JP2001210448A - コロナ放電器およびそれを用いたガス処理装置ならびにオゾン発生装置。 - Google Patents
コロナ放電器およびそれを用いたガス処理装置ならびにオゾン発生装置。Info
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- JP2001210448A JP2001210448A JP2000013798A JP2000013798A JP2001210448A JP 2001210448 A JP2001210448 A JP 2001210448A JP 2000013798 A JP2000013798 A JP 2000013798A JP 2000013798 A JP2000013798 A JP 2000013798A JP 2001210448 A JP2001210448 A JP 2001210448A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】円筒外面に放電電極を形成したコロナ放電器の
冷却効果を高めると同時に、これを組み込んだガス処理
装置ならびにオゾン発生装置の構造を簡易なものとし、
コロナ放電器の脱着ならびに放電部の清掃を容易とす
る。 【解決手段】外表面に放電電極を形成した円筒状の沿面
放電型コロナ放電器の体内面と気密に熱接触させたヒー
トパイプを用いて沿面放電で発生する熱を除去すること
で冷却効果を高めると同時に、これを組み込んだガス処
理装置ならびにオゾン発生装置の構造を簡単とする。
冷却効果を高めると同時に、これを組み込んだガス処理
装置ならびにオゾン発生装置の構造を簡易なものとし、
コロナ放電器の脱着ならびに放電部の清掃を容易とす
る。 【解決手段】外表面に放電電極を形成した円筒状の沿面
放電型コロナ放電器の体内面と気密に熱接触させたヒー
トパイプを用いて沿面放電で発生する熱を除去すること
で冷却効果を高めると同時に、これを組み込んだガス処
理装置ならびにオゾン発生装置の構造を簡単とする。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、脱臭装置などのガ
ス処理装置に使用するコロナ放電器に関するものであ
る。さらには、コロナ放電器を用いたオゾンガス発生装
置やオゾン水製造装置に関するものである。特に放電部
がパイプの外表面に形成されている沿面放電型コロナ放
電器の冷却方法の改良に関するものである。
ス処理装置に使用するコロナ放電器に関するものであ
る。さらには、コロナ放電器を用いたオゾンガス発生装
置やオゾン水製造装置に関するものである。特に放電部
がパイプの外表面に形成されている沿面放電型コロナ放
電器の冷却方法の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の円筒状コロナ素子１は、冷却効
率を良好に保つために図１に記載のように内面に放電電
極４を設けて外面に冷却フィン３を設けて冷却風６を送
風して冷却していた。しかし、円筒状誘電体２の内面に
放電電極４を形成するためには、平板状の誘電体上に放
電電極を形成した後に丸めてパイプ状にする必要があ
り、製造工程が複雑になる上に、丸めて製造した円筒精
度が悪かった。さらに、沿面放電のプラズマ化学反応に
より酸や塩が生成され、これらを定期的に清掃して放電
面を清浄に保つ必要があるが、円筒の内径が小さい場合
には円筒内面の放電部の清掃が困難であった。
率を良好に保つために図１に記載のように内面に放電電
極４を設けて外面に冷却フィン３を設けて冷却風６を送
風して冷却していた。しかし、円筒状誘電体２の内面に
放電電極４を形成するためには、平板状の誘電体上に放
電電極を形成した後に丸めてパイプ状にする必要があ
り、製造工程が複雑になる上に、丸めて製造した円筒精
