JP2005307858A - 圧電ダイヤフラムポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】搬送流体と圧電素子の電極部位との間の電位差による沿面放電を、圧電素子の伸縮やダイヤフラム板の変形動作に影響を与えることなく防止できる絶縁構造を備えた圧電ダイヤフラムポンプを提供することにある。
【解決手段】絶縁体２はダイヤフラム板１０の面を覆うように接合されるとともに前記ダイヤフラム板１０の全周縁より外方に延伸させた延伸部２ａを有している。筐体５は絶縁体２の延伸部２ａ及びダイヤフラム板１０の周縁部を保持するともに、絶縁体２の面との間にポンプ室４を形成している。
【選択図】図１

Description

本発明は、圧電素子を駆動源とする圧電ダイヤフラムポンプに関するものである。

圧電素子を駆動原とする圧電ダイヤフラムポンプには、圧電素子全体をゴム等の弾性体で被覆した構成のダイヤフラムを用いたものがある（例えば、特許文献１）。
特開平１０−２１３０７３号公報

上記の特許文献１に記載された圧電ダイヤフラムポンプは、弾性体により圧電素子がポンプ室内の搬送対象の流体(液体)に対して絶縁される形となっているが、弾性体の存在によって圧電素子の伸縮が影響を受け、特にダイヤフラム部の支持が弾性体により支持されている構造であるため、ダイヤフラム部の振動に影響を与え安定したポンプ動作が得られない恐れがある。

一方弾性体を無くした構造では、電圧を液体に印加するような静電霧化装置等に用いる場合や、搬送液体が搬送（或いは漏電）等で帯電した場合にポンプ室内の液体と、圧電素子の電極との間の電位差によって発生する沿面放電に対する対策を必要とする。

本発明は、上述の点に鑑みて為されたもので、その目的とするところは、搬送流体と圧電素子の電極部位との間の電位差による沿面放電を、圧電素子の伸縮やダイヤフラム板の変形動作に影響を与えることなく防止できる絶縁構造を備えた圧電ダイヤフラムポンプを提供することにある。

上述の目的を達成するために、請求項１の発明では、平板状の圧電素子と、該圧電素子の一面側に配された電極体と、前記圧電素子の他面側を覆うように接合され、前記圧電素子の伸縮に応じて変形可能な導電部材よりなるダイヤフラム板と、前記圧電素子に対する接合側とは反対側の前記ダイヤフラム板の面を覆うように前記ダイヤフラム板に接合されるとともに前記ダイヤフラム板の全周縁より外方に延伸させた延伸部を有する絶縁体と、前記絶縁体の延伸部及び前記ダイヤフラム板の周縁部を保持するとともに、前記絶縁体と対向する面との間に前記ダイヤフラム板の変形によって拡縮する空間部を形成し且つ該空間部に連通する流体吸入路及び流体吐出路を形成した絶縁材からなる筐体とから成ることを特徴とする。

請求項１の発明によれば、圧電素子の伸縮を阻害することなく、空間部内の流体とダイヤフラム板との間の垂直方向の絶縁が図れるとともにその圧電素子と空間部との間の絶縁沿面距離を長くすることができ、そのため静電霧化などのために搬送対象の流体たる液体に大きな電圧を印加して使用する場合や搬送対象の流体が帯電して、圧電素子と空間部内の流体との間の電位差が大きくなっても部分放電や沿面放電が起きず、そのため圧電素子を駆動する駆動装置に液体の電圧が影響を与えて回路破損や誤動作を起こすことがなく、また外部電位との間で電界が発生することによる圧電素子の変形の発生を無くし、更に筐体によりダイヤフラム板の周縁部及びこの周縁部より外方に延伸された絶縁体の延伸部を保持する構成であるため、圧電素子の伸縮によって変形するダイヤフラム板の動作にも影響を与えず、しかも圧電素子が絶縁体の影響を受けることなく伸縮することができるため安定したポンプ動作が得られる。

請求項２の発明では、請求項１の発明において、前記絶縁体の延伸部は前記筐体の外側面まで延伸して該外側面に接合されていることを特徴とする。

請求項２の発明によれば、筐体の外形寸法を増加させることなく、圧電素子と空間部までの絶縁沿面距離を一層長くすることができ、そのため沿面放電に対する絶縁性を一層向上させることができる。

