CN112283080A - 压电式微泵 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种压电式微泵，依次包括：顶盖、压电陶瓷模块，振动板、具有压力仓的泵腔组件、具有阀元件及微流控元件的第一单向阀及第二单向阀。该结构采用压电陶瓷模块驱动压力仓容积的变化，通过第一单向阀及第二单向阀实现流体的定向输入输出，体积可以微型化，便于携带，并且不限制于流体的沸点、粘度及形态，同时增大了应用范围；通过设计由第一微流控元件及第一阀元件键合形成的第一单向阀和由第二微流控元件及第二阀元件键合形成的第二单向阀，并与泵腔组件中压力仓、第一流体通道及第二流体通道的连接，实现流体的单向输入与输出，结构简单且牢固，易于制备，有效降低了微泵的成本。
Description
技术领域
本发明涉及半导体集成电路和微流控技术领域，特别是涉及一种压电式微泵。
背景技术
微流控技术广泛的应用在医疗的实时监测和高等院校的各种生物学、药学研究中，基于微流控技术的基因芯片和生物芯片以广泛应用于DNA测序、病理基因分析、药物反应分析等。在微流控技术中，微流控芯片是化学及生物反应的空置容器。微泵是驱动流体克服阻力产生流动的动力元件，是实现微流控系统的前提和基础，微泵的性能将直接影响到微流控分析系统的整体性能，也是决定微流控技术发展水平的关键因素。
传统的微流控技术采用毛细管力驱动流体流动，然而这种方法很难对流体的流速和流量进行精确地控制，从而限制了实验方法，也不利于进行定量测量，因此市场上出现了注射泵，注射泵可以提供可量化的液体输送，但注射泵通常体积巨大、不便于携带，且造价高昂。另一方面，市场上也有采用热发泡式的微型泵，该热发泡式的微型泵，虽然体积微小、造价低廉，且对液体控制精确，但受限于其驱动原理，很难应用于沸点或粘度高的液体，并且无法对气体进行有效控制。由于上述的这些原因，导致微流控技术的实际应用范围受到极大的限制。
压电式微泵是一种新型流体驱动器，它利用压电陶瓷的逆压电效应使压电振子产生形变，再由变形产生泵腔的容积变化实现流体的输入输出。压电式微泵具有响应速度快、能量转换率高、无电磁干扰、能耗低、无噪音，压力大及扬程高等优点，但现有的压电式微泵结构复杂，制备工艺难度高，从而导致成本较高。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种压电式微泵，用于解决现有技术中在微流控技术领域内微泵的体积在微型化的同时，使用范围受限于液体沸点和粘度以及不能对气体实现控制，另外微泵结构复杂，制备难度高，导致成本高等的问题。
为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种压电式微泵，所述压电式微泵至少包括：
顶盖，所述顶盖内侧设置有预留口；
压电陶瓷模块，包括上电极、压电陶瓷片及下电极；
振动板，具有相对的第一面及第二面；
泵腔组件，具有相对的第一面及第二面，所述泵腔组件设置有贯穿所述泵腔组件的压力仓，所述压力仓用于提供所述泵腔组件的容积；
第一单向阀，用于控制流体单向流入所述压电式微泵；
第二单向阀，用于控制流体单向流出所述压电式微泵；
所述压电陶瓷模块嵌于所述顶盖的所述预留口内，所述压电陶瓷模块的所述下电极及所述顶盖分别与所述振动板的所述第一面连接，所述振动板的所述第二面与所述泵腔组件的所述第一面连接，所述第一单向阀及所述第二单向阀分别与所述泵腔组件的所述第二面连接。
可选地，所述泵腔组件的所述压力仓的外周设置有与所述压力仓连通的第一流体通道及第二流体通道；
所述第一单向阀包括第一微流控元件及第一阀元件，其中，所述第一阀元件具有第一形变部及至少一个贯穿所述第一阀元件的第一窗口，所述第一微流控元件上设置有第一台阶槽，所述第一台阶槽包括第一凹槽及第二凹槽，所述第二凹槽开设于所述第一凹槽的底部，所述第二凹槽的横截面积小于所述第一凹槽的横截面积，所述第二凹槽的底部开设有贯穿所述第一微流控元件的第一流道，所述第一凹槽的横截面积与所述第一阀元件的横截面积适配，所述第一阀元件键合于所述第一凹槽中，且所述第一阀元件的所述第一形变部及所述第一窗口形成于所述第一微流控元件的所述第二凹槽的上方，所述第一流道的横截面积小于所述第一阀元件的所述第一形变部的横截面积；
