JP4554557B2 - 冷却器 - Google Patents

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Description

本発明は、冷却器に関する。
内部に冷却流体を流すことにより熱交換を行なって、冷却器の表面に配置された被冷却体を冷却する冷却器の他に、被冷却体が伝熱部材に配置され、伝熱部材に向けて冷却流体が噴霧されることによって冷却を行なう冷却器がある。
特開平3−30457号公報においては、半導体装置の発熱部に所定の液体を供給して気化させ、その気化潜熱により発熱部を冷却する半導体装置の冷却方法が開示されている。この半導体装置の冷却方法によれば、冷却効率や半導体装置の信頼性の向上、冷却構造の簡易化や小型化、冷却流体による腐食性や汚染の防止を図ることができると開示されている。
特表2001−521138号公報においては、電子素子用の冷却装置に関し、2相冷却を行なう装置が開示されている。この2相冷却装置においては、第1ハウジング部、第2ハウジング部および第3ハウジング部を有する。第2ハウジング部は、内面に1つ以上の噴霧ノズルが固着され、さらに、外面において、噴霧ノズルに対向する位置に1つ以上の高電力の電子素子が実装されている。第2ハウジング部において、冷却液がポンプによって噴霧ノズルから噴霧される。冷却液が第2ハウジング部の加熱部分と接触すると、冷却液の一部は蒸気に変換され、冷却液の残りの部分は、液体の状態で第1ハウジング部に還流することが開示されている。
特開2005−86204号公報においては、噴霧した冷却流体で部品を冷却するシステムにおいて、密閉された噴霧室と、噴霧室の境界となる内側面を有する熱伝達壁とを含む本体を備える噴霧冷却システムが開示されている。この噴霧冷却システムにおいては、熱伝達壁の外側面が、部品の一部に対して保持されるように構成されている。冷却流体を内側面に噴霧するように噴霧器が配置されている。この噴霧冷却システムにおいては、複雑なシステム内の複数の場所に効率的に実装することができると開示されている。
特開平3−30457号公報 特表2001−521138号公報 特開2005−86204号公報
冷却流体を噴霧する冷却器においては、主に、冷却流体が蒸発するときの蒸発潜熱により冷却を行なうことができる。または、伝熱部材に向けて冷却流体が噴霧されたときに冷却流体が熱を奪いながら流れることにより被冷却体が冷却される。
被冷却体が均一に冷却されるためには、伝熱部材のうち少なくとも被冷却体が配置されている領域が均一に冷却されることが好ましい。伝熱部材が一様に冷却されるためには、伝熱部材の表面において冷却流体が一様に配置されることが好ましい。
上記の特開2005−86204号公報に開示された噴霧冷却モジュールにおいては、噴霧器がコントローラによって制御され、正確な量を噴射しながら冷却を行なうことが開示されている。しかし、この公報においては、冷却流体が噴射された熱伝達壁の表面における液滴の均一化については、何ら検討がされていない。すなわち、噴霧量が制御されていても伝熱部材に噴霧された後の冷却流体の挙動については検討が行なわれていない。冷却流体が噴霧された後において、伝熱部材の表面の液滴の状態が均一でなければ、被冷却体を均一に冷却することはできないという問題があった。
本発明は、均一な冷却を行なうことができる冷却器を提供することを目的とする。
本発明に基づく冷却器は、冷却流体が表面に噴霧されるための伝熱部材を備える。上記伝熱部材は、上記表面に形成された第1流路と、上記表面に形成され、上記第1流路に交差する第2流路とを含む。上記第1流路は、伝熱部材の一方の端面から他方の端面まで延びるように形成され、第2流路は、その端部が伝熱部材の主面の内部の領域に配置されるように形成される。上記第1流路および第2流路は、それぞれが底面を有する溝状に形成され、第2流路の底面が第1流路の底面よりも低くなるように形成されている。
