CN216775335U - 热传导部件和电子设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供热传导部件和电子设备。热传导部件具有与第1金属片在第1方向上重叠的第2金属片。第1金属片和所述第2金属片中的至少一方具有供工作介质的蒸气通过的蒸气路槽。第1金属片和第2金属片中的至少一方具有供液体的工作介质通过的第1介质流路槽。第1金属片和第2金属片中的至少一方具有第2介质流路槽。第2介质流路槽与第1介质流路槽连接，并连接蒸气路槽和所述第1介质流路槽。设置于一个金属片的第2介质流路槽的第1方向的高度比设置于一个金属片的第1介质流路槽的第1方向的高度低。

Description

热传导部件和电子设备

技术领域

本实用新型涉及收纳工作介质并使发热体的热移动而扩散的热传导部件。另外，涉及具有热传导部件的电子设备。

背景技术

为了散热，有时使热传导部件与器件接触。作为热传导部件，有时使用封入有工作液的蒸气室。公知有如下的蒸气室：具有第1金属片和层叠在所述第1金属片上的第2金属片，在所述第1金属片和所述第2金属片中的至少一方形成有供所述工作液的蒸气通过的蒸气流路部，在所述第1金属片和所述第2金属片中的至少一方形成有供液状的所述工作液通过的液流路部，在所述第1金属片上沿着所述第1金属片的周缘形成有供液状的所述工作液通过的第1周缘液流路部，所述第1周缘液流路部在所述第1金属片的整周范围内形成。通过设置周缘液流路部，使工作液在金属片的外周部的整个区域回流(参照日本公开公报特开2019-066175号公报)。

为了扩散发热体(热源)的热，有时使用蒸气室。例如，蒸气室用于智能手机。为了使使用了蒸气室的设备薄型化，要求蒸气室进一步薄型化。若变薄，则存在工作介质的收纳量不足的可能性。这里，以往，在蒸气室内设置有工作介质的流路。该流路通过毛细管现象吸起冷凝后的工作介质，使工作介质朝向被加热部移动。被加热部是指与发热体接触的区域。如果使流路的直径变大(变粗)，则工作介质的收纳量增加。但是，流路越粗，吸起冷凝后的工作介质的力越弱。若吸起的力变弱，则存在工作介质向被加热部的供给延迟的情况。因此，即使推进薄型化，也需要在收纳所需量的工作介质的同时维持和提高吸起力及工作介质的移动速度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种即使薄型化，工作介质的收纳量也足够，并且吸起力大、吸起的工作介质的移动快的热传导部件。

本实用新型的例示性的热传导部件具有第1金属片和第2金属片作为金属片。所述第2金属片与所述第1金属片在第1方向上重叠。所述第1金属片和所述第2金属片中的至少一方具有供工作介质的蒸气通过的蒸气路槽。所述第1金属片和所述第2金属片中的至少一方具有供液体的工作介质通过的第1介质流路槽。所述第1金属片和所述第2金属片中的至少一方具有第2介质流路槽。所述第2介质流路槽连接所述蒸气路槽和所述第1介质流路槽。设置于一个金属片的所述第1介质流路槽的所述第1方向的高度比设置于一个金属片的所述第2介质流路槽的所述第1方向的高度高。

在上述实施方式中，所述蒸气路槽设置于所述第1金属片的作为与所述第2金属片重合的面的第1重合面和所述第2金属片的作为与所述第1金属片重合的面的第2重合面中的至少一方，所述第1介质流路槽设置于所述第1重合面和所述第2重合面中的至少一方，所述第2介质流路槽设置于所述第1重合面和所述第2重合面中的至少一方。

在上述实施方式中，所述第2介质流路槽被粗糙化。

在上述实施方式中，所述第1介质流路槽被粗糙化。

在上述实施方式中，所述蒸气路槽被粗糙化。

在上述实施方式中，设置于一个金属片的所述第1介质流路槽的所述第1方向的高度比设置于一个金属片的所述蒸气路槽的所述第1方向的高度低。

在上述实施方式中，所述第1介质流路槽设置在相邻的所述蒸气路槽之间的区域，所述第2介质流路槽配置在相邻的所述蒸气路槽之间的区域中的将相邻的所述第1介质流路槽与所述第1介质流路槽隔开的第1壁部的区域和将相邻的所述第1介质流路槽与所述蒸气路槽隔开的第2壁部的区域。

在上述实施方式中，所述第2介质流路槽仅设置于所述第1金属片和所述第2金属片中的任意一方或者设置于所述第1金属片和所述第2金属片双方。

在上述实施方式中，所述第2介质流路槽设置于所述第1金属片和所述第2金属片双方，设置于所述第1金属片的所述第2介质流路槽的所述第1方向的高度与设置于所述第2金属片的所述第2介质流路槽的所述第1方向的高度不同，所述第1方向的高度较高一方的所述第2介质流路槽的所述第1方向的高度为设置于一个金属片的所述第1介质流路槽的所述第1方向的高度以下。

在上述实施方式中，所述第1介质流路槽仅设置于所述第1金属片和所述第2金属片中的任意一方或者设置于所述第1金属片和所述第2金属片双方。

在上述实施方式中，所述蒸气路槽仅设置于所述第1金属片和所述第2金属片中的任意一方或者设置于所述第1金属片和所述第2金属片双方。

在上述实施方式中，所述蒸气路槽、所述第1介质流路槽以及所述第2介质流路槽设置于所述第1金属片和所述第2金属片双方。

在上述实施方式中，所述蒸气路槽和所述第1介质流路槽设置于所述第1金属片和所述第2金属片双方，所述第2介质流路槽仅设置于所述第1金属片和所述第2金属片中的任意一方。

在上述实施方式中，所述蒸气路槽、所述第1介质流路槽以及所述第2介质流路槽仅设置于所述第1金属片和所述第2金属片中的任意一方。

在上述实施方式中，所述第1介质流路槽设置于所述第1金属片的与所述第2金属片重合的重合面和所述第2金属片的与所述第1金属片重合的重合面双方，所述第1金属片的所述第1介质流路槽具有与所述第2金属片的所述第1介质流路槽重叠的部分和不重叠的部分。

