JP4539422B2 - チップ型多段フィルタ装置 - Google Patents

Description

本発明は、複数の誘電体層を積層してなる多層基板内に複数段構成のフィルタ回路が構成されている高周波用のチップ型多段フィルタ装置に関し、より詳細には、準ミリ波帯〜ミリ波帯の周波数で好適に使用され、輻射や放射の影響を低減させるために、共振電極が設けられている領域がグラウンド電極で囲まれている構造を有するチップ型多段フィルタ装置に関する。

従来、準ミリ波帯〜ミリ波帯の周波数に対応したチップ型フィルタ装置が種々提案されている。

図２５（ａ）及び（ｂ）は、下記の特許文献１に記載のチップ型フィルタ装置を示す模式的平面図及び正面断面図である。

チップ型フィルタ装置２０１は、誘電体基板２０２を有する。誘電体基板２０２上に、デュアルモード共振器を構成するために、金属膜からなる矩形の共振器電極２０３が形成されている。共振器電極２０３には、貫通孔２０３ａが形成されている。また、誘電体基板２０２の下面には、グラウンド電極２０４が形成されている。共振器電極２０３には、入出力結合回路の結合点２０５ａ，２０５ｂにおいて入出力回路が結合されている。チップ型フィルタ装置２０１では、上記矩形の共振器電極２０３の長辺方向及び短辺方向に生じる２つの共振モードを結合させることにより、バンドパスフィルタとしての帯域幅が得られている。

他方、下記の特許文献２には、複数のλ／２共振器を利用したチップ型フィルタ装置が開示されている。

図２６（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、特許文献２において、２４ＧＨｚ及び３８ＧＨｚで動作する薄膜３極バンドパス平行結合線路フィルタを示す各模式的平面図である。図２６（ａ）及び（ｂ）に示すように複数の線路２１１ａ〜２１１ｅ及び２１２ａ〜２１２ｅが形成されているフィルタ２１１，２１２は誘電体等と積層され、チップ型のフィルタとして構成されている。

下記の特許文献３には、形状に起因する共振を抑制し得る構造を備えたバンドパスフィルタが開示されている。図２７（ａ）〜（ｃ）は、特許文献３に記載のバンドパスフィルタを示す斜視図、平面断面図及び（ｂ）のＸ１−Ｘ１線に沿う
断面図である。バンドパスフィルタ２２１では、複数の誘電体層を積層してなる多層基板２２２が用いられている。多層基板２２２内の中間高さ位置に、共振器電極２２３が配置されている。共振器電極２２３は、貫通孔２２３ａを有し、図２５に示した共振器電極２０３と同様に、共振周波数が異なる２つの共振を結合させてバンドパスフィルタとしての帯域を得るために設けられている。

また、共振器電極２２３の上下には、第１，第２のグラウンド電極２２６，２２７が配置されている。さらに、多層基板２２２の側面には、グラウンド電極２２８，２２８が形成されている。ここでは、グラウンド電極２２６，２２７がビアホール電極２２９により接続されており、それによって形状に起因する所望でないスプリアスの抑制が図られるとされている。
特開２００１−２３７６０９号公報 特表２００５−５００７７３号公報 特開２００４−２９７７６４号公報

特許文献１に記載のような共振器電極２０３を用いたデュアルモードバンドパスフィルタであるチップ型フィルタ装置２０１では、多段化を図るとチップサイズが大きくなるという問題があった。これは、１枚の共振器電極２０３において周波数が異なる２つの共振を結合させてバンドパスフィルタを得ているため、低損失化は図り得るものの、大きな減衰量を得るために多段化を図った場合、チップ形状が大きくならざるを得ないことによる。

また、特許文献２に記載のように、λ／２共振器を利用したチップ型フィルタでは、放射や輻射を低減するには、チップの外周側面をグラウンド電極で被覆する必要がある。ところが、誘電体からなるチップの外周側面をグラウンド電極で被覆した場合、チップ形状、さらに言うとグラウンド電極の形状に起因する共振が生じ、この共振がスプリアスとなりフィルタ特性に悪影響を与えるおそれがあった。

他方、上記特許文献３に記載のバンドパスフィルタでは、図２７（ｃ）に示すように、第１，第２の内部グラウンド電極２２６，２２７がビアホール電極２２９により接続されており、それによって形状に起因する共振による所望でないスプリアスを抑制することができるとされている。しかしながら、特許文献３に記載の構成においても、多段化を図った場合には、特許文献１に記載と同様の共振器電極を用いているため、チップサイズが大型にならざるを得なかった。

本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、例えば準ミリ波帯〜ミリ波帯フィルタとして用いるのに適しており、多段構成を有するが小型化を進めることができ、かつ形状に起因する所望でないスプリアスによる特性の劣化が生じ難い、チップ型多段フィルタ装置を提供することにある。

