JP4543970B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
ここでは、保護シート20を形成する。本実施形態では、保護シート20は、半導体ウェハ10の一面11に接着可能なシートであればよく、保護シート20の接着面21そのものが粘着性を有するものであってもよいし、保護シート20と半導体ウェハ10とを接着剤により接着するものであってもよい。
次に、一面11側に露出構造部としてのセンシング部30を有する半導体ウェハ10を用意し、この半導体ウェハ10の一面11側に対して、センシング部30を覆うように保護シート20を接着する。
次に、半導体ウェハ10の一面11側に対してセンシング部30を覆うように保護シート20を接着した状態で、半導体ウェハ10をチップ単位毎にダイシングカットにより分断する。
上記ダイシングカット工程によって、半導体ウェハ10をチップ単位毎に分断された半導体ウェハ10が形成される。つまり、半導体ウェハ10を分割することにより、分割されたチップ100としての加速度センサ100が複数個できあがる。
次に、リング状のフレーム40における保護シート20が固定されていない側と半導体ウエハ10の他面12に裏面シート80を貼り付ける。
ところで、本実施形態によれば、一面11側に露出構造部としてのセンシング部30を有する半導体ウェハ10を用意し、半導体ウェハ10の一面11側に対して、センシング部30を覆うように保護シート20を接着した状態で、半導体ウェハ10をチップ単位毎にダイシングカットにより分断した後、分断されたチップ100から保護シート20を剥離して除去するようにした半導体装置の製造方法において、ダイシングカット工程と保護シート20の除去工程との間に、分断されたチップ100と保護シート20との接着部に含まれる水分を低減する工程を行うことを特徴とする製造方法が提供される。
ところで、本実施形態の半導体装置の製造方法においては、水分を低減する工程は、温風により乾燥させる方法以外にも、保護シート20が接着され分断されたチップ100を、50%以下の湿度環境に置くことにより行うものであってもよい。
なお、保護シートの接着部に含まれる水分を低減する工程としては、上述した温風により乾燥させる方法、低湿度に管理された場所で保管する方法、加熱されたステージ上に乗せる方法、恒温槽に入れる方法、赤外線を当てて加熱する方法以外の方法であってもかまわない。
20…保護シート、21…保護シートの接着面、
21a…保護シートの接着面のうち露出構造部に対向する領域、
30…露出構造部としてのセンシング部、
100…チップとしての加速度センサ、
200…ステージ、300…恒温槽。
Claims (8)
- 一面(11)側に可動部や構造体が露出した露出構造部(30)を有する半導体ウェハ(10)を用意し、
前記半導体ウェハ(10)の一面(11)側に対して、前記露出構造部(30)を覆うように保護シート(20)を接着した状態で、前記半導体ウェハ(10)をチップ単位毎にダイシングカットにより分断した後、
前記分断されたチップ(100)から前記保護シート(20)を剥離して除去するようにした半導体装置の製造方法において、
前記ダイシングカット工程と前記保護シート(20)の除去工程との間に、前記分断されたチップ(100)と前記保護シート(20)との接着部に含まれる水分を低減する工程を行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記水分を低減する工程は、前記接着部に温風を当てることにより行うものであることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記水分を低減する工程は、前記保護シート(20)が接着された前記分断されたチップ(100)を、50%以下の湿度環境に置くことにより行うものであることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記水分を低減する工程は、前記保護シート(20)が接着された前記分断されたチップ(100)を、加熱されたステージ(200)上に搭載することにより行うものであることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記水分を低減する工程は、前記保護シート(20)が接着された前記分断されたチップ(100)を、恒温槽(300)に入れることにより行うことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記水分を低減する工程は、前記接着部に赤外線を照射することにより行うことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記保護シート(20)として、前記半導体ウェハ(10)に接着される接着面(21)が粘着性を有するとともに当該接着面(21)のうち前記露出構造部(30)に対向する領域(21a)にて選択的に粘着力が低下したものを、用いることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記保護シート(20)における前記接着面(21)は、UV光により粘着力が低下するUV硬化性粘着剤により構成されていることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
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JPH10242253A (ja) * | 1997-02-28 | 1998-09-11 | Denso Corp | 半導体基板の保護シート剥離方法及び半導体基板の保護シート剥離装置 |
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