度が悪かった。さらに、沿面放電のプラズマ化学反応に
より酸や塩が生成され、これらを定期的に清掃して放電
面を清浄に保つ必要があるが、円筒の内径が小さい場合
には円筒内面の放電部の清掃が困難であった。
【０００３】この改善策として、図２に示すように円筒
状誘電体２の外面に放電電極４を形成したコロナ放電器
が考えられた。この場合、円筒状の誘電体に直接放電電
極を形成できるので、放電電極の形成工程が簡略化で
き、さらに、放電部が外表面となるため汚れの清掃が容
易となる。しかしながら、外表面に放電電極を形成した
円筒状のコロナ放電器を冷却するためには、外筒９及び
円筒状コロナ放電素子１の両端にパッキン１１を介して
フランジ７を結合し、原料ガスならびに生成されたオゾ
ンのガス通路１５と隔離して冷却水通路１６を形成し、
パイプの内部に冷却水を供給することで冷却する必要が
あり、オゾン発生装置の構造が複雑なものとなってしま
う。
状誘電体２の外面に放電電極４を形成したコロナ放電器
が考えられた。この場合、円筒状の誘電体に直接放電電
極を形成できるので、放電電極の形成工程が簡略化で
き、さらに、放電部が外表面となるため汚れの清掃が容
易となる。しかしながら、外表面に放電電極を形成した
円筒状のコロナ放電器を冷却するためには、外筒９及び
円筒状コロナ放電素子１の両端にパッキン１１を介して
フランジ７を結合し、原料ガスならびに生成されたオゾ
ンのガス通路１５と隔離して冷却水通路１６を形成し、
パイプの内部に冷却水を供給することで冷却する必要が
あり、オゾン発生装置の構造が複雑なものとなってしま
う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、円筒外面に放電電極を形成したコロナ放電器の冷
却効果を高めると同時に、これを組み込んだガス処理装
置ならびにオゾン発生装置の構造を簡易なものとし、コ
ロナ放電器の脱着ならびに放電部の清掃を容易とする点
である。
点は、円筒外面に放電電極を形成したコロナ放電器の冷
却効果を高めると同時に、これを組み込んだガス処理装
置ならびにオゾン発生装置の構造を簡易なものとし、コ
ロナ放電器の脱着ならびに放電部の清掃を容易とする点
である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、円筒状誘電体
の外面に放電電極を設け、該円筒状誘電体の肉厚内もし
くは内面に誘電電極を設け、両電極間に交流高電圧もし
くはパルス高電圧を印加してコロナ放電を発生させる沿
面放電型コロナ放電器において、該誘電体内面と気密に
熱接触させたヒートパイプを用いて沿面放電で発生する
熱を除去することを特徴とする。
の外面に放電電極を設け、該円筒状誘電体の肉厚内もし
くは内面に誘電電極を設け、両電極間に交流高電圧もし
くはパルス高電圧を印加してコロナ放電を発生させる沿
面放電型コロナ放電器において、該誘電体内面と気密に
熱接触させたヒートパイプを用いて沿面放電で発生する
熱を除去することを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】外表面に放電電極を形成した円筒
状の沿面放電型コロナ放電器の冷却効果を高めると同時
に、これを組み込んだガス処理装置ならびにオゾン発生
装置の構造を簡易なものとし、これの脱着ならびに放電
部の清掃が容易に行うという目的を、コロナ放電器の誘
電体内面と気密に熱接触させたヒートパイプを設けるこ
とで実現した。
状の沿面放電型コロナ放電器の冷却効果を高めると同時
に、これを組み込んだガス処理装置ならびにオゾン発生
装置の構造を簡易なものとし、これの脱着ならびに放電
部の清掃が容易に行うという目的を、コロナ放電器の誘
電体内面と気密に熱接触させたヒートパイプを設けるこ
とで実現した。
【０００７】
【実施例】図３ならびに図４に示すが如く、外面に放電