本発明によれば、対向する第１，第２の主面と、第１，第２の主面を連結している第１〜第４の側面とを備え、前記第１，第２の側面が対向しており、複数の誘電体層を積層してなる多層基板と、前記多層基板の前記第１の側面に設けられた第１の表面グラウンド電極と、前記第２の側面に設けられた第２の表面グラウンド電極と、前記多層基板内において、前記第１の主面に相対的に近い誘電体層に設けられた第１の内部グラウンド電極と、前記多層基板内において、前記第２の主面に相対的に近い誘電体層に設けられた第２の内部グラウンド電極と、前記第１，第２の内部グラウンド電極を電気的に接続するように前記複数の誘電体層のうちの少なくとも一部の誘電体層を貫通するように設けられたビアホール導体と、前記第１，第２の表面グラウンド電極及び前記第１，第２の内部グラウンド電極により囲まれた領域に配置されている第１，第２のλ／２共振器電極とを備え、前記第１，第２のλ／２共振器電極は、前記第１，第２の共振器電極間の誘導結合を調整する前記ビアホール導体と絶縁されるとともに前記ビアホール導体を介して対向配置されており、前記第１，第２のλ／２共振器電極間に結合容量を付加するために前記多層基板内に設けられた容量電極をさらに備える、チップ型多段フィルタ装置が提供される。

本発明に係るチップ型多段フィルタ装置のある特定の局面では、前記第１のλ／２共振器電極に接続されており、前記多層基板の第２の主面または第３の側面に設けられた第１の入出力端子と、前記第２のλ／２共振器電極に接続されており、前記第２の主面あるいは第４の側面に設けられた第２の入出力端子とがさらに備えられている。

本発明に係るチップ型多段フィルタ装置の他の特定の局面では、前記ビアホール導体が、前記第１の内部グラウンド電極のほぼ中心位置と、前記第２の内部グラウンド電極のほぼ中心位置とを電気的に接続している。

本発明に係るチップ型多段フィルタ装置のさらに別の特定の局面では、前記容量電極は、前記第１のλ／２共振器電極に容量結合された第１の容量電極と、前記第２のλ／２共振器電極に容量結合された第２の容量電極とを有する。

本発明に係るチップ型多段フィルタ装置のさらに他の特定の局面では、前記容量電極が、前記第１のλ／２共振器電極及び前記第２のλ／２共振器電極にそれぞれ容量結合している容量電極である。

本発明に係るチップ型多段フィルタ装置のさらに他の特定の局面では、前記第１，第２の表面グラウンド電極を電気的に接続している電気的接続部がさらに備えられている。

本発明に係るチップ型多段フィルタ装置のさらに別の特定の局面では、前記電気的接続部が、前記多層基板の前記第２の主面に設けられており、該電気的接続部と前記第２の内部グラウンド電極とが第２のビアホール導体により電気的に接続されている。

本発明に係るチップ型多段フィルタ装置では、複数の誘電体層を積層してなる多層基板内に、第１，第２のλ／２共振器電極が配置されており、第１，第２のλ／２共振器電極が配置されている領域が、上記第１，第２の内部グラウンド電極と、第１，第２の表面グラウンド電極とで囲まれた領域に配置されている。従って、上記第１，第２の内部グラウンド電極及び第１，第２の表面グラウンド電極と多層基板とにより導波管に類似した構造が構成されて、外形に起因する共振が生じるおそれがある。しかしながら、本発明では、上記ビアホール導体が第１，第２の内部グラウンド電極を電気的に接続しており、第１，第２の内部グラウンド電極間に挟まれた領域に第１，第２のλ／２共振器電極が配置されているので、電界の強い部分にグラウンド電位に接続されている上記ビアホール導体が配置されることになり、それによって外形形状に起因する共振を抑制することが可能とされている。

しかも、第１，第２のλ／２共振器電極間にビアホール導体が存在することになるため、第１，第２のλ／２共振器電極間の誘導結合を制限することができ、例えば各λ／２共振器電極に直接付加されている突起部や、各λ／２共振器電極とは独立して設けられている容量電極により、λ／２共振器電極間の結合が十分に図られるので、良好なフィルタ特性を実現することができる。

よって、本発明によれば、λ／２共振器電極を用いているので、多段化を図った場合でも小型であり、かつ良好なフィルタ特性を有するチップ型多段フィルタ装置を提供することができる。

第１の入出力端子が第２の主面または第３の側面に設けられており、第２の入出力端子が第２の主面または第４の側面に設けられている場合には、第１，第２の入出力端子を利用して外部と容易に電気的に接続することが可能となる。

ビアホール導体が第１の内部グラウンド電極のほぼ中心位置と、第２の内部グラウンド電極のほぼ中心位置とを電気的に接続している場合には、第１，第２の内部グラウンド電極のほぼ中心位置を結ぶ部分において、外形形状に起因する共振の電界が一番強い部分にあたるため、スプリアスとなる共振をより効果的に抑制することができる。

