JP4570194B2 - 半導体メモリ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体メモリ、特に試験用の回路を組み込んだ半導体メモリに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体メモリの機能や性能をチェックする場合、外部の試験装置からアドレス信号と試験データを与えて逐次記憶領域にデータを書き込み、全アドレスに試験データを書き込んだ後、逐次読み出して正しく読み書きができたか否かを判定している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の半導体メモリでは、次のような課題があった。
即ち、大きなアドレス空間を有する大容量の半導体メモリでは、全アドレスを順次指定して試験データを書き込むのに長時間が必要となり、試験時間の短縮が困難となっていた。
本発明は、試験時間を短縮するための回路を組み込むことにより前記従来技術が持っていた課題を解決し、短時間で試験を行うことができる半導体メモリを提供するものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明の内の第1の発明の半導体メモリは、アドレス信号を解読してワード線選択用の選択信号を出力するアドレスデコーダと、平行に配置され、試験モードまたは通常動作モードを指定するモード信号によって該通常動作モードが指定されたとき、前記アドレスデコーダに接続されて前記選択信号が印加され、該モード信号によって該試験モードが指定されたとき、前記複数のワード線から切り離される複数のワード線と、前記ワード線に交差して配置された複数のビット線と、前記ワード線と前記ビット線の各交差箇所に設けられて該ワード線に印加される前記選択信号で選択されたときに該ビット線に接続されて記憶データの書き込み及び読み出しを行う複数のメモリセル(以下、「MC」という)とを備えている。
【0005】
更に、第1の発明の半導体メモリは、前記各ワード線間にそれぞれ接続され、前記試験モードが指定されたときに導通して前記各ワード線間を電気的に接続し、前記パターン信号に従って該ワード線の内の奇数または偶数番目のワード線に前記選択信号を同時に印加する複数の第1のスイッチ手段と、前記各ビット線間にそれぞれ接続され、前記試験モードが指定されたときに導通して前記各ビット線間を電気的に接続し、前記パターン信号に従って該ビット線の内の奇数番目と偶数番目のビット線にそれぞれ相補的なデータ信号を印加する複数の第2のスイッチ手段とを備えている。
【0006】
第2の発明の半導体メモリでは、第1の発明における各第1のスイッチ手段を、前記ワード線の論理レベルを反転して出力する第1のインバータと、前記試験モードが指定されたときに前記第1のインバータの出力信号を隣接する前記ワード線に印加する第1のトランスファーゲート(以下、「TG」という)とを有する構成にしている。また、各第2のスイッチ手段を、前記ビット線の論理レベルを反転して出力する第2のインバータと、前記試験モードが指定されたときに前記第2のインバータの出力信号を隣接する前記ビット線に印加する第2のTGとを有する構成にしている。
【0007】
第1及び第2の発明によれば、以上のように半導体メモリを構成したので、次のような作用が行われる。
モード信号によって試験モードが指定されると、例えば第1のスイッチ手段のTGによってすべてのワード線がインバータを介して順次接続される。これにより、パターン信号を“L”または“H”に切り替えることにより、偶数番目または奇数番目のワード線に同時に選択信号が印加される。一方、第2のスイッチ手段においても、TGによってビット線がインバータを介して順次接続される。これにより、パターン信号に従って、奇数番目と偶数番目のビット線にそれぞれ相補的なデータ信号“L”及び“H”が印加される。従って、2回の書き込み動作によって、すべてのメモリセルにチェッカーフラグ・パターンを書き込むことができる。
【0008】
第3の発明の半導体メモリは、第1の発明と同様のアドレスデコーダ、複数のワード線、複数のビット線、及び複数のMCと、前記各ワード線間にそれぞれ接続され、前記試験モードが指定されたときに導通して前記各ワード線間を電気的に接続し、前記複数のワード線のすべてに前記選択信号を同時に印加する複数の第1のスイッチ手段と、前記各ビット線間にそれぞれ接続され、前記試験モードが指定されたときに導通して前記各ビット線間を電気的に接続し、パターン信号に従って前記複数のビット線のすべてに同一のデータ信号を同時に印加する複数の第2のスイッチ手段とを備えている。
【0009】
