JP4595484B2 - Cvd法による酸化珪素薄膜の成膜装置及び成膜方法 - Google Patents
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Description
成膜チャンバーと、ガス導入管と、有機シリコーン化合物ガスを定流量で供給するための複数個のマスフローコントローラーと、酸化力を有するガスを定流量で供給するための複数個のマスフローコントローラーとを有し、
かつ複数個のマスフローコントローラーの内の一つから送られてくる定流量の有機シリコーン化合物ガスを、ガス導入管を経由して、成膜チャンバー内に供給できるようにするための第1の切り替えバルブと、複数個のマスフローコントローラーの内の一つから送られてくる定流量の酸化力を有するガスを、ガス導入管を経由して、成膜チャンバー内に供給できるようにするための第2の切り替えバルブが設置され、
酸化力を有するガスを定流量で供給するための複数個のマスフローコントローラーの内、少なくとも、一つは定流量が零であり、もう一つは定流量が零よりも大きく、
成膜チャンバー内に有機シリコーン化合物ガスが供給されてから所定のタイミングで、第2の切り替えバルブにより、酸化力を有するガスを、定流量が零のものから、定流量が零より大きいものに切り替えて、ガス導入管を経由して、成膜チャンバー内に有機シリコーン化合物ガスと酸化力を有するガスを含む混合ガスを供給することを特徴とするCVD法による酸化珪素薄膜の成膜装置である。
有機シリコーン化合物ガスと酸化力を有するガスのそれぞれを定流量で供給するための
複数個のマスフローコントローラーのそれぞれから送られてくるガス流量を個別に設定すると共に、複数個のマスフローコントローラーの内の一つから送られてくる定流量の有機シリコーン化合物ガス及び/または複数個のマスフローコントローラーの内の一つから送られてくる定流量の酸化力を有するガスを切り替えバルブの切り替えによりガス導入管を経由して成膜チャンバー内に選択して供給することにより、混合ガスの配分比率を変化させながら酸化珪素薄膜を成膜するに際して、
酸化力を有するガスを定流量で供給するための複数個のマスフローコントローラーの内、少なくとも、一つはガス流量を零に設定し、もう一つはガス流量を零よりも大きく設定し、
成膜チャンバー内に有機シリコーン化合物ガスが供給されてから所定のタイミングで、切り替えバルブにより、酸化力を有するガスを、流量が零に設定されたものから、流量が零より大きく設定されたものに切り替えて、ガス導入管を経由して、成膜チャンバー内に有機シリコーン化合物ガスと酸化力を有するガスを含む混合ガスを供給するようにしたことを特徴とするCVD法による酸化珪素薄膜の成膜方法である。
の配合比率で含む混合ガスが容器1の内部に供給されるようになっている。また、成膜チャンバー17内を真空にするため、この排気口4を介して真空ポンプ(図示せず)が設置されている。
トリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン等のガスの中から適宜のものを選択することができる。この中では1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、オクタメチルシクロテトラシロキサンのガスが好ましい。ただし、本発明において用いることのできる有機シリコーン化合物ガスとしては、これらの有機シリコーン化合物ガスに限定されるものではなく、アミノシラン、シラザン等のガスも用いることができる。
図1に示す成膜装置の成膜チャンバー17に設置されている容器保持部6に、容量が500mlのポリエチレンテレフタレート製中空容器1をセットした。次に、マスフローコントローラー11(MFC11)、マスフローコントローラー12(MFC12)、マスフローコントローラー21(MFC21)の流量を表1に示すようにそれぞれ設定すると共に、切り替えバルブ15を切り替えることにより原料ガス貯蔵部9に貯蔵されているヘキサメチルジシロキサンのガスを、また切り替えバルブ16を介しては原料ガス貯蔵部10に貯蔵されている酸素ガスを、下記のようにコントロールしながら成膜チャンバー17内に供給し、酸化珪素薄膜の成膜を行った。
マスフローコントローラー11(MFC11)、マスフローコントローラー21(MFC21)、マスフローコントローラー22(MFC22)の流量を表1に示すようにそれぞれ設定すると共に、切り替えバルブ15を介しては原料ガス貯蔵部9に貯蔵されているヘキサメチルジシロキサンのガスを、また切り替えバルブ16を切り替えることにより原料ガス貯蔵部10に貯蔵されている酸素ガスを、下記のようにコントロールしながらガス導入管7から成膜チャンバー17内に供給し、酸化珪素薄膜の成膜を行った。
マスフローコントローラー11(MFC11)、マスフローコントローラー12(MFC12)、マスフローコントローラー22(MFC22)の流量を表1に示すようにそれぞれ設定すると共に、切り替えバルブ15を切り替えることにより原料ガス貯蔵部9に貯蔵されているヘキサメチルジシロキサンのガスを、また切り替えバルブ16を切り替えることにより原料ガス貯蔵部10に貯蔵されている酸素ガスを、下記のようにコントロール
しながらガス導入管7から成膜チャンバー17内に供給し、酸化珪素薄膜の成膜を行った。
参考例と同様の成膜装置を用い、マスフローコントローラー12(MFC12)とマスフローコントローラー22(MFC22)並びに各切り替えバルブ15、16は使用せず、マスフローコントローラー11(MFC11)とマスフローコントローラー21(MFC21)のみを使用し、マスフローコントローラー11(MFC11)からはヘキサメチルジシロキサンのガスを成膜開始から2秒間は10SCCMで供給した後、さらに3秒間は2SCCMで供給すると共に、それと同時に、マスフローコントローラー21(MFC21)からは酸素ガスを5秒間成膜チャンバー17内に供給しながら、比較例に係る成膜を行った。マスフローコントローラー11(MFC11)における流量の制御は、流れているガス流量を測定し、その測定値を元にフィードバック制御にてマスフローコントローラー11(MFC11)のバルブの開度を調整することにより行った。