容量電極が、第１のλ／２共振器電極に容量結合された第１の容量電極と、第２のλ／２共振器電極に容量結合された第２の容量電極とを備える場合には、チップ型多段フィルタ装置において、第１のλ／２共振器電極により構成されている共振器と、第２のλ／２共振器電極により構成されている共振器の構造とを等価とすることができ、対称性に優れたチップ型多段フィルタ装置を提供することができる。また、第１，第２の容量電極は、それぞれ１つの容量電極を設けた場合に比べて小型に構成され得るので、第１，第２の容量電極を、多層基板内において、大型化を招くことなく効率良く配置することができる。

容量電極が、第１，第２のλ／２共振器電極にそれぞれ容量結合している容量電極で構成されている場合には、１つの容量電極で、容量電極を構成することができる。

第１，第２の表面グラウンド電極を電気的に接続している電気的接続部をさらに備える場合には、グラウンドが強化されて、形状に起因する共振をより効果的に抑圧することができる。

電気的接続部が、第２の主面に設けられており、電気的接続部と第２の内部グラウンド電極とが第２のビアホール導体により電気的に接続されている場合には、形状に起因する共振をより効果的に抑圧することが可能となる。

以下、図面を参照しつつ本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

図１（ａ）〜（ｄ）は、本発明の第１の実施形態に係るチップ型多段フィルタ装置の平面図、正面図、底面図及び右側面図である。

チップ型多段フィルタ装置１は、矩形板状の多層基板２を有する。多層基板２は、複数の誘電体層を積層した構造を有する。図２（ａ）〜（ｊ）は、多層基板２の異なる高さ位置における略図的平面図を示し、言い換えれば異なる誘電体層の上面に形成されている電極構造を示す各模式的平面図である。

また、図３（ａ）は、チップ型多段フィルタ装置１の下面側の電極構造を示す、上下逆転した状態の斜視図であり、（ｂ）及び（ｃ）は、多層基板２内の内部グラウンド電極及びビアホール導体を説明するための略図的斜視図及び内部グラウンド電極及びビアホール導体を示す略図的斜視図である。

本実施形態では、寸法は特に限定されるわけではないが、多層基板２は４．５×３．２×厚み１．３ｍｍの矩形板状の形状を有している。また、上記多層基板２は、複数の誘電体層を積層した構造を有するが、誘電体層を構成している誘電体材料については特に限定されず、合成樹脂または誘電体セラミックスなどを用いることができる。

多層基板２内においては、図２（ｄ）に示すように、中間高さ位置の誘電体層の上面に、第１，第２のλ／２共振器電極３，４が形成されている。

λ／２共振器電極３，４及び後述する各種電極は、適宜の金属材料により構成され得るが、本実施形態では、Ｃｕにより形成されている。

λ／２共振器電極３，４は、図２（ｄ）に示すように、矩形の誘電体層の短辺に延びる電極本体部３ａ，４ａと、電極本体部３ａ，４ａの一端において、相手方のλ／２共振器電極４または３側に屈曲されて延ばされている容量ユニットの一部としての突起部３ｂ，４ｂとを有する。

また、λ／２共振器電極３，４間においては、ビアホール導体５が配置されている。ビアホール導体５は、図２（ｃ）〜（ｈ）にも示されているように、上下方向に延ばされている。

他方、ビアホール導体５の上端は、第１の内部グラウンド電極６に電気的に接続されている。また、ビアホール導体５の下端は第２の内部グラウンド電極７に電気的に接続されている。

図３（ｂ）及び（ｃ）に略図的示すように、第１，第２の内部グラウンド電極６，７は、上記ビアホール導体５により電気的に接続されている。図３（ｂ）及び（ｃ）は、第１，第２の内部グラウンド電極６，７は略図的に矩形の形状に図示されているが、実際には図２（ｂ）及び（ｈ）に示した形状を有し、多層基板２の対向し合う第１，第２の側面２ｃ，２ｄに引き出されている。

また、第１内部グラウンド電極６は、第１の主面２ａ側に近接されて配置されており、第２の内部グラウンド電極７は、第２の主面２ｂ側に近接されて配置されている。

すなわち、多層基板２内において、第１，第２の内部グラウンド電極６，７のうち、第１の内部グラウンド電極６が相対的に第１の主面２ａ側に、第２の内部グラウンド電極７が第２の主面２ｂ側に配置されている。