在上述实施方式中，提供一种具有热传导部件的电子设备。

根据本实用新型的例示性的热传导部件，能够提供一种即使薄型化，工作介质的收纳量也足够，并且吸起力大、吸起的工作介质的移动快的热传导部件。

由以下的本实用新型优选实施方式的详细说明，参照附图，可以更清楚地理解本实用新型的上述及其他特征、要素、步骤、特点和优点

附图说明

图1是示出收纳实施方式的热传导部件的电子设备的一例的图。

图2是示出实施方式的热传导部件的一例的图。

图3是示出在一个金属片上形成实施方式的蒸气路槽，第1介质流路槽以及第2介质流路槽的例子的图。

图4是示出从Z轴方向观察的实施方式的第1金属片的一例的图。

图5是示出从Z轴方向观察的实施方式的第2金属片的一例的图。

图6是示出从X轴方向观察的实施方式的热传导部件的剖视图的一例的图。

图7是示出相邻的蒸气路槽与蒸气路槽之间的区域的放大图的一例的图。

图8示出了将实施方式的第1介质流路槽放大后的图的一例。

图9是用于说明变形例的热传导部件的图。

图10是用于说明变形例的热传导部件的图。

图11是用于说明变形例的热传导部件的图。

具体实施方式

以下，参照图1至图10，对本实用新型的实施方式和变形例的热传导部件100进行说明。以下说明的热传导部件100是所谓的蒸气室。另外，还对具有实施方式和变形例的热传导部件100的电子设备200进行说明。另外，本实用新型的范围并不限定于以下的实施方式，能够在本实用新型的技术思想的范围内任意地变更。

以下，使用附图对本实用新型的例示性的热传导部件100进行说明。另外，在附图中，适当地示出XYZ坐标系作为三维正交坐标系。Z轴方向(第1方向)是热传导部件100的厚度方向。另外，Z轴方向也是将第1金属片1与第2金属片2重叠(层叠、相向)的方向。+Z方向是Z轴方向的一侧，是第1金属片1侧。-Z方向是另一侧，是第2金属片2侧。X轴方向是与Z轴方向垂直的方向。在本说明中，X轴方向(第2方向)是热传导部件100的长度方向。+X方向是X轴方向中的一侧。-X方向是X轴方向中的另一侧。Y轴方向(第3方向)是与Z轴方向和X轴方向这两个方向垂直的方向。在本说明中，Y轴方向是热传导部件100的短边方向。+Y方向为Y轴方向中的一侧。-Y方向是X轴方向中的另一侧。另外，在本申请中，所谓“平行的方向”在严格意义上并不表示平行，例如包括与实现本实用新型的效果的程度平行的情况。在本申请中，所谓“垂直的方向”，在严格意义上并不表示垂直，例如包括与实现本实用新型的效果的程度垂直的情况。但是，这些方向是为了便于说明而定义的方向。这些方向并不限定热传导部件100制造时和使用时的朝向。另外，将第1金属片1的与第2金属片2接触的平面称为第1重合面10。另外，将第2金属片2的与第1金属片1接触的平面称为第2重合面20。

＜1.电子设备200＞

使用图1、图2，对实施方式的例示性的电子设备200进行说明。如图1所示，电子设备200具有(收纳)热传导部件100。热传导部件100抑制收纳在电子设备200中的发热体201的温度。而且，由于热传导部件100可以薄型化，因此电子设备200的厚度得到抑制。如图1所示，电子设备200例如是智能手机。电子设备200可以是平板计算机或PC。热传导部件100也可以搭载在追求薄度的设备上。另外，搭载有热传导部件100的设备不限于电子设备200。

电子设备200包含发热体201。例如，发热体201是电子设备200内的集成电路。例如，集成电路是SOC(System-on-a-chip：芯片上系统)。发热体201在动作时(通电时)发热。通常来说，动作频率高的集成电路和消耗电力大的集成电路的发热量多。热传导部件100冷却发热体201。热传导部件100与发热体201接触。另外，使用热传导部件100进行冷却的发热体201也可以不是集成电路。图2示出了第1金属片1与发热体201接触的例子。热传导部件100的最宽的面(与Z轴方向垂直的面)与发热体201的平面接触。另外，第2金属片2也可以与发热体201接触。热传导部件100接受由发热体201产生的热。热传导部件100中的与发热体201接触的部分被加热。在以下的说明中，将从发热体201接受热的部分称为被加热部。热经由工作介质而在热传导部件100中扩散。扩散后的热经由电子设备200而最终传递到外部空气。

＜2.热传导部件100＞

接着，使用图2～图8，对实施方式的例示性的热传导部件100进行说明。图3是示出实施方式的金属片的制造方法的一例的图。图4是示出实施方式的第1金属片1的一例的图。图5是示出实施方式的第2金属片2的一例的图。图6示出了沿着图2所示的V1-V2线的切断面的剖视图。图7是图6所示的虚线矩形部分的放大图。

＜2-1.金属片＞

首先，如图2所示，热传导部件100具有第1金属片1和第2金属片2作为金属片。具体而言，热传导部件100具有第1金属片1和在Z轴方向(第1方向)上与第1金属片1重叠的第2金属片2。第1金属片1和第2金属片2使用片状的铜或铜合金。各金属片的材料也可以是这些材料以外的金属。采用具有一定以上的强度(弹性系数)和一定以上的热传导率的金属材料。另外，也可以由板状的金属形成第1金属片1和第2金属片2。例如，第1金属片1和第2金属片2的尺寸(长边和短边的长度)是相同的。另外，第1金属片1和第2金属片2例如为矩形。另外，第1金属片1和第2金属片2的形状不限于矩形。第1金属片1的1个平面与第2金属片2的1个平面重叠。即，第1金属片1的最宽的面与第2金属片2的最宽的面重叠。第1重合面10与第2重合面20接触。另外，第1金属片1的周端与第2金属片2的周端一致。热传导部件100较薄，厚度(Z轴方向的长度)例如为300μm以下。