上記発明において好ましくは、上記第1流路は、上記冷却流体を上記表面のほぼ全体に供給するように形成されている。上記第1流路は、過剰な上記冷却流体を排出できるように形成されている。上記第2流路は、上記冷却流体の蒸発を促進するように形成されている。
上記発明において好ましくは、上記第2流路は、上記第2流路が延びる方向と垂直な断面における形状が階段状になるように形成されている。
上記発明において好ましくは、上記伝熱部材は、上記表面が中央部から外周部に向かって、高さが低くなるように凸面状に形成されている。
上記発明において好ましくは、上記伝熱部材は、上記表面が中央部から外周部に向かって、高さが低くなるように傾斜している。
上記発明において好ましくは、上記第1流路および上記第2流路は、溝状に形成されている。上記第1流路および上記第2流路のうち少なくとも一方の流路は、上記表面の中央部から外周部に向かって徐々に深くなるように形成されている。
上記発明において好ましくは、上記第2流路は、溝状に形成されている。上記第2流路は、少なくとも一部が毛管現象を生じるように形成されている。
本発明によれば、均一な冷却を行なうことができる冷却器を提供することができる。
(実施の形態1)
図1から図8を参照して、本発明に基づく実施の形態1における冷却器について説明する。
図1は、本実施の形態における冷却器の概略側面図である。本実施の形態における冷却器は、冷却流体を噴霧することにより冷却が行なわれる冷却器である。本実施の形態における冷却器は、伝熱部材1を備える。伝熱部材1は、平板状に形成されている。
伝熱部材1の表面には、被冷却体としての発熱体12が配置されている。発熱体12は、伝熱部材1の主面に接合されている。本実施の形態においては、発熱体12は、伝熱部材1の主面の中央部に配置されている。
本実施の形態における冷却器は、噴霧器11を備える。噴霧器11は、伝熱部材1の発熱体12が配置されている側と反対側の主面に対向するように配置されている。噴霧器11は、伝熱部材1から離れて配置されている。噴霧器11は、冷却流体21を噴霧できるように形成されている。すなわち噴霧器11は、冷却流体21を粒状で噴出できるように形成されている。噴霧器11は、伝熱部材1の主面のうち発熱体12が配置されている側と反対側の主面に向かって冷却流体21を噴霧できるように形成されている。本実施の形態においては、冷却流体として液体が用いられている。
図2に、本実施の形態における伝熱部材の概略平面図を示す。本実施の形態における伝熱部材1は、平面形状がほぼ円形に形成されている。伝熱部材1は、表面に形成された第1流路としての第1溝1aを有する。伝熱部材1は、上記の表面に形成され、第1溝1aに交差する第2流路としての第2溝1bを有する。
本実施の形態における第1溝1aおよび第2溝1bは、延びる方向が互いに直交するように形成されている。第1溝1aと第2溝1bとは、互いに連通している。発熱体12は、第1溝1aと第2溝1bとが形成されている領域のほぼ中央部に対応する領域に配置されている。
本実施の形態においては、第1溝1aが複数形成されている。第1溝1aは、伝熱部材1の表面のほぼ全体に形成されている。第1溝1aは、直線状に形成されている。第1溝1a同士は、互いに間隔をあけて形成されている。本実施の形態における第1溝1aは、等間隔で形成されている。第1溝1aは、延びる方向が、互いに平行になるように形成されている。第1溝1aは、伝熱部材1の一方の端面から他方の端面まで延びるように形成されている。第1溝1aは、供給される冷却流体のうち、過剰な冷却流体が伝熱部材1の外側に排出できるように形成されている。
本実施の形態においては、第2溝1bが複数形成されている。第2溝1bは、直線状に形成されている。第2溝1b同士は、互いに間隔をあけて形成されている。本実施の形態における第2溝1bは、等間隔で形成されている。第2溝1bは、延びる方向が、互いに平行になるように形成されている。第2溝1bは、延びる方向における長さが互いにほぼ同じになるように形成されている。