請求項３の発明では、請求項１又は２の発明において、前記絶縁体の延伸部は、表面が凹凸面に形成されていることを特徴とする。

請求項３の発明によれば、絶縁体の外形寸法を増加させることなく、圧電素子と空間部までの絶縁沿面距離を一層長くすることができ、そのため沿面放電に対する絶縁性を一層向上させることができる。

請求項４の発明では、請求項１乃至３の発明では、前記絶縁体の延伸部の全周端部と前記筐体とを溶着接合されていることを特徴とする。

請求項４の発明によれば、沿面放電に対する絶縁性をより一層向上させことができる。

請求項５の発明では、請求項１乃至４の何れかの発明において、前記筐体が前記絶縁体の延伸部との接合部を挟む形で上下に二分される上下の筐体部から構成され、前記絶縁体がダイヤフラム板の下面及び該下面に連続する上側の前記筐体部の下面に一体形成された絶縁性樹脂膜から成ることを特徴とする。

請求項５の発明によれば、筐体及びダイヤフラム板に対して一体化された絶縁体により、空間部内の流体とダイヤフラム板との間の垂直方向の絶縁と、沿面放電に対する絶縁とを図ることができるもので、筐体及びダイヤフラム板に対する絶縁体との密着力が高いため、使用時絶縁体が剥離しにくい。

本発明は、圧電素子の伸縮を阻害することなく、空間部内の流体とダイヤフラム板との間の垂直方向の絶縁が図れるとともにその圧電素子と空間部との間の絶縁沿面距離を長くすることができ、そのため静電霧化などのために搬送対象の流体たる液体に大きな電圧を印加して使用する場合や搬送対象の流体が帯電して、圧電素子と空間部内の流体との間の電位差が大きくなっても部分放電や沿面放電が起きず、そのため圧電素子を駆動する駆動装置に液体の電圧が影響を与えて回路破損や誤動作を起こすことがなく、また外部電位との間で電界が発生することによる圧電素子の変形の発生を無くし、更に筐体によりダイヤフラム板の周縁部及びこの周縁部より外方に延伸された絶縁体の延伸部を保持する構成であるため、圧電素子の伸縮によって変形するダイヤフラム板の動作にも影響を与えず、しかも圧電素子が絶縁体の影響を受けることなく伸縮することができるため安定したポンプ動作が得られるという効果がある。

以下本発明を実施形態により説明する。
（実施形態１）
本実施形態の圧電ダイヤフラムポンプＰは図１、図２に示すように、導電性材料からなる円形のダイヤフラム板１０とダイヤフラム板１０の一方の面（図では上面）の中央部に同心状に貼り付けた円板状の圧電素子１と電極体１２とからなるダイヤフラム部１と、ダイヤフラム板１０の直径より大きく、図において上面中央部に前記ダイヤフラム板１０の下面を同心状に接合し、周縁部をダイヤフラム板１０の全周に亘り外方へ突出させた絶縁体２と、中央に設けた上面開口の穴部３に圧電素子１１の上面が外部に臨むようにダイヤフラム部１を配置するとともに、穴部３の底面とダイヤフラム板１０に接合している絶縁体２との間にポンプ室４を構成する空間部が形成されるようにダイヤフラム板１０の周端及び絶縁体２の周縁部を全周に亘って保持する円盤状の筐体５と、筐体５に貫通形成され一端が穴部３の底面に開口し、他端が筐体５の下面に開口した流体吐出路７ａ及び流体流入路７ｂと、筐体５の下面側に配置され流体吐出路７ａに対置される吐出弁８ａ及び流体流入路７ｂに対置される流入弁８ｂを備えた弁体８と、この弁体８を上面に形成した凹部９ａに入れて筐体５の下面との間で押さえるとともに、各弁８ａ、８ｂにて開閉される吐出管路９０ａ、流入管路９０ｂを形成し、下面側に吐出管路９０ａ、流入管路９０ｂと外部の管体とを結合するための接続部９１ａ、９１ｂを突出形成している弁押さえ体９とで構成される。