所述第二单向阀包括第二微流控元件及第二阀元件，其中，所述第二阀元件具有第二形变部及至少一个贯穿所述第二阀元件的第二窗口，所述第二微流控元件上设置有第二台阶槽，所述第二台阶槽包括第三凹槽及第四凹槽，所述第四凹槽开设于所述第三凹槽的底部，所述第四凹槽的横截面积小于所述第三凹槽的横截面积，所述第四凹槽的底部开设有贯穿所述第二微流控元件的第二流道，所述第三凹槽的横截面积与所述第二阀元件的横截面积适配，所述第二阀元件键合于所述第三凹槽中，且所述第二阀元件的所述第二形变部及所述第二窗口形成于所述第二微流控元件的所述第四凹槽的上方，所述第二流道的横截面积小于所述第二阀元件的所述第二形变部的横截面积；
所述第一单向阀设置于所述第一流体通道的上方，且所述第一流体通道的口径大于所述第一形变部的口径，所述第二单向阀设置于所述第二流体通道的上方，且所述第二流体通道的口径不大于所述第二形变部的口径；
所述第二凹槽的深度小于所述第一形变部的形变量，所述第四凹槽的深度大于所述第二形变部的形变量。
进一步地，所述第二凹槽的深度为0。
可选地，所述第一阀元件具有四个沿所述第一阀元件周向分布的所述第一窗口，相邻两所述第一窗口之间形成第一悬臂梁，所有所述第一窗口之间围成所述第一形变部，且所述第一形变部与所述第一悬臂梁连接；
所述第二阀元件具有四个沿所述第二阀元件周向分布的所述第二窗口，相邻两所述第二窗口之间形成第二悬臂梁，所有所述第二窗口之间围成所述第二形变部，且所述第二形变部与所述第二悬臂梁连接。
可选地，所述第一流体通道的形状为跑道形，所述第二流体通道的形状为跑道形。
可选地，所述第一微流控元件的所述第一凹槽的深度与所述第一阀元件的厚度相同，所述第二微流控元件的所述第三凹槽的深度与所述第二阀元件的厚度相同。
可选地，所述第一微流控元件及所述第二微流控元件设置于同一个微流控组件中。
可选地，所述压力仓设置于所述泵腔组件的中间位置，所述压电陶瓷模块的所述下电极与所述振动板的所述第一面中心对齐连接，所述振动板的所述第二面与所述泵腔组件的所述第一面中心对齐连接。
可选地，所述第一单向阀与所述第二单向阀呈对角连接于所述泵腔组件的所述第二面。
可选地，所述顶盖的材料包括亚克力，所述振动板的材料包括亚克力，所述泵腔组件的材料包括亚克力，所述第一单向阀的材料包括聚二甲基硅氧烷，所述第二单向阀的材料包括聚二甲基硅氧烷。
如上所述，本发明的压电式微泵，采用封装于其内部的压电陶瓷模块驱动压力仓容积的变化，通过第一单向阀及第二单向阀实现流体的定向输入输出，所以其体积可以微型化，便于携带，且成本较低，并且不限制于流体的沸点和粘度，同时也能实现对气体流体的输入输出，使压电式微泵在微型化的同时增大了应用范围；通过设计由第一微流控元件及第一阀元件键合形成的第一单向阀和由第二微流控元件及第二阀元件键合形成的第二单向阀，并与泵腔组件中压力仓、第一流体通道及第二流体通道的连接，实现了流体的单向输入与输出，结构简单且牢固，易于制备，有效降低了微泵的制造成本。
附图说明
图1显示为本发明的压电式微泵的顶盖的结构示意图。
图2显示为本发明的压电式微泵的压电陶瓷模块的结构示意图。
图3显示为本发明的压电式微泵的振动板的结构示意图。
图4显示为本发明的压电式微泵的泵腔组件的结构示意图。
图5显示为本发明的压电式微泵的对位方式示意图。
图6显示为本发明的压电式微泵的结构示意图。
图7显示为本发明的压电式微泵的第一阀元件的结构示意图。
图8显示为本发明的压电式微泵的第二阀元件的结构示意图。
图9显示为本发明的压电式微泵的第一微流控元件及第二微流控元件的结构示意图。
图10显示为沿图9中AA方向的纵向剖视图。
图11显示为沿图9中BB方向的纵向剖视图。
图12显示为本发明的压电式微泵的第一阀元件与第一流体通道的对位方式示意图。
图13显示为本发明的压电式微泵的第二阀元件与第二流体通道的对位方式示意图。
图14显示为沿图6中CC方向的纵向剖视图，图中未显示顶盖及压电陶瓷模块的结构。
