JPH0511442U - テープ伸張装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】機構が簡単で、軽量、コンパクト、さらに、部
品点数が少なく低コストのテープ伸張装置を提供するこ
とを目的とする。 【構成】エキスパンドテーブル５は、４箇所のジグシリ
ンダー１１を介し、ＸＹテーブル３に取り付けられてい
る。ジグシリンダー１１が下降すれば、エキスパンドテ
ーブル５も下降し、エキスパンド動作が行なわれる。こ
こで、シリンダー径の大きなものを使用することによ
り、十分な駆動力を得ることができるとともに、テープ
伸張にかかる時間を短縮することができる。さらに、各
駆動軸に同期作動用隙間を設けることにより、エキスパ
ンドテーブル５を下降させる際、４箇所のジグシリンダ
ーの動作のずれを防止することができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、伸張性テープ伸張装置に関するものであり、特に軽量、コンパク トな装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

一般的なＩＣの、製造工程の概略を示すと、以下のようである。

【０００３】 第一工程において、ＩＣチップを配列したシリコンウェハーを製造する。

【０００４】 第二工程において、ＩＣチップを配列したシリコンウェハーを、ダイヤモンドカ ッターを用いて一つ一つのチップに切断する。

【０００５】 第三工程において、バラバラにされたチップのうち一つのチップを、金属フレー ムのうえにのせ、一体成形により樹脂で覆うことにより、一つのＩＣが出来上が っていた。

【０００６】 ところで、第二工程において、ＩＣチップをそのまま切断し、バラバラしてし まうと、ＩＣチップは、一つ一つが非常に小さなものである為（１ｍｍ角程度） 、第三工程の作業が非常に困難となってしまう。そこで、ＩＣチップを配列した シリコンウェハーを、厚さ８０μｍ程度の伸張性テープのうえにのせて切断する ことにより（同時にテープも表面から、数μｍの間は、切断されるが）、ＩＣチ ップがバラバラになることを防止していた。

【０００７】 しかし、この状態のままでは、ＩＣチップが一つ一つバラバラになることは防 止できても、切断後一つ一つのＩＣチップの間隔が狭い為、一つ一つを取り出す ことが困難であるという問題が発生する。

【０００８】 そこで、従来は、一つ一つのＩＣチップに切断した後、伸張性テープに乗せた 状態のまま、テープ伸張装置によって伸張性テープを伸張させることにより、Ｉ Ｃチップ相互の間隔を拡げ、ロボットアーム等により、一つ一つのＩＣチップを 取り出すことを可能としていた。

【０００９】 次に、図７を用いて、テープ伸張動作を説明する。テープ伸張装置１は、ＸＹ テーブル３、エキスパンドテーブル５、第１の押圧部材であるリング７から形成 されている。テープ伸張装置１の構造について、図８を用いて説明する。リング ７は、円筒形状をしており、リングホルダー９を介してＸＹテーブル３に固定さ れている。エキスパンドテーブル５には、リング７の直径よりもやや大きな穴８ が、テーブルのほぼ中央に設けられており、下面側には、ウェハーリング保持部 ６が設けられている。また、エキスパンドテーブル５には、４箇所のネジ部２が 設けられており、ネジ部２にはネジ４がねじ込まれている。

【００１０】 一方、ＸＹテーブル３には、モーター３４が取り付けられており、モーター３ ４は、ベルト３８を介してプーリー３７とつなげられており、さらに、ベルト３ ６を介してネジ４とつなげられている。

【００１１】 ここへ、ＩＣチップ２７を搭載したウェハーリング１３が、運びこまれてくる 。ウェハーリング１３は、図９に示すように、伸張性テープ１５、剛性部材であ るリング部１９から形成されている。リング部１９は、伸張性テープ１５のフレ ームとしての役割を有すべく、伸張性テープ１５の周辺を囲うように形成されて おり、伸張性テープ１５とリング部１９とは、接着剤で固定されている。伸張性 テープ１５は、図１０に示すように、塩化ビニル２１、粘着材２３、剥離処理フ ィルム２５という３段階構造となっており、総厚み８０μｍである。粘着材２３ はＩＣチップ２７がバラバラになることを防止する機能を有する。

【００１２】 なお、剥離処理フィルム２５は、リング部１９と接着剤で固定された後は、剥 がされる。なお、伸張性テープ１５のうえには、上述の第２工程においてバラバ ラにされたＩＣチップ２７が、乗せられている。 テープ伸張動作を、再び図７ に戻って、説明する。まず、運びこまれてきたウェハーリング１３は、ロボット により、ウェハーリング保持部６に保持される。つぎに、モーター３４が回転し 、かかる回転運動が、ベルト３８を介してプーリー３７に伝えられ、さらに、ベ ルト３６を介してネジ４に伝えられる。つぎに、エキスパンドテーブルに設けら れているネジ部２が、回転運動を上下運動に変換する。その結果、エキスパンド テーブル５が下降する。