圧電素子１１は例えばφ１４ｍｍ、厚み０．１３ｍｍのＰＺＴ系材料からなり、上面中央には金属膜等によって層状に円形の電極体１２を形成している。ダイヤフラム板１０は例えばφ２０ｍｍ、厚さ０．１０ｍｍの真鍮板からなり、圧電素子１１の下面を上面に同心状に貼り付けることで、圧電素子１１の他方の電極体を兼用する。

また筐体５はポリアセタール（ＰＯＭ）、ポリカーボネイト（ＰＣ）、ポリフェニルスチレン（ＰＰＳ）等の剛性を有する樹脂成形品からなるもので、筐体５は上下方向に二分割され下側筐体部５ａの中央上面には穴部３の底面となる平面断面形状が円形の凹平面３ａが形成され、上側筐体部たる上側筐体５ｂの中央部には凹平面３ａと連結されて穴部３を構成する水平断面が円形状の穴３ｂが貫通形成されている。ここで筐体５の直径を２８ｍｍとし、高さを４ｍｍとし、同心状にダイヤフラム板１０を配置した場合ダイヤフラム板１０の端部と、筐体５の外面までの径方向の距離を４ｍｍとしてある。

絶縁体２は、例えば厚みが０．１３ｍｍで且つ引っ張り強度が４７Ｎ／ｃｍのフッ素系樹脂（ＰＴＦＥ）層に例えば厚みが０．０５ｍｍの接着層を一体に形成した樹脂フィルムからなる。

而してダイヤフラム部１及び絶縁体２を筐体５に組み込むに当たっては、下側筐体部５ａの環状の上面と、上側筐体部５ｂの環状の下面と間に絶縁体２の周縁部たる延伸部２ａを挟み込むとともに、両筐体部５ａ、５ｂの突き合わせ部に対応する穴３ｂの下端開口周縁部に全周に亘り形成した凹部３ｃ内にダイヤフラム板１０の全周の端部を入れて該端部と絶縁体２の２層を穴３ｂの開口周辺の筐体部５ａ、５ｂで挟み込み、この状態で、両筐体部５ａ、５ｂを螺子（図示せず）等で結合固定することにより、筐体５はダイヤフラム部１及び絶縁体２を保持するとともに凹平面３ａと穴３ｂとで構成される穴部３内にダイヤフラム部１を臨ませ、ダイヤフラム部１の下面と穴部３の底面との間にポンプ室４となる空間部を形成する。

弁体８は弾性材料からなり、一体に設ける弁８ａ、８ｂは片持ち型の弁となっている。弁押さえ体９はＰＰＳからなり、弁体８を上面の凹部９ａに入れた状態で上面を下側筐体部５ａの下面に螺子固定するようになっている。尚両筐体部５ａ、５ｂの結合固定や、弁押さえ体９の下側筐体部５ａへの固定方法として上述の螺子を用いた固定方法以外の接着等の固定方法を採用しても勿論良い。

さて上記のように構成された本実施形態の圧電ダイヤフラムポンプＰは、駆動装置６から圧電素子１１に対して低周波（例えば１００Ｈｚ程度）の駆動電圧（パルス電圧）を印加して圧電素子１１を伸縮させ、この伸縮に伴うダイヤフラム板１０の変形によりダイヤフラム部１を振動させると、ポンプ室４が拡縮する。そしてポンプ室４内が負圧になると吸入弁８ｂが開くとともに吐出弁８ａが閉じ、接続部９１ｂに接続された流体供給路（図示せず）を介して流体供給容器（図示せず）から供給される流体が流入管路９０ｂ、流体流入路７ｂを通じてポンプ室４に吸入される。一方ポンプ室４が正圧になると、吸入弁８ｂが閉じるとともに吐出弁８ａが開き、ポンプ室４から加圧され流体が流体吐出路７ａ、吐出管路９０ａ、接続部９１ａを通じて吐出側へ送り出されることになる。このようにして動作中にあっては流体を連続的に加圧搬送するのである。