ビアホール導体５は、本実施形態では、多層基板２を平面視したときほぼ中央に配置されており、ビアホール導体５を介してλ／２共振器電極３，４が対向配置されている。

他方、図１（ａ）〜（ｄ）及び図３（ａ）に示されているように、多層基板２は、第１の主面２ａと第２の主面２ｂと、第１〜第４の側面２ｃ〜２ｆとを有する矩形板状の形状を有する。そして、第１の側面２ｃと第２の側面２ｄとが対向しており、第１，第２の側面２ｃ，２ｄを覆うように、それぞれ、第１，第２の表面グラウンド電極８，９が形成されている。λ／２共振器電極３，４により構成される共振部分は、従って、第１，第２の内部グラウンド電極６，７と、上記第１，第２の表面グラウンド電極８，９とで囲まれた領域に配置されている。

他方、図２（ｆ）に示されているように、λ／２共振器電極３，４が形成されている部分よりも下方の誘電体層においては、容量電極１０が形成されている。容量電極１０は、第１，第２のλ／２共振器電極３，４の突起部３ｂ，４ｂと誘電体層を介して重なり合うように配置されており、それによって、第１，第２の容量ユニットの各一部が構成されている。

そして、容量電極１０と容量結合し得るように、第１，第２の入出力電極１１，１２が設けられている。この容量電極１０と第１，第２の入出力電極１１，１２間の容量もまた、第１，第２の容量ユニットの容量成分の一部を構成している。すなわち、本実施形態では、第１，第２の容量ユニットは、突起部３ｂ，４ｂと容量電極１０とが重なり合うことによる積層容量と、容量電極１０と入出力電極１１，１２との間の対向容量によりそれぞれ構成されている。第１，第２の容量ユニットは、λ／２共振器電極３，４に容量を付加するように設けられている。

第１，第２の入出力電極１１，１２は、容量電極１０と同じ高さ位置に形成されており、容量電極１０に容量結合されている。もっとも、第１，第２の入出力電極１１，１２は、容量電極１０と容量結合され得る限り、容量電極１０と異なる高さ位置に形成されていてもよい。

また、第１，第２の入出力電極１１，１２の容量電極１０と容量結合されている部分と反対側の端部近傍において、入出力電極１１，１２は、ビアホール導体１３，１４の上端に電気的に接続されている。ビアホール導体１３，１４は、多層基板２内において、下方に延ばされており、多層基板２の第２の主面２ｂに至っている。第２の主面２ｂには、ビアホール導体１３，１４に電気的に接続される第１，第２の入出力端子電極１５，１６が形成されている。第１，第２の入出力端子電極１５，１６は、チップ型多段フィルタ装置１を外部と電気的に接続するための端子電極である。

上記チップ型多段フィルタ装置１の製造に際しては、前述した第１，第２のλ／２共振器電極３，４、第１，第２の内部グラウンド電極６，７、容量電極１０、及びビアホール導体６などを含む様々な多層基板２内の電極を、誘電体層と積層することにより得られる。この場合、誘電体層がセラミックスにより構成されている場合、周知のセラミックス積層一体焼成技術を用いて多層基板２を形成することができる。あるいは合成樹脂からなる誘電体フィルタと電極材料とを積層することにより、上記多層基板２を形成してもよい。

また、外表面に形成されている第１，第２の表面グラウンド電極８，９及び入出力端子電極１５，１６は、多層基板２を得た後に、適宜の導電膜形成方法により形成することができる。

このような導電膜としても、Ａｇ、Ｃｕなどの適宜の金属もしくは合金を用いることができる。

本実施形態のチップ型多段フィルタ装置１では、上記λ／２共振器電極の電極本体部３ａ，４ａは０．５×２．２ｍｍの矩形の形状を有し、突起部３ｂ，４ｂは、幅０．３ｍｍ×長さ０．４ｍｍとされている。

また、上記容量電極１０は、０．８×０．２ｍｍの寸法を有し、突起部３ｂ，４ｂと、それぞれ、０．３×０．２ｍｍの矩形の領域で重なり合っている。

そして、上記第１，第２のλ／２共振器電極３，４により、中心周波数は１８ＧＨｚ付近にある帯域フィルタとしての特性が得られる多段フィルタが構成されている。本実施形態では、上記複数のλ／２共振器電極３，４を用いて多段化が図られているので、図２５，図２７に示したデュアルモード・バンドパスフィルタのような貫通孔を有する共振器電極を用いたものとは異なり、多段化を図った場合においても小型化を進めることができる。

チップ型多段フィルタ装置１では、中央にビアホール導体５が配置されていることにより、外形形状に起因するスプリアスを効果的に抑制することができる。これを、図４及び図５を参照して説明する。なお、図４及び図５においては、実線が反射特性を、破線が通過特性を示す。図４は、チップ型多段フィルタ装置１において、上記ビアホール導体５が設けられていないことを除いては実施形態と同様に構成された比較例としてのチップ型多段フィルタ装置の周波数特性を示す図である。