電極４を形成した円筒状の沿面放電型コロナ放電器の内
面にヒートパイプ１９ａを空隙が無いようにサーマルジ
ョイント３３等を用いて熱接触させたコロナ放電器を構
成する。
電極４を形成した円筒状の沿面放電型コロナ放電器の内
面にヒートパイプ１９ａを空隙が無いようにサーマルジ
ョイント３３等を用いて熱接触させたコロナ放電器を構
成する。
【０００８】この場合、誘電電極３は円筒状誘電体２の
肉厚内、または誘電体内面に設ける。もしくは、図４に
示すようにヒートパイプ外筒１９ｄは通常金属パイプで
構成されているのでヒートパイプ外筒１９ｄ自体を誘電
電極４とすることも可能である。
肉厚内、または誘電体内面に設ける。もしくは、図４に
示すようにヒートパイプ外筒１９ｄは通常金属パイプで
構成されているのでヒートパイプ外筒１９ｄ自体を誘電
電極４とすることも可能である。
【０００９】外面に形成された放電電極は沿面放電でス
パッタリングを受けて消耗する場合があるため、釉薬、
セラミック、合成樹脂などの保護膜３２を形成し消耗を
防止するのが良い。また、撥水性を有するフッ素樹脂で
被覆すれば、ミスト付着を防止すると同時に沿面放電を
阻害する塩や酸のコロナ放電器放電面への付着が防止で
きる。
パッタリングを受けて消耗する場合があるため、釉薬、
セラミック、合成樹脂などの保護膜３２を形成し消耗を
防止するのが良い。また、撥水性を有するフッ素樹脂で
被覆すれば、ミスト付着を防止すると同時に沿面放電を
阻害する塩や酸のコロナ放電器放電面への付着が防止で
きる。
【００１０】通常、図３の実施例のように円筒状の誘電
体の一端はガラス等の誘電体で封栓２８を施し円筒の内
部と気密に保たれる構造が用いられる。その場合、ヒー
トパイプの凝縮部は誘電体の他端から外部に突出し、該
凝縮部を冷却フィン３や図３には図示しないが図４に例
示したヒートシンク３７などの熱交換手段に熱接触させ
る。その結果、円筒状コロナ放電器で発生する熱をヒー
トパイプ蒸発部１９ｂから凝縮部１９ｃにヒートパイプ
で輸送のうえ、凝縮部に設けた熱交換手段である冷却フ
ィン３やヒートシンク３７を風冷もしくは水冷すること
で外部に放熱することが可能となるわけである。
体の一端はガラス等の誘電体で封栓２８を施し円筒の内
部と気密に保たれる構造が用いられる。その場合、ヒー
トパイプの凝縮部は誘電体の他端から外部に突出し、該
凝縮部を冷却フィン３や図３には図示しないが図４に例
示したヒートシンク３７などの熱交換手段に熱接触させ
る。その結果、円筒状コロナ放電器で発生する熱をヒー
トパイプ蒸発部１９ｂから凝縮部１９ｃにヒートパイプ
で輸送のうえ、凝縮部に設けた熱交換手段である冷却フ
ィン３やヒートシンク３７を風冷もしくは水冷すること
で外部に放熱することが可能となるわけである。
【００１１】図４の実施例では両端が開放された円筒状
の沿面放電型コロナ放電器を用いて、ヒートパイプを貫
通させてその中央部にコロナ放電器の放電電極４を設け
ることでヒートパイプ蒸発部１９ｂを形成し、ヒートパ
イプの凝縮部１９ｃを両端とすることも可能である。本
実施例では凝縮部に風冷の冷却フィン３と水冷のヒート
シンク３７をそれぞれ取り付けているが、いかなる熱交
換手段を用いても良い。また、ヒートパイプのいずれか
一方側のみに熱交換手段を用いても良い。
の沿面放電型コロナ放電器を用いて、ヒートパイプを貫
通させてその中央部にコロナ放電器の放電電極４を設け
ることでヒートパイプ蒸発部１９ｂを形成し、ヒートパ
イプの凝縮部１９ｃを両端とすることも可能である。本
実施例では凝縮部に風冷の冷却フィン３と水冷のヒート
シンク３７をそれぞれ取り付けているが、いかなる熱交
換手段を用いても良い。また、ヒートパイプのいずれか
一方側のみに熱交換手段を用いても良い。
【００１２】本コロナ放電器を悪臭、ＮＯｘ、ＳＯｘ、
揮発性有機溶剤、フロン、ハロン、ダイオキシン、水銀
