CN107795468A - 流体控制装置的制造方法 - Google Patents

Abstract

一种流体控制装置的制造方法，包含:(a)提供壳体、压电致动器及可变形基座结构，压电致动器由压电元件及振动板所构成，振动板具有第一表面及相对应的第二表面，第二表面具有一突出部，可变形基座结构包含流通板及挠性板，挠性板具有可动部；(b)将可变形基座结构的挠性板及流通板相互堆叠接合并实施于外部施加至少一作用力的预制同步变形作业，使挠性板及流通板同步变形构成预制成型的同步变形结构；(c)依序将壳体、压电致动器及可变形基座结构相互堆叠定位接合，可变形基座结构的预制成型的同步变形结构为相对于振动板的突出部，以使可动部与突出部之间定义出特定深度。

Description

流体控制装置的制造方法

【技术领域】

本案是关于一种流体控制装置的制造方法，尤指一种具有可变形基座的流体控制装置的制造方法。

【背景技术】

目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印、能源等工业，产品均朝精致化及微小化方向发展，其中微泵、喷雾器、喷墨头、工业打印装置等产品所包含的流体输送结构为其关键技术，是以，如何借创新结构突破其技术瓶颈，为发展的重要内容。

请参阅图1A及图1B所示，图1A为已知流体控制装置的部分结构示意图，图1B为已知流体控制装置的部分结构组装偏移示意图。如图所示，已知的流体控制装置100的作动核心主要包含基板101及压电致动器102，基板101与压电致动器102是堆叠设置，且基板101与压电致动器102具有一间隙103，其中，该间隙103需保持一定深度，借由此间隙103维持一定深度，当压电致动器102受施加电压而致动产生形变时，则可驱动流体于流体控制装置100的各腔室内流动，借以达到流体传输的目的。然而，于此已知的流体控制装置100中，其中压电致动器102与基板101均为平板式的整体结构，且具有一定的刚性，在此条件下，欲使该两个整体均为平板式的结构彼此精准对位，以致使该两平板间产生具有一定之间隙103，即维持一定深度，会具有一定的困难度，极容易产生误差，因为上述任一具一定刚性的整体平板，如有任一边倾斜一角度θ，则于相对的位置均会产生相对的距离乘上该角度θ的位移值，例如一位移d，而导致该一定之间隙103的标线处增加d’(如图1B所示)，或反之减少d’(未图示)；特别是当流体控制装置朝向微小化的发展，每一元件的尺寸均朝微小化设计进行，使得该两平板间欲维持具有一定之间隙103，而不会增加或减少d’，进而保持间隙103的一定深度，其困难度越来越高，而若无法保持间隙103的一定深度，例如间隙103是增加上述一d’位移的误差时，将导致该间隙103的距离过大，进而使得流体传输效率不佳；反之，若间隙是于相反方向以致减少上述一d’位移(未图示)，则使得间隙103的距离过小，进而在压电致动器102作动时易与其他元件接触干涉，而产生噪音的问题，并导致流体控制装置的不良率随的提升。

换言之，由于已知的流体控制装置100的压电致动器102与基板101均为具有一定刚性的平板式整体结构，两者平板间欲以整体对位方式，达到精准对位的目的显为困难，尤其在元件尺寸越趋微小，组装时更难精确对位，进而使流体输送的效能低落及产生噪音的问题，导致使用上的不便利及不舒适。

因此，如何发展一种可改善上述已知技术缺失，可使传统采用流体传输装置的仪器或设备达到体积小、微型化且静音，并克服组装时易产生误差的问题，进而达成轻便舒适的可携式目的的微型流体传输装置，实为目前迫切需要解决的问题。

【发明内容】

本案的主要目的在于解决已知的流体控制装置中，基板与压电致动器因元件微小化的设计，于组装时不易精确地定位而产生误差，使其于组装后难以维持其间隙的需求距离，进而导致流体输送的效能低落及产生噪音的问题，导致使用上的不便利及不舒适的问题。