第2溝1bは、伝熱部材1の主面の内部の領域に端部が配置されている。第2溝1bは、伝熱部材1の端面まで到達しないように形成されている。第2溝1bは、内部に供給される冷却流体が、第2溝1bの端部から排出されないように形成されている。
図3に、本実施の形態における伝熱部材の第1溝の部分の概略断面図を示す。図3は、図2におけるIII−III線に関する矢視断面図である。第1溝1aは、伝熱部材1の一方の端面から他方の端面まで貫通するように形成されている。第1溝1aは、延びる方向に沿って深さが一定になるように形成されている。
図4に、本実施の形態における伝熱部材の第2溝の部分の概略断面図を示す。図4は、図2におけるIV−IV線に関する矢視断面図である。第2溝1bは、延びる方向に沿って深さが一定になるように形成されている。本実施の形態における第2溝1bは、両側の端部が、外側に連通しないように形成されている。
図3および図4を参照して、本実施の形態における伝熱部材1は、第1溝1aが延びる方向および第2溝1bが延びる方向において、厚さが一定になるように形成されている。それぞれの溝は、底面が一定の高さに位置するように形成されている。
図5に、本実施の形態における第1溝の拡大概略断面図を示す。図5は、第1溝が延びる方向に垂直な面で切断したときの概略断面図である。本実施の形態における第1溝1aは、断面形状がコの字型に形成されている。第1溝1aは、底面9aを有する。第1溝1aは、深さd1を有する。
図6に、本実施の形態における第2溝の拡大概略断面図を示す。図6は、第2溝が延びる方向に垂直な面で切断したときの概略断面図である。本実施の形態における第2溝1bは、断面形状が階段状になるように形成されている。第2溝1bは、複数の段差を有するように形成されている。第2溝1bは、幅方向の中央部が最も深くなるように形成されている。第2溝2bは、底面9bを有する。第2溝1bは、深さd2を有する。
本実施の形態における第2溝1bの深さd2は、第1溝1aの深さd1よりも大きくなるように形成されている。すなわち、第2溝1bの底面9bは、第1溝1aの底面9aよりも低い位置になるように形成されている。
図1を参照して、発熱体12の冷却が行なわれる場合には、噴霧器11から冷却流体21が伝熱部材1に向けて噴霧される。本実施の形態においては、伝熱部材1の平面形状の円の中央部分を中心に、伝熱部材1の主面のほぼ全体に亘って噴霧される。
図2を参照して、伝熱部材1に対して、過剰の冷却流体21が噴霧された場合においては、過剰な冷却流体21は、矢印31に示すように、第1溝1aの端部から、伝熱部材1の外側に排出される。第2溝1bに過剰な冷却流体が供給された場合には、過剰な冷却流体21は、第2溝1bから第1溝1aに流入した後に排出される。
局所的に冷却流体が不足している場合においては、第1溝1aおよび第2溝1bを流れて、不足箇所に冷却流体が流入することにより、ほぼ均一に冷却流体を供給することができる。たとえば、過渡変化により、噴霧器11から伝熱部材1に対して一様な噴霧が行なわれず、いずれかの領域において偏って噴霧された場合においても、第1溝1aおよび第2溝1bを伝って、ほぼ均一に冷却流体を配分することができ、ほぼ均一に伝熱部材が冷却される。
このように、本実施の形態における冷却器は、伝熱部材を備え、伝熱部材は、冷却流体が噴霧される表面に形成された第1流路と、第1流路に交差する第2流路とを含む。この構成により、第1溝および第2溝が形成されている領域全体に、ほぼ均一に冷却流体を配置することができる。第1溝および第2溝が形成されている領域において、ほぼ均一に伝熱部材が冷却され、この結果、被冷却部材をほぼ均一に冷却することができる。