第4の発明の半導体メモリでは、第3の発明における各第1のスイッチ手段を、前記試験モードが指定されたときにそれぞれ隣接する前記ワード線同士を接続して該試験モードの信号を各ワード線に印加する第1のTGで構成している。また、各第2のスイッチ手段を、前記試験モードが指定されたときにそれぞれ隣接する前記ビット線同士を接続して前記パターン信号を各ビット線に印加する第2のTGで構成している。
【0010】
第3及び第4の発明によれば、次のような作用が行われる。
モード信号によって試験モードが指定されると、例えば第1のスイッチ手段のTGによってすべてのワード線が接続されて選択信号が印加される。一方、第2のスイッチ手段においても、TGによってすべてのビット線が接続される。これにより、パターン信号に従って、すべてのメモリセルにデータ信号“L”または“H”が印加される。従って、1回の書き込み動作によって、すべてのメモリセルに同一データを書き込むことができる。
【0011】
第5の発明の半導体メモリは、第1〜第4の発明において、ワード線に交差するように複数のビット線の両側及び中央部に配置された第1、第2及び第3のダミービット線と、前記ワード線と前記第1、第2及び第3のダミービット線の各交差箇所に設けられて該ワード線に印加される前記選択信号で選択されたときに該ビット線に接続される複数のダミーMCとを有する第1、第2及び第3のダミーセルアレイ(以下、「DCA」という)を備えている。
【0012】
第5の発明によれば、次のような作用が行われる。
電源を投入し、第1〜第3のDCAに流れる漏れ電流を測定することにより、このDCAに隣接するメモリセルアレイ(以下、「MCA」という)の漏れ電流を推定することができる。漏れ電流は、MCを構成するトランジスタのゲート長及びゲート幅に関係するので、この漏れ電流のばらつきにより、各位置のMCのばらつきを調べることができる。
【0013】
第6の発明の半導体メモリは、第1〜第4の発明において、試験モードが指定されたときに隣接するワード線の間に接続され、クロック信号に従って該ワード線の状態をシフトして隣接する該ワード線に逐次出力するシフト手段を備えている。
【0014】
第6の発明によれば、次のような作用が行われる。
試験モードが指定されると、シフト手段を介して隣接するワード線同士が接続され、クロック信号に従ってワード線の状態がシフトして隣接するワード線に伝えられる。従って、クロック信号に従って順次出力されるワード線の状態に基づいて、アドレスデコーダやワード線の状態をチェックすることができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態を示す半導体メモリの概略の構成図である。
この半導体メモリは、アドレス信号ADRを解読するアドレスデコーダ1を有しており、このアドレスデコーダ1の出力側に、平行に配置された複数のワード線WLi(但し、i=0〜m)が接続されている。アドレスデコーダ1は、イネーブル端子ENに与えられるモード信号MODが、通常動作モードを示すレベル“L”のときに、アドレス信号ADRで指定された1本のワード線(例えば、WL0)にレベル“H”、その他のワード線に“L”を、それぞれ出力するものである。イネーブル端子ENに、試験モードを指定する“H”が与えられたときには、アドレスデコーダ1の出力側は、すべてのワード線WLiから切り離されるようになっている。
【0016】
ワード線WLiに直交して、相補的なビット線BLj,/BLj(但、j=0〜n、また、「/」は反転を表す)で構成される複数のビット線対が配置されている。ワード線WLiとビット線対BLj,/BLjの各交差箇所には、MC2i,jが設けられている。MC2i,jは、フリップフロップ(以下、「FF」という)とスイッチ用のトランジスタで構成され、電源が投入されている間は記憶されたデータが消失することのないスタティック・メモリである。MC2i,jは、ワード線WLiに“H”の選択信号が与えられたときに、スイッチ用のトランジスタが導通し、FFがビット線対BLj,/BLjに接続されて1ビットのデータの書き込み、または読み出しができるようになっている。
【0017】
各ビット線対BLj,/BLjは、それぞれセンスアンプ(以下、「SA」という)3jに接続されている。SA3jは、読み出し時には、ビット線対BLj,/BLjの電位差に基づいて選択されたMC2i,jの記憶内容を読み出してデータ線に出力し、書き込み時には、データ線に与えられたデータに従ってビット線対BLj,/BLjに書き込み用の相補的な電圧を出力するものである。但し、この図では、読み/書きを制御する読み書き制御信号は省略している。
【0018】