＜2-2.设置于金属片的槽＞

第1金属片1和第2金属片2中的至少一方具有供工作介质的蒸气通过的蒸气路槽3。另外，第1金属片1和第2金属片2中的至少一方具有供液体的工作介质通过的第1介质流路槽4。另外，第1金属片1和第2金属片2中的至少一方具有第2介质流路槽5。第2介质流路槽5与第1介质流路槽4连接。另外，一部分的第2介质流路槽5连接蒸气路槽3和第1介质流路槽4。另外，一部分的第2介质流路槽5将相邻的第1介质流路槽4连接。而且，设置于一个金属片的第2介质流路槽5的第1方向的高度Lc比设置于一个金属片的第1介质流路槽4的第1方向的高度Lb低。

由于第1方向的高度Lc被抑制，因此第2介质流路槽5的有效细孔半径较小。因此，第2介质流路槽5的毛细管力大。由于毛细管力大，因此第2介质流路槽5的将在蒸气路槽3中冷凝后的工作介质吸起的力较强。即，通过第2介质流路槽5，在蒸气路槽3中冷凝后的液体的工作介质被快速吸起。另外，被吸起的工作介质被传递至第1介质流路槽4。这里，由于第1方向的高度Lb比Lc高，因此第1介质流路槽4的透过率比第2介质流路槽5大。另外，这里的透过率是指液体的移动的容易度。工作介质经由第1介质流路槽4没有延迟地朝向被加热部移动。即，工作介质没有延迟地循环。并且，第2介质流路槽5也是位于第1金属片1与第2金属片2之间的空间。因此，通过第1金属片与工作介质的界面以及第2金属片与差动介质的界面处的界面能量，不仅能够将工作介质蓄积于第1介质流路槽4，还能够将工作介质蓄积于第2介质流路槽5。由此，能够增加工作介质的收纳量。即使使热传导部件100薄型化，热传导部件100也能够收纳足够的工作介质。另外，在使热传导部件100薄型化的情况下，由于第2介质流路槽5的毛细管力较大，因此第1介质流路槽4的直径也可以在一定程度上较粗。由于吸起力、透过率大，而能够收纳足够量的工作介质，因此即使使热传导部件100比以往薄，也没有问题。

具体而言，蒸气路槽3设置在第1金属片1的作为与第2金属片2重合的面的第1重合面10和第2金属片2的作为与第1金属片1重合的面的第2重合面20中的至少一方。第1介质流路槽4设置在第1重合面10和第2重合面20中的至少一方。第2介质流路槽5设置在第1重合面10和第2重合面20中的至少一方。由此，仅通过将第1金属片1和第2金属片2重叠，就能够得到内置有蒸气路槽3、第1介质流路槽4以及第2介质流路槽5的热传导部件100。即使较薄，也能得到工作介质的量足够、工作介质没有延迟地循环的热传导部件100。

作为实施方式的热传导部件100，对蒸气路槽3、第1介质流路槽4以及第2介质流路槽5设置在第1金属片1和第2金属片2双方的热传导部件100进行说明。即，在实施方式的热传导部件100中，对在两个金属片上配置蒸气路槽3、第1介质流路槽4以及第2介质流路槽5的情况进行说明。提供了一种即使薄型化，也能高效地扩散发热体201的热，且工作介质的保持量多、工作介质的吸起速度快、透过率大的热传导部件100。

＜2-3.热传导部件100的制造＞

接着，使用图3，对实施方式的热传导部件100的制造方法的一例进行说明。另外，第1金属片1和第2金属片2的制造方法基本相同。在图3中示出了一个金属片。图3的金属片是第1金属片1或第2金属片2。

首先，准备平板状的金属片(图3的最上段的金属片)。接着，在各金属片的重合面形成抗蚀剂膜61(图3中的从上数第2段)。这里，各金属片的重合面是指形成蒸气路槽3、第1介质流路槽4以及第2介质流路槽5的面。例如，使用光致抗蚀剂形成抗蚀剂膜61。例如，在未形成蒸气路槽3的区域形成抗蚀膜61。接着，使用蚀刻液形成蒸气路槽3。当蒸气路槽3的形成完成时，去除蚀刻液。然后，去除抗蚀剂膜61(图3中的从上数第3段)。

接着，在金属片的重合面形成抗蚀剂膜62(图3中的从上数第4段)。例如，使用光致抗蚀剂形成抗蚀剂膜62。例如，在未形成第1介质流路槽4的区域形成抗蚀剂膜62。接着，使用蚀刻液形成第1介质流路槽4。当第1介质流路槽4的形成完成时，去除蚀刻液。然后，去除抗蚀剂膜62(图3中的从上数第5段)。另外，也可以按照第1介质流路槽4，蒸气路槽3的顺序形成槽。另外，也可以利用通常的抗蚀工件同时形成第1介质流路槽4和蒸气路槽3。在第1介质流路槽4的槽宽例如为100μm以下左右的情况下，蚀刻深度相对于足够宽的槽宽而变浅。只要适当地设定第1介质流路槽4和蒸气路槽3的宽度，就能够形成比蒸气路槽3的槽深(高度)浅(低)的第1介质流路槽4。

在蒸气路槽3和第1介质流路槽4形成后，对包含蒸气路槽3和第1介质流路槽4的内部区域进行粗糙化的处理(粗糙化微蚀刻加工)(图3中的从上数第6段)。此时，在不粗糙化的外周区域形成抗蚀剂膜63。由此，形成连接蒸气路槽3和第1介质流路槽4的第2介质流路槽5。即，第2介质流路槽5被粗糙化。由此，仅通过进行粗糙面加工的处理，就能够形成保持工作介质且吸起力较大的第2介质流路槽5。具体而言，粗糙化的处理至少在蒸气路槽3与蒸气路槽3之间的区域、即配置在第1介质流路槽4与第1介质流路槽4之间的第1壁部91和配置在第1介质流路槽4与蒸气路槽3之间的第2壁部92的区域被实施。在配置于第1介质流路槽4与第1介质流路槽4之间的第1壁部91和配置于第1介质流路槽4与蒸气路槽3之间的第2壁部92上形成第2介质流路槽5。当第2介质流路槽5的形成完成时，去除粗糙化微蚀刻用的蚀刻液。然后，去除抗蚀剂膜63(图3中的从上数第7段)。

