JP4598470B2 - 半導体装置 - Google Patents
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本発明に関する第1の構成例のマスク設計方法について、図4〜図7を参照しながら説明する。第1の構成例においては、本発明に関連するレイアウト設計方法をマスクの修正に利用する例を説明する。
net1 connect(A,B)
net2 connect(C,D)
となっている。この初期ネットリストN1は、端子Aと端子Bとを接続し、かつ端子Cと端子Dとを接続することを示している。初期ネットリストN1に基づき初期配線して、図5(a)に示された初期レイアウト10を得る。すなわち、図5(a)に示されたように、端子A・B間を、配線M2a,ヴィアホールV3a,配線M3a,ヴィアホールV3b,配線M2bを介して接続する。同様に、端子C・D間を、配線M2c,ヴィアホールV3c,配線M3c,ヴィアホールV3d,配線M2dを介して接続する。
net1 connect(A,C)
net2 connect(B,D)
となっている。この変更後ネットリストN2は、端子Aと端子Cとを接続し、かつ端子Bと端子Dとを接続することを示している。
本発明の第2の構成例に係るマスク設計方法と半導体装置とについて、図8〜図10を参照しながら説明する。本構成例は、回路変更の有無にかかわらず、予め半導体装置のレイアウトを、容易に修正できるレイアウトにしておくことにより、設計変更を容易にし、かつ変更後の配線特性の劣化を防止することを目的としている。
以下、図13〜図19を参照しながら、従来の配線レイアウトと比較しながら本願発明の半導体装置(ASICやシステムLSIを含む)に好適に用いられる冗長配線を含む配線レイアウトの実施の形態を説明する。
13,31,32,33 容易化レイアウト
20,20’,20’’ 修正レイアウト
A,B,C,D 端子
Claims (20)
- 複数の素子を形成する素子層と、
前記素子層の上に積層され、前記複数の素子を互いに電気的に接続する配線を形成する第1の配線層および第2の配線層を有し、
前記第1の配線層は、同一層内において互いに電気的に独立する第1の配線および第2の配線を有し、
前記第2の配線層は、第1の方向に延びて配置される第1の配線部と、前記第1の方向と異なる第2の方向に延びて配置される第2の配線部との組合せにより形成される第3の配線を有し、
前記第3の配線が、前記第1の配線および前記第2の配線の両方と互いに上下方向で重なり合う位置関係を有しており、
前記第1の配線が前記第3の配線における前記第1の配線部と互いに上下方向で重なり合う位置関係を含み、
前記第2の配線が前記第3の配線における前記第2の配線部と互いに上下方向で重なり合う位置関係を含み、
前記第1の配線は前記第1の配線部の先端と互いに上下方向で重なり合う位置関係をさらに含み、
前記第2の配線は前記第2の配線部の先端と互いに上下方向で重なり合う位置関係をさらに含んでいることを特徴とする半導体装置。 - 複数の素子を形成する素子層と、
前記素子層の上に積層され、前記複数の素子を互いに電気的に接続する配線を形成する第1の配線層および第2の配線層を有し、
前記第1の配線層は、同一層内において互いに電気的に独立する第1の配線および第2の配線を有し、
前記第2の配線層は、第1の方向に延びて配置される第1の配線部と、前記第1の方向と異なる第2の方向に延びて配置される第2の配線部との組合せにより形成される第3の配線を有し、
前記第3の配線が、前記第1の配線および前記第2の配線の両方と互いに上下方向で重なり合う位置関係を有しており、
前記第1の配線および前記第2の配線は、ともに前記第3の配線における前記第1の配線部と互いに上下方向で重なり合う位置関係を含んでいることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1の配線および前記第2の配線は、ともに前記第1の配線部の先端と互いに上下方向で重なり合う位置関係をさらに含んでいることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 複数の素子を形成する素子層と、
前記素子層の上に積層され、前記複数の素子を互いに電気的に接続する配線を形成する第1の配線層および第2の配線層を有し、
前記第1の配線層は、同一層内において互いに電気的に独立する第1の配線および第2の配線を有し、
前記第2の配線層は、第1の方向に延びて配置される第1の配線部と、前記第1の方向と異なる第2の方向に延びて配置される第2の配線部との組合せにより形成される第3の配線を有し、
前記第3の配線が、前記第1の配線および前記第2の配線の両方と互いに上下方向で重なり合う位置関係を有しており、
前記第1の配線が前記第3の配線における前記第1の配線部と互いに上下方向で重なり合う位置関係を含み、
前記第2の配線が前記第3の配線における前記第2の配線部と互いに上下方向で重なり合う位置関係を含み、
前記第1の配線は前記第1の方向に延びて配置される配線であり、
前記第2の配線は前記第2の方向に延びて配置される配線であることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1の配線は前記第1の方向に延びて配置される配線であり、
前記第2の配線は前記第2の方向に延びて配置される配線であることを特徴とする請求項1乃至3のうちのいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記第1の配線および前記第2の配線は、ともに前記第1の方向に延びて配置される配線であることを特徴とする請求項1乃至3のうちのいずれか1項に記載の半導体装置。
- 複数の素子を形成する素子層と、
前記素子層の上に積層され、前記複数の素子を互いに電気的に接続する配線を形成する第1の配線層および第2の配線層を有し、
前記第1の配線層は、同一層内において互いに電気的に独立する第1の配線および第2の配線を有し、
前記第2の配線層は、第1の方向に延びて配置される第1の配線部と、前記第1の方向と異なる第2の方向に延びて配置される第2の配線部との組合せにより形成される第3の配線を有し、