図４から明らかなように、１９ＧＨｚ付近に、外形形状に起因するスプリアスが現れていることがわかる。従って、１９ＧＨｚ近傍の帯域特性を有するフィルタを得ることができないことがわかる。

これに対して、図５は、上記実施形態のチップ型多段フィルタ装置における１８ＧＨｚ付近の周波数特性を示す。

図５から明らかなように、１８〜２３ＧＨｚ付近において、アイソレーションが２５ｄＢ以上得られ、従って１８ＧＨｚ付近に帯域を有する良好なフィルタ特性の得られることがわかる。

上記のように、本実施形態において、外形形状に起因するスプリアスを効果的に抑圧し得るのは、ビアホール導体５が共振電界が強く現れる部分に配置されていることによる。すなわち、λ／２共振器電極３，４が配置されている部分の中央において共振電界が強く生じ、他方、第１，第２の内部グラウンド電極６，７及び第１，第２の表面グラウンド電極８，９で囲まれている部分が導波管のように作用し、本来ならばスプリアスが現れる。しかしながら、ビアホール導体５が共振電界の最も強い部分に配置されており、かつグラウンド電位に接続されているため、上記外形形状に起因するスプリアスが効果的に抑圧され、それによって良好なフィルタ特性が得られている。

このようなビアホール導体５を設けたことによるスプリアス低減効果をより大きくするには、好ましくは図６（ａ）及び（ｂ）並びに図７に示すように、ビアホール導体２１を設けることが望ましい。ビアホール導体２１は、その一方端が第２の内部グラウンド電極に接続され、下端が多層基板２の第２の主面２ｂに至っている。また、図６（ｂ）に示すように、第２の主面２ｂにおいては、第１，第２の表面グラウンド電極８，９を電気的に接続する電気的接続部２２が設けられている。この電気的接続部２２が、本発明における第２のビアホール導体である上記ビアホール導体２１の下端に電気的に接続されている。従って、第２のビアホール導体２１は、第２の内部グラウンド電極７を介して前述したビアホール導体５に電気的に接続されている。

上記第２のビアホール導体２１を電気的接続部２２を介してグラウンド電位に接続することにより、スプリアスをより一層効果的に抑圧することができる。すなわち、第２の内部グラウンド電極７と第２の主面２ｂの間にも、第２の内部グラウンド電極７と、第１の表面グラウンド電極８と、第１の表面グラウンド電極と接続されておりかつ第２の主面２ｂ上に延設されている折り返し電極８ａと、第２の表面グラウンド電極９と、第２の表面グラウンド電極と接続されておりかつ第２の主面２ｂ上に延設されている折り返し電極９ａとで形成される共振が生じるが、この共振をビアホール導体２１により抑制できるとともに、共振電界が最も強い部分に配置されているビアホール導体５のグラウンドを強化することができ、それによって上記スプリアスをより一層効果的に低減することができる。

チップ型多段フィルタ装置１では、ビアホール導体５により外形形状に起因するスプリアスが抑圧されるだけでなく、前述した第１，第２の容量ユニットが第１，第２のλ／２共振器電極からなる共振器に結合されている。それによって、フィルタ特性をさらに改善することが可能とされている。

図８は、上記容量ユニットにおける第１，第２の容量ユニットにおける電極重なり面積が０．３×０．２ｍｍの場合のフィルタ特性を示す。図８から明らかなように、１８．６ＧＨｚにおいて、挿入損失が１．２ｄＢと改善されていることがわかる。

また、第１，第２の容量ユニットにおける容量電極１０と突起部３ｂ，４ｂとの重なり面積をそれぞれ０．５×０．２ｍｍとした場合の周波数特性を図９に示す。図９から明らかなように、第１，第２の容量ユニットにおける静電容量すなわち結合容量を変化させることにより、帯域幅を調整し、所望とするフィルタ特性を容易に得ることができることがわかる。

なお、本実施形態では、第１，第２のλ／２共振器電極３，４により構成されている共振器に結合される容量は、上記容量電極１０と突起部３ｂ，４ｂとの重なり合い部分による、いわゆる積層容量と、容量電極１０と第１，第２の入出力電極１１，１２との間の容量である線間容量とでそれぞれ構成されている。この場合、いずれか一方によってのみ結合容量を形成してもよい。

図１０は、第１の実施形態のチップ型多段フィルタ装置の変形例を説明するための模式的平面断面図である。第１の実施形態では、中央にビアホール導体５が設けられていたが、ビアホール導体５に加えて、ビアホール導体５の近傍に他のビアホール導体５Ａを設けてもよい。すなわち、１以上のビアホール導体をさらに追加してもよい。また、図１１に示す変形例のように、ビアホール導体５に接続れる接続電極５Ｂを設けてもよい。接続電極５Ｂは、第１または第２の表面グラウンド電極に電気的に接続される。このように、ビアホール導体５を直接外表面に設けられている第１または第２の表面グラウンド電極に電気的に接続することにより、ビアホール導体５によるグラウンドを強化することができる。