另外，第1介质流路槽4也可以被粗糙化。即，也可以对第1介质流路槽4进行粗糙化微蚀刻加工的处理。由此，第1介质流路槽4的毛细管力变高。因此，第1介质流路槽4被有效地引入从蒸气路槽3吸入到第2介质流路槽5的工作介质。另外，蒸气路槽3也可以被粗糙化。即，也可以对蒸气路槽3进行粗糙化微蚀刻加工的处理。由此，工作介质与金属片的接触角变小。接触角是工作介质的液滴的切线与金属片的表面所成的角度。蒸气路槽3的润湿性变高。工作介质容易与蒸气路槽3融合。抑制了产生的液滴对蒸气路槽3的遮蔽。这样，从Z轴方向观察时，可以对比蒸气路槽3的外周靠内侧的整个区域实施粗糙化的处理。

另外，在不设置蒸气路槽3的情况下，省略用于设置蒸气路槽3的工序。另外，在未设置第1介质流路槽4的情况下，省略了用于设置第1介质流路槽4的工序。另外，在未设置第2介质流路槽5的情况下，省略了用于设置第2介质流路槽5的工序。另外，关于在一方的金属片上未设置蒸气路槽3、第1介质流路槽4或第2介质流路槽5的方式，在后述的变形例中进行说明。

最终，第1金属片1与第2金属片2重叠并接合。例如，通过加热、加压，将第1金属片1与第2金属片2接合。另外，也可以通过其他方法将第1金属片1与第2金属片2接合。热传导部件100的内部的蒸气路槽3、第1介质流路槽4以及第2介质流路槽5是热传导部件100的内部的空间。而且，在第1金属片1和第2金属片2中的至少一方设置用于注入工作介质的注入部30(参照图4、图5)。从注入部30向热传导部件100的内部的空间注入工作介质。在注入工作介质之后，注入部30被密封。由此，工作介质被封闭在热传导部件100的内部。例如，工作介质使用水。但是，工作介质也可以是水以外的物质。例如，可以使用醇化合物、氟利昂替代物、烃化合物、氟化烃化合物或二醇化合物作为工作介质。工作介质可以采用因来自发热体201的热而蒸发，并在传递了热之后冷凝的物质。

＜2-4.第1金属片1＞

接着，使用图4，对实施方式的例示性的第1金属片1进行说明。图4是从Z轴方向(从-Z方向)观察第1金属片1(第1重合面10)的图。在实施方式的第1金属片1的第1重合面10上设置有蒸气路槽3、第1介质流路槽4以及第2介质流路槽5。

具体而言，在第1重合面10设置有第1凹部71和多个第1凸部81。在图4的例子中，从Z轴方向观察时，第1凹部71的外周为矩形。第1凹部71是在Z轴方向(厚度方向)上比第1金属片1的外周部1a薄的区域。而且，在Z轴方向上，第1凸部81比第1凹部71厚。从Z轴方向观察时，第1凸部81被第1凹部71包围。从Z轴方向观察时，在第1凹部71的区域的内侧配置有多个第1凸部81。

在第1凸部81设置有第1介质流路槽4和第2介质流路槽5(参照图6、图7)。第1凸部81以X轴方向作为长度方向。如图4所示，各个第1凸部81是平行的，沿Y轴方向排列有多个。图4的虚线矩形表示从Z轴方向观察的发热体201的位置。从Z轴方向观察时与发热体201重叠的第1凸部81的X轴方向的长度比与发热体201不重叠的第1凸部81的X轴方向的长度短。

从Z轴方向观察时，比第1凹部71靠内侧的区域中的不是第1凸部81的区域是蒸气路槽3。另外，如图4所示，在蒸气路槽3设置有多个第1支柱31。图4中的较小的圆表示圆柱形的支柱。支柱也可以为圆柱以外的形状。为了防止线变得复杂，在图4中，仅对1个第1支柱31标注引出线和标号。第1支柱31在将第1金属片1与第2金属片2接合时进行支承，以使空间不会被压扁。

＜2-5.第2金属片2＞

接着，使用图5对实施方式的例示性的第2金属片2进行说明。图5是从Z轴方向(从-Z方向)观察第2金属片2(第2重合面20)的图。在实施方式的第2金属片2的第2重合面20设置有蒸气路槽3、第1介质流路槽4以及第2介质流路槽5。

在第2金属片2的第2重合面20设置有第2凹部72和多个第2凸部82。在图5的例子中，从Z轴方向观察时，第2凹部72为矩形。第2凹部72是在Z轴方向(厚度方向)上比第2金属片2的外周部2a薄的区域。而且，从Z轴方向观察时，第2凸部82比第2凹部72厚。第2凸部82被第2凹部72包围。从Z轴方向观察时，在第2凹部72的区域的内侧配置有多个第2凸部82。

在第2凸部82设置有第1介质流路槽4和第2介质流路槽5(参照图6、图7)。第2凸部82以X轴方向为长度方向。如图5所示，例如，各个第2凸部82是平行的，沿Y轴方向排列有多个。图5的虚线矩形表示从Z轴方向观察的发热体201的位置。从Z轴方向观察时，与发热体201重叠的第2凸部82的X轴方向的长度比与发热体201不重叠的第2凸部82的X轴方向的长度短。

从Z轴方向观察时，比第2凹部72靠内侧的1个区域中的不是第2凸部82的区域是蒸气路槽3。另外，如图5所示，在蒸气路槽3设置有多个第2支柱32。图5中的较小的圆表示圆柱形的支柱。支柱也可以为圆柱以外的形状。另外，为了防止线变得复杂，在图5中，仅对1个第2支柱32标注引出线和标号。第2支柱32在将第1金属片1与第2金属片2接合时进行支承，以使空间不会被压扁。

＜3.热传导部件100的内部＞

接着，使用图6～图8对实施方式的例示性的热传导部件100的内部构造进行说明。

＜3-1.工作介质的运动＞

热传导部件100与发热体201接触。向热传导部件100的内部的空间注入工作介质。由于来自发热体201的热，空间内的工作介质的温度上升。靠近发热体201的工作介质由于温度上升而蒸发。工作介质的蒸气(以下简称为蒸气)在蒸气路槽3中流动，并在蒸气路槽3中扩散。由此，热进行扩散。从发热体201离开而冷却的工作介质的蒸气冷凝而返回到液体。通过毛细管现象，第2介质流路槽5吸起蒸气路槽3内的液体的工作介质。第2介质流路槽5所吸起的液体的工作介质传递至第1介质流路槽4。其结果为，工作介质通过第1介质流路槽4而向发热体201的附近移动。发热体201的附近是通过蒸发而工作介质变得稀薄的区域。这样，工作介质循环。通过循环进行发热体201的热的输送、放出。即，热传导部件100冷却发热体201。