ところで本実施形態の圧電ダイヤフラムポンプＰを例えば静電霧化装置に用いる場合、搬送対象となる流体たる液体に直流電圧を印加することになるが、圧電素子１１にも駆動装置６から電極体１２とダイヤフラム板１０を用いて所定のパルス電圧が印加されるため、ダイヤフラム板１０側を０Ｖとした場合、ポンプ室４内の液体とダイヤフラム板１０との間の電位差が生じることになる。ここで例えば液体に−６ｋＶの直流を印加し、圧電素子１１に印加するパルス電圧を１２０Ｖとした場合、上述の電位差は略６．１ｋＶとなる。この電位差によって沿面放電が起きないようにするためには絶縁沿面距離を略６ｍｍ以上確保しなけばならないが、本実施形態の圧電ダイヤフラムポンプＰでは、上述のようにダイヤフラム板１０の端部から筐体５の外面までの距離を４ｍｍとし、他方ポンプ室４の端部の位置がダイヤフラム板１０の端部の位置よりも内側に位置するため、ポンプ室４から絶縁体２の延伸部２ａ先端までの径方向の距離が４ｍｍ以上となり、ポンプ室４の端部からダイヤフラム板１０の端部までの絶縁沿面距離として８ｍｍ以上確保することができる。従って絶縁沿面距離は上記の６ｍｍ以上という条件を満足し、沿面放電の発生を防止できることになる。

つまり、絶縁沿面距離を絶縁体２の延伸部２ａによって長くすることができるのである。しかも、ダイヤフラム板１０を固定する部位よりも外側に延伸部２ａが位置し、ダイヤフラム板１０の固定には関与しない構成であるためダイヤフラム部１の振動を阻害せず、安定良い動作が得られる。

また本実施形態では、筐体５を上下二分して延伸部２ａを挟持する構造としているため、ダイヤフラム部１に対して直交する方向、つまり上下方向の絶縁も上述の沿面絶縁とともに同時に図れるという特徴がある。

更にまた本実施形態では、フッ素系樹脂フィルムからなる絶縁体２をダイヤフラム板１０の下面に貼り付け、上述の駆動電圧で駆動した場合、ダイヤフラム板１０の中心部位での変形量は８０μｍとなり、絶縁体２を貼り付けない場合に比べて約２０％増加し、ダイヤフラム部１の一振動当たりの流量が２０％増加したことが確認できており、上述の絶縁上の利点の他にポンプの効率の向上も図れるという利点もある。

ところで、使用する絶縁体２として、フッ素系樹脂（ＰＴＦＥ）のフィルムを用いる代わりに、ポリイミド系、ポリエチレンナフタレート、ポリフェニルサルファイド（ＰＰＳ）、ポリアセタール系等の樹脂系フィルムや、シリコンゴム、ブチルゴム等、絶縁性に優れ且つダイヤフラム部１の伸縮時の歪み領域において弾性変形が可能な絶縁体を用いても、ダイヤフラム部１の振動を阻害することなく上述と同様な絶縁性を確保することができる。
また接着層による貼り付け以外に超音波溶着や熱溶着で絶縁体２を上側筐体部２ｂの下面及びダイヤフラム板１０の下面に接合するようにしても勿論良い。

更にまた上述の電位差が小さい使用条件の場合には、絶縁体２の延伸部２ａの先端を筐体５の外面に至る長さとしなくても良く、この場合には図１（ｂ）に示すように筐体５を上下に二分割する構造とはせず、穴部３の内周面にダイヤフラム板１０の端部及び絶縁体２の延伸部２ａ先端を埋設する構成が採用でき、例えば筐体５の成形時にインサートしても良い。
（実施形態２）
上記実施形態１では、フィルム状の絶縁体２をダイヤフラム板１０の下面及び筐体部５ｂの下面に貼り付ける構成であるが、シリコン樹脂に有機溶剤に溶かしたシリコンワニスを用いてシリコン樹脂層からなる絶縁体２を一体形成するようにしても良い。

つまり図３（ａ）に示すように上側筐体部５ｂの穴３ｂの下端開口周縁に形成している凹部３ｃ内にダイヤフラム板１０の端部を入れた状態で、矢印で示すように下方から上側筐体部５ｂの下面及びダイヤフラム板１０の下面にシリコンワニスを塗布した後、有機溶剤を揮発させることで、図３（ｂ）に示すようにシリコン樹脂層からなる薄膜による絶縁体２がこれら下面に一体的に形成されることになる。