更に、この半導体メモリは、各ワード線WLiに試験用の選択信号を与えるための複数の第1のスイッチ手段(例えば、スイッチ回路、以下、「SW」という)10iを備えている。SW100の入力側には、外部からパターン信号PTNが与えられるようになっており、このSW100の出力側がワード線WL0に接続されている。また、ワード線WL0には、SW101の入力が接続され、このSW101の出力側に、ワード線WL1に接続されている。更に、隣接するワード線SWi,SWi+1間が、SW10i+1を介して接続されるようになっている。
【0019】
各SW10iは同一構成であり、例えばSW100は、入力側のTG110、インバータ120、及び出力側のTG130が直列に接続された構成となっている。TG110,130は、モード信号MODによって導通制御され、このモード信号MODが試験モードを示す“H”のときにオンとなり、通常動作モードを示す“L”のときにオフとなるように設定されている。
【0020】
同様に、この半導体メモリは、各ビット線/BLjに試験用の書き込みデータを与えるための複数の第2のスイッチ手段(例えば、SW)20jを備えている。SW200の入力側には、外部からパターン信号PTNが与えられるようになっており、このSW200の出力側がビット線/BL0に接続されている。また、ビット線/BL0には、SW201の入力側が接続され、このSW201の出力側に、ビット線/BL1が接続されている。更に、隣接するビット線/BLj,/BLj+1間が、SW20j+1を介して接続されるようになっている。
【0021】
各SW20iは同一構成であり、例えばSW200は、入力側のTG210、インバータ220、及び出力側のTG230が直列に接続された構成となっている。TG210,230は、モード信号MODによって、TG110,130と同様に導通制御されるように設定されている。
【0022】
次に、動作を説明する。
まず、モード信号MODを“H”に設定して試験モードとし、パターン信号PTNを“L”に設定する。モード信号MODが“H”に設定されたことにより、アドレスデコーダ1が各ワード線WLiから切り離されると共に、各SW10i,20j内のTGがオンとなる。これにより、ワード線WL0を含む偶数番目のワード線WLに、“H”の選択信号が印加される。また、ビット線/BL0を含む偶数番目のビット線/BLに“H”のデータ信号が、奇数番目のビット線/BLに“L”のデータ信号が、それぞれ印加される。この状態で、図示しない読み書き制御信号によって書き込みを指定すると、すべての偶数番地のMC2i,0,2i,1,2i,2,…に、それぞれ“0”,“1”,“0”,…のデータが一斉に書き込まれる。
【0023】
次に、モード信号MODを“H”にしたまま、パターン信号PTNを“H”に設定する。これにより、奇数番目のワード線WLに、“H”の選択信号が印加される。また、ビット線/BL0を含む偶数番目のビット線/BLに“L”のデータ信号が、奇数番目のビット線/BLに“H”のデータ信号が、それぞれ印加される。この状態で、読み書き制御信号によって書き込みを指定すると、すべての奇数番地のMC2i,0,2i,1,2i,2,…に、それぞれ“1”,“0”,“1”,…のデータが一斉に書き込まれる。
【0024】
以上の2回の書き込み動作により、すべてのMC2i,jに、チェッカーフラグ・パターンのデータ、即ち、“0”と“1”が市松模様となったデータが書き込まれる。
その後、モード信号MODを“L”にする。これにより、各SW10i,20j内のTGがオフとなり、隣接するワード線WLi及びビット線/BLj同士が切り離される。また、アドレスデコーダ1が各ワード線WLiに接続され、通常動作モードとなる。MC2i,jに書き込まれたチェッカーフラグ・パターンのチェックは、通常動作モードで、アドレス信号ADRによって順次ワード線WLiを選択し、MC2i,jの記憶データを読み出すことによって行われる。
【0025】
以上のように、この第1の実施形態の半導体メモリは、パターン信号PTNによって偶数または奇数番目のワード線WLを一括して選択するためのSW10と、隣接するビット線/BLに交互に“L”,“H”となるデータ信号を与えるためのSW20を有している。これにより、2回の書き込み動作ですべてのMC2i,jにチェッカーフラグ・パターンを書き込むことが可能になり、テスト時間を短縮することができるという利点がある。
【0026】
(第2の実施形態)
図2は、本発明の第2の実施形態を示す半導体メモリの概略の構成図であり、図1中の要素と共通の要素には共通の符号が付されている。
この半導体メモリは、図1の半導体メモリにおけるSW10iに代えてTG15iを設けると共に、SW20jに代えてTG24jを設けている。更に、各ビット線BLjに試験用の書き込みデータ信号を与えるための複数のTG26jを備えている。