＜3-2.蒸气路槽3＞

图6、图7示出了从X轴方向观察的蒸气路槽3的截面为矩形的例子。另外，从X轴方向观察的蒸气路槽3的截面也可以为半圆、V字。如图6、图7所示，在第1金属片1和第2金属片2双方设置蒸气路槽3的情况下，从Z轴方向(厚度方向)观察时，第1金属片1的蒸气路槽3的位置与第2金属片2的蒸气路槽3的位置重叠。通过将第1金属片1和第2金属片2重叠，形成蒸气路。在实施方式的热传导部件100中，第1金属片1的蒸气路槽3和第2金属片2的蒸气路槽3的宽度(Y轴方向的长度)是相同的。但是，在第1金属片1和第2金属片2中，蒸气路槽3的宽度也可以不同。另外，图6、图7示出了对蒸气路槽3也进行粗糙化处理的例子。在图6、图7中，蒸气路槽3的底部的阴影表示粗糙化部分。

＜3-3.第1介质流路槽4＞

在第1凸部81的与第2金属片2相对的面(上表面)设置有多条第1介质流路槽4。另外，在第2凸部82的与第1金属片1相对的面(上表面)设置有多条第1介质流路槽4。第1介质流路槽4是沿长度方向(X轴方向)延伸的直线状的槽。在1个第1凸部81上，沿短边方向(Y轴方向)排列有多条第1介质流路槽4。如图8所示，第1介质流路槽4设置在相邻的沿X轴方向延伸的蒸气路槽3与蒸气路槽3之间的区域。而且，第1介质流路槽4在X轴方向的端部处与蒸气路槽3连接。从第1介质流路槽4的端部也吸起液体的工作介质。在第1介质流路槽4中储存有工作介质。通过毛细管现象，工作介质在第1介质流路槽4中移动。第1介质流路槽4成为向被加热部提供工作介质的供给部。

图6、图7示出了从X轴方向观察的第1介质流路槽4的截面为半圆的例子。另外，从X轴方向观察的第1介质流路槽4的截面也可以为矩形、V字。而且，图6、图7示出了将设置在第1金属片1的第1介质流路槽4和设置在第2金属片2的第1介质流路槽4的位置错开的例子。即，第1介质流路槽4可以设置在第1金属片1的与第2金属片2的重合面和第2金属片2的与第1金属片1的重合面双方。而且，第1金属片1的第1介质流路槽4也可以具有与第2金属片2的第1介质流路槽4重叠的部分和不重叠的部分。由此，在将第1金属片1和第2金属片2重合时，第1介质流路槽4不会成为一种简单的粗管。第1介质流路槽4的透过率变大。

在实施方式的热传导部件100中，第1金属片1的第1介质流路槽4和第2金属片2的第1介质流路槽4的槽宽(Y轴方向的长度)是相同的。但是，在第1金属片1和第2金属片2中，第1介质流路槽4的槽宽也可以不同。另外，图6、图7示出了对第1介质流路槽4也进行粗糙化处理的例子。在图6、图7中，与第1介质流路槽4的半圆的弧相邻的阴影表示粗糙化部分。

＜3-4.第2介质流路槽5＞

接着，使用图7、图8对第2介质流路槽5进行说明。在第1凸部81的与第2金属片2相对的面(上表面)设置有第2介质流路槽5。另外，在第2凸部82的与第1金属片1相对的面(上表面)设置有第2介质流路槽5。第2介质流路槽5连接相邻的蒸气路槽3和第1介质流路槽4。另外，第2介质流路槽5还连接相邻的第1介质流路槽4和第1介质流路槽4。

如图8所示，在相邻的第1介质流路槽4与第1介质流路槽4之间配置有第1壁部91，在相邻的第1介质流路槽4与蒸气路槽3之间配置有第2壁部92。为了形成第2介质流路槽5，对第1壁部91和第2壁部92中的至少一方进行粗糙化处理(粗糙化微蚀刻加工)。第1介质流路槽4设置在相邻的蒸气路槽3之间的区域。而且，第2介质流路槽5也可以配置在相邻的蒸气路槽3之间的区域中的将相邻的第1介质流路槽4隔开的第1壁部91的区域和将相邻的第1介质流路槽4与蒸气路槽3隔开的第2壁部92的区域。图8的第1壁部91和第2壁部92的阴影表示被粗糙化。图8示出了对第1壁部91和第2壁部92双方进行粗糙化处理的例子。例如，进行能够形成最大10μm～20μm的槽(凹凸)的粗糙化微蚀刻加工。

如图8所示，也可以在相邻的蒸气路槽3之间的区域之间，对沿X轴方向延伸的多根第1壁部91和多根第2壁部92的全部进行粗糙化处理。即，也可以在第1壁部91和第2壁部92的全部上设置第2介质流路槽5。

另外，在相邻的蒸气路槽3之间的区域之间，沿X轴方向延伸的多个第1壁部91中的一部分也可以不被进行粗糙化处理。即，第2介质流路槽5也可以在一根或多根第1壁部91上不设置。也可以在相邻的蒸气路槽3之间的区域的所有第1壁部91中不设置第2介质流路槽5。

另外，在相邻的蒸气路槽3之间的区域之间，沿X轴方向延伸的多个第2壁部92中的一部分也可以不被进行粗糙化处理。第2介质流路槽5也可以在相邻的蒸气路槽3之间的区域之间的两根第2壁部92中的一方上不设置。第2介质流路槽5也可以在相邻的蒸气路槽3之间的区域之间的两根第2壁部92双方上不设置。

另外，在相邻的蒸气路槽3之间的区域之间，在沿X轴方向延伸的一根第1壁部91上，可以仅对一部分进行粗糙化处理。一根第1壁部91也可以具有设置有第2介质流路槽5的区域和未设置第2介质流路槽的区域。