图15显示为本发明的压电式微泵在流体输入时沿图6中CC方向的纵向剖视图，图中未显示顶盖及压电陶瓷模块的结构。
图16显示为本发明的压电式微泵在流体输出时沿图6中CC方向的纵向剖视图，图中未显示顶盖及压电陶瓷模块的结构。
元件标号说明
1 顶盖
10 预留口
2 压电陶瓷模块
20 上电极
21 压电陶瓷片
22 下电极
3 振动板
4 泵腔组件
40 压力仓
41 第一流体通道
42 第二流体通道
5 第一单向阀
50 第一微流控元件
500 第一台阶槽
501 第一凹槽
502 第二凹槽
503 第一流道
51 第一阀元件
510 第一形变部
511 第一窗口
512 第一悬臂梁
6 第二单向阀
60 第二微流控元件
600 第二台阶槽
601 第三凹槽
602 第四凹槽
603 第二流道
61 第二阀元件
610 第二形变部
611 第二窗口
612 第二悬臂梁
7 微流控组件
D1 第一凹槽的深度
D2 第二凹槽的深度
D3 第三凹槽的深度
D4 第四凹槽的深度
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。
请参阅图1至图16。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，遂图式中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
如图1至图6所示，本发明提供一种压电式微泵，所述压电式微泵至少包括：
如图1所示，顶盖1，所述顶盖1内侧设置有预留口10；
如图2所示，压电陶瓷模块2，包括上电极20、压电陶瓷片21及下电极22；
如图3所示，振动板3，具有相对的第一面及第二面；
如图4所示，泵腔组件4，具有相对的第一面及第二面，所述泵腔组件4设置有贯穿所述泵腔组件4的压力仓40，所述压力仓40用于提供所述泵腔组件4的容积；
第一单向阀，用于控制流体单向流入所述压电式微泵；
第二单向阀，用于控制流体单向流出所述压电式微泵；
如图5及图6所示，所述压电陶瓷模块2嵌于所述顶盖1的所述预留口10内，所述压电陶瓷模块2的所述下电极22及所述顶盖1分别与所述振动板3的所述第一面连接，所述振动板3的所述第二面与所述泵腔组件4的所述第一面连接，所述第一单向阀及所述第二单向阀分别与所述泵腔组件4的所述第二面连接。
作为示例，所述压力仓40设置于所述泵腔组件4的中间位置，所述压电陶瓷模块2的所述下电极22与所述振动板3的所述第一面中心对齐连接，所述振动板3的所述第二面与所述泵腔组件4的所述第一面中心对齐连接。以此对齐方式连接，可使压电陶瓷模块产生的振动力均匀的作用在振动板上，从而使泵腔组件的压力仓的容积均匀增大或减小。
作为示例，所述第一单向阀与所述第二单向阀呈对角连接于所述泵腔组件4的所述第二面。
作为示例，所述顶盖1的材料选择较为硬质的材料，以保证压电式微泵内部组件在震动时顶盖不碎裂，所述振动板3的材料选择较为硬质的具有弹性的绝缘材料，所述泵腔组件4的材料选择硬质的材料，所述第一单向阀的材料选择具有柔性的材料，所述第二单向阀的材料选择具有柔性的材料。较佳地，所述顶盖1的材料包括亚克力，所述振动板3的材料包括亚克力，所述泵腔组件4的材料包括亚克力，所述第一单向阀的材料包括聚二甲基硅氧烷，所述第二单向阀的材料包括聚二甲基硅氧烷。
如图5及图6所示，本实施例提供的压电式微泵的单向阀实现流体输入输出的机理为：当所述压电陶瓷模块2向所述振动板3施加向外的力时，所述振动板3向外变形，从而使所述泵腔组件4上的所述压力仓40的容积变大，由于所述压力仓40的容积变大，所以所述压力仓40内的压强减小，外界的流体从所述第一单向阀输入所述压力仓40内，实现流体的输入；当所述压电陶瓷模块2向所述振动板3施加向内的力时，所述振动板3向内变形，从而使所述泵腔组件4上的所述压力仓40的容积变小，由于所述压力仓40的容积变小，所以所述压力仓40内的压强增大，所述压力仓40内的流体将从所述第二单向阀输出，实现流体的输出。