また、図6を参照して、本実施の形態における第2溝1bは、断面形状が階段状に形成されることにより、段となる部分が形成されている。または、断面形状において角となる部分が形成されている。この構成により、第2溝1bの表面に冷却流体21が滞留しやくすくなる。冷却流体21が滞留することにより、第2溝で液滴が不足することを抑制でき、冷却流体の蒸発が促進される。
また、本実施の形態においては、第1溝は冷却流体を伝熱部材の表面のほぼ全体に供給するように形成され、さらに、過剰な冷却流体を排出できるように形成されている。これに対して、第2溝1bは、冷却流体の蒸発を促進するように形成されている。この構成により、第1流路が主に溝全体に亘って冷却流体を供給するための流路になり、第2流路が主に蒸発を行なうための流路になる。このように、それぞれの機能を有する複数の流路に分離することができ、噴霧量が変動したときの冷却性能の変動を小さくすることができる。
図5および図6を参照して、本実施の形態においては、第2溝1bの深さd2は、第1溝1aの深さd1よりも深くなるように形成されている。この構成により、第1溝1aに流入した冷却流体を、容易に第2溝1bに配分することができる。また、第2溝1bの底部に一様な深さで冷却流体を滞留させることができ、冷却性能の変動を小さくすることができる。
図7に、本実施の形態における他の第2溝の概略断面図を示す。他の第2溝1cは、断面形状がほぼコの字型になるように形成されている。第2溝1cの内面には、複数の凹部7が形成されている。凹部7は、互いに間隔をあけて形成されている。
図8に、本実施の形態におけるさらに他の第2溝の概略断面図を示す。さらに他の第2溝1dは、断面形状がほぼコの字型に形成されている。第2溝1dの内面には、複数の凸部8が形成されている。凸部8は、互いに間隔をあけて形成されている。
図7および図8に示すように、第2流路の表面に凸部または凹部が形成されていることによって、第2溝の断面形状で角となる部分を形成することができ、冷却流体を第2溝に保持することができる。または、第2溝の表面積を大きくすることができ、蒸発を促進させることができる。
第2溝の蒸発を促進させる構造としては、これらのいずれかの構造に限られず、たとえば、多孔質(ポーラス)の材料が、第2溝の表面に配置されていてもよい。または、第2溝の蒸発を促進させる構造としては、上述のように断面形状において角となる部分または段となる部分が形成されていても構わない。または、第2溝にウィスカを充填してもよい。
第2溝は、少なくとも一部が毛管現象を生じるように形成されていても構わない。この構成により、毛管現象により第2溝に沿って冷却流体が移動して、第2溝のほぼ全体に冷却流体を配置することができる。たとえば、第2溝の幅が毛管現象を生じる程度に小さく形成されていてもよい。
また、本実施の形態における第2溝は、端部が伝熱部材の主面の内部に配置されているが、この形態に限られず、第2溝の端部が伝熱部材の端面に到達するように形成されていても構わない。この構成により、第2溝に供給される過剰な冷却流体を、第1溝を通さずに直接的に排出することができる。
本実施の形態における第1溝および一部の第2溝は、断面形状がコの字型に形成されているが、この形態に限られず、任意の形状を採用することができる。たとえば、断面形状がV字型に形成されていても構わない。
また、本実施の形態における伝熱部材は、平板状に形成されているが、この形態に限られず、任意の形状を採用することができる。たとえば、伝熱部材は、板状に限られず、直方体状に形成されていても構わない。伝熱部材としては、材質が限定されるものではないが、熱伝導の優れた材質で形成されていることが好ましい。
また、本実施の形態においては、伝熱部材の表面に被冷却体が配置されているが、この形態に限られず、被冷却体の一部として伝熱部材が形成されていても構わない。たとえば、被冷却部材の筐体の表面に第1流路および第2流路が形成され、この表面に向けて冷却流体が噴霧されていても構わない。