2・・・外部電極
3・・・天蓋
4・・・排気口
5・・・底蓋
6・・・容器保持部品
7・・・ガス導入管
8・・・混合ガス吐出口
9、10・・・原料ガス貯蔵部
11、12、21、22・・・マスフローコントローラー
15、16・・・切り替えバルブ
17・・・成膜チャンバー
Claims (4)
- 少なくとも有機シリコーン化合物ガスと酸化力を有するガスを含む混合ガスを用いてガスの配分比率を変化させながらCVD法により容器の表面に酸化珪素薄膜を成膜するための装置であって、
成膜チャンバーと、ガス導入管と、有機シリコーン化合物ガスを定流量で供給するための複数個のマスフローコントローラーと、酸化力を有するガスを定流量で供給するための複数個のマスフローコントローラーとを有し、
かつ複数個のマスフローコントローラーの内の一つから送られてくる定流量の有機シリコーン化合物ガスを、ガス導入管を経由して、成膜チャンバー内に供給できるようにするための第1の切り替えバルブと、複数個のマスフローコントローラーの内の一つから送られてくる定流量の酸化力を有するガスを、ガス導入管を経由して、成膜チャンバー内に供給できるようにするための第2の切り替えバルブが設置され、
酸化力を有するガスを定流量で供給するための複数個のマスフローコントローラーの内、少なくとも、一つは定流量が零であり、もう一つは定流量が零よりも大きく、
成膜チャンバー内に有機シリコーン化合物ガスが供給されてから所定のタイミングで、第2の切り替えバルブにより、酸化力を有するガスを、定流量が零のものから、定流量が零より大きいものに切り替えて、ガス導入管を経由して、成膜チャンバー内に有機シリコーン化合物ガスと酸化力を有するガスを含む混合ガスを供給することを特徴とするCVD法による酸化珪素薄膜の成膜装置。 - 前記所定のタイミングが2秒であることを特徴とする請求項1記載のCVD法による酸化珪素薄膜の成膜装置。
- 少なくとも有機シリコーン化合物ガスと酸化力を有するガスを含む混合ガスを用いてガスの配分比率を変化させながらCVD法により容器の表面に酸化珪素薄膜を成膜するための成膜方法において、
有機シリコーン化合物ガスと酸化力を有するガスのそれぞれを定流量で供給するための複数個のマスフローコントローラーのそれぞれから送られてくるガス流量を個別に設定すると共に、複数個のマスフローコントローラーの内の一つから送られてくる定流量の有機シリコーン化合物ガス及び/または複数個のマスフローコントローラーの内の一つから送られてくる定流量の酸化力を有するガスを切り替えバルブの切り替えによりガス導入管を
経由して成膜チャンバー内に選択して供給することにより、混合ガスの配分比率を変化させながら酸化珪素薄膜を成膜するに際して、
酸化力を有するガスを定流量で供給するための複数個のマスフローコントローラーの内、少なくとも、一つはガス流量を零に設定し、もう一つはガス流量を零よりも大きく設定し、
成膜チャンバー内に有機シリコーン化合物ガスが供給されてから所定のタイミングで、切り替えバルブにより、酸化力を有するガスを、流量が零に設定されたものから、流量が零より大きく設定されたものに切り替えて、ガス導入管を経由して、成膜チャンバー内に有機シリコーン化合物ガスと酸化力を有するガスを含む混合ガスを供給するようにしたことを特徴とするCVD法による酸化珪素薄膜の成膜方法。 - 前記所定のタイミングが2秒であることを特徴とする請求項3記載のCVD法による酸化珪素薄膜の成膜方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004302535A JP4595484B2 (ja) | 2004-10-18 | 2004-10-18 | Cvd法による酸化珪素薄膜の成膜装置及び成膜方法 |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006111949A JP2006111949A (ja) | 2006-04-27 |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP4595484B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06275544A (ja) * | 1993-03-19 | 1994-09-30 | Agency Of Ind Science & Technol | 半導体加工装置 |
JP2003158122A (ja) * | 2001-09-04 | 2003-05-30 | Japan Pionics Co Ltd | 気化供給方法 |
JP2004124134A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-04-22 | Toppan Printing Co Ltd | 薄膜成膜方法および薄膜成膜装置 |
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2004
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JP2004124134A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-04-22 | Toppan Printing Co Ltd | 薄膜成膜方法および薄膜成膜装置 |
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