本実施形態では、ダイヤフラム板１０と絶縁体２とが機械的に一体化するため、両者の密着力が高く、使用時に界面剥離が生じにくくなって、耐久性が向上する。また薄膜の膜厚を均一に形成してその膜厚を薄くすることで、ダイヤフラム板１０の変形に対する絶縁体２の抵抗を小さくすることができる。また絶縁沿面距離を実施形態１と同様に長くすることができる。

尚上記シリコンワニスの塗布による絶縁体形成方法以外に、例えば、パリレン（ポリパラキシレン）やポリイミドの蒸着を行ったり、熱硬化性樹脂であるエポキシ樹脂、ＢＭＣ（不飽和ポリエステル樹脂）ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート樹脂）、ＰＥＩ（ポリエーテルイミド）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート樹脂）、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン樹脂）、ＰＰＡ（ポリフタルアミド樹脂）、ＬＣＰ（液晶ポリマー樹脂）、ＰＡ９Ｔ（ポリアミド９Ｔ樹脂）、ＰＴＦＥ等の樹脂層を吹き付け塗布、刷毛塗り、浸漬法、静電塗装など公知の方法を用いて、上側筐体部５ｂの下面及びダイヤフラム板１０の下面に形成し、この樹脂層によって絶縁体２を形成しても勿論良い。

尚絶縁体２の膜厚は、使用樹脂の絶縁破壊電圧により決まり、例えばパリレンでは２７６ｋＶ／ｍｍであるため、２５μｍの厚みの樹脂層（薄膜）形成すると、約７ｋＶの絶縁が可能となる。

また樹脂層形成に真空蒸着を用いれば、樹脂層内に気泡が発生することなく、所謂脱気処理された絶縁体２を形成することができ、そのため気泡による部分放電での騒音や放電繰り返しによる絶縁体２の経年劣化を抑制できる。
（実施形態３）
上記実施形態１では絶縁体２の延伸部２ａは平坦な面を持つものであったが、本実施形態では、図４（ａ）に示すように絶縁体２の厚み方向に三角波状の凹凸を延伸部２ａの基端から先端に亘って形成し、これにより沿面距離を平坦な場合に比べて増大させた点で実施形態１と相違する。上記の凹凸は例えば厚み方向の凹凸量を１ｍｍとして、傾斜面の角度を４５度とした場合、平坦面に比べて約１．４倍の沿面距離が得られる。

上記の凹凸は予め延伸部２ａに形成したもので、この凹凸に対応する凹凸を両筐体部５ａ、５ｂの側にも形成して延伸部２ａの凹凸を挟み込むようにしている。

勿論延伸部２ａを挟む両筐体部５ａ、５ｂの面に図４（ｂ）に示すように対応する凹凸部１３ａ、１３ｂを予め形成しておき、弾性を持つ絶縁体２の延伸部２ａを図４（ｃ）に示すように挟み込むことで、延伸部２ａを波立たせて凹凸を形成するのである。勿論樹脂層を塗布、蒸着等により一体形成する場合にも両筐体部５ａ、５ｂに予め凹凸形状を形成しておけば良い。
（実施形態４）
実施形態１は、絶縁体２の延伸部２ａの先端を筐体５の外面に臨ませているが、本実施形態では、図５（ａ）、（ｂ）に示すように下側筐体部５ａの全周面を覆うように延長形成し、筐体５の外形寸法を増加させることなく、ポンプ室４からダイヤフラム板１０の端部までの沿面距離を更に増大化した点に特徴がある。

ここで、例えば下側筐体部５ａの高さ寸法を２ｍｍとした場合、側面を往復する沿面距離の増加分が約４ｍｍとなる。ここで仮に筐体５の外形寸法を大きくして沿面距離を４ｍｍ増加させるためには、筐体５の直径を２ｍｍ増やす必要がある。尚フィルム状の絶縁体２を用いて貼り付ける場合には、筐体部５ｂの側面に貼り付ける際の長さの差によって生じるしわ（撓み）Ｘは、沿面距離に影響することはないが、熱溶着などを用いて筐体部５ｂに固着したり、絶縁体２自体に重ねて固着することが望ましい。