本発明における冷却器は、任意の被冷却体の冷却を行なう冷却器に適用することができる。
(実施の形態2)
図9を参照して、本発明に基づく実施の形態2における冷却器について説明する。本願実施の形態における冷却器は、伝熱部材の第1流路および第2流路の構成が実施の形態1と異なる。
図9は、本実施の形態における伝熱部材の概略平面図である。伝熱部材2は、平板状に形成されている。伝熱部材2は、平面形状がほぼ円形に形成されている。
本実施の形態における伝熱部材2は、第1流路としての第1溝2aおよび第2流路としての第2溝2bを有する。第1溝2aおよび第2溝2bは、冷却流体が噴霧される面に形成されている。第1溝2aと第2溝2bとは、互いに交差するように形成されている。第1溝2aと第2溝2bとは、互いに連通している。
本実施の形態における被冷却体としての発熱体12は、第1溝2aおよび第2溝2bが形成されている主面と反対側の主面に配置されている。発熱体12は、第1溝2aおよび第2溝2bが形成されている領域に対応する領域のほぼ中央部に配置されている。
第1溝2aは、複数形成されている。第1溝2aは、直線状に形成されている。第1溝2aは、それぞれの延びる方向が放射状に形成されている。第1溝2aは、伝熱部材2の平面形状の円の中心から外周に向かって延びるように形成されている。第1溝2aは、外側の端部が伝熱部材2の端面まで到達している。第1溝2aは、過剰な冷却流体を外側に排出できるように形成されている。
第2溝2bは、複数形成されている。第2溝2bは、平面視したときにほぼ円形に延びるように形成されている。第2溝2bは、平面視したときに閉じた形状を有する。複数の第2溝2bは、平面視したときに同心円状に形成されている。第2溝2bは、等間隔で形成されている。第2溝2bは、伝熱部材2の端面に到達しないように形成されている。
本実施の形態における冷却器においても、伝熱部材の第1溝および第2溝が形成されている領域に、ほぼ均一に冷却流体を配置することができ、被冷却体をほぼ均一に冷却することができる。
その他の構成、作用および効果については、実施の形態1と同様であるのでここでは説明を繰返さない。
(実施の形態3)
図10および図11を参照して、本発明に基づく実施の形態3における冷却器について説明する。本実施の形態においては、伝熱部材の形状が実施の形態1と異なる。
図10は、本実施の形態における第1の冷却器の概略側面図である。本実施の形態における第1の冷却器は、伝熱部材3を備える。伝熱部材3は、第1溝および第2溝が形成されている表面が凸面状に形成されている。伝熱部材3は、平面形状がほぼ円形に形成されている。
伝熱部材3は、冷却流体21が噴霧される表面の高さが、中央部から外周部に向かって低くなるように形成されている。伝熱部材3は、表面が傾斜している。伝熱部材3は、噴霧器11と対向する部分が最も厚く、外周に向かうにつれて薄くなるように形成されている。伝熱部材3は、第2溝に沿った方向においても同様に、中央部が最も厚く形成され、外周部に向かうにつれて薄くなるように形成されている。噴霧器11は、伝熱部材3の中央部の真上に配置されている。
第1溝3aは、噴霧器11と対向する表面に沿って形成されている。第1溝3aは、深さが一定になるように形成されている。第1溝3aは、伝熱部材3の端面に到達するように形成されている。図示しない第2溝は、深さが一定になるように形成され、さらに、伝熱部材3の端面に到達するように形成されている。
本実施の形態における第1の冷却器においては、噴霧器11から噴霧された冷却流体21は、矢印32に示すように、第1溝3aにおいて外周部に向かって流れる。伝熱部材3の第1溝および第2溝が形成されている表面が凸面状に形成されていることにより、過剰な冷却流体を重力により排出することができる。
図11は、本実施の形態における第2の冷却器の概略断面図である。本実施の形態における第2の冷却器は、伝熱部材4を備える。伝熱部材4は、第1溝4aを有する。伝熱部材4は、第1溝4aおよび第2溝が形成されている表面が凸面状に形成されている。伝熱部材4は、第1溝4aの延びる方向に沿った面で切断したときの表面形状がほぼ円弧状に形成されている。
第1溝4aは、伝熱部材4の端面に到達するように形成されている。図示しない第2溝は、伝熱部材4の端面に到達するように形成されている。伝熱部材4は、第2溝の延びる方向に沿った面で切断したときの表面形状がほぼ円弧状に形成されている。噴霧器11は、伝熱部材4の最も厚い部分の真上に配置されている。
本実施の形態における第2の冷却器においても、矢印33に示すように、過剰な冷却流体21を重力により外側に向かって排出することができる。
本実施の形態における伝熱部材は、第1溝が延びる方向および第2溝が延びる方向におえける表面の形状が凸面状に形成されているが、この形態に限られず、第1溝の延びる方向または第2溝の延びる方向のいずれかの一の方向において、断面形状が凸形状になるように形成されていても構わない。
その他の構成、作用および効果については、実施の形態1と同様であるのでここでは説明を繰返さない。
(実施の形態4)
図12および図13を参照して、本発明に基づく実施の形態4における冷却器について説明する。
図12は、本実施の形態における冷却器の伝熱部材の概略平面図である。本実施の形態における冷却器は、伝熱部材5を備える。伝熱部材5は、平板状に形成されている。伝熱部材5は、平面形状がほぼ円形に形成されている。
伝熱部材5の冷却流体が噴霧される表面には、第1流路としての第1溝5aおよび第2流路としての第2溝5bが形成されている。第1溝5aおよび第2溝5bは、それぞれが直線状に形成されている。第1溝5aおよび第2溝5bは、互いに直交するように形成されている。
第1溝5aは複数形成されている。第1溝5aは、互いの間隔がほぼ等間隔になるように離れて形成されている。第2溝5bは、複数配置されている。第2溝5bは、互いの間隔がほぼ等間隔になるように離れて形成されている。
本実施の形態における伝熱部材5は、第1溝5aおよび第2溝5bが形成されている領域の周りを取り囲むように形成された排出溝5c,5dを有する。
排出溝5cは、第1溝5aに連通するように形成されている。排出溝5cは、第1溝5aが延びる方向に対して、ほぼ垂直な方向に延びるように形成されている。排出溝5cは、第1溝5aの両側の端部に配置されている。排出溝5dは、第2溝5bに連通するように形成されている。排出溝5dは、第2溝5bが延びる方向に対して、ほぼ垂直な方向に延びるように形成されている。排出溝5dは、第2溝5bの両側の端部に配置されている。排出溝5c,5dは、伝熱部材5の端面まで延びている。排出溝5c,5dは、伝熱部材5の外側に冷却流体を排出できるように形成されている。
図13は、本実施の形態における冷却器の概略断面図である。図13は、図12におけるXIII−XIII線に関する矢視断面図である。本実施の形態における排出溝5c,5dは、断面形状がコの字型に形成されている。
本実施の形態における第1溝5aは、伝熱部材1の表面の中央部から周辺部に向かって、徐々に深さが深くなるように形成されている。すなわち、伝熱部材1の表面は、平面状に形成され、第1溝5aが排出溝5cに向かって徐々に深くなるように形成されている。
第1溝5aと同様に、第2溝5bは、排出溝5dに向かって徐々に深くなるように形成されている。
冷却流体は、噴霧器11から伝熱部材5に向けて噴霧される。本実施の形態においては、第1溝5aに噴霧された冷却流体は、矢印36に示すように、排出溝5cに向かって流れる。第1溝5aにおける過剰な冷却流体は排出溝5cに導かれる。このように、中央部から外周部に向かって徐々に深さが深くなるように形成されていることにより、過剰な冷却流体を積極的に排出することができる。図12を参照して、排出溝5cに流入した過剰な冷却流体は、矢印34に示すように、伝熱部材5から排出される。