为达上述目的，本案的一较广义实施样态为提供一种流体控制装置的制造方法，包含:(a)提供一壳体、一压电致动器及一可变形基座结构，该压电致动器由一压电元件及一振动板所构成，该振动板具有第一表面及相对应的第二表面，该第二表面具有一突出部，该可变形基座结构包含一流通板及一挠性板，该挠性板具有一可动部；(b)将该可变形基座结构的该挠性板及该流通板相互堆叠接合并实施于外部施加至少一作用力的一预制同步变形作业，使该挠性板及该流通板进行同步变形构成一预制成型的同步变形结构；以及(c)依序将该壳体、该压电致动器及该可变形基座结构相互堆叠，并进行定位接合，该可变形基座结构的该预制成型的同步变形结构为相对于该振动板的该突出部，以使该挠性板的该可动部与该振动板的该突出部之间定义出一特定深度。

【附图说明】

图1A为已知流体控制装置的部分结构示意图。

图1B为已知流体控制装置的部分结构组装偏移示意图。

图2为本案较佳实施例的流体控制装置的制造方法流程示意图。

图3A为本案的流体控制装置的剖面结构示意图。

图3B为本案的流体控制装置的局部作动示意图。

图4A为本案较佳实施例的流体控制装置的预制成型的同步变形结构的第一实施态样示意图。

图4B为本案较佳实施例的流体控制装置的预制成型的同步变形结构的第二实施态样示意图。

图4C为本案较佳实施例的流体控制装置的预制成型的同步变形结构的第三实施态样示意图。

图4D为本案较佳实施例的流体控制装置的预制成型的同步变形结构的第四实施态样示意图。

图5A为本案较佳实施例的流体控制装置的预制成型的同步变形结构的第五实施态样示意图。

图5B为本案较佳实施例的流体控制装置的预制成型的同步变形结构的第六实施态样示意图。

图5C为本案较佳实施例的流体控制装置的预制成型的同步变形结构的第七实施态样示意图。

图5D为本案较佳实施例的流体控制装置的预制成型的同步变形结构的第八实施态样示意图。

图6A为本案较佳实施例的流体控制装置的预制成型的同步变形结构的第九实施态样示意图。

图6B为本案较佳实施例的流体控制装置的预制成型的同步变形结构的第十实施态样示意图。

图6C为本案较佳实施例的流体控制装置的预制成型的同步变形结构的第十一实施态样示意图。

图6D为本案较佳实施例的流体控制装置的预制成型的同步变形结构的第十二实施态样示意图。

图7为本案较佳实施例的流体控制装置的预制成型的同步变形结构的第十三实施态样示意图。

【具体实施方式】

体现本案特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本案能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本案的范围，且其中的说明及图示在本质上是当作说明之用，而非架构于限制本案。

本案的流体控制装置的制造方法是所制成的流体控制装置2可应用于医药生技、能源、电脑科技或是打印等工业，俾用以传送流体，但不以此为限。请参阅图2及图3A，图2为本案较佳实施例的流体控制装置的制造方法流程示意图，图3A为本案的流体控制装置的剖面结构示意图。如图2所示，本案的流体控制装置的制造方法中，以及如图3A所示，首先如步骤S31所示，提供壳体26、压电致动器23及可变形基座结构20。其中压电致动器23由一压电元件233及一振动板230所构成，振动板230具有第一表面230b及相对应的第二表面230a，第二表面230a具有一突出部230c；而振动板230可为但不限为可挠的正方形板状结构，压电元件233为可方形板状结构，且其边长不大于振动板230的边长，并可贴附于振动板230的第一表面230b上，但不以此为限，该压电元件233受施加电压后而产生形变驱动该振动板230弯曲振动，另压电致动器23更包含外框231以及至少一支架232，外框231环绕设置于振动板230之外侧，且其型态亦大致对应于振动板230的型态，即其可为但不限为正方形的镂空框型结构，且振动板230与外框231之间是以至少一支架232连接，并提供弹性支撑；以及可变形基座结构20包含流通板21及挠性板22，但不以此为限，流通板21至少一表面，该至少一表面包含一外部表面21a，该流通板21更进一步具有至少一进入孔210、至少一汇流通槽211及一汇流开口部212，该进入孔210贯穿该流通板21并与该至少一汇流通槽211相连通，而该汇流通槽211的另一端是连通于该汇流开口部212，而挠性板22具有一可动部22a及一固定部22b，挠性板22设置连接于流通板21上，为借以固定部22b固定连接于流通板21上，而可动部22a为对应在汇流开口部212的处的部分，且流路孔220设置在可动部22a上，且流路孔220对应于汇流开口部212。壳体26具有至少一排出孔261，壳体26不仅为单一的板件结构，亦可为周缘具有侧壁260的框体结构，供该压电致动器23设置其中，即壳体26可罩盖于压电致动器23及可变形基座结构20之外，并使壳体26与压电致动器23之间构成一流体流通的暂存腔室A，且排出孔261用以连通暂存腔室A，使流体流通于壳体26之外。

