３２５により微小部品８００が、微小部品還流路３１７からパーツフィーダ２００の受け入れ路２１７を介してボウル状搬送部２１０の中央底部に戻される。

次に、図２は本実施の形態において搬送される微小部品８００の形状の一例を示す模式的斜視図である。

図２に示すように、微小部品８００は、長さＬ、高さＨ、幅Ｂを有する直方体からなる。長さＬ、高さＨおよび幅Ｂの関係は、Ｈ＜Ｂ＜Ｌの関係を有する。このように、微小部品８００は平板状の微小部品からなる。

また、微小部品供給装置１００は、微小部品８００の一方の面に電極が形成されたものである場合が多く、一般に微小部品８００の大きさは、長さＬが３．２ｍｍ〜８ｍｍ程度であり、幅Ｂが２．５ｍｍ〜５．０ｍｍ程度であり、高さＨが０．８ｍｍ〜１．７ｍｍ程度である。

次に、図３は、リニアフィーダ３００の詳細を示す側面図である。

リニアフィーダ３００は、防振台３０１、圧電式振動部３０２、振動伝達部３０３、第１搬送部材３２０、第２搬送部材３３０、接続部材３４０および第３搬送部材３５０を含む。

図３に示すように、防振台３０１の上部には、圧電式振動部３０２が複数の防振用板ばね３８０により保持される。圧電式振動部３０２の上部には、振動伝達部３０３が複数の板ばね３９０により保持される。振動伝達部３０３の上部には、第１搬送部材３２０が固定され、第１搬送部材３２０の一端側には、第２搬送部材３３０が接続され、第１搬送部材３２０の側面には、接続部材３４０が併設される。また、第１搬送部材３２０には複数の板ばね３６０を介して第３搬送部材３５０が設けられる。

以上の構成により、圧電式振動部３０２により発振された振動は、板ばね３８０により第１搬送部材３２０および第２搬送部材３３０に伝えられ、さらに板ばね３６０により第３搬送部材３５０に伝えられる。

次いで、図４は第１搬送部材３２０、第２搬送部材３３０、接続部材３４０および第３搬送部材３５０の詳細を説明するための図である。（ａ）は上面を示し、（ｂ）は側面を示す。

図４（ａ）に示すように、第１搬送部材３２０は、微小部品搬入部３２１、傾斜搬送部３２２、姿勢変換部３２３および搬送部３２４からなる。微小部品搬入部３２１には微小部品搬入路３１１が設けられ、傾斜搬送部３２２には微小部品傾斜搬送路３１２が設けられ、姿勢変換部３２３には微小部品姿勢変換路３１３が設けられ、搬送部３２４には搬送路３１４が設けられる。また、搬送路３１４から直線状に接続された第２搬送部材３３０には、搬送路３１５が設けられる。さらに、第１搬送部材３２０に併設された接続部材３４０には、搬送路３１４から分岐された搬送路３１６が設けられる。

第３搬送部材３５０には、微小部品搬入路３１１、微小部品傾斜搬送路３１２、微小部品姿勢変換路３１３および搬送路３１４と並行するように、還流搬送路３１７が設けられる。

搬送路３１４の分岐点には、微小部品８００の還流部材３２５が設けられている。この還流部材３２５は、搬送路３１５および搬送路３１６との間で微小部品８００の搬送方向を切り替え可能に設けられる。例えば、微小部品供給装置１００の次工程において、微小部品供給装置１００からの微小部品８００の供給を一時停止したい場合に、還流部材３２５を搬送路３１６側に切り替える。それにより、微小部品搬入路３１１、微小部品傾斜搬送路３１２、微小部品姿勢変換路３１３および搬送路３１４により搬送されてきた微小部品８００が、搬送路３１６および還流搬送路３１７によりパーツフィーダ２００側に還流される。

続いて、図４の各断面について説明する。図５は、図４のＡ−Ａ線断面を示す模式的断面図である。

図５に示すように、微小部品搬入部３２１の上方に微小部品排出部２１１が配設されており、微小部品排出部２１１により搬送されてきた微小部品８００が微小部品搬入路３１１に供給される(図中矢印Ｘ１)。また、微小部品搬入部３２１の側面には接続部材３４０が設けられ、接続部材３４０の側方に所定の隙間をあけて第３搬送部材３５０が設けられる。なお、微小部品搬入路３１１は、略Ｖ字状の断面形状を有する。