另外，在相邻的蒸气路槽3之间的区域之间，在沿X轴方向延伸的一根第2壁部92上，可以仅对一部分进行粗糙化处理。一根第2壁部92也可以具有设置有第2介质流路槽5的区域和未设置第2介质流路槽5的区域。

通过粗糙化处理(粗糙化微蚀刻加工)，第1壁部91和第2壁部92的表面被切削。其结果为，在各壁部形成微小的凹凸。在使第1金属片1与第2金属片2重合时，在相对的壁部与壁部之间形成微小的空间和管。新配置现有的蒸气室中不存在的空间。通过粗糙化微蚀刻加工，在以往金属片彼此接触的区域形成工作介质的微小的流路(第2介质流路槽5)。而且，不仅在第1介质流路槽4中，在第2介质流路槽5中也能够蓄积工作介质。以往，在金属片的面与面接触的位置设置保持工作介质并快速地吸起工作介质的区域作为第2介质流路槽5。提供一种即使薄型化，工作介质也不会不足、扩散发热体201的热的能力高的热传导部件100。

＜3-5.间隙10＞

粗糙化处理(粗糙化微蚀刻加工)是蚀刻处理的1种。进行了粗糙化处理的区域整体上在第1方向上变薄。第1介质流路槽4和第2介质流路槽设置在第1凸部81和第2凸部82。将对第1介质流路槽4和第2介质流路槽进行了粗糙化处理的第1金属片1和第2金属片2重叠时，在第1凸部81与第2金属片2之间以及第2凸部82与第1金属片1之间形成薄的间隙10。

图8示出了对相邻的沿X轴方向延伸的蒸气路槽3与蒸气路槽3之间的区域、即第1介质流路槽4和第2介质流路槽5双方实施粗糙化处理的例子。在该情况下，将第1介质流路槽4与第1介质流路槽4隔开的第1壁部91和将第1介质流路槽4与蒸气路槽3隔开的第2壁部92整体上变薄。因此，在被粗糙化后的金属片中，在相邻的沿X轴方向延伸的蒸气路槽3与蒸气路槽3之间的区域，在Z轴方向上形成较薄的间隙10。即，在相邻的沿X轴方向延伸的蒸气路槽3与蒸气路槽3之间即第1金属片1与第2金属片2之间的区域存在间隙10。在间隙10中蓄积有工作介质。另外，间隙10较薄。因此，在图6中，间隙10用黑线图示。间隙10沿X轴方向延伸，连接相邻的蒸气路槽3。另外，第1介质流路槽4和第2介质流路槽5也与间隙10相连。即，蒸气路槽3、第1介质流路槽4以及第2介质流路槽5经由间隙10而连接。

＜3-6.槽的高度＞

接着，使用图7对蒸气路槽3、第1介质流路槽4、第2介质流路槽5的Z轴方向的高度的一例进行说明。热传导部件100内的蒸气路的第1方向的高度例如是100μm～180μm的范围内的值。另外，热传导部件100内的蒸气路是重合的蒸气路槽3，第1方向是Z轴方向，Z轴方向的高度是指槽在Z轴方向上的深度。在第1金属片1和第2金属片2双方设置蒸气路槽3的情况下，只要设置在第1金属片1的蒸气路槽3与设置在第2金属片2的蒸气路槽3的第1方向的高度的总和为100μm～180μm的范围内的值即可。在仅在第1金属片1和第2金属片2中的一方设置蒸气路槽3的情况下，设置在一个金属片的蒸气路槽3的第1方向的高度可以为100μm～180μm的范围内的值。另外，上述的数值是例示的。蒸气路槽3的第1方向的高度也可以是上述范围外的值。

一个金属片中的第1介质流路槽4的第1方向的高度Lb(槽在Z轴方向上的深度)例如为25μm～60μm的范围内的值。在第1金属片1和第2金属片2双方设置第1介质流路槽4的情况下，在第1金属片1和第2金属片2各自中，第1介质流路槽4的第1方向的高度Lb为25μm～60μm的范围内的值。另外，上述的第1介质流路槽4的数值是例示的。第1介质流路槽4的第1方向的高度Lb可以为上述范围外的值，另外，一个金属片中的第2介质流路槽5的第1方向的高度Lc(槽在Z轴方向上的最大深度)例如为10μm～20μm的范围内的值。

设置在一个金属片的第1介质流路槽4在第1方向上的高度Lb比设置在一个金属片的蒸气路槽3在第1方向上的高度La低。由此，蒸气路槽3、第1介质流路槽4以及第2介质流路槽5中的第2介质流路槽5的有效细孔半径变得最小。第2介质流路槽5将在蒸气路槽3中冷凝的工作介质快速地吸起。另外，通过毛细管现象，工作介质在第1介质流路槽4中移动。并且，设置在一个金属片的蒸气路槽3在第1方向上的高度La、第1介质流路槽4的高度Lb、第2介质流路槽5的高度Lc的大小关系为La＞Lb＞Lc。

具体而言，在第1金属片1设置第2介质流路槽5且在第1金属片1设置第1介质流路槽4的情况下，第1金属片1的第2介质流路槽5的第1方向的高度Lc比第1金属片1的第1介质流路槽4的第1方向的高度Lb低。另外，在第1金属片1设置第2介质流路槽5且在第2金属片2设置第1介质流路槽4的情况下，第1金属片1的第2介质流路槽5的第1方向的高度Lc比第2金属片2的第1介质流路槽4的第1方向的高度Lb低。另外，在第2金属片2设置第2介质流路槽5且在第1金属片1设置第1介质流路槽4的情况下，第2金属片2的第2介质流路槽5的第1方向的高度Lc比第1金属片1的第1介质流路槽4的第1方向的高度Lb低。另外，在第2金属片2设置第2介质流路槽5且在第2金属片2设置第1介质流路槽4的情况下，第2金属片2的第2介质流路槽5的第1方向的高度Lc比第2金属片2的第1介质流路槽4的第1方向的高度Lb低。