前記第3の配線が、前記第1の配線および前記第2の配線の両方と互いに上下方向で重なり合う位置関係を有しており、
前記第2の配線層は、前記第1の配線層の下層であることを特徴とする半導体装置。 - 複数の素子を形成する素子層と、
前記素子層の上に積層され、前記複数の素子を互いに電気的に接続する配線を形成する第1の配線層および第2の配線層を有し、
前記第1の配線層は、同一層内において互いに電気的に独立する第1の配線および第2の配線を有し、
前記第2の配線層は、第1の方向に延びて配置される第1の配線部と、前記第1の方向と異なる第2の方向に延びて配置される第2の配線部との組合せにより形成される第3の配線を有し、
前記第3の配線が、前記第1の配線および前記第2の配線の両方と互いに上下方向で重なり合う位置関係を有しており、
前記第1の配線が前記第3の配線における前記第1の配線部と互いに上下方向で重なり合う位置関係を含み、
前記第2の配線が前記第3の配線における前記第2の配線部と互いに上下方向で重なり合う位置関係を含み、
前記第2の配線層は、前記第1の配線層の下層であることを特徴とする半導体装置。 - 前記第2の配線層は、前記第1の配線層の下層であることを特徴とする請求項1乃至6のうちのいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第1の方向と前記第2の方向は、互いに直交する関係にあることを特徴とする請求項1乃至9のうちのいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第3の配線は、十字の形状であることを特徴とする請求項10に記載の半導体装置。
- 前記第3の配線は、S字の形状であることを特徴とする請求項10に記載の半導体装置。
- 前記第3の配線は、H字の形状であることを特徴とする請求項10に記載の半導体装置。
- 複数の素子を形成する素子層と、
前記素子層の上に積層され、前記複数の素子を互いに電気的に接続する配線を形成する第1の配線層および第2の配線層を有し、
前記第1の配線層は、同一層内において互いに電気的に独立する第1の配線および第2の配線を有し、
前記第2の配線層は、第1の方向に延びて配置される第1の配線部と、前記第1の方向と異なる第2の方向に延びて配置される第2の配線部との組合せにより形成される第3の配線を有し、
前記第3の配線が、前記第1の配線および前記第2の配線の両方と互いに上下方向で重なり合う位置関係を有しており、
前記第2の配線層は、前記第3の配線を複数有し、複数の前記第3の配線は規則的に配置されていることを特徴とする半導体装置。 - 複数の素子を形成する素子層と、
前記素子層の上に積層され、前記複数の素子を互いに電気的に接続する配線を形成する第1の配線層および第2の配線層を有し、
前記第1の配線層は、同一層内において互いに電気的に独立する第1の配線および第2の配線を有し、
前記第2の配線層は、第1の方向に延びて配置される第1の配線部と、前記第1の方向と異なる第2の方向に延びて配置される第2の配線部との組合せにより形成される第3の配線を有し、
前記第3の配線が、前記第1の配線および前記第2の配線の両方と互いに上下方向で重なり合う位置関係を有しており、
前記第1の配線が前記第3の配線における前記第1の配線部と互いに上下方向で重なり合う位置関係を含み、
前記第2の配線が前記第3の配線における前記第2の配線部と互いに上下方向で重なり合う位置関係を含み、
前記第2の配線層は、前記第3の配線を複数有し、複数の前記第3の配線は規則的に配置されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記第2の配線層は、前記第3の配線を複数有し、複数の前記第3の配線は規則的に配置されていることを特徴とする請求項1乃至13のうちのいずれか1項に記載の半導体装置。
- 複数の素子を形成する素子層と、
前記素子層の上に積層され、前記複数の素子を互いに電気的に接続する配線を形成する第1の配線層および第2の配線層を有し、
前記第1の配線層は、同一層内において互いに電気的に独立する第1の配線および第2の配線を有し、
前記第2の配線層は、第1の方向に延びて配置される第1の配線部と、前記第1の方向と異なる第2の方向に延びて配置される第2の配線部との組合せにより形成される第3の配線を有し、
前記第3の配線が、前記第1の配線および前記第2の配線の両方と互いに上下方向で重なり合う位置関係を有しており、
前記第1の配線および前記第2の配線は、前記第3の配線と電気的に接続されることを特徴とする半導体装置。 - 複数の素子を形成する素子層と、
前記素子層の上に積層され、前記複数の素子を互いに電気的に接続する配線を形成する第1の配線層および第2の配線層を有し、
前記第1の配線層は、同一層内において互いに電気的に独立する第1の配線および第2の配線を有し、
前記第2の配線層は、第1の方向に延びて配置される第1の配線部と、前記第1の方向と異なる第2の方向に延びて配置される第2の配線部との組合せにより形成される第3の配線を有し、
前記第3の配線が、前記第1の配線および前記第2の配線の両方と互いに上下方向で重なり合う位置関係を有しており、
前記第1の配線が前記第3の配線における前記第1の配線部と互いに上下方向で重なり合う位置関係を含み、
前記第2の配線が前記第3の配線における前記第2の配線部と互いに上下方向で重なり合う位置関係を含み、
前記第1の配線および前記第2の配線は、前記第3の配線と電気的に接続されることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1の配線および前記第2の配線は、前記第3の配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項1乃至16のうちのいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第1の配線および前記第2の配線は、前記第3の配線とそれぞれ第1のヴィアホールおよび第2のヴィアホールにより接続されることを特徴とする請求項17乃至19に記載の半導体装置。
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