JP4507985B2 - チップのピックアップ装置およびピックアップ方法 - Google Patents
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ータの説明図、図5は本発明の一実施の形態のチップのピックアップ方法におけるピックアップ処理フローを示す図、図6は本発明の一実施の形態のチップのピックアップ方法におけるウェハ治具の位置参照用の参照チップ設定の説明図、図7は本発明の一実施の形態のチップのピックアップ方法における参照チップの位置の自動検出の説明図である。
ップを設定する処理を行う。すなわち、表示モニタ20に図4に示すマップデータを表示させ、この表示画面上で操作・入力部21の指示入力機能を用いて該当するチップ5aを指示することにより、図6に示すように、複数の参照チップ(R1,R2,R3)が設定される。
す際のピックアップ用位置座標を、座標変換演算によって算出する。
(ST5)。図7に示すように、まず治具テーブル2aに装着保持された複数のチップ5aのうち、(ST4)にて教示されたチップ位置をカメラ8に位置合わせする。そしてこの後、既知の参照チップ位置に基づき第2の参照チップR2、第3の参照チップR3を順次自動検出する。すなわち、第1の参照チップR1を認識起点として、順次隣接するチップ5aを撮像して位置認識し、撮像視野内におけるチップ5aの位置ずれを補正しながら、第2の参照チップR2に到達する。次いで第2の参照チップR2を認識起点として、同様に順次隣接するチップ5aを撮像して位置認識し、第3の参照チップR3に到達する。
ことなく、参照チップの位置検出を低コストで効率よく行うことが可能となっている。
2a 治具テーブル
3 ウェハ治具
4 ウェハシート
5 半導体ウェハ
5a 半導体チップ(チップ)
8 カメラ
R1 第1の参照チップ
R2 第2の参照チップ
R3 第3の参照チップ
Claims (4)
- チップ保持治具に所定配列で保持されたチップを前記チップ保持治具からピックアップするチップのピックアップ装置であって、
前記チップ保持治具を装着保持し装置機械座標系と関連づけられて配置された治具テーブルと、前記チップ保持治具における前記チップの配列を示す配列データおよび個々のチップの良否を示す良否データを含むマップデータを記憶するマップデータ記憶手段と、
前記チップ保持治具の前記装置機械座標系における位置を特定するための参照用に用いられる複数の参照チップの前記配列データにおける位置を参照チップ位置として提供する参照チップ位置提供手段と、
前記治具テーブルに装着保持された被装着チップ保持治具において、前記複数の参照チップのうち最初に参照される第1の参照チップに対応する位置座標を第1参照チップ対応座標として教示する座標教示手段と、
前記被装着チップ保持治具上のチップを撮像する撮像手段と、前記撮像手段を前記被装着チップ保持治具に対して相対移動させる移動手段と、前記撮像手段による撮像結果を認識処理して前記チップを検出する認識処理手段とを含むチップ認識手段を備え、前記撮像手段を前記被装着チップ保持治具に対して相対移動させながら前記チップを順次撮像して撮像結果を認識処理することにより前記チップを検出するチップ認識処理を、後続参照チップを検出するまで繰り返す自動認識処理を行い、この自動認識処理により、前記配列データ、前記参照チップ位置および前記第1参照チップ対応座標に基づいて、前記被装着チップ保持治具において前記第1の参照チップ以外の後続参照チップに対応する位置座標を後続参照チップ対応座標として算出する後続参照チップ対応座標算出手段と、
前記第1参照チップ対応座標、前記後続参照チップ対応座標および前記参照チップ位置とに基づいて、前記被装着チップ保持治具に保持された各チップの前記装置機械座標系における位置座標をピックアップ位置として算出するピックアップ用チップ座標算出手段と、
前記ピックアップ位置および前記良否データとに基づいて、前記被装着チップ保持治具から良品のチップをピックアップするピックアップ手段とを備えたことを特徴とするチップのピックアップ装置。 - 前記参照チップ位置提供手段は、前記マップデータ記憶手段から読み出され表示モニタに表示された前記配列データ上で前記複数の参照チップを指定入力するデータ入力手段であることを特徴とする請求項1記載のチップのピックアップ装置。
- チップ保持治具に所定配列で保持されたチップを前記チップ保持治具からピックアップするチップのピックアップ方法であって、
前記チップ保持治具における前記チップの配列を示す配列データおよび個々のチップの良否を示す良否データを含むマップデータを読み出すマップデータ読み出し工程と、
前記チップ保持治具の前記装置機械座標系における位置を特定するための参照用に用いられる複数の参照チップの前記配列データにおける位置を参照チップ位置として提供する参照チップ位置提供工程と、
装置機械座標系と関連づけられて配置された治具テーブルに前記チップ保持治具を装着保持させるチップ保持治具装着工程と、
前記治具テーブルに装着保持された被装着チップ保持治具において、前記複数の参照チップのうち最初に参照される第1の参照チップに対応する位置座標を第1参照チップ対応座標として教示する座標教示工程と、
撮像手段を前記被装着チップ保持治具に対して相対移動させながら前記チップを順次撮像して撮像結果を認識処理することにより前記チップを検出するチップ認識処理を、後続参照チップを検出するまで繰り返す自動認識処理を行い、この自動認識処理により、前記配列データ、前記参照チップ位置および前記第1参照チップ対応座標に基づいて、前記被装着チップ保持治具において前記第1の参照チップ以外の後続参照チップに対応する位置座標を後続参照チップ対応座標として算出する後続参照チップ対応座標算出工程と、
前記第1参照チップ対応座標、前記後続参照チップ対応座標および前記参照チップ位置とに基づいて、前記被装着チップ保持治具に保持された各チップの前記装置機械座標系における位置座標をピックアップ位置として算出するピックアップ用チップ座標算出工程と、
前記ピックアップ位置および前記良否データとに基づいて、前記被装着チップ保持治具から良品のチップをピックアップするピックアップ工程とを含むことを特徴とするチップのピックアップ方法。 - 前記参照チップ位置提供工程において、前記マップデータ読み出し工程にて読み出され表示モニタに表示された前記配列データ上で前記複数の参照チップを指定入力することを特徴とする請求項3記載のチップのピックアップ方法。
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