第2溝5bにおいては、過剰な冷却流体が排出溝5dに導かれる。排出溝5dに流入した過剰な冷却流体は、矢印35に示すように、伝熱部材5から排出される。
本実施の形態においては、第1溝および第2溝が、伝熱部材の外側に向かって徐々に深くなるように形成されているが、この形態に限られず、第1溝および第2溝のうちいずれか一方の溝が、伝熱部材の表面の中央部から周辺部に向かって徐々に深くなるように形成されていても構わない。
その他の構成、作用および効果については、実施の形態1と同様であるのでここでは説明を繰返さない。
上述のそれぞれの図において、同一または相当する部分には、同一の符号を付している。
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
実施の形態1における冷却器の概略側面図である。 実施の形態1における伝熱部材の概略平面図である。 実施の形態1における伝熱部材の第1溝の第1の概略断面図である。 実施の形態1における伝熱部材の第2溝の第1の概略断面図である。 実施の形態1における伝熱部材の第1溝の第2の概略断面図である。 実施の形態1における伝熱部材の第2溝の第2の概略断面図である。 実施の形態1における他の第2溝の概略断面図である。 実施の形態1におけるさらに他の第2溝の概略断面図である。 実施の形態2における伝熱部材の概略平面図である。 実施の形態3における第1の冷却器の概略側面図である。 実施の形態3における第2の冷却器の概略断面図である。 実施の形態4における伝熱部材の概略平面図である。 実施の形態4における伝熱部材の概略断面図である。
符号の説明
1〜5 伝熱部材、1a,2a,3a,4a,5a 第1溝、1b,1c,1d,2b,5b 第2溝、5c,5d 排出溝、7 凹部、8 凸部、9a,9b 底面、11 噴霧器、12 発熱体、21 冷却流体、31〜36 矢印。

Claims (7)

  1. 冷却流体が表面に噴霧されるための伝熱部材を備え、
    前記伝熱部材は、前記表面に形成された第1流路と、
    前記表面に形成され、前記第1流路に交差する第2流路と
    を含
    前記第1流路は、前記伝熱部材の一方の端面から他方の端面まで延びるように形成され、
    前記第2流路は、その端部が前記伝熱部材の主面の内部の領域に配置されるように形成され、
    前記第1流路および前記第2流路は、それぞれが底面を有する溝状に形成され、
    前記第2流路の底面が前記第1流路の底面よりも低くなるように形成されている、冷却器。
  2. 前記第1流路は、前記冷却流体を前記表面のほぼ全体に供給するように形成され、
    前記第1流路は、過剰な前記冷却流体を排出できるように形成され、
    前記第2流路は、前記冷却流体の蒸発を促進するように形成された、請求項1に記載の冷却器。
  3. 前記第2流路は、前記第2流路が延びる方向と垂直な断面における形状が階段状になるように形成された、請求項1または2に記載の冷却器。
  4. 前記伝熱部材は、前記表面が中央部から外周部に向かって、高さが低くなるように凸面状に形成された、請求項1から3のいずれかに記載の冷却器。
  5. 前記伝熱部材は、前記表面が中央部から外周部に向かって、高さが低くなるように傾斜している、請求項1から3のいずれかに記載の冷却器。
  6. 前記第1流路および前記第2流路は、溝状に形成され、
    前記第1流路および前記第2流路のうち少なくとも一方の流路は、前記表面の中央部から外周部に向かって徐々に深くなるように形成された、請求項1から5のいずれかに記載の冷却器。
  7. 前記第2流路は、溝状に形成され、
    前記第2流路は、少なくとも一部が毛管現象を生じるように形成された、請求項1から6のいずれかに記載の冷却器。
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