【0027】
TG15iは、モード信号MODによって試験モードが設定されたときに、すべてのワード線WLiに“H”の選択信号を与えるためのものである。また、TG24jは、外部から“H”のパターン信号PNT0が与えられたときに、すべてのビット線/BLjに“H”のデータ信号を与えるためのものである。更に、TG26jは、外部から“H”のパターン信号PNT1が与えられたときに、すべてのビット線BLjに“H”のデータ信号を与えるためのものである。その他の構成は、図1と同様である。
【0028】
このような半導体メモリでは、試験モードを設定するとアドレスデコーダ1が切り離され、すべてのワード線WLiに“H”の選択信号が与えられる。次に、パターン信号PNT0を“H”、パターン信号PTN1を“L”に設定し、読み書き制御信号によって書き込みを指定すると、すべての番地のMC2i,jに、“0”のデータが一斉に書き込まれる。また、パターン信号PNT0を“L”、パターン信号PTN1を“H”に設定して書き込みを指定すると、すべての番地のMC2i,jに、“1”のデータが一斉に書き込まれる。
MC2i,jに書き込まれたデータのチェックは、パターン信号PNT0,PTN1を共に“L”に設定し、通常動作モードで、アドレス信号ADRによって順次ワード線WLiを選択し、MC2i,jの記憶データを読み出すことによって行われる。
【0029】
以上のように、この第2の実施形態の半導体メモリは、モード信号MODによってすべてのワード線WLを一括して選択するためのTG15と、すべてのビット線/BLまたはすべてのビット線BLに、“H”となるデータ信号を与えるためのTG24,26を有している。これにより、1回の書き込み動作ですべてのMC2i,jに“0”または“1”のデータを書き込むことが可能になり、テスト時間を短縮することができるという利点がある。
【0030】
(第3の実施形態)
図3は、本発明の第3の実施形態を示す半導体メモリの概略の構成図であり、図1中の要素と共通の要素には共通の符号が付されている。この図3では、同一のビット線対BLj,/BLjに共通に接続されたMC20,j〜2m,jを、MCA30jとして表示している。
この半導体メモリは、MCA300,30nにそれぞれ隣接してDCA401,403を設けると共に、MCA300〜30nの丁度中間に、DCA402を設けている。
【0031】
DCA401〜403は、各MCA30jと同様に、ワード線WLiに直交して配置されたダミービット線対と、これらの各交差箇所に設けられた複数のダミーMCとを有している。但し、ダミービット線対にはSAが接続されておらず、また、各ダミーMCに対する電源は、MCA30jとは別に、それぞれ試験端子411〜413から供給するように構成されている。その他の構成は、図1と同様である。
【0032】
このような半導体メモリでは、試験モードにおいて、試験端子401〜403に電源を接続してその電流の値を測定することにより、待機時の漏れ電流をチェックすることができる。漏れ電流の大きさは、ダミーMCを構成するトランジスタのゲート長及びゲート幅に依存する。従って、DCA401〜403の漏れ電流を比較することにより、MCAの中心部及び両端のトランジスタのゲート長及びゲート幅のばらつきを測定すことができる。また、試験モード時及び通常動作モードの動作は、第1の実施形態と同様である。
【0033】
以上のように、この第3の実施形態の半導体メモリは、図1の半導体メモリにDCA401〜403を設けたことにより、第1の実施形態の利点に加え、各MCのばらつきが検出できるので不良解析が容易になるという利点がある。
【0034】
(第4の実施形態)
図4(a),(b)は、本発明の第4の実施形態を示す半導体メモリの概略の構成図であり、同図(a)は全体構成を示す図、及び同図(b)は同図(a)中のFF50iの回路を示す図である。図4(a)において、図1中の要素と共通の要素には共通の符号が付されている。
この半導体メモリは、隣接する2つのワード線WLi−1,WLiの間に、シフト手段(例えば、FF)50iを設けると共に、ワード線WLmの状態を外部から監視するための試験端子60が設けられている。その他の構成は、図1と同様である。
【0035】
FF50iは、図4(b)に示すように、TG51〜54、及びインバータ55〜59で構成される典型的なD型のFFであり、クロック信号CKの“H”,“L”に同期して、ワード線WLi−1の状態をラッチしてシフトし、ワード線WLiに出力するものである。
【0036】
このような半導体メモリでは、次のような手順により、アドレスデコーダ1及びワード線WLiの良否を判定することができる。