またゴム系樹脂などからなる絶縁体２を形成する場合には、下側筐体部５ａに沿うように形成しておき、下側筐体部５ａに被せるようにしても良い。この場合上述のしわは発生しない。
（実施形態５）
上記各実施形態では上側筐体部５ｂやダイヤフラム板１０に対して絶縁体２を貼り付けたり、蒸着や塗布等を用いて絶縁体２を一体形成する方法が採用されているが、本実施形態では、絶縁体２と両筐体部５ａ、５ｂを同じ樹脂材料（例えばＰＴＦＥ）で形成し、絶縁体２の延伸部２ａを挟み込む筐体部５ａ、５ｂの接合部位において、図６（ａ）に示すように絶縁体２の全周に亘って端部を上側筐体部５ｂの上面に熱溶着してこの熱溶着部１４により一体化した点に特徴がある。

つまり、本実施形態では、ポンプ室４を一体となった絶縁体２と筐体部５ｂとで封止することで、沿面自体の存在を無くして沿面放電を完全に防止することができるのである。

尚図６（ｂ）に示すように図１（ｂ）と同様な構造においても熱溶着を行うことができる。

また絶縁体２の延伸部２ａの端部を下側筐体部５ａの上面に熱溶着する代わりに、上側筐体部５ｂの下面と熱溶着しても良く、この場合、上側筐体部５ｂの下面と絶縁体２の延伸部２ａの上面との間を熱溶着により封止することにより、ダイヤフラム板１０と、ポンプ室４との間の沿面距離を、上側筐体部５ｂの側面の高さ分を増加させることができ、これにより沿面放電の防止を確実なものとすることもできる。

実施形態１を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は他の例の断面図である。 実施形態１を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は分解斜視図である。 実施形態２の絶縁体形成方法の説明図である。 実施形態３を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）、（ｃ）は絶縁体の延伸部の凹凸の形成方法の説明図である。 実施形態４を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は斜視図である。 実施形態５を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は他の例の断面図である。

符号の説明

Ｐ 圧電ダイヤフラムポンプ
１ ダイヤフラム部
２ 絶縁体
２ａ 延伸部
３ 穴部
３ａ 凹平面
３ｂ 穴
３ｃ 凹部
４ ポンプ室
５ 筐体
５ａ 下側筐体部
５ｂ 上側筐体部
６ 駆動装置
７ａ 流体吐出路
７ｂ 流体流入路
８ 弁体
８ａ 吐出弁
８ｂ 流入弁
９ 弁押さえ体
９０ａ 吐出管路
９０ｂ 流入管路
９１ａ、９１ｂ 接続部
１０ ダイヤフラム板
１１ 圧電素子
１２ 電極体

Claims (5)

1. 平板状の圧電素子と、該圧電素子の一面側に配された電極体と、前記圧電素子の他面側を覆うように接合され、前記圧電素子の伸縮に応じて変形可能な導電部材よりなるダイヤフラム板と、前記圧電素子に対する接合側とは反対側の前記ダイヤフラム板の面を覆うように前記ダイヤフラム板に接合されるとともに前記ダイヤフラム板の全周縁より外方に延伸させた延伸部を有する絶縁体と、前記絶縁体の延伸部及び前記ダイヤフラム板の周縁部を保持するとともに、前記絶縁体と対向する面との間に前記ダイヤフラム板の変形によって拡縮する空間部を形成し且つ該空間部に連通する流体吸入路及び流体吐出路を形成した絶縁材からなる筐体とから成ることを特徴とする圧電ダイヤフラムポンプ。
2. 前記絶縁体の延伸部は前記筐体の外側面まで延伸して該外側面に接合されていることを特徴とする請求項１記載の圧電ダイヤフラムポンプ。
3. 前記絶縁体の延伸部は、表面が凹凸面に形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の圧電ダイヤフラムポンプ。
4. 前記絶縁体の延伸部の全周端部と前記筐体とを溶着接合されていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか記載の圧電ダイヤフラムポンプ。
5. 前記筐体が前記絶縁体の延伸部との接合部を挟む形で上下に二分される上下の筐体部から構成され、前記絶縁体がダイヤフラム板の下面及び該下面に連続する上側の前記筐体部の下面に一体形成された絶縁性樹脂膜から成ることを特徴とする請求項１乃至４の何れか記載の圧電ダイヤフラムポンプ。

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