さらに、図１２に略図的平面断面図で示すように、突起部３ｂ，４ｂだけでなく、突起部３ｂ，４ｂが設けられている部分とは反対側の端部に、さらに突起部３ｃ，４ｃを設けてもよい。この場合においても、突起部３ｃ，４ｃを用いて、さらに容量を付加することができる。

また、図１３（ａ）及び（ｂ）に示すように、突起部３ｃ，４ｃが設けられている部分の下方に、容量電極１０Ａを配置し、それによってさらに積層容量を形成してもよい。

上述した実施形態では、第１，第２のλ／２共振器電極を有する２段構成のフィルタ装置が構成されていたが、図１４に示すように、第１，第２のλ／２共振器電極に加えて、図１４に示す第３のλ／２共振器電極３１を設け、３段構成としてもよく、図１５に示すように、第３，第４のλ／２共振器電極３１Ａ，３２を加え、４段構成のフィルタ装置としてもよい。

なお、図１４において、第２，第３のλ／２共振器電極４Ａ，３１間には、ビアホール導体５と同様に構成されたビアホール導体３３が設けられている。また、図１５に示すように、第３，第４のλ／２共振器電極３１Ａ，３２間においても、同様にビアホール導体３４が設けられている。

なお、第３のλ／２共振器電極３１は、共振器電極３と同様に、電極本体部３１ａと、突起部３１ｂとを有する。また、図１４では、第２のλ／２共振器電極４Ａは、突起部４ｂが設けられている側とは反対側の端部において、第３のλ／２共振器電極３１側に屈曲して設けられた突起部４ｄを有する。

同様に、図１５に示すフィルタ装置では、第３のλ／２共振器電極３１Ａが、一端に突起部３１ｃを、他端に突起部３１ｄを有する。突起部３１ｃは、突起部４ｄ側に屈曲されており、突起部３１ｄは、第４のλ／２共振器電極３２側に屈曲されている。第４の共振器電極３２もまた、電極本体部３２ａと、突起部３２ｂとを有する。

このように、隣り合うλ／２共振器電極において、各λ／２共振器電極間の結合量を増すための容量ユニットとして、各λ／２共振器電極の端部において向かい合うように突起部を設ければよい。

図１６及び図１７は、図１４及び図１５に示した変形例のチップ型多段フィルタ装置の周波数特性を示す各図である。なお、図１４では、多層基板は４．５×３．２×厚さ１．２ｍｍとし、各λ／２共振器電極の電極本体部は０．５×１．９ｍｍ、突起部は０．５×２．１ｍｍの寸法とした。また、積層容量として、０．４×０．２ｍｍの容量電極を、λ／２共振器電極の突起部の０．０４ｍｍ下方に設けた。

また図１７に示す特性を得た図１５に示すチップ型多段フィルタ装置では、多層基板は４．５×３．２×１．３ｍｍの寸法とし、λ／２共振器電極の電極本体部は０．３×２．１５ｍｍの矩形形状とし、各突起部は０．２×０．３５ｍｍの寸法とした。

図１６から明らかなように、３段構成のチップ型多段フィルタ装置においては、中心周波数１９．２ＧＨｚ、図１７に示すように、４段構成の場合には１７．１ＧＨｚに中心周波数を有する良好なフィルタ特性の得られることがわかる。

従って、図１４〜図１７から明らかなように、本発明によれば、３段以上の多段構成のチップ型多段フィルタ装置を容易に得ることができ、設計の自由度を大幅に高め得ることがわかる。

図１８（ａ）〜（ｈ）は、本発明の第２の実施形態に係るチップ型多段フィルタ装置の多層基板の異なる高さ位置の模式的平面図であり、第１の実施形態について示した図２に相当する図である。

第２の実施形態のチップ型多段フィルタ装置では、多層基板の寸法は２．５×２．０×１．３ｍｍとし、図１８（ｄ）に示されているように、第１，第２のλ／２共振器電極４３，４４は、電極本体部４３ａ，４４ａが０．１×１．２ｍｍの矩形板状を有し、２．５×２．５ｍｍの突起部４３ｂ，４４ｂを有するように構成した。なお、ここでは、突起部４３ｂ，４４ｂが設けられている部分において、突起部４４ｂ，４４ｂとは逆の側に、接続電極４５，４６が連ねられている。接続電極４５，４６は、ビアホール導体４７，４８に電気的に接続されている。このビアホール導体４７，４８が、入出力端子電極１５，１６に電気的に接続されている。すなわち、λ／２共振器電極４３，４４は、直接入出力端子電極１５，１６に電気的に接続されている。