【００１３】 すると、図１１に示すように、エキスパンドテーブル５の下面部１８に、リン グ部１９が接触し、一方リング７には伸張性テープ１５が接触する。さらにエキ スパンドテーブル５の降下が進むことにより、図１２に示すように、エキスパン ドテーブル５の下面部１８は、リング部１９を押圧する。このようにして、リン グ７が伸張性テープ１５を押圧することにより、テープ伸張動作が行なわれる。 すなわち、各チップ２７がお互いに離れた状態となる。

【００１４】 つぎに、ウェハーリング１３から、ロボットアーム等により、ＩＣチップが取 り出されＩＣが製造される。

【００１５】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記のような従来のテープ伸張装置１においては、次のような 問題点があった。

【００１６】 第一に、エキスパンドテーブル下降機構の部品点数が多く、機構が複雑となり 、コスト高となる。

【００１７】 第二に、エキスパンド動作に必要なトルクを得るために、プーリーのギヤ比を 低くしなければならず、したがって、エキスパンドテーブルの下降速度が遅くな る。これを防止するため、大きなモーターを用いることも考えられるが、より大 がかりな装置となってしまう。

【００１８】 この考案は、上記のような問題点を解決し、機構が簡単で、装置全体として軽 量かつコンパクト、さらに、部品点数も少なくて済み、低コストの伸張装置を提 供することを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】

請求項１の伸張装置は、 一方側から、伸張性テープに接する第１の押圧部材、他方側から伸張性テープ 周縁の剛性部材に接する第２の押圧部材を備え、第１の押圧部材によって伸張性 テープを押圧するとともに、第２の押圧部材によって剛性部材を押圧して、伸張 性テープを伸張する装置において、 ２以上の駆動軸を有し、各駆動軸が上下駆動することにより押圧動作を行なう ことを特徴とする。

【００２０】 請求項２の伸張装置は、さらに各駆動軸に同期作動用隙間を設けたことを特徴 とする。

【００２１】

【作用】

請求項１の伸張装置においては、２以上の駆動軸が、エキスパンドテーブルを 、直接上下駆動することにより押圧動作を行なう。

【００２２】 請求項２の伸張装置においては、各駆動軸に設けた隙間によって、ジグシリン ダー１１がエキスパンドテーブル５を下降させる際、４箇所のジグシリンダーの 動作のずれを防止する。

【００２３】

【実施例】

図１に、本考案の一実施例によるテープ伸張装置３１を示す。テープ伸張装置 ３１は、ＸＹテーブル３、エキスパンドテーブル５、第１の押圧部材であるリン グ７を備えている。リング７は円筒形状をしており、リングホルダー９を介して ＸＹテーブル３に固定されている。エキスパンドテーブル５には、図２に示すよ うに、リング７の直径よりもやや大きな穴８が、テーブルのほぼ中央に設けられ ており、下面側には、凸部３３とウェハーリング保持部６が、設けられている。 ＸＹテーブル３、エキスパンドテーブル５、リング７の材質は、テープ伸張時の 圧力に耐えられるべく、金属が用いられる。エキスパンドテーブル５は、４箇所 のジグシリンダー１１を介して、ＸＹテーブル３に取り付けられている。従って 、ジグシリンダー１１が上下すれば、エキスパンドテーブル５も上下する。

【００２４】 なお、この実施例においては、伸張性テープ１５として、Adwill社のダイシン グ用一般テープG-11K を用いた。

【００２５】 次に、テープ伸張動作について説明する。まず、ウェハーリング１３が、ロボ ットによりウェハーリング保持部６に保持される。つぎに、エキスパンドテーブ ル５が、ジグシリンダー１１によって、降下する。

【００２６】 すると、図３に示すように、エキスパンドテーブル５の凸部３３に、伸張性テ ープ１５の一方が接触し、リング７に伸張性テープ１５の他方が接触する。さら にエキスパンドテーブル５の降下が進むと、図４に示すように、凸部３３とリン グ７により、伸張性テープ１５を押圧することとなり、テープ伸張動作が行なわ れる。すなわち、図４に示すように、各チップ２７がお互いに離れた状態となる 。 なお、本実施例では、エキスパンドテーブル５が上下する構造となっている が、エキスパンドテーブル５は固定されたまま、リング７を動かす構造としても よい。