続いて、図６は、図４のＢ−Ｂ線断面を示す模式的断面図である。（ａ）は模式的断面を示し、（ｂ）は（ａ）の模式的拡大図である。

図６（ａ）、（ｂ）に示すように、傾斜搬送部３２２は、微小部品傾斜搬送路３１２を有し、微小部品傾斜搬送路３１２は、第１傾斜搬送部３２２ａおよび第２傾斜搬送部３２２ｂからなる。第１傾斜搬送部３２２ａは、微小部品８００の平面を支持する傾斜面３２２ｃを有し、第２傾斜搬送部３２２ｂは、微小部品８００の端面を支持する支持面３２２ｄを有する。また、傾斜面３２２ｃには、溝３１２ａが設けられる。

微小部品搬入路３１１から傾斜面３２２ｃおよび支持面３２２ｄにより形成された微小部品傾斜搬送路３１２に微小部品８００が移送される。なお、微小部品傾斜搬送路３１２は、略Ｖ字状の断面形状を有する。図６に示すように、微小部品搬入路３１１によるＶ字状の断面形状よりも下方に微小部品傾斜搬送路３１２のＶ字状の断面形状が設けられる。それにより、微小部品８００が微小部品搬入路３１１から微小部品傾斜搬送路３１２へ容易に移送される。

次に、Ｖ字状の断面形状の微小部品傾斜搬送路３１２について説明する。

図７は、図６の傾斜面３２２ｃに設けられた溝３１２ａの効果を説明するための図である。（ａ）は溝３１２ａが形成された略Ｖ字状の断面形状を示し、（ｂ）は溝３１２ａが形成されていない略Ｖ字状の断面形状を示す。

図７（ａ）に示すように、略Ｖ字状の断面形状の傾斜面３２２ｃ側には、微小部品８００の幅Ｂの値よりも小さい幅ｂの溝３１２ａが形成される。一方、図７（ｂ）に示すように、略Ｖ字状の断面形状の傾斜面３２２ｃ側には、溝３１２ａが形成されていない。それにより、図７（ａ）においては、微小部品８００の全面が、傾斜面３２２ｃと全面的に接触していないのに対し、図７（ｂ）においては、微小部品８００の下面が傾斜面３２２ｃと全面的に接触している。

したがって、図７（ａ）に示す溝３２２ｃが形成された略Ｖ字状の断面形状内を微小部品８００が搬送される場合、微小部品８００と略Ｖ字状の断面形状との摩擦および静電気が、図７（ｂ）に示す場合よりも少なくなる。そのため、微小部品８００の摩擦および静電気の発生を抑制することができ、微小部品８００の搬送不良を防止することができる。

次に、図８は、図４のＣ−Ｃ線断面を示す模式的断面図である。（ａ）は模式的断面を示し、（ｂ）は（ａ）の模式的拡大図である。

図８（ａ）、（ｂ）に示すように、姿勢変換部３２３は、微小部品姿勢変換路３１３を有し、微小部品姿勢変換路３１３は、積層防止部３２３ａ、滑走支持部材３２３ｂおよび滑走停止部材３２３ｃからなる。

滑走支持部材３２３ｂは、微小部品８００の長さＬよりも長い曲率半径を有する曲面からなる滑走面３２３ｄおよび水平面３２３ｅからなる。水平面３２３ｅは微小部品８００の幅Ｂよりも小さい幅ｂからなる。また、滑走面３２３ｄおよび積層防止部３２３ａとの最小の相対距離ｈは、微小部品８００の高さＨに対して、Ｈ＜ｈ＜２Ｈの関係を有する。なお好ましくは、最小の相対距離ｈは、１．１Ｈ以上１．５Ｈ以下の範囲内であることが好ましい。

また、積層防止部３２３ａは、滑走停止部材３２３ｃの端面から微小部品８００の幅Ｂより大きく滑走支持部材３２３ｂ側に突出した構成を有する。

次に、図９および図１０は、傾斜搬送部３２２の微小部品傾斜搬送路３１２から姿勢変換部３２３の微小部品姿勢変換路３１３に微小部品８００が移送される状態を示す図である。

図９（ａ）に示すように、微小部品８００は、微小部品傾斜搬送路３１２の端部まで移送される。そして、図９（ｂ）に示すように、微小部品姿勢変換路３１３内に移送された直後、微小部品８００は滑走面３２３ｄ上を（矢印Ｘ３の方向に）滑走する。続いて、図１０（ｃ）に示すように、微小部品８００は、積層防止部３２３ａおよび滑走面３２３ｄの間を通過して滑走する。最後に、図１０（ｄ）に示すように、微小部品８００は滑走停止部材３２３ａに当接して滑走を停止する。この場合、微小部品８００は、水平面３２３ｅが微小部品８００の幅よりも狭いため、水平面３２３ｅおよび滑走面３２３ｄ上に位置する。すなわち、微小部品８００の下面が水平面３２３ｅと密接せず、下面と水平面３２３ｅとの間に隙間がある状態となる。それにより、微小部品８００の下面と水平面３２３ｅとの間に生じる摩擦および静電気の発生を抑制することができる。