蒸気などのガス状汚染物質を含有するガスを処理するガ
ス処理装置ののガス通路に取付けて被処理ガスを沿面放
電に直接晒すことで、ガス状汚染物質を無害な物質に変
換することが可能である。
揮発性有機溶剤、フロン、ハロン、ダイオキシン、水銀
蒸気などのガス状汚染物質を含有するガスを処理するガ
ス処理装置ののガス通路に取付けて被処理ガスを沿面放
電に直接晒すことで、ガス状汚染物質を無害な物質に変
換することが可能である。
【００１３】この場合、図３に示すが如くヒートパイプ
を円筒状誘電体２にサーマルジョイント３３を介して熱
接触させた沿面放電型コロナ放電器の放電部２７をその
余の部分の給電部２２をフランジ２１で仕切り、その放
電部２７では放電電極４のみが保護膜３２を介して露出
し、誘導電極５を円筒状誘電体２の肉厚内または内面に
形成し、放電電極４と誘導電極５の給電部２２を該フラ
ンジ２１の外部に引き出した構造とし、該フランジ２１
で気密にガス処理装置のダクト２９に取り付ける。
を円筒状誘電体２にサーマルジョイント３３を介して熱
接触させた沿面放電型コロナ放電器の放電部２７をその
余の部分の給電部２２をフランジ２１で仕切り、その放
電部２７では放電電極４のみが保護膜３２を介して露出
し、誘導電極５を円筒状誘電体２の肉厚内または内面に
形成し、放電電極４と誘導電極５の給電部２２を該フラ
ンジ２１の外部に引き出した構造とし、該フランジ２１
で気密にガス処理装置のダクト２９に取り付ける。
【００１４】その結果、給電部２２は被処理ガスと分離
され、被処理ガスは該コロナ放電器の放電部と直接接触
することになり、沿面放電で生成されるプラズマの作用
（ラジカル反応、直接の電子射突、紫外線）を受けガス
状汚染物質が無害な物質に変換される。
され、被処理ガスは該コロナ放電器の放電部と直接接触
することになり、沿面放電で生成されるプラズマの作用
（ラジカル反応、直接の電子射突、紫外線）を受けガス
状汚染物質が無害な物質に変換される。
【００１５】沿面放電型コロナ放電器の放電による発熱
は被処理ガスにより冷却されうるが、これによる冷却効
果が不十分な場合、または、被処理ガス温度が高くコロ
ナ放電器を被処理ガス温度より低くする必要がある場
合、もしくは、事故で被処理ガス流れが停止した場合な
どに、該コロナ放電器に取り付けたヒートパイプ１９ａ
で沿面放電による発熱を除去することが可能となり、よ
り効果的な沿面放電を継続すると同時に、事故時のコロ
ナ放電器の過熱による破損を防止することが可能とな
る。
は被処理ガスにより冷却されうるが、これによる冷却効
果が不十分な場合、または、被処理ガス温度が高くコロ
ナ放電器を被処理ガス温度より低くする必要がある場
合、もしくは、事故で被処理ガス流れが停止した場合な
どに、該コロナ放電器に取り付けたヒートパイプ１９ａ
で沿面放電による発熱を除去することが可能となり、よ
り効果的な沿面放電を継続すると同時に、事故時のコロ
ナ放電器の過熱による破損を防止することが可能とな
る。
【００１６】他の実施例として、図４に示すが如く、両
端が開放された円筒状誘電体２の内部をヒートパイプ１
９ａが貫通しており、その中央部にコロナ放電器の放電
部２７を設置することでヒートパイプ蒸発部１９ｂを形
成し、ヒートパイプの両端に冷却フィン３やヒートシン
ク３７等の熱交換手段を取り付け、円筒状誘電体をＯ−
リング３５と押さえフランジ３４を用いて被処理ガスダ
クト内に放電部のみを気密に保持することも可能であ
る。それによる効果は図３の実施例と同様である。
端が開放された円筒状誘電体２の内部をヒートパイプ１
９ａが貫通しており、その中央部にコロナ放電器の放電
部２７を設置することでヒートパイプ蒸発部１９ｂを形
成し、ヒートパイプの両端に冷却フィン３やヒートシン
ク３７等の熱交換手段を取り付け、円筒状誘電体をＯ−
リング３５と押さえフランジ３４を用いて被処理ガスダ