【００２７】 また、本実施例では、エキスパンドテーブル５の下面部には、図２に示すよう に、テープ押圧部である凸部３３が設けられている。したがって、テープ伸張動 作時、リング部１９と伸張性テープ１５の接着部に引っ張り力がかからず、接着 部が剥がれることがなくなる。また、伸張性テープを直接押圧することにより、 無駄な滑りが無くなり、テープ伸張率が向上する。

【００２８】 従って、ＩＣチップ２７をロボットアームにより取り出すのに必要な相互の間 隔を得る為に、エキスパンドテーブル５の移動ストロークを少なくすることがで き、作業効率も向上する。

【００２９】 また、本実施例では、ジグシリンダー１１は、エアーシリンダーを用いたが、 油圧等によるものであってもよい。

【００３０】 さらに、本実施例では、４箇所にジグシリンダーを設けているが、ジグシリン ダーは２以上であれば、何箇所設けてもよい。

【００３１】 図５に、他の実施例による伸張装置を示す。この実施例においては、シリンダ ーヘッド１２が、ジグシリンダー１１の先端に設けられている。このシリンダー ヘッド１２には、上部につば部１２ａが設けられ、下部につば部１２ｂが設けら れている。両つば部１２ａ，１２ｂにより、シリンダヘッド１２からエキスパン ドテーブル５が抜け落ちるのを防止している。また、つば部１２ａとエキスパン ドテーブル５との間には、隙間Ｃが設けられている。かかる隙間Ｃによってジグ シリンダー１１がエキスパンドテーブル５を下降させる際の、各ジグシリンダー １１の動作のずれを調整し、エキスパンドテーブル５の下降動作をスムーズにす る。

【００３２】 なお、上記実施例では、シリンダーヘッド１２のつば部１２ａ，１２ｂが、エ キスパンドテーブル５から突出しているが、図６に示すように、つば部１２ａ， １２ｂをエキスパンドテーブル５内に収納してもよい。

【００３３】

【考案の効果】

請求項１の伸張装置においては、２以上の駆動軸を有し、各駆動軸が上下駆動 することにより押圧動作を行なうことを特徴とすることから、機構が簡単で、装 置全体として軽量、かつコンパクトである。さらに、部品点数も少なくて済み、 低コストのテープ伸張装置を提供することができる。また、シリンダー径の大き なものを使用することが出来るため、十分な駆動力を得ることができるとともに 、テープ伸張にかかる時間を短縮することができる。

【００３４】 請求項２の伸張装置においては、各駆動軸に同期作動用隙間を設けたことを特 徴とすることから、ジグシリンダー１１によってエキスパンドテーブル５を下降 させる際、４箇所のジグシリンダーの動作のずれを防止することができ、エキス パンドテーブル５の、下降動作がスムーズとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例を示す斜視図である。

【図２】図１の線Ｉ−Ｉにおける断面図である。

【図３】テープ伸張動作が進んだ段階における図１の線
Ｉ−Ｉにおける断面図である。

【図４】図３よりさらにテープ伸張動作が進んだ段階に
おける図１の線Ｉ−Ｉにおける断面図である。

【図５】この考案の他の実施例を示す断面図である。

【図６】この考案の他の実施例を示す断面図である。

【図７】従来のテープ伸張装置を示す斜視図である。

【図８】図７の線Ｘ−Ｘにおける断面図である。

【図９】ウェハーリング１３の構造を示す断面図である

【図１０】伸張テープ１５の構造を示す断面図である。

【図１１】テープ伸張動作が進んだ段階における図７の
線Ｘ−Ｘにおける断面図である。

【図１２】図１０よりさらにテープ伸張動作が進んだ段
階における図７の線Ｘ−Ｘにおける断面図である。

【符号の説明】

３・・・ＸＹテーブル ５・・・エキスパンドテーブル ６・・・ウェハーリング保持部 ７・・・リング ８・・・穴 ９・・・リングホルダー １１・・・ジグシリンダー １３・・・ウェハーリング

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】周縁を合成部材によって保持された伸張性
   テープを伸張するための装置であって、 一方側から、伸張性テープに接する第１の押圧部材、 他方側から伸張性テープ周縁の剛性部材に接する第２の
   押圧部材を備え、 第１の押圧部材によって伸張性テープを押圧するととも
   に、第２の押圧部材によって剛性部材を押圧して、伸張
   性テープを伸張する装置において、 ２以上の駆動軸を有し、各駆動軸が上下駆動することに
   より押圧動作を行なうこと、 を特徴とするテープ伸張装置。
2. 【請求項２】請求項１のテープ伸張装置において、各駆
   動軸に同期作動用隙間を設けたことを特徴とするもの。