次に、図１１は、図８〜図１０に示した姿勢変換部３２３の微小部品８００の積層状態を防止する効果を説明するための図である。ここで、仮に微小部品８００が上下に積層状態で移送された場合を考え、積層状態の微小部品８００の下側を微小部品８００ａとし、積層状態の微小部品８００の上側を微小部品８００ｂとする。

（ａ）は微小部品８００ａ,８００ｂが積層状態で搬送された状態を示し、（ｂ）は微小部品８００ａ,８００ｂが積層状態から改善された状態を示す。

図１１（ａ）に示すように、積層状態の微小部品８００ａ,８００ｂは、滑走面３２３ｄにより微小部品８００ａ,８００ｂの搬送方向と異なる矢印Ｘ３の方向に滑走する。仮に、微小部品８００ａ，８００ｂが個別分離されなかった場合でも、積層した微小部品８００ｂのみに積層防止部３２３ａが当接することにより、積層された微小部品８００ａのみが矢印Ｘ３の方向に滑走する。

それにより、図１１（ｂ）に示すように、微小部品８００ａに積層された微小部品８００ｂが積層状態から改善される。その結果、微小部品８００を単層化状態で確実に搬送することができる。

次に、図１２は、水平面３２３ｅの働きを説明するための模式図である。（ａ）は本実施の形態に係る水平面３２３ｅの状態を示し、（ｂ）は比較となる水平面３２３ｅ‘の状態を示す。

図１２（ａ）に示すように、微小部品８００の幅Ｂよりも水平面３２３ｅの幅ｂが狭い場合、微小部品８００の最長稜線（長さＬ）が滑走面３２３ｄに接触し、微小部品８００が鉛直軸周りに回転することが防止される。

一方、図１２（ｂ）に示すように、微小部品８００の幅Ｂよりも水平面３２３ｅ’の幅ｂ‘が大きい場合、微小部品８００の最長稜線（長さＬ）が滑走面３２３ｄに接触していないため、微小部品８００が鉛直軸周り（矢印Ｘ４の方向）に回転する可能性が高い。

以上の構成により、微小部品傾斜搬送路３１２の傾斜面３２２ｃに沿って微小部品８００が移送され、微小部品姿勢変換路３１３において微小部品８００が傾斜面３２２ｃと異なった方向に滑走する。それにより、微小部品８００が積層して移送された場合、微小部品８００の姿勢を変更することにより、積層状態の微小部品８００を個別分離した状態に変化させることができる。また、滑走面３２３ｄの下端に水平面３２３ｅが形成されるとともに積層防止部３２３ａが形成されているので、仮に微小部品８００が積層状態で滑走した場合でも、積層防止部３２３ａにより積層された微小部品８００に接触し、積層された微小部品８００のみの滑走を停止させることができる。その結果、微小部品８００の積層状態の移送を確実に防止し、微小部品８００の安定した単層化移送を実現することができる。

さらに、微小部品８００の移送方向と異なる方向で積層防止部３２３ａが設けられているので、従来の移送方向に沿って設けられていた積層防止構造と異なり、微小部品供給装置１００の移送時の詰まりを防止することができる。

また、微小部品８００は、滑走面３２３ｄと接触する領域を最小にすることができるので、曲面上を一定速度で滑走することができる。その結果、積層状態の微小部品８００の積層側の微小部品のみに対して積層防止部３２３ａから適切な力を与えることができる。

さらに、滑走面３２３ｄを滑走した微小部品８００の全体が、水平面３２３ｅ上に移動せず、微小部品８００の一部が滑走面３２３ｄに残った状態で、滑走面３２３ｄの滑走方向と異なる方向に移送される。その結果、微小部品８００の全体が水平面３２３ｅと完全に密着しないので、微小部品８００と水平面３２３ｅとの間で生じうる静電気または摩擦を減少させることができ、微小部品８００の搬送不良を防止することができる。