まず、モード信号MODによって通常動作モードを設定し、アドレスデコーダ1にアドレス信号ADRを与えて、特定のワード線(例えば、WL0)を選択する。そして、クロック信号CKによって各ワード線WLiの状態を、各FF50iにラッチする。
【0037】
次に、モード信号MODによって試験モードを設定し、アドレスデコーダ1を各ワード線WLiから切り離す。そして、試験端子60に接続した測定器によってワード線WLmの状態を監視しながら、クロック信号CKによって各FF50iにラッチされた状態を1ビットずつシフトさせる。所定の数だけクロック信号CKを与えた時点で、試験端子60に“H”の選択信号が出力されれば、アドレスデコーダ1及びワード線WLiは正常であると判定される。
なお、その他の試験モード時及び通常動作モードの動作は、第1の実施形態と同様である。
【0038】
以上のように、この第4の実施形態の半導体メモリは、図1の半導体メモリにワード線WLiの状態を順次シフトして出力するためのFF50iを設けている。このため、第1の実施形態の利点に加え、アドレスデコーダ1及びワード線WLiの不良解析が容易になるという利点がある。
【0039】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されず、種々の変形が可能である。この変形例としては、例えば、次の(a)〜(d)のようなものがある。
(a) 図1中の各SW10iにおけるTG11i、及びSW20jにおけるTG21jを削除し、入力側をそれぞれインバータ12i,22jに直接接続するようにしても良い。これにより、ワード線WLiの負荷が若干増加するが、回路素子を削減することができる。
(b) 図1中の各TG11i,TG21jを構成するトタンジスタを閾値電圧の高いトランジスタで構成すると、漏れ電流の少ないSWが得られる。この場合、スイッチング速度は低下するが、試験時には高速動作を必要としないので、何等問題はない。
【0040】
(c) アドレスデコーダ1は、ワード線WLiとの接続を制御するためのイネーブル端子ENを備えているが、アドレスデコーダ1と各ワード線WLiとの間に、モード信号MODでオン/オフ制御されるTGを設けても良い。
(d) 図4中のFF50iの回路構成は、同図(b)の回路に限定されず、いわゆる並列入力直列出力型のシフトレジスタであれば良い。
【0041】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、第1の発明によれば、試験モード時にパターン信号に従って奇数または偶数番目のワード線を選択する第1のスイッチ手段と、パターン信号に従って、奇数番目と偶数番目のビット線にそれぞれ相補的なデータ信号を印加する第2のスイッチ手段を有している。これにより、2回の書き込み動作で、すべてのMCにチェッカーフラグ・パターンを書き込むことができ、試験時間の短縮が可能になる。
第2の発明によれば、第1及び第2のスイッチ手段を、インバータとTGを組み合わせて構成し、ワード線の間、及びビット線の間に配置している。これにより、通常動作モード時には確実に切り離すことが可能になる。また、MCAとの配置上の整合性が良く、回路構成を簡素化することができる。
【0042】
第3の発明によれば、試験モード時にすべてのワード線を同時に選択する第1のスイッチ手段と、すべてのビット線にパターン信号に応じた同一のデータ信号を印加する第2のスイッチ手段を有している。これにより、1回の書き込み動作ですべてのMCに同一データを書き込むことができ、試験時間の短縮が可能になる。
第4の発明によれば、第1及び第2のスイッチ手段を、TGで構成しているので、通常動作モード時には確実に切り離すことが可能になり、簡単な回路構成で確実な動作特性が得られる。
【0043】
第5の発明によれば、第1〜第4の発明に、DCAを追加して設けているので、第1〜第4の発明の効果に加えて、MCを構成するトランジスタのばらつきを簡単に調べることができる。
第6の発明によれば、第1〜第4の発明に、クロック信号に従ってワード線の状態を順次シフトして出力するシフト手段を追加して設けているので、第1〜第4の発明の効果に加えて、アドレスデコーダやワード線の状態を簡単にチェックすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態を示す半導体メモリの概略の構成図である。
【図2】本発明の第2の実施形態を示す半導体メモリの概略の構成図である。
【図3】本発明の第3の実施形態を示す半導体メモリの概略の構成図である。
【図4】本発明の第4の実施形態を示す半導体メモリの概略の構成図である。
【符号の説明】
1 アドレスデコーダ
2i,j MC(メモリセル)
3j SA(センスアンプ)
10i,20j SW(スイッチ回路)