クト内に放電部のみを気密に保持することも可能であ
る。それによる効果は図３の実施例と同様である。
【００１７】図５の実施例では被処理ガスの通路と分岐
した分岐配管４１にエタン、メタン、プロパン、アセチ
レンなどの炭化水素など沿面放電でＯＨラジカルなど酸
化性ラジカルを生成するガス、窒素やアンモニアや尿素
含有ガスなどの還元性ラジカルを生成するガス、もしく
は空気などの両性のラジカルやオゾンを生成するガスを
供給するガス源４０ａを配管接続し、該分岐配管４１に
図３もしくは図４の構造の円筒状沿面放電型コロナ放電
器を気密に取り付けた上、沿面放電でラジカルやオゾン
に変換し被処理ガスの通路に噴出させ、被処理ガスをラ
ジカル化学反応させて処理するものである。
した分岐配管４１にエタン、メタン、プロパン、アセチ
レンなどの炭化水素など沿面放電でＯＨラジカルなど酸
化性ラジカルを生成するガス、窒素やアンモニアや尿素
含有ガスなどの還元性ラジカルを生成するガス、もしく
は空気などの両性のラジカルやオゾンを生成するガスを
供給するガス源４０ａを配管接続し、該分岐配管４１に
図３もしくは図４の構造の円筒状沿面放電型コロナ放電
器を気密に取り付けた上、沿面放電でラジカルやオゾン
に変換し被処理ガスの通路に噴出させ、被処理ガスをラ
ジカル化学反応させて処理するものである。
【００１８】さらに、図５に示すようにラジカル反応部
４５の後段に触媒層、光触媒層、活性炭層、ゼオライト
層、シリカゲル層、添着炭層、薬剤坦持吸着層のうち少
なくとも１つのガス滞留層４６を設けることで、被処理
ガス中のガス状汚染物質とラジカルやオゾンとの反応促
進を行うことが可能となる。勿論、図３、図４のガス処
理装置の後段側にガス接触層を設けて反応促進を計るこ
とも可能である。
４５の後段に触媒層、光触媒層、活性炭層、ゼオライト
層、シリカゲル層、添着炭層、薬剤坦持吸着層のうち少
なくとも１つのガス滞留層４６を設けることで、被処理
ガス中のガス状汚染物質とラジカルやオゾンとの反応促
進を行うことが可能となる。勿論、図３、図４のガス処
理装置の後段側にガス接触層を設けて反応促進を計るこ
とも可能である。
【００１９】コロナ放電器の放電面は、被処理ガス中の
ガス状汚染物質やラジカル生成用ガス源により酸や塩、
もしくはポリマーが生成され汚染される場合がある。そ
の場合、沿面放電が阻害され、ガス処理性能劣化が発生
する。そこで、図３、図４に示すように生成された酸や
塩、ポリマーなどを洗浄液を放出するノズル２５から
水、湯などの洗浄液をコロナ放電器の沿面放面に噴出さ
せて除去すると良い。
ガス状汚染物質やラジカル生成用ガス源により酸や塩、
もしくはポリマーが生成され汚染される場合がある。そ
の場合、沿面放電が阻害され、ガス処理性能劣化が発生
する。そこで、図３、図４に示すように生成された酸や
塩、ポリマーなどを洗浄液を放出するノズル２５から
水、湯などの洗浄液をコロナ放電器の沿面放面に噴出さ
せて除去すると良い。
【００２０】また、他の実施例として、図６に示すよう
にヒートパイプを円筒状誘電体２にサーマルジョイント
３３を介して熱接触させた沿面放電型コロナ放電器の放
電部２７をその余の部分の給電部２２をフランジ２１で
仕切り、放電部２７を取り囲むようにガス入口４８とガ
ス出口５０を有するハウジング４９を設け、該コロナ放
電器を該ハウジング４９に該フランジ２１を介して気密
に取り付けた上で、オゾン生成用原料ガス例えば空気や
酸素をガス入口４８から導入して沿面放電の作用でオゾ
ンの生成を行うものである。
にヒートパイプを円筒状誘電体２にサーマルジョイント
３３を介して熱接触させた沿面放電型コロナ放電器の放
電部２７をその余の部分の給電部２２をフランジ２１で
仕切り、放電部２７を取り囲むようにガス入口４８とガ
ス出口５０を有するハウジング４９を設け、該コロナ放
電器を該ハウジング４９に該フランジ２１を介して気密