另外，在第1金属片1设置第1介质流路槽4且在第1金属片1设置蒸气路槽3的情况下，第1金属片1的第1介质流路槽4的第1方向的高度Lb可以比第1金属片1的蒸气路槽3的第1方向的高度La低。另外，在第1金属片1设置第1介质流路槽4且在第2金属片2设置蒸气路槽3的情况下，第1金属片1的第1介质流路槽4的第1方向的高度Lb可以比第2金属片2的蒸气路槽3的第1方向的高度La低。另外，在第2金属片2设置第1介质流路槽4且在第1金属片1设置蒸气路槽3的情况下，第2金属片2的第1介质流路槽4的第1方向的高度Lb可以比第1金属片1的蒸气路槽3的第1方向的高度La低。另外，在第2金属片2设置第1介质流路槽4且在第2金属片2设置蒸气路槽3的情况下，第2金属片2的第1介质流路槽4的第1方向的高度Lb可以比第2金属片2的蒸气路槽3的第1方向的高度La低。

＜4.变形例＞

接着，使用图9～图11对变形例的热传导部件100的一例进行说明。图9～图11是用于说明变形例的热传导部件100的图。

在上述实施方式的热传导部件100中，在第1金属片1和第2金属片2双方设置有蒸气路槽3、第1介质流路槽4以及第2介质流路槽5。但是，第2介质流路槽5也可以设置在第1金属片1和第2金属片2双方。也可以仅设置在第1金属片1和第2金属片2中的任意一方。在仅在第1金属片1和第2金属片2中的一方设置第2介质流路槽5的情况下，能够简化热传导部件100的制造。考虑所保持的工作介质的量来确定配置第2介质流路槽5的金属片。另外，在设置于第1金属片1和第2金属片2双方的情况和仅设置于任意一方的情况下，在一个金属片中，第2介质流路槽5的第1方向的高度Lc(最大高度)可以相同，也可以不同。另外，在第1金属片1和第2金属片2双方设置第2介质流路槽5的情况下，各金属片的第2介质流路槽5的第1方向的高度Lc可以相同。

并且，在第2介质流路槽5设置于第1金属片1和第2金属片2双方的情况下，设置在第1金属片1的第2介质流路槽5的第1方向的高度Lc也可以与设置在第2金属片2的第2介质流路槽5的第1方向的高度Lc不同。而且，第1方向的高度Lc较高一方的第2介质流路槽5的第1方向的高度也可以为设置在一个金属片的第1介质流路槽4的第1方向的高度Lb以下。这样，第1金属片1的第2介质流路槽5与第2金属片2的第2介质流路槽5也可以存在差异。例如，也可以是一个金属片的第2介质流路槽5的第1方向的高度Lc与第1介质流路槽4的第1方向的高度Lb相同，另一个金属片的第2介质流路槽5的第1方向的高度Lc比第1介质流路槽4的第1方向的高度Lb低。

另外，第1介质流路槽4可以设置在第1金属片1和第2金属片2双方，也可以仅设置在第1金属片1和第2金属片2中的任意一方。在仅在第1金属片1和第2金属片2中的一方设置第1介质流路槽4的情况下，能够简化热传导部件100的制造。考虑所保持的工作介质的量、热传导部件100的厚度来确定配置第1介质流路槽4的金属片。另外，在设置在第1金属片1和第2金属片2双方的情况和仅设置在任意一方的情况下，一个金属片中的第1介质流路槽4的第1方向的高度Lb可以相同，也可以不同。另外，在第1金属片1和第2金属片2双方设置第1介质流路槽4的情况下，第1介质流路槽4的第1方向的高度Lb在每个金属片中可以相同，也可以不同。

另外，蒸气路槽3可以设置在第1金属片1和第2金属片2双方，也可以仅设置在第1金属片1和第2金属片2中的任意一方。在仅在第1金属片1和第2金属片2中的一方设置蒸气路槽3的情况下，简化了热传导部件100的制造。另外，考虑发热体201的发热量、工作介质的蒸发量来确定配置蒸气路槽3的金属片。另外，在设置于第1金属片1和第2金属片2双方的情况和仅设置于任意一方的情况下，在一个金属片中，蒸气路槽3的第1方向的高度La可以相同，也可以不同。另外，在第1金属片1和第2金属片2双方设置蒸气路槽3的情况下，蒸气路槽3的第1方向的高度La在每个金属片中可以相同，也可以不同。

图9示出了蒸气路槽3、第1介质流路槽4以及第2介质流路槽5向第1金属片1和第2金属片2的配置模式的一例。图9中的左端的列的数字表示模式编号。图9的表的最上行的“1”是指第1金属片1，“2”是指第2金属片2。图9的表的第2行的“3”是指蒸气路槽3，“4”是指第1介质流路槽4，“5”是指第2介质流路槽5。应遵守的条件是内置有至少一个蒸气路槽3、第1介质流路槽4以及第2介质流路槽5。即，在图9的表中，×标记最大为3个。

在满足条件的配置模式中，○为6个的组合为1个(图9的模式编号1)，○为5个且×为1个的组合为6个(图9的模式编号2～7)。关于〇为4个且×为2的组合，能够采用的配置模式为12个(图9的模式编号8～19)。具体而言，〇为4个且×为2个的组合自身全部为15种。15种组合中的在第1金属片1和第2金属片2双方中蒸气路槽3为×的组合、在第1金属片1和第2金属片2双方中第1介质流路槽4为×的组合、以及在第1金属片1和第2金属片2双方中第2介质流路槽5为×的组合这3种组合无法采用。15种组合中的3种组合不满足条件。因此，对于○为4个且×为2的组合，为12个(15-3＝12)。

关于〇为3个且×为3个的组合，仅在第1金属片1设置蒸气路槽3、第1介质流路槽4以及第2介质流路槽5的配置模式有1个(图9的模式编号26)。仅在第2金属片2设置蒸气路槽3、第1介质流路槽4以及第2介质流路槽5的配置模式有1个(图9的模式编号27)。另外，从第1金属片1中选择2种槽的模式有3个(图9的模式编号20～22)。同样地，从第2金属片2中选择2种槽的模式也有3个(图9的模式编号23～25)。○为3个且×为3个的组合中能够采用的配置模式合计为8个。合计为1+6+12+8＝27。在实施方式中进行了说明的热传导部件100是27种配置模式中的1种(图9的模式编号1)。在变形例的热传导部件100中，应用其余的26种配置模式中的任一种。