本实施例提供的压电式微泵采用封装于其内部的压电陶瓷模块驱动压力仓容积的变化，通过第一单向阀及第二单向阀实现流体的定向输入输出，其体积可以微型化，便于携带，且成本较低并且不限制于流体的沸点和粘度，同时也能实现对气体流体的输入输出，使压电式微泵在微型化的同时增大了应用范围。
如图4、图7至图14所示，作为示例，所述泵腔组件4的所述压力仓40的外周设置有与所述压力仓40连通的第一流体通道41及第二流体通道42；
如图7、图9及图10所示，所述第一单向阀5包括第一微流控元件50及第一阀元件51，其中，所述第一阀元件51具有第一形变部510及至少一个贯穿所述第一阀元件51的第一窗口511，所述第一微流控元件50上设置有第一台阶槽500，所述第一台阶槽500包括第一凹槽501及第二凹槽502，所述第二凹槽502开设于所述第一凹槽501的底部，所述第二凹槽502的横截面积小于所述第一凹槽501的横截面积，所述第二凹槽502的底部开设有贯穿所述第一微流控元件50的第一流道503，所述第一凹槽501的横截面积与所述第一阀元件51的横截面积适配，所述第一阀元件51键合于所述第一凹槽501中，且所述第一阀元件51的所述第一形变部510及所述第一窗口511形成于所述第一微流控元件50的所述第二凹槽502的上方，所述第一流道503的横截面积小于所述第一阀元件51的所述第一形变部510的横截面积；
如图8、图9及图11所示，所述第二单向阀6包括第二微流控元件60及第二阀元件61，其中，所述第二阀元件61具有第二形变部610及至少一个贯穿所述第二阀元件61的第二窗口611，所述第二微流控元件60上设置有第二台阶槽600，所述第二台阶槽600包括第三凹槽601及第四凹槽602，所述第四凹槽602开设于所述第三凹槽601的底部，所述第四凹槽602的横截面积小于所述第三凹槽601的横截面积，所述第四凹槽602的底部开设有贯穿所述第二微流控元件60的第二流道603，所述第三凹槽601的横截面积与所述第二阀元件61的横截面积适配，所述第二阀元件61键合于所述第三凹槽601中，且所述第二阀元件61的所述第二形变部610及所述第二窗口611形成于所述第二微流控元件60的所述第四凹槽602的上方，所述第二流道603的横截面积小于所述第二阀元件60的所述第二形变部610的横截面积；
如图12及图13所示，所述第一单向阀5设置于所述第一流体通道41的上方，且所述第一流体通道41的口径大于所述第一形变部510的口径，所述第二单向阀6设置于所述第二流体通道42的上方，且所述第二流体通道42的口径不大于所述第二形变部610的口径；
如图10及图11所示，所述第二凹槽的深度D2小于所述第一形变部510的形变量，所述第四凹槽的深度D4大于所述第二形变部610的形变量。
如图14至图16所示，压电式微泵的单向阀实现流体单向输入输出的过程为：如图15所示，当所述压电陶瓷模块2向所述振动板3施加向外的力时，所述振动板3向外变形，从而使所述泵腔组件4上的所述压力仓40的容积变大，由于所述压力仓40的容积变大，所以所述压力仓40内的压强减小，外界的流体从所述第一微流控元件50的所述第一流道503进入，进入所述第一流道503的流体向所述第一阀元件51的所述第一形变部510施加压力，使其向所述第一流体通道41的方向发生位置变化，由于所述第一流体通道41的口径大于所述第一形变部510的口径，从而流体可以通过所述第一阀元件51的所述第一窗口511进入所述第一流体通道41，进而进入所述压力仓40内，另一方面，当外界的流体从所述第二微流控元件60的所述第二流道603进入时，由于所述第二流体通道42的口径不大于所述第二形变部610的口径，即所述第二形变部610会完全覆盖住所述第二流体通道42，使流体无法进入所述第二流体通道42，进而无法进入所述压力仓40内，至此，实现外界流体的单向输入；如图16所示，当所述压电陶瓷模块2向所述振动板3施加向内的力时，所述振动板3向内变形，从而使所述泵腔组件4上的所述压力仓40的容积变小，由于所述压力仓40的容积变小，所述压力仓40的压强增大，所述压力仓40内的流体进入所述第二流体通道42内，进入所述第二流体通道42