JP4581055B2 - 炭素膜の製造装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
11 不活性ガス供給手段
12 線材
13 通電加熱用電源
14 アルコール供給手段
15 アルコール
Claims (4)
- チャンバーと、前記チャンバー内に設けられ通電加熱用電源が接続された線材と、前記チャンバーに設けられ前記線材の表面にアルコールを噴霧するアルコール供給手段とを備えた炭素膜の製造装置であって、
前記線材を通電加熱し、前記アルコール供給手段にて前記線材の表面にアルコールを噴霧し、前記線材の表面に炭素膜を成膜することを特徴とする炭素膜の製造装置。 - 前記アルコールが、メタノールまたはエタノールであることを特徴とする請求項1に記載の炭素膜の製造装置。
- 前記炭素膜が、カーボンナノウォール、カーボンナノチューブまたはカーボンナノファイバーであることを特徴とする請求項1に記載の炭素膜の製造装置。
- チャンバー内に線材を配置して当該線材に通電加熱用電源を接続する工程と、前記チャンバー内に不活性ガスを供給する工程と、前記通電加熱用電源にて前記線材を通電加熱する工程と、前記チャンバーに設けられたアルコール供給手段にて前記線材の表面にアルコールを噴霧して前記線材の表面に炭素膜を成膜する工程とを含む炭素膜の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005350302A JP2005350302A (ja) | 2005-12-22 |
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JP (1) | JP4581055B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4412411B2 (ja) * | 2007-08-10 | 2010-02-10 | 三菱電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP2013159533A (ja) * | 2012-02-07 | 2013-08-19 | Ihi Corp | カーボンナノウォールの剥離方法及びカーボンナノウォールの回収方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS5617915A (en) * | 1979-07-24 | 1981-02-20 | Inoue Japax Res Inc | Graphite composite material |
JP2778434B2 (ja) * | 1993-11-30 | 1998-07-23 | 昭和電工株式会社 | 気相法炭素繊維の製造方法 |
JP2003012312A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-01-15 | Japan Science & Technology Corp | 有機液体による高配向整列カーボンナノチューブの合成方法及びその合成装置 |
JP2003292315A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-15 | Inst Of Physical & Chemical Res | カーボンナノチューブの製造方法 |
-
2004
- 2004-06-10 JP JP2004172661A patent/JP4581055B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5617915A (en) * | 1979-07-24 | 1981-02-20 | Inoue Japax Res Inc | Graphite composite material |
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JP2003292315A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-15 | Inst Of Physical & Chemical Res | カーボンナノチューブの製造方法 |
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JP2005350302A (ja) | 2005-12-22 |
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