さらに、微小部品傾斜搬送路３１２に溝３１２ａを設けることにより、微小部品傾斜搬送路３１２に沿って移送される微小部品８００の下面全体と微小部品傾斜搬送路３１２とが完全に密着しないので、微小部品８００と傾斜面３２２ｃとの間で生じうる静電気または摩擦を減少させることができ、微小部品８００の搬送不良を防止することができる。また、別途、エア噴出装置または静電気除去装置を必要としないため、コスト上昇を削減することができる。

なお、本実施の形態においては、滑走面３２３ｄが曲面からなることとしたが、これに限定されず、直線面により構成されてもよい。

上記一実施の形態においては、微小部品８００が平板状の微小部品に相当し、圧電式振動部３０２が加振器に相当し、微小部品供給装置１００が微小部品供給装置に相当し、傾斜面３２２ｃが傾斜面に相当し、微小部品傾斜搬送路３１２が傾斜搬送路に相当し、姿勢変換部３２３、微小部品姿勢変換路３１３が単層化路に相当し、滑走面３２３ｄが滑走面に相当し、水平面３２３ｅが底面に相当し、積層防止部３２３ａが単層化突出部に相当し、最小の相対距離ｈが最小の相対距離に相当し、微小部品８００の高さＨが平板状の微小部品の厚みに相当し、微小部品８００の長さＬが平板状の微小部品の最長稜線に相当し、微小部品８００の幅Ｂが平板状の微小部品の短手方向の稜線に相当し、溝３１２ａが溝に相当する。

本発明は、上記の好ましい一実施の形態に記載されているが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の精神と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。

本発明に係る一実施の形態に係る微小部品供給装置の一例を示す模式的斜視図 本実施の形態において搬送される微小部品の形状の一例を示す模式的斜視図 リニアフィーダの詳細を示す側面図 第１搬送部材、第２搬送部材、接続部材および第３搬送部材の詳細を説明するための図 図４のＡ−Ａ線断面を示す模式的断面図 図４のＢ−Ｂ線断面を示す模式的断面図 図６の傾斜面に設けられた溝の効果を説明するための図 図４のＣ−Ｃ線断面を示す模式的断面図 傾斜搬送部の微小部品傾斜搬送路から姿勢変換部の微小部品姿勢変換路に微小部品が移送される状態を示す図 傾斜搬送部の微小部品傾斜搬送路から姿勢変換部の微小部品姿勢変換路に微小部品が移送される状態を示す図 図８〜図１０に示した姿勢変換部の微小部品の積層状態を防止する効果を説明するための図 水平面の働きを説明するための模式図

符号の説明

１００ 微小部品供給装置
３０２ 圧電式振動部
３１２ 微小部品傾斜搬送路
３１２ａ 溝
３１３ 微小部品姿勢変換路
３２２ｃ 傾斜面
３２３ 姿勢変換部
３２３ａ 積層防止部
３２３ｄ 滑走面
３２３ｅ 水平面
８００ 微小部品
ｈ 最小の相対距離
Ｈ 微小部品の高さ
Ｌ 微小部品の長さ
Ｂ 微小部品の幅

Claims (4)

1. 平板状の微小部品に加振器からの振動を与えて前記平板状の微小部品を直線状に移送する微小部品供給装置であって、
   前記平板状の微小部品の姿勢を傾斜面に沿って傾斜させつつ移送する傾斜搬送路と、
   前記傾斜搬送路により移送された前記平板状の微小部品の単層化を図る単層化路とを備え、
   前記単層化路は、
   前記傾斜搬送路の移送方向の延長線上に設けられ、前記平板状の微小部品の短手方向の稜線よりも広い幅を有し、前記傾斜搬送路の有する傾斜面の傾斜方向とは異なる傾斜方向に前記平板状の微小部品を滑走させる滑走面と、
   前記滑走面の滑走方向の延長線上に設けられ、前記滑走面の下端に配設された水平面を有する底面と、
   前記底面に対向し、かつ前記滑走面の滑走方向に対向するように配設された単層化突出部とを含み、
   前記底面と前記単層化突出部の下面との隙間が、前記平板状の微小部品の板厚よりも大きく、前記平板状の微小部品の板厚の２倍よりも小さいことを特徴とする微小部品供給装置。
2. 前記滑走面は、前記水平面に向かって水平に対する傾斜角度が漸減する曲面により形成されていることを特徴とする請求項１記載の微小部品供給装置。
3. 前記曲面は、
   前記平板状の微小部品の最長稜線よりも大きい曲率半径を有していることを特徴とする請求項２記載の微小部品供給装置。
4. 前記水平面は、
   前記平板状の微小部品の短手方向の稜線よりも狭い幅を有していることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の微小部品供給装置。

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