的流体向所述第二阀元件61的所述第二形变部610施加压力，使其向所述第二微流控元件60的所述第四凹槽602的方向发生位置变化，由于所述第四凹槽的深度D4大于所述第二形变部610的形变量，所以流体从所述第二窗口611流向所述第四凹槽602，进而通过所述第二流道603流出，另一方面，当所述压力仓40内的流体进入所述第一流体通道41后，向所述第一形变部510施加压力，由于所述第二凹槽的深度D2小于所述第一形变部510的形变量，所以所述第一形变部510会完全覆盖住所述第一流道503，使流体无法从所述第一流道503流出，至此，实现压力仓内流体的单向输出。通过设计由第一微流控元件及第一阀元件采用键合的方式形成的第一单向阀和由第二微流控元件及第二阀元件采用键合的方式形成的第二单向阀，并与泵腔组件中压力仓、第一流体通道及第二流体通道的连接，实现了流体的单向输入与输出，该结构简单且牢固，易于制备，有效降低了微泵的制造成本，另外，由于流体是通过通道实现的输入输出，所以流体并不受限于流体的沸点、粘度以及形态(即可以实现对气体的控制)。
如图14至图16所示，作为示例，所述第二凹槽502的深度为0，即所述第一台阶槽500只包括第一凹槽501。
如图7及图8所示，作为示例，所述第一阀元件51具有四个沿所述第一阀元件51周向分布的所述第一窗口511，相邻两所述第一窗口511之间形成第一悬臂梁512，所有所述第一窗口511之间围成所述第一形变部510，且所述第一形变部510与所述第一悬臂梁512连接，此种结构的所述第一阀元件51，所述第一形变部510的位置改变是通过所述第一悬臂梁512发生形变实现的；
所述第二阀元件61具有四个沿所述第二阀元件61周向分布的所述第二窗口611，相邻两所述第二窗口611之间形成第二悬臂梁612，所有所述第二窗口611之间围成所述第二形变部610，且所述第二形变部610与所述第二悬臂梁612连接，此种结构的所述第二阀元件61，所述第二形变部610的位置改变是通过所述第二悬臂梁612发生形变实现的。
所述第一阀元件及所述第二阀元件采用上述形变部及窗口的结构可以有效的降低单向阀的漏电可能，提高单向阀的性能。这里需要说明的是所述窗口可以沿所述阀元件周向均匀分布，也可以沿所述阀元件周向非均匀分布，所述窗口大小可以相同，也可以不相同，所述阀元件的形状可以为圆形，也可以为其他规则形状或者不规则形状。具体地，可以根据实际情况需要设置。
如图4所示，作为示例，所述第一流体通道41的形状为跑道形，所述第二流体通道42的形状为跑道形。
作为示例，所述第一微流控元件50的所述第一凹槽501的深度与所述第一阀元件51的厚度相同，所述第二微流控元件60的所述第三凹槽601的深度与所述第二阀元件61的厚度相同。
如图9所示，作为示例，所述第一微流控元件50及所述第二微流控元件60设置于同一个微流控组件7中。设置于同一个微流控组件中易于第一微流控元件及第二微流控元件的制备，也便于单向阀零件之间的安装。
综上所述，本发明提供一种压电式微泵，采用封装于其内部的压电陶瓷模块驱动压力仓容积的变化，通过第一单向阀及第二单向阀实现流体的定向输入输出，体积可以微型化，便于携带，成本较低且不限制于流体的沸点和粘度，同时也能实现对气体流体的输入输出，使压电式微泵在微型化的同时增大了应用范围；通过设计由第一微流控元件及第一阀元件键合形成的第一单向阀和由第二微流控元件及第二阀元件键合形成的第二单向阀，并与泵腔组件中压力仓、第一流体通道及第二流体通道的连接，实现了流体的单向输入与输出，结构简单且牢固，易于制备，有效降低了微泵的制造成本。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。
Claims (10)
1.一种压电式微泵，其特征在于，所述压电式微泵至少包括：
顶盖，所述顶盖内侧设置有预留口；
压电陶瓷模块，包括上电极、压电陶瓷片及下电极；
振动板，具有相对的第一面及第二面；
泵腔组件，具有相对的第一面及第二面，所述泵腔组件设置有贯穿所述泵腔组件的压力仓，所述压力仓用于提供所述泵腔组件的容积；
