JP4529691B2 - 基材の分割方法、及び、液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents
基材の分割方法、及び、液体噴射ヘッドの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4529691B2 JP4529691B2 JP2005002323A JP2005002323A JP4529691B2 JP 4529691 B2 JP4529691 B2 JP 4529691B2 JP 2005002323 A JP2005002323 A JP 2005002323A JP 2005002323 A JP2005002323 A JP 2005002323A JP 4529691 B2 JP4529691 B2 JP 4529691B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting line
- planned cutting
- base material
- silicon wafer
- planned
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
前記基材の外側に位置する切断予定線ほど、内側に位置する切断予定線よりも脆弱部の切断予定線方向の幅を短くしたことを特徴とする。
本実施形態においては、ブレイクパターンの周囲を、シリコンウェハー35の厚さ方向の途中までエッチング(所謂ハーフエッチング)することで、他の部分よりも薄い薄肉部41を設けている。そして、切断予定線L1において隣り合う貫通孔40同士を隔てる部分が脆弱部48となり、この脆弱部48と貫通孔40とを交互に複数配置してブレイクパターンが構成されている。このブレイクパターンにおける貫通孔40は、第1の(111)面42を長辺とし、該第1の(111)面42に交差すると共に(110)面に直交する第2の(111)面43を短辺とした、細長い平行四辺形状に形成されている。上記第2の(111)面43は、第1の(111)面42に対して(110)面(表面37)上で約70°の角度で交差する。なお、この貫通孔40の形状は一例であって、例示したものには限定されない。
図9は、このエキスパンドブレイク工程を説明する模式図である。エキスパンドブレイク工程では、まず、ブレイクパターンが形成されたシリコンウェハー35の表面に、伸張性を有するシート部材51(ダイシングテープ)を貼着する。このシート部材51の周縁部には、内径がシリコンウェハー35の外径(例えば、150mm)よりも大きく(例えば、180mm)設定された輪状の保持リング52が取り付けられている。
また、流路形成基板24の基材としては、シリコンウェハー35に限らず、他の基材を用いることも可能である。
Claims (4)
- 基材の表面に切断予定線を設定し、該切断予定線に沿って貫通孔を複数開設して隣り合う貫通孔の間を脆弱部とし、該脆弱部を破断することで切断予定線に沿って前記基材を切断して複数のパーツに分割する基材の分割方法であって、
前記基材の外側に位置する切断予定線ほど、内側に位置する切断予定線よりも脆弱部の切断予定線方向の幅を短くしたことを特徴とする基材の分割方法。 - 切断予定線における外側の脆弱部の幅を、当該切断予定線の中心側の脆弱部の幅よりも短くしたことを特徴とする請求項1に記載の基材の分割方法。
- 前記切断予定線において、他の切断予定線との交点を境にして脆弱部の幅を異ならせたことを特徴とする請求項2に記載の基材の分割方法。
- 液体を吐出するノズル開口に通ずる圧力発生室又は共通液体室の少なくとも一方の液体流路となる部分が形成された流路形成部材が、請求項1から請求項3の何れかに記載の基材の分割方法で分割して得られたパーツにより構成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005002323A JP4529691B2 (ja) | 2005-01-07 | 2005-01-07 | 基材の分割方法、及び、液体噴射ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005002323A JP4529691B2 (ja) | 2005-01-07 | 2005-01-07 | 基材の分割方法、及び、液体噴射ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006187973A JP2006187973A (ja) | 2006-07-20 |
JP4529691B2 true JP4529691B2 (ja) | 2010-08-25 |
Family
ID=36795594
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005002323A Expired - Fee Related JP4529691B2 (ja) | 2005-01-07 | 2005-01-07 | 基材の分割方法、及び、液体噴射ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4529691B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4386088B2 (ja) | 2007-03-22 | 2009-12-16 | セイコーエプソン株式会社 | シリコンウェハの加工方法及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
JP2012510384A (ja) * | 2008-12-02 | 2012-05-10 | オセ−テクノロジーズ ビーブイ | インクジェットプリントヘッドの製造方法 |
JP6324743B2 (ja) * | 2014-01-31 | 2018-05-16 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2014112719A (ja) * | 2014-02-24 | 2014-06-19 | Lintec Corp | 半導体ウエハ |
JP6672647B2 (ja) | 2015-09-08 | 2020-03-25 | セイコーエプソン株式会社 | Memsデバイス、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0511442U (ja) * | 1991-07-23 | 1993-02-12 | ローム株式会社 | テープ伸張装置 |
JPH06188669A (ja) * | 1992-12-18 | 1994-07-08 | Rohm Co Ltd | コンデンサ内蔵型圧電発振子用パッケージベース基板 |
JP2002313754A (ja) * | 2001-04-16 | 2002-10-25 | Seiko Epson Corp | シリコンウェハーのブレークパターン、シリコン基板、及び、ブレークパターンの作製方法 |
-
2005
- 2005-01-07 JP JP2005002323A patent/JP4529691B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0511442U (ja) * | 1991-07-23 | 1993-02-12 | ローム株式会社 | テープ伸張装置 |
JPH06188669A (ja) * | 1992-12-18 | 1994-07-08 | Rohm Co Ltd | コンデンサ内蔵型圧電発振子用パッケージベース基板 |
JP2002313754A (ja) * | 2001-04-16 | 2002-10-25 | Seiko Epson Corp | シリコンウェハーのブレークパターン、シリコン基板、及び、ブレークパターンの作製方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006187973A (ja) | 2006-07-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4529691B2 (ja) | 基材の分割方法、及び、液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2011206920A (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 | |
US10147621B2 (en) | Adhesive tape separating tool, manufacturing apparatus of semiconductor chip, manufacturing apparatus of MEMS device manufacturing apparatus of liquid ejecting head, and separating method of adhesive tape | |
JP2018099833A (ja) | Memsデバイス、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、memsデバイスの製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、及び、液体噴射装置の製造方法 | |
TWI584964B (zh) | 流路零件、液體噴出頭及液體噴出裝置 | |
JP2006175668A (ja) | ブレイクパターン形成方法、及び、液体噴射ヘッド | |
JP4529692B2 (ja) | 結晶性基材の分割方法、及び、液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2009096128A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP5088487B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法 | |
JP2009233870A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP4635685B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2009190349A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2012218188A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2009154433A (ja) | 液体噴射ヘッドおよびその製造方法 | |
JP2007276307A (ja) | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法 | |
JP5838648B2 (ja) | シリコンウェハーのブレイクパターン、シリコンウェハー、および、シリコン基板 | |
JP2013146885A (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2009220507A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
US7659128B2 (en) | Method of processing silicon wafer and method of manufacturing liquid ejecting head | |
JP4737420B2 (ja) | シリコンウェハの加工方法及びシリコンウェハ、並びに液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2008251798A (ja) | 結晶基板のエッチング方法及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2007067100A (ja) | シリコンデバイスの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2020015275A (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
JP2008200906A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2005271215A (ja) | シリコンデバイスの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法並びに液体噴射ヘッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070731 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100323 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100401 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100412 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20100412 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100518 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100531 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4529691 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130618 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130618 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |