JP4501517B2 - 圧電ダイヤフラムポンプ - Google Patents
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Description
1 ダイヤフラム部
2 絶縁体
2a 延伸部
3 穴部
3a 凹平面
3b 穴
3c 凹部
4 ポンプ室
5 筐体
5a 下側筐体部
5b 上側筐体部
6 駆動装置
7a 流体吐出路
7b 流体流入路
8 弁体
8a 吐出弁
8b 流入弁
9 弁押さえ体
90a 吐出管路
90b 流入管路
91a、91b 接続部
10 ダイヤフラム板
11 圧電素子
12 電極体
Claims (4)
- 平板状の圧電素子と、
該圧電素子の一面側に配された電極体と、
前記圧電素子の他面側を覆うように接合され、前記圧電素子の伸縮に応じて変形可能な導電部材よりなるダイヤフラム板と、
前記圧電素子に対する接合側とは反対側の前記ダイヤフラム板の面を覆うように前記ダイヤフラム板に接合されるとともに前記ダイヤフラム板の全周縁より外方に延伸させた延伸部を有する絶縁体と、
前記絶縁体の延伸部及び前記ダイヤフラム板の周縁部を保持するとともに、前記絶縁体と対向する面との間に前記ダイヤフラム板の変形によって拡縮する空間部を形成し且つ該空間部に連通する流体吸入路及び流体吐出路を形成した絶縁材からなる筐体とから成り、
前記絶縁体の延伸部は、前記筐体において前記絶縁体を保持する面と交差する外側面まで延伸し、さらに先端が前記ダイヤフラム板の位置とは反対方向に位置するように前記外側面に沿って延伸して前記外側面に接合されている
ことを特徴とする圧電ダイヤフラムポンプ。 - 前記絶縁体の延伸部は、表面が凹凸面に形成されていることを特徴とする請求項1記載の圧電ダイヤフラムポンプ。
- 前記絶縁体の延伸部の全周端部と前記筐体とを溶着接合されていることを特徴とする請求項1又は2記載の圧電ダイヤフラムポンプ。
- 前記筐体が前記絶縁体の延伸部を挟む形で上下に二分される上下の筐体部から構成され、前記絶縁体がダイヤフラム板の下面及び該下面に連続する上側の前記筐体部の下面に一体形成された絶縁性樹脂膜から成ることを特徴とする請求項1乃至3の何れか記載の圧電ダイヤフラムポンプ。
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