JP4595487B2 - Cvd法によるガスバリア性酸化珪素薄膜の成膜方法 - Google Patents
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となる範囲を含みながら繰り返し増減するように前記有機シリコーン化合物ガスの供給量を増減させて成膜を行うことを特徴とする。
図1に示すような成膜装置を用いて、容量が500mlのポリエチレンテレフタレート製容器の内表面に酸化珪素薄膜の成膜を下記のようにして行った。用いた有機シリコーン化合物ガスはヘキサメチルジシロキサンであり、また酸化力を有するガスは酸素であった。
有機シリコーン化合物ガスの流量と酸素の流量をそれぞれ表1に示すように2秒経過毎に変化させて成膜を行った以外は実施例1と同様の条件にして、ポリエチレンテレフタレ
ート製容器の内表面に酸化珪素薄膜の成膜を行った。酸化珪素薄膜が成膜された容器の酸素透過度と成膜時の有機シリコーンガスと酸素ガスの流量の変化を表1に示す。
有機シリコーン化合物ガスの流量と酸素の流量をそれぞれ表1に示すように0.5秒経過毎に変化させて成膜を行った以外は実施例1と同様の条件にして、ポリエチレンテレフタレート製容器の内表面に酸化珪素薄膜の成膜を行った。酸化珪素薄膜が成膜された容器の酸素透過度と成膜時の有機シリコーンガスと酸素ガスの流量の変化を表1に示す。
有機シリコーン化合物ガスの流量と酸素の流量をそれぞれ表1に示すように1秒経過毎に変化させて成膜を行った以外は実施例1と同様の条件にして、ポリエチレンテレフタレート製容器の内表面に酸化珪素薄膜の成膜を行った。酸化珪素薄膜が成膜された容器の酸素透過度と成膜時の有機シリコーンガスと酸素ガスの流量の変化を表1に示す。
有機シリコーン化合物ガスの流量と酸素の流量をそれぞれ表1に示すように1秒経過毎に変化させて成膜を行った以外は実施例1と同様の条件にして、ポリエチレンテレフタレート製容器の内表面に酸化珪素薄膜の成膜を行った。酸化珪素薄膜が成膜された容器の酸素透過度と成膜時の有機シリコーンガスと酸素ガスの流量の変化を表1に示す。
有機シリコーン化合物ガスの流量と酸素の流量をそれぞれ表1に示すように1秒経過毎に変化させて成膜を行った以外は実施例1と同様の条件にして、ポリエチレンテレフタレート製容器の内表面に酸化珪素薄膜の成膜を行った。酸化珪素薄膜が成膜された容器の酸素透過度と成膜時の有機シリコーンガスと酸素ガスの流量の変化を表1に示す。
有機シリコーン化合物ガスの流量と酸素の流量をそれぞれ表1に示すように1秒経過毎に変化させ、3秒間をかけて成膜を行った以外は実施例1と同様の条件にして、ポリエチレンテレフタレート製容器の内表面に酸化珪素薄膜の成膜を行った。酸化珪素薄膜が成膜された容器の酸素透過度と成膜時の有機シリコーンガスと酸素ガスの流量の変化を表1に示す。
有機シリコーン化合物ガスの流量と酸素の流量をそれぞれ表1に示すように1秒経過毎に変化させて成膜を行った以外は実施例1と同様の条件にして、ポリエチレンテレフタレート製容器の内表面に酸化珪素薄膜の成膜を行った。酸化珪素薄膜が成膜された容器の酸素透過度と成膜時の有機シリコーンガスと酸素ガスの流量の変化を表1に示す。
有機シリコーン化合物ガスの流量と酸素の流量をそれぞれ表1に示すように1秒経過毎に変化させて成膜を行った以外は実施例1と同様の条件にして、ポリエチレンテレフタレート製容器の内表面に酸化珪素薄膜の成膜を行った。酸化珪素薄膜が成膜された容器の酸素透過度と成膜時の有機シリコーンガスと酸素ガスの流量の変化を表1に示す。
図1に示すような成膜装置を用いて、容量が500mlのポリエチレンテレフタレート製容器の内表面に酸化珪素薄膜の成膜を下記のようにして行った。用いた有機シリコーン化合物ガスはヘキサメチルジシロキサンであり、また酸化力を有するガスは酸素であった
。
成膜開始時の有機シリコーン化合物ガスの流量と酸素ガスの流量を、初期値がそれぞれ5(sccm):100(sccm)であったものを5秒後には1(sccm):100(sccm)となるようにした以外は実施例1と同様の条件にして、比較のための実施例11に係る成膜を行った。
成膜開始時の有機シリコーン化合物ガスの流量と酸素ガスの流量を1秒経過時までは初期値と同じとし、それから4秒後には1(sccm):100(sccm)となるようにした以外は実施例1と同様の条件にして、比較のための実施例12に係る成膜を行った。
2・・・外部電極
3・・・天蓋
4・・・排気口
5・・・底蓋
6・・・容器保持部
7・・・ガス導入管
8・・・ガス吐出口
Claims (3)
- 少なくとも有機シリコーン化合物ガスと酸化力を有するガスを用いてCVD法により容器の表面に酸化珪素薄膜を成膜する方法において、供給する有機シリコーン化合物ガスと酸化力を有するガスの流量比が良好なガスバリア性の酸化珪素薄膜を成膜し得る流量比の範囲を含みながら、少なくとも1回/秒以上の割合で繰り返し増減するように前記有機シリコーン化合物ガスの供給流量を増減させながら成膜を行うことを特徴とするCVD法によるガスバリア性酸化珪素薄膜の成膜方法。
- 有機シリコーン化合物ガスと酸化力を有するガスの流量比を良好なガスバリア性の酸化珪素薄膜の成膜し得る流量比の範囲を含みながら3回以上増減するように前記有機シリコーン化合物ガスの供給流量を増減させることを特徴とする請求項1記載のCVD法によるガスバリア性酸化珪素薄膜の成膜方法。
- 有機シリコーン化合物をヘキサメチルジシロキサン、酸化力を有するガスを酸素とし、これらのガスの流量比が1:10〜0.01:10となる範囲を含みながら繰り返し増減するように前記有機シリコーン化合物ガスの供給量を増減させて成膜を行うことを特徴とする請求項1又は2記載のいずれかに記載のCVD法によるガスバリア性酸化珪素薄膜の成膜方法。
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