に取り付けた上で、オゾン生成用原料ガス例えば空気や
酸素をガス入口４８から導入して沿面放電の作用でオゾ
ンの生成を行うものである。
【００２１】この場合、ヒートパイプの種類ならびにヒ
ートパイプ凝縮部を冷却する冷媒ならびに温度を適当に
選択することでより経済的なオゾン生成を行うことが可
能となる。すなわち、オゾンは低温ほど生成効率が上が
るが−１１２℃で液化してしまうので直接液体窒素など
で冷却するとオゾンが固化又は液化してしまう恐れがあ
る。ヒートパイプを冷熱源とコロナ放電素子の間に介在
させることでヒートパイプの熱輸送量と放電部の発熱量
を適当に選択することができる結果、オゾン生成に望ま
しい温度とすることが可能となる。
ートパイプ凝縮部を冷却する冷媒ならびに温度を適当に
選択することでより経済的なオゾン生成を行うことが可
能となる。すなわち、オゾンは低温ほど生成効率が上が
るが−１１２℃で液化してしまうので直接液体窒素など
で冷却するとオゾンが固化又は液化してしまう恐れがあ
る。ヒートパイプを冷熱源とコロナ放電素子の間に介在
させることでヒートパイプの熱輸送量と放電部の発熱量
を適当に選択することができる結果、オゾン生成に望ま
しい温度とすることが可能となる。
【００２２】勿論、常温付近の温度に保つにもヒートパ
イプを介在させることで、ヒートパイプの熱輸送量に見
合った冷却が可能となる。
イプを介在させることで、ヒートパイプの熱輸送量に見
合った冷却が可能となる。
【００２３】図６の実施例では、円筒型のコロナ放電器
をそのフランジ部でハウジングから取り外すと沿面放電
部が露出し適宜清掃が可能となるため、従来の例えば内
径２０ｍｍ以下の円筒型のコロナ放電器で沿面放電部が
内面に形成されているコロナ放電器に比較してはるかに
清掃が容易となる。
をそのフランジ部でハウジングから取り外すと沿面放電
部が露出し適宜清掃が可能となるため、従来の例えば内
径２０ｍｍ以下の円筒型のコロナ放電器で沿面放電部が
内面に形成されているコロナ放電器に比較してはるかに
清掃が容易となる。
【００２４】図示はしないが、図４に示す構造の円筒型
のコロナ放電器を用いても図６と同様のオゾン発生装置
を構成することができる。
のコロナ放電器を用いても図６と同様のオゾン発生装置
を構成することができる。
【００２５】次に、これらのオゾン発生装置を図６に示
すように該ガス出口５０にガスパイプ５１を接続のうえ
流量調整バルブ５２及び／又は逆止弁５３を介してイジ
ェクター５７ａのガス吸引孔５８に接続するとともに、
該イジェクターの入口５７ｂに水道栓もしくは水を加圧
するためのポンプ５４を接続して、加圧された水を該イ
ジェクターに供給し、水がイジェクターを通過する際に
生じる負圧で該オゾンガス発生装置で生成されたオゾン
ガスを吸引し水と混合されることでオゾン水６１を吐出
口６０より得ることができる。この場合、逆止弁に直列
に電磁弁（図示はしない）を接続し、フロースイッチ５
５からの信号で水が流れていることを確認した上、電磁
弁を開いてオゾンガス発生装置からのオゾンガス供給を
開始することで、水がオゾンガス発生装置に逆流するこ
とを確実に防止できる。さらに、イジェクターの出口５
７ｃにスタティックミキサーや整流器、または単に直管
などの気液混合器５９を接続してオゾンガスと水との混
合効率をより良くすることもできる。
すように該ガス出口５０にガスパイプ５１を接続のうえ
流量調整バルブ５２及び／又は逆止弁５３を介してイジ
ェクター５７ａのガス吸引孔５８に接続するとともに、
該イジェクターの入口５７ｂに水道栓もしくは水を加圧
するためのポンプ５４を接続して、加圧された水を該イ
ジェクターに供給し、水がイジェクターを通過する際に
生じる負圧で該オゾンガス発生装置で生成されたオゾン
ガスを吸引し水と混合されることでオゾン水６１を吐出
口６０より得ることができる。この場合、逆止弁に直列