11,13,15,21、24,25 TG(トランスファーゲート)
12,23 インバータ
30j MCA(メモリセルアレイ)
401〜403 DCA(ダミーセルアレイ)
50i FF(フリップフロップ)
Claims (6)
- アドレス信号を解読してワード線選択用の選択信号を出力するアドレスデコーダと、
平行に配置され、試験モードまたは通常動作モードを指定するモード信号によって該通常動作モードが指定されたとき、前記アドレスデコーダに接続されて前記選択信号が印加され、該モード信号によって該試験モードが指定されたとき、前記複数のワード線から切り離される複数のワード線と、
前記ワード線に交差して配置された複数のビット線と、
前記ワード線と前記ビット線の各交差箇所に設けられて該ワード線に印加される前記選択信号で選択されたときに該ビット線に接続されて記憶データの書き込み及び読み出しを行う複数のメモリセルと、
前記各ワード線間にそれぞれ接続され、前記試験モードが指定されたときに導通して前記各ワード線間を電気的に接続し、前記パターン信号に従って該ワード線の内の奇数または偶数番目のワード線に前記選択信号を同時に印加する複数の第1のスイッチ手段と、
前記各ビット線間にそれぞれ接続され、前記試験モードが指定されたときに導通して前記各ビット線間を電気的に接続し、前記パターン信号に従って該ビット線の内の奇数番目と偶数番目のビット線にそれぞれ相補的なデータ信号を印加する複数の第2のスイッチ手段と、
を備えたことを特徴とする半導体メモリ。 - 前記各第1のスイッチ手段は、前記ワード線の論理レベルを反転して出力する第1のインバータと、前記試験モードが指定されたときに前記第1のインバータの出力信号を隣接する前記ワード線に印加する第1のトランスファーゲートとを有し、
前記各第2のスイッチ手段は、前記ビット線の論理レベルを反転して出力する第2のインバータと、前記試験モードが指定されたときに前記第2のインバータの出力信号を隣接する前記ビット線に印加する第2のトランスファーゲートとを有することを特徴とする請求項1記載の半導体メモリ。 - アドレス信号を解読してワード線選択用の選択信号を出力するアドレスデコーダと、
平行に配置され、試験モードまたは通常動作モードを指定するモード信号によって該通常動作モードが指定されたとき、前記アドレスデコーダに接続されて前記選択信号が印加され、該モード信号によって該試験モードが指定されたとき、前記複数のワード線から切り離される複数のワード線と、
前記ワード線に交差して配置された複数のビット線と、
前記ワード線と前記ビット線の各交差箇所に設けられて該ワード線に印加される前記選択信号で選択されたときに該ビット線に接続されて記憶データの書き込み及び読み出しを行う複数のメモリセルと、
前記各ワード線間にそれぞれ接続され、前記試験モードが指定されたときに導通して前記各ワード線間を電気的に接続し、前記複数のワード線のすべてに前記選択信号を同時に印加する複数の第1のスイッチ手段と、
前記各ビット線間にそれぞれ接続され、前記試験モードが指定されたときに導通して前記各ビット線間を電気的に接続し、パターン信号に従って前記複数のビット線のすべてに同一のデータ信号を同時に印加する複数の第2のスイッチ手段と、
を備えたことを特徴とする半導体メモリ。 - 前記各第1のスイッチ手段は、前記試験モードが指定されたときにそれぞれ隣接する前記ワード線同士を接続して該試験モードの信号を該各ワード線に印加する第1のトランスファーゲートを有し、
前記各第2のスイッチ手段は、前記試験モードが指定されたときにそれぞれ隣接する前記ビット線同士を接続して前記パターン信号を該各ビット線に印加する第2のトランスファーゲートを有することを特徴とする請求項3記載の半導体メモリ。 - 前記ワード線に交差するように前記複数のビット線の両側及び中央部に配置された第1、第2及び第3のダミービット線と、前記ワード線と前記第1、第2及び第3のダミービット線の各交差箇所に設けられて該ワード線に印加される前記選択信号で選択されたときに該ビット線に接続される複数のダミーメモリセルとを有する第1、第2及び第3のダミーセルアレイを備えたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体メモリ。
- 前記試験モードが指定されたときに隣接する前記ワード線の間に接続され、クロック信号に従って該ワード線の状態をシフトして隣接する該ワード線に逐次出力するシフト手段を備えたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体メモリ。
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