第一单向阀，用于控制流体单向流入所述压电式微泵；
第二单向阀，用于控制流体单向流出所述压电式微泵；
所述压电陶瓷模块嵌于所述顶盖的所述预留口内，所述压电陶瓷模块的所述下电极及所述顶盖分别与所述振动板的所述第一面连接，所述振动板的所述第二面与所述泵腔组件的所述第一面连接，所述第一单向阀及所述第二单向阀分别与所述泵腔组件的所述第二面连接。
2.根据权利要求1所述的压电式微泵，其特征在于：
所述泵腔组件的所述压力仓的外周设置有与所述压力仓连通的第一流体通道及第二流体通道；
所述第一单向阀包括第一微流控元件及第一阀元件，其中，所述第一阀元件具有第一形变部及至少一个贯穿所述第一阀元件的第一窗口，所述第一微流控元件上设置有第一台阶槽，所述第一台阶槽包括第一凹槽及第二凹槽，所述第二凹槽开设于所述第一凹槽的底部，所述第二凹槽的横截面积小于所述第一凹槽的横截面积，所述第二凹槽的底部开设有贯穿所述第一微流控元件的第一流道，所述第一凹槽的横截面积与所述第一阀元件的横截面积适配，所述第一阀元件键合于所述第一凹槽中，且所述第一阀元件的所述第一形变部及所述第一窗口形成于所述第一微流控元件的所述第二凹槽的上方，所述第一流道的横截面积小于所述第一阀元件的所述第一形变部的横截面积；
所述第二单向阀包括第二微流控元件及第二阀元件，其中，所述第二阀元件具有第二形变部及至少一个贯穿所述第二阀元件的第二窗口，所述第二微流控元件上设置有第二台阶槽，所述第二台阶槽包括第三凹槽及第四凹槽，所述第四凹槽开设于所述第三凹槽的底部，所述第四凹槽的横截面积小于所述第三凹槽的横截面积，所述第四凹槽的底部开设有贯穿所述第二微流控元件的第二流道，所述第三凹槽的横截面积与所述第二阀元件的横截面积适配，所述第二阀元件键合于所述第三凹槽中，且所述第二阀元件的所述第二形变部及所述第二窗口形成于所述第二微流控元件的所述第四凹槽的上方，所述第二流道的横截面积小于所述第二阀元件的所述第二形变部的横截面积；
所述第一单向阀设置于所述第一流体通道的上方，且所述第一流体通道的口径大于所述第一形变部的口径，所述第二单向阀设置于所述第二流体通道的上方，且所述第二流体通道的口径不大于所述第二形变部的口径；
所述第二凹槽的深度小于所述第一形变部的形变量，所述第四凹槽的深度大于所述第二形变部的形变量。
3.根据权利要求2所述的压电式微泵，其特征在于：所述第二凹槽的深度为0。
4.根据权利要求2所述的压电式微泵，其特征在于：
所述第一阀元件具有四个沿所述第一阀元件周向分布的所述第一窗口，相邻两所述第一窗口之间形成第一悬臂梁，所有所述第一窗口之间围成所述第一形变部，且所述第一形变部与所述第一悬臂梁连接；
所述第二阀元件具有四个沿所述第二阀元件周向分布的所述第二窗口，相邻两所述第二窗口之间形成第二悬臂梁，所有所述第二窗口之间围成所述第二形变部，且所述第二形变部与所述第二悬臂梁连接。
5.根据权利要求2所述的压电式微泵，其特征在于：所述第一流体通道的形状为跑道形，所述第二流体通道的形状为跑道形。
6.根据权利要求2所述的压电式微泵，其特征在于：所述第一微流控元件的所述第一凹槽的深度与所述第一阀元件的厚度相同，所述第二微流控元件的所述第三凹槽的深度与所述第二阀元件的厚度相同。
7.根据权利要求2所述的压电式微泵，其特征在于：所述第一微流控元件及所述第二微流控元件设置于同一个微流控组件中。
8.根据权利要求1所述的压电式微泵，其特征在于：所述压力仓设置于所述泵腔组件的中间位置，所述压电陶瓷模块的所述下电极与所述振动板的所述第一面中心对齐连接，所述振动板的所述第二面与所述泵腔组件的所述第一面中心对齐连接。
9.根据权利要求1所述的压电式微泵，其特征在于：所述第一单向阀与所述第二单向阀呈对角连接于所述泵腔组件的所述第二面。
10.根据权利要求1所述的压电式微泵，其特征在于：所述顶盖的材料包括亚克力，所述振动板的材料包括亚克力，所述泵腔组件的材料包括亚克力，所述第一单向阀的材料包括聚二甲基硅氧烷，所述第二单向阀的材料包括聚二甲基硅氧烷。
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