本実施形態のチップ型多段フィルタ装置４１は、上記入出力接続構造が異なることを除いては、図１に示した実施形態のチップ型多段フィルタ装置１と同様に構成されている。第２の実施形態のチップ型多段フィルタ装置のフィルタ特性を図２０に示す。また、比較のために、外形形状に起因する共振を調べるために、上記λ／２共振器電極４３，４４が設けられていない場合の周波数特性を図１９に示す。

図１９から明らかなように、外形形状に起因する共振が、小型化に伴って高周波側に移動し、３３ＧＨｚ付近までアイソレーションが２０ｄＢ確保されていることがわかる。そして、図２０から明らかなように、本実施形態では、１８ＧＨｚで良好なフィルタ特性の得られることがわかる。

図２１は、第２の実施形態のチップ型多段フィルタ装置の変形例を説明するための模式的平面断面図である。図２１に示すように、第１，第２のλ／２共振器電極４３，４４間に、容量電極５０を設け、それによって線間容量を付加してもよい。ここでは、容量電極５０は、０．６×０．０５ｍｍの寸法または０．９×０．０５ｍｍの寸法とし、各λ／２共振器電極４３，４４と０．０５ｍｍの寸法を隔てて配置し、２種類のチップ型多段フィルタ装置を作製した。

図２２は、上記容量電極５０が設けられていないことを除いては、上記変形例と同様にして構成されたチップ型多段フィルタ装置のフィルタ特性を示し、図２３は、０．６×０．０５ｍｍの寸法の容量電極５０を有する場合のチップ型多段フィルタ装置のフィルタ特性を示し、図２４は０．９×０．０５ｍｍの寸法の容量電極５０を有するチップ型多段フィルタ装置のフィルタ特性を示す。図２２〜図２４から明らかなように、容量電極５０を設け、さらにその寸法を大きくし、線間容量を増大させることにより、減衰極の位置が、低周波数側に移動することがわかる。従って、上記容量電極５０により容量を付加し、かつ該容量の値を調整することにより、減衰極の周波数位置を容易に調整し得ることがわかる。

（ａ）〜（ｄ）は、本発明の第１の実施形態に係るチップ型多段フィルタ装置の平面図、正面図、底面図及び右側面図。 （ａ）〜（ｄ）は、本発明の第１の実施形態に係るチップ型多段フィルタ装置の異なる高さ位置における模式的平面図。 （ａ）は本発明の第１の実施形態のチップ型多段フィルタ装置の第２の主面側から見た斜視図、（ｂ）及び（ｃ）は多層基板内の第１，第２の内部グラウンド電極及びビアホール導体を説明するための模式的斜視図及び電極構造を示す模式的斜視図。 ビアホール導体が中央に設けられていない構造の周波数特性を示す図。 本発明の第１の実施形態に係るチップ型多段フィルタ装置のフィルタ特性を示す図。 （ａ）及び（ｂ）は第１の実施形態の変形例に係るチップ型多段フィルタ装置の模式的平面断面図及び底面図。 図６に示した変形例のチップ型多段フィルタ装置の第２の主面側から見た斜視図。 容量電極と共振器電極の突起部との重なり面積を０．３×０．２ｍｍとして積層容量を構成した場合の実施形態のチップ型多段フィルタ装置の周波数特性を示す図。 容量電極と共振器電極の突起部との重なり面積を０．５×０．２ｍｍとして積層容量を構成した場合の実施形態のチップ型多段フィルタ装置の周波数特性を示す図。 ビアホール導体の数が増大された変形例に係るチップ型多段フィルタ装置の模式的平面断面図。 第１の実施形態のさらに他の変形例のチップ型多段フィルタ装置の模式的平面断面図。 第１の実施形態の他の変形例のチップ型多段フィルタ装置の模式的平面断面図。 （ａ）及び（ｂ）は、第１の実施形態のチップ型多段フィルタ装置のさらに他の変形例を説明するための各模式的平面図。 第３のλ／２共振器電極が配置されている３段構成のチップ型多段フィルタ装置を説明するための模式的平面断面図。 第３のλ／２共振器電極が配置されている４段構成のチップ型多段フィルタ装置を説明するための模式的平面断面図。 図１４に示した３段構成のチップ型多段フィルタ装置のフィルタ特性を示す図。 図１５に示した４段構成のチップ型多段フィルタ装置のフィルタ特性を示す図。 （ａ）〜（ｈ）は、本発明の第２の実施形態に係るチップ型多段フィルタ装置を説明するための多層基板内の各高さ位置における模式的平面断面図。 λ／２共振器電極による共振器が構成されていない相当の構造の周波数特性を示す図。 第２の実施形態のチップ型多段フィルタ装置の周波数特性を示す図。 第２の実施形態のチップ型多段フィルタ装置の変形例を説明するための模式的平面図。 比較のために、線間容量の一部に容量電極が設けられていないチップ型多段フィルタ装置のフィルタ特性を示す図。 ０．６×０．０５ｍｍの接続電極により容量を付加した図２１に示したチップ型多段フィルタ装置のフィルタ特性を示す図。 ０．９×０．０５ｍｍの接続電極により容量を付加した図２１に示したチップ型多段フィルタ装置のフィルタ特性を示す図。 （ａ）及び（ｂ）は、従来のバンドパスフィルタを説明するための模式的平面図及び正面断面図。 （ａ）及び（ｂ）は、従来のフィルタ装置の他の例を説明するための各模式的平面断面図。 （ａ）〜（ｃ）は、従来のチップ型バンドパスフィルタ装置を説明するための斜視図、平面断面図及び（ｂ）中のＸ１−Ｘ１線に沿う断面図。