其后，再如图2的步骤S32所示述，将挠性板22及流通板21相互堆叠接合并实施于外部施加至少一作用力的预制同步变形作业，使挠性板22及流通板21进行同步变形构成一预制成型的同步变形结构，该外部施加至少一作用力的预制同步变形作业是施加至少一作用力于该可变形基座结构20的至少一表面，该至少一作用力可为单次仅施以一作用力，或是同时施以多个作用力，但均不以此为限，即透过将该作用力接触实施于可变形基座结构20的挠性板22的至少一表面上，或是透过将该作用力接触实施于可变形基座结构20的流通板21的至少一表面上，以使可变形基座结构20产生同步变形，进而以形成该预制成型的同步变形结构(如图4A至图7所示)，且该作用力所接触的预制成型的同步变形结构的表面会产生至少一变形结构，例如：施力痕迹(未图示)，但不以此为限。

最后，再如步骤S33所述，依序将壳体26、压电致动器23及可变形基座结构相互堆叠，并进行定位接合，且可变形基座结构20的预制成型的同步变形结构为相对于振动板230的突出部230c，以使该挠性板22的可动部22a与振动板230的突出部230c之间定义出一特定深度δ。此步骤使壳体206罩盖于该压电致动器23之外侧周缘(如图3A所示)，其中可变形基座结构20虽尚未进行步骤S32的同步变形，然于此主要用以说明本案的流体控制装置2的堆叠设置的方式，即为使压电致动器23设置于壳体26的容置空间26a中，再以可变形基座结构20或已预制成型的同步变形结构的可变形基座结构对应与压电致动器23组装，并共同设置于容置空间26a中，借以封闭压电致动器23的底部，以及可动部22a是相对于振动板130的突出部130c的位置，且于本实施例中，可变形基座结构20的预制成型的同步变形结构是可朝向接近或远离该振动板230的突出部130c方向同步变形，即如图4A至图7所示，且不以此为限，其主要为使挠性板22的可动部22a与振动板230的突出部230c之间定义出一特定深度δ，进而以制成本案可透过预制成型的同步变形结构以维持所需求的特定深度δ的流体控制装置2。