对具体的变形例的一例进行说明。图10示出了变形例的热传导部件100A的一例。如图10所示，蒸气路槽3、第1介质流路槽4以及第2介质流路槽5也可以仅设置在第1金属片1和第2金属片2中的任意一方。图10示出了仅在第1金属片1设置蒸气路槽3、第1介质流路槽4以及第2介质流路槽5的例子(图9的模式编号26)。第2金属片2为平板。另外，也可以仅在第2金属片2设置蒸气路槽3、第1介质流路槽4以及第2介质流路槽5，第1金属片1为平板(图9的模式编号27)，由此，可以将蒸气路槽3、第1介质流路槽4以及第2介质流路槽5仅配置在第1金属片1和第2金属片2中的一方。简化了热传导部件100的制造。

图11示出了另一变形例的热传导部件100B的一例。如图11所示，蒸气路槽3和第1介质流路槽4也可以设置在第1金属片1和第2金属片2双方。而且，第2介质流路槽5也可以仅设置在第1金属片1和第2金属片2中的任意一方。(图9的模式编号2和模式编号5)由此，在两个金属片上设置蒸气路槽3和第1介质流路槽4。另外，第2介质流路槽5设置于任意一方的金属片。没有在一个金属片上形成第2介质流路槽5的工序。能够简化热传导部件100的制造。

对本实用新型的实施方式和变形例进行了说明，但实施方式和变形例中的各结构及它们的组合等是一例。在不脱离本实用新型的主旨的范围内，能够进行结构的附加、省略、置换以及其他变更。另外，本实用新型并不受实施方式限定。

本实用新型例如能够用于收纳工作介质并使发热体的热移动而扩散的热传导部件。

Claims (16)

1.一种热传导部件，该热传导部件具有第1金属片和第2金属片作为金属片，该第2金属片与所述第1金属片在第1方向上重叠，

所述第1金属片和所述第2金属片中的至少一方具有供工作介质的蒸气通过的蒸气路槽，

所述第1金属片和所述第2金属片中的至少一方具有供液体的工作介质通过的第1介质流路槽，

所述第1金属片和所述第2金属片中的至少一方具有第2介质流路槽，

其特征在于，

所述第2介质流路槽连接所述蒸气路槽和所述第1介质流路槽，

设置于一个所述金属片的所述第2介质流路槽的所述第1方向的高度比设置于一个所述金属片的所述第1介质流路槽的所述第1方向的高度低。

2.根据权利要求1所述的热传导部件，其特征在于，

所述蒸气路槽设置于所述第1金属片的作为与所述第2金属片重合的面的第1重合面和所述第2金属片的作为与所述第1金属片重合的面的第2重合面中的至少一方，

所述第1介质流路槽设置于所述第1重合面和所述第2重合面中的至少一方，

所述第2介质流路槽设置于所述第1重合面和所述第2重合面中的至少一方。

3.根据权利要求1或2所述的热传导部件，其特征在于，

所述第2介质流路槽被粗糙化。

4.根据权利要求1所述的热传导部件，其特征在于，

所述第1介质流路槽被粗糙化。

5.根据权利要求1所述的热传导部件，其特征在于，

所述蒸气路槽被粗糙化。

6.根据权利要求1所述的热传导部件，其特征在于，

设置于一个金属片的所述第1介质流路槽的所述第1方向的高度比设置于一个金属片的所述蒸气路槽的所述第1方向的高度低。

7.根据权利要求1所述的热传导部件，其特征在于，

所述第1介质流路槽设置在相邻的所述蒸气路槽之间的区域，

所述第2介质流路槽配置在相邻的所述蒸气路槽之间的区域中的将相邻的所述第1介质流路槽与所述第1介质流路槽隔开的第1壁部的区域和将相邻的所述第1介质流路槽与所述蒸气路槽隔开的第2壁部的区域。

8.根据权利要求1所述的热传导部件，其特征在于，

所述第2介质流路槽仅设置于所述第1金属片和所述第2金属片中的任意一方或者设置于所述第1金属片和所述第2金属片双方。

9.根据权利要求1所述的热传导部件，其特征在于，

所述第2介质流路槽设置于所述第1金属片和所述第2金属片双方，

设置于所述第1金属片的所述第2介质流路槽的所述第1方向的高度与设置于所述第2金属片的所述第2介质流路槽的所述第1方向的高度不同，

所述第1方向的高度较高一方的所述第2介质流路槽的所述第1方向的高度为设置于一个金属片的所述第1介质流路槽的所述第1方向的高度以下。

10.根据权利要求1所述的热传导部件，其特征在于，

所述第1介质流路槽仅设置于所述第1金属片和所述第2金属片中的任意一方或者设置于所述第1金属片和所述第2金属片双方。

11.根据权利要求1所述的热传导部件，其特征在于，

所述蒸气路槽仅设置于所述第1金属片和所述第2金属片中的任意一方或者设置于所述第1金属片和所述第2金属片双方。

12.根据权利要求1所述的热传导部件，其特征在于，

所述蒸气路槽、所述第1介质流路槽以及所述第2介质流路槽设置于所述第1金属片和所述第2金属片双方。

13.根据权利要求1所述的热传导部件，其特征在于，

所述蒸气路槽和所述第1介质流路槽设置于所述第1金属片和所述第2金属片双方，

所述第2介质流路槽仅设置于所述第1金属片和所述第2金属片中的任意一方。

14.根据权利要求1所述的热传导部件，其特征在于，

所述蒸气路槽、所述第1介质流路槽以及所述第2介质流路槽仅设置于所述第1金属片和所述第2金属片中的任意一方。

15.根据权利要求1所述的热传导部件，其特征在于，

所述第1介质流路槽设置于所述第1金属片的与所述第2金属片重合的重合面和所述第2金属片的与所述第1金属片重合的重合面双方，

所述第1金属片的所述第1介质流路槽具有与所述第2金属片的所述第1介质流路槽重叠的部分和不重叠的部分。

16.一种电子设备，其特征在于，

该电子设备具有权利要求1至15中的任意一项所述的热传导部件。

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