符号の説明

１…チップ型多段フィルタ装置
２…多層基板
２ａ，２ｂ…第１，第２の主面
２ｃ〜２ｆ…第１〜第４の側面
３…第１のλ／２共振器電極
３ａ…電極本体部
３ｂ，３ｃ，３ｄ…突起部
４…第２のλ／２共振器電極
４ａ…電極本体部
４ｂ，４ｃ，４ｄ…突起部
５…ビアホール導体
６，７…第１，第２の内部グラウンド電極
８，９…第１，第２の表面グラウンド電極
１０，１０Ａ…容量電極
１１，１２…第１，第２の入出力電極
１３，１４…ビアホール導体
１５，１６…入出力端子電極
２１…第２のビアホール導体
２２…電気的接続部
３１…λ／２共振器電極
３１ａ…電極本体部
３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ…突起部
３１Ａ…λ／２共振器電極
３２…λ／２共振器電極
３２ａ…電極本体部
３２ｂ…突起部
３３，３４…ビアホール導体
４３，４４…λ／２共振器電極
４３ａ，４４ａ…電極本体部
４３ｂ，４４ｂ…突起部
４５，４６…接続電極
４７，４８…ビアホール導体
５０…容量電極

Claims (7)

1. 対向する第１，第２の主面と、第１，第２の主面を連結している第１〜第４の側面とを備え、前記第１，第２の側面が対向しており、複数の誘電体層を積層してなる多層基板と、
   前記多層基板の前記第１の側面に設けられた第１の表面グラウンド電極と、
   前記第２の側面に設けられた第２の表面グラウンド電極と、
   前記多層基板内において、前記第１の主面に相対的に近い誘電体層に設けられた第１の内部グラウンド電極と、
   前記多層基板内において、前記第２の主面に相対的に近い誘電体層に設けられた第２の内部グラウンド電極と、
   前記第１，第２の内部グラウンド電極を電気的に接続するように前記複数の誘電体層のうちの少なくとも一部の誘電体層を貫通するように設けられたビアホール導体と、
   前記第１，第２の表面グラウンド電極及び前記第１，第２の内部グラウンド電極により囲まれた領域に配置されている第１，第２のλ／２共振器電極とを備え、
   前記第１，第２のλ／２共振器電極は、前記第１，第２の共振器電極間の誘導結合を調整する前記ビアホール導体と絶縁されるとともに前記ビアホール導体を介して対向配置されており、
   前記第１，第２のλ／２共振器電極間に結合容量を付加するために前記多層基板内に設けられた容量電極をさらに備える、チップ型多段フィルタ装置。
2. 前記第１のλ／２共振器電極に接続されており、前記多層基板の第２の主面または第３の側面に設けられた第１の入出力端子と、前記第２のλ／２共振器電極に接続されており、前記第２の主面あるいは第４の側面に設けられた第２の入出力端子とをさらに備える、請求項１に記載のチップ型多段フィルタ装置。
3. 前記ビアホール導体が、前記第１の内部グラウンド電極のほぼ中心位置と、前記第２の内部グラウンド電極のほぼ中心位置とを電気的に接続している、請求項１または２に記載のチップ型多段フィルタ装置。
4. 前記容量電極は、前記第１のλ／２共振器電極に容量結合された第１の容量電極と、前記第２のλ／２共振器電極に容量結合された第２の容量電極とを有する、請求項１〜３のいずれか１項に記載のチップ型多段フィルタ装置。
5. 前記容量電極が、前記第１のλ／２共振器電極及び前記第２のλ／２共振器電極にそれぞれ容量結合している容量電極である、請求項１〜３のいずれか１項に記載のチップ型多段フィルタ装置。
6. 前記第１，第２の表面グラウンド電極を電気的に接続している電気的接続部をさらに備える、請求項１〜５のいずれか１項に記載のチップ型多段フィルタ装置。
7. 前記電気的接続部が、前記多層基板の前記第２の主面に設けられており、該電気的接続部と前記第２の内部グラウンド電極とが第２のビアホール導体により電気的に接続されている、請求項６に記載のチップ型多段フィルタ装置。

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