如上所述所制成的流体控制装置2，如图3A及图3B所示，当流通板21、挠性板22与压电致动器23对应组装后，则于挠性板22的流路孔220处可与流通板21的汇流开口部212共同形成一汇流流体的腔室，且在挠性板22与压电致动器23之外框231之间是具有间距h，于一些实施例中，该间距h中是可填充一介质，例如：导电胶，但不以此为限，透过介质接合定位，以使挠性板22与压电致动器23的振动板230之间可维持的一定距离，例如间距h，更可使得挠性板22的可动部22a与振动板230的突出部230c之间形成一特定深度δ，当该振动板230于振动时，可将该流体压缩，意即使挠性板22的可动部22a与振动板230的突出部230c之间的间距变小，并使流体的压力及流速均增大；另，该特定深度δ是为一适当距离，用以使减少挠性板22的可动部22a与振动板230的突出部230c之间的接触干涉，以降低产生噪音的问题；以及，挠性板22的可动部22a与振动板230的突出部230c之间特定深度δ所构成腔室透过挠性板22的流路孔220而与流通板21的汇流开口部212处汇流流体的腔室相连通；当流体控制装置2作动时，主要由压电致动器23的压电元件233受施加电压致动而变形驱动振动板230进行垂直方向的往复式振动，当振动板230向上振动时，由于挠性板22为轻、薄的片状结构，挠性板22亦会随的共振而进行垂直方向的往复式振动，即为挠性板22的可动部22a的部分亦会随的弯曲振动形变，且该流路孔220设置于挠性板22的中心或邻近于中心处，此时挠性板22的可动部22a会因的振动板230向上振动的带动而将流体往上带入及推压而随着向上振动，则流体由流通板21上的至少一进入孔210进入，并透过至少一汇流通槽211以汇集到中央的汇流开口部212处，再经由挠性板22上与汇流开口部212对应设置的流路孔220向上流入至挠性板22的可动部22a与振动板230的突出部230c之间的特定深度δ所构成腔室中，借由此挠性板22的形变，以压缩挠性板22的可动部22a与压电致动器23之间的特定深度δ所构成腔室的体积，加强挠性板22的可动部22a与振动板230之间的特定深度δ所构成腔室中间流通空间被压缩的动能，促使其内的流体推挤向两侧流动，进而经过振动板230与支架232之间的空隙而向上穿越流动，而当振动板230向下弯曲振动时，则挠性板22的可动部22a也随的共振向下弯曲振动形变，流体汇集到中央的汇流开口部212处变少，且压电致动器23亦向下振动，而位移至挠性板22的可动部22a与振动板230的突出部230c之间的特定深度δ所构成腔室底部而加大腔室可压缩的体积，如此再重复图3B所示的实施作动，即可加大挠性板22的可动部22a与振动板230的突出部230c之间的特定深度δ所构成腔室中间流通空间被压缩的空间，达到较大流体吸入量与排出量。

于本案的较佳实施例中，如前所述，可变形基座结构20是由流通板21及挠性板22所组成，其中流通板21及挠性板22是为相互堆叠，且流通板21与挠性板22两者可进行该预制同步变形作业而产生同步变形，以构成预制成型的同步变形结构。更进一步地说，前述的同步变形是指流通板21及挠性板22，当其中任一者产生变形时，则另一者一定随的变形，且两者变形的形状均为一致，即两者相对应的表面是彼此互相接合并且定位，而两者之间不会有任何间隙或平行错位，举例来说，可变形基座结构20的流通板21产生变形时，挠性板22亦产生相同的变形；相同地，当可变形基座结构20的挠性板22产生变形时，流通板21亦产生相同的变形。另，因如前已知内容所述，于已知的流体控制装置中，其中压电致动器与基板均为平板式的整体结构，且具有一定的刚性，在此条件下，欲使该两个均为整体平板式的结构彼此精准对位，以致使该两平板间维持一定之间隙，意即维持一定深度，会具有一定的困难度，极容易产生误差，造成种种问题。所以本案中各种的较佳实施例，其特征均是利用可变形基座结构20的预制成型的同步变形结构，其是为流通板21及挠性板22的同步变形结构，该可变形基座结构20相当于已知技术的基板元件，惟该可变形基座结构20的预制成型的同步变形结构的流通板21及挠性板22会有本案中的各种实施例所定义的各种特定的预制成型的同步变形结构，而该各种特定的预制成型的同步变形结构均能与相对的振动板230的突出部230c之间，保持在一所需求的特定深度δ之内，故即使当流体控制装置2朝向微小化的发展，每一元件的尺寸均朝微小化设计进行，借由该预制成型的同步变形结构仍能轻易使得该上述两者之间欲维持具有一定之间隙是容易的，因为利用其对位面积已缩小的非平板状的同步变形结构(无论该变形为弯曲状、锥型状、各种曲面状、不规则状等等形状)与一平板对位，而不再是两大面积的平板对位，而是一非平板状的小面积与一大面积的平板对位，故会轻易降低两者之间的间隙误差，进而达到解决流体输送的效能低落及产生噪音的问题，使得解决使用上的不便利及不舒适的已知问题。