に電磁弁（図示はしない）を接続し、フロースイッチ５
５からの信号で水が流れていることを確認した上、電磁
弁を開いてオゾンガス発生装置からのオゾンガス供給を
開始することで、水がオゾンガス発生装置に逆流するこ
とを確実に防止できる。さらに、イジェクターの出口５
７ｃにスタティックミキサーや整流器、または単に直管
などの気液混合器５９を接続してオゾンガスと水との混
合効率をより良くすることもできる。
【００２６】また、オゾン発生装置を図６に示すように
該ガス出口５０にガスパイプ５１を接続のうえ流量調整
バルブ５２及び／又は逆止弁５３を介してイジェクター
５７ａのガス吸引孔５８に接続するとともに、該イジェ
クターの入口５７ｂにコンプレッサーや圧力空気配管な
どの加圧空気源５４に接続して出口にオゾンガス散布用
ノズル６０をその末端に設けたパイプ５９を接続し、希
釈したオゾンガスを無人の食品工場、病室などに放出
し、一定時間オゾンガス濃度を例えば０．１ないし数ｐ
ｐｍに高め殺菌や脱臭などを目的としたオゾン薫蒸を行
うことができる。
該ガス出口５０にガスパイプ５１を接続のうえ流量調整
バルブ５２及び／又は逆止弁５３を介してイジェクター
５７ａのガス吸引孔５８に接続するとともに、該イジェ
クターの入口５７ｂにコンプレッサーや圧力空気配管な
どの加圧空気源５４に接続して出口にオゾンガス散布用
ノズル６０をその末端に設けたパイプ５９を接続し、希
釈したオゾンガスを無人の食品工場、病室などに放出
し、一定時間オゾンガス濃度を例えば０．１ないし数ｐ
ｐｍに高め殺菌や脱臭などを目的としたオゾン薫蒸を行
うことができる。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明のコロナ放電
器は円筒状誘電体の内面にヒートパイプ蒸発部を気密に
熱接触させることで効果的な冷却を行うことが可能とな
った。さらに、本コロナ放電器をガス処理装置やオゾン
発生装置として用いた場合、放電面が円筒状の誘電体外
面にあるため、清掃が容易となる。
器は円筒状誘電体の内面にヒートパイプ蒸発部を気密に
熱接触させることで効果的な冷却を行うことが可能とな
った。さらに、本コロナ放電器をガス処理装置やオゾン
発生装置として用いた場合、放電面が円筒状の誘電体外
面にあるため、清掃が容易となる。
【００２８】特に、ガス処理装置として用いた場合には
洗浄液放出ノズルを設け、沿面放電のプラズマ反応で沿
面放電面に生成される酸や塩などの汚れを自動的に洗浄
液を噴出し清掃することも可能である。
洗浄液放出ノズルを設け、沿面放電のプラズマ反応で沿
面放電面に生成される酸や塩などの汚れを自動的に洗浄
液を噴出し清掃することも可能である。
【図１】従来の円筒型コロナ放電素子の構造と冷却方法
の説明図である。
の説明図である。
【図２】従来の円筒型コロナ放電素子の他の構造と冷却
方法の説明図である。
方法の説明図である。
【図３】本発明によるコロナ放電素子及びそれを用いた
ガス処理装置の実施方法を示した説明図である。（実施
例１）
ガス処理装置の実施方法を示した説明図である。（実施
例１）
【図４】本発明によるコロナ放電素子及びそれを用いた
ガス処理装置の実施方法を示した説明図である。（実施
例例２）
ガス処理装置の実施方法を示した説明図である。（実施
例例２）
【図５】本発明によるコロナ放電素子及びそれを用いた
ガス処理装置の実施方法を示した説明図である。（実施
例３）
ガス処理装置の実施方法を示した説明図である。（実施
例３）
【図６】本発明によるコロナ放電素子及びそれを用いた
オゾン発生装置の実施方法を示した説明図である。（実
施例４）
オゾン発生装置の実施方法を示した説明図である。（実
施例４）
８ 留めネジ １０ 原料ガス入口 １２ 冷却水入口 １３ 冷却水出口 １４ オゾン含有ガス出口 １７ 高周波高圧電源またはパルス電源 １８ 配線 １９ｅ ウイック ２０ ダクトフランジ ２３ パッキン ２４ 洗浄液 ２６ ガス通路 ３０ 洗浄液パイプ ３１ 洗浄液供給源 ３８ 冷却水通路 ３９ 水冷 ４０ｂ ガス配管 ４３ フランジ ４４ オゾンやラジカル流 ４７ 清浄ガス出口 ５４ 水道栓またはポンプ／加圧空気源 ５６ 接続配管 ５９ 気液混合器／パイプ ６０ 吐出口／ノズル ６１ オゾン水／希釈オゾンガス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ０１Ｂ 13/11 Ｃ０１Ｂ 13/11 Ｄ Ｍ Ｈ０１Ｔ 23/00 Ｈ０１Ｔ 23/00
Claims (13)
- 【請求項１】 円筒状誘電体の外面にコロナ放電電極を
設け、該円筒状誘電体の肉厚内もしくは内面に誘電電極
を設け、両電極間に交流高電圧もしくはパルス高電圧を
印加してコロナ放電を発生させる沿面放電型コロナ放電
器において、該誘電体内面に挿入したヒートパイプで沿
面放電によって発生する熱を除去することを特徴とする
コロナ放電器。 - 【請求項２】 誘電体内面に挿入した熱接触させたヒー
トパイプが誘電電極を兼ねることを特徴とする請求項１
に記載のコロナ放電器。 - 【請求項３】 円筒状誘電体の外表面に形成された放電
電極が釉薬、セラミック、合成樹脂などの保護膜で被覆
されていることを特徴とする特徴とする請求項１ならび
に２に記載のコロナ放電器。 - 【請求項４】 円筒状誘電体の一端が気密にシールさ
れ、他端よりヒートパイプ凝縮部をコロナ放電器外部に
引き出すことを特徴とする請求項１から３に記載のコロ
ナ放電器。 - 【請求項５】 ヒートパイプ凝縮部に冷却フィンやヒー
トシンクなどの外部との熱交換手段を設けることを特徴
とする請求項１から４に記載のコロナ放電器。 - 【請求項６】 請求項１から５記載のコロナ放電器を、
被処理ガスのガス通路に取り付けて被処理ガスを沿面放
電に直接晒すことを特徴とするガス処理装置。 - 【請求項７】 請求項１から５記載のコロナ放電器を、
被処理ガスのガス通路の分岐配管に取付け、該分岐配管
にラジカル発生源となるガス源を接続し、沿面放電でラ
ジカルを生成のうえ被処理ガスのガス通路に吹き込むこ
とにより生成ラジカルを被処理ガスに作用させることを
特徴とするガス処理装置。 - 【請求項８】 請求項６ならびに７に記載のガス処理装
置において、触媒層、光触媒層、活性炭層、ゼオライト
層、シリカゲル層、添着炭層、薬剤坦持吸着層のうち少
なくとも１つのガス接触層を設けることを特徴とするガ
ス処理装置。 - 【請求項９】 請求項５から８に記載のガス処理装置に
おいて、該コロナ放電器に向けた洗浄液放出ノズルを設
けることを特徴とするガス処理装置。 - 【請求項１０】 請求項１から５に記載のコロナ放電器
の放電部を取り囲むように空気もしくは酸素のガス入口
と沿面放電により生成されたオゾン含有ガス出口を有す
るハウジングを設け、該コロナ放電器を該ハウジングに
気密に取り付けたことを特徴とするオゾン発生装置。 - 【請求項１１】 請求項１０に記載のオゾン発生装置に
おいて、ガス出口を流量調整バルブ及び／又は逆止弁を
介してイジェクターの吸引孔に接続することを特徴とす
るオゾン発生装置。 - 【請求項１２】 請求項１１に記載のオゾン発生器にお
いて、該イジェクターの入口を水道栓、もしくは水ポン
プに接続するとともに、出口に気液混合パイプを接続す
ることを特徴とするオゾン発生装置。 - 【請求項１３】 請求項１０に記載のオゾン発生器にお
いて、該イジェクターの入口をコンプレッサーや圧力空
気配管などの加圧空気源に接続するとともに、出口にオ
ゾンガス散布用ノズルを有するパイプを接続することを
特徴とするオゾン発生装置。
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