于一些实施例中，预制成型的同步变形结构可为同步变形态样可为弯曲结构、锥形结构、凸块平面结构、曲面结构或不规则状结构等，但均不以此为限，此等同步变形的结构及态样将于后段说明书详述。

如图4A及图4C所示，于此第一实施态样及第三实施态样中，预制成型的同步变形结构是为流通板21及挠性板22所构成的弯曲同步变形结构，亦即预制成型的同步变形结构的弯曲同步变形区域是在可动部22a的区域以及超出可动部22a其他区域，即该两实施态样的预制成型的同步变形结构均为一弯曲同步变形结构，惟仅两者的弯曲同步变形的方向有所差异。如图4A所示的第一实施态样中实施弯曲变形的预制同步变形作业，其是于可变形基座结构20的流通板21之外部表面21a朝向接近该振动板230的突出部230c的方向弯曲变形，同时挠性板22的可动部22a的区域及超出可动部22a其他区域亦朝向接近该振动板230的突出部230c的方向弯曲变形，以构成预制成型的同步变形结构的弯曲同步变形结构；而如图4C所示的第三实施态样中实施弯曲变形的预制同步变形作业，其是于可变形基座结构20的流通板21之外部表面21a朝向远离该振动板230的突出部230c的方向弯曲变形，同时挠性板22的可动部22a的区域及超出可动部22a其他区域亦朝向远离该振动板230的突出部230c的方向弯曲变形，以构成预制成型的同步变形结构的弯曲同步变形结构；故第一实施态样及第三实施态样中构成预制成型的同步变形结构的挠性板22的可动部22a的区域与振动板230的突出部230c之间保持在一所需求的特定深度δ的范围之内，进而所构成此两实施态样的具有预制成型的同步变形结构的流通板21及挠性板22的弯曲同步变形的流体控制装置2。

如图5A及图5C所示，于此第五实施态样及第七实施态样中，预制成型的同步变形结构是为流通板21及挠性板22所构成的锥形同步变形结构，亦即预制成型的同步变形结构的锥形同步变形区域是在可动部22a的区域及超出可动部22a其他区域，即该两实施态样的同步变形结构均为一锥形同步变形结构，惟仅两者的锥形同步变形的方向有所差异。而如图5A所示的第五实施态样中实施同步变形为锥形结构的预制同步变形作业，其是于可变形基座结构20的流通板21之外部表面21a朝向接近该振动板230的突出部230c的方向锥形变形，同时挠性板22的可动部22a的区域及超出可动部22a其他区域亦朝向接近该振动板230的突出部230c的方向锥形变形，以构成预制成型的同步变形结构的锥形同步变形结构；而如图5C所示的第七实施态样中实施同步变形为锥形结构的预制同步变形作业，其是于可变形基座结构20的流通板21之外部表面21a朝向远离该振动板230的突出部230c的方向锥形变形，同时挠性板22的可动部22a的区域及超出可动部22a其他区域亦朝向远离该振动板230的突出部230c的方向锥形变形，以构成预制成型的同步变形结构的锥形同步变形结构；故第五实施态样及第七实施态样中以构成预制成型的同步变形结构的挠性板22的可动部22a的区域与振动板230的突出部230c之间保持在一所需求的特定深度δ的范围之内，进而构成此两实施态样的具有预制成型的同步变形结构的流通板21及挠性板22的锥形同步变形的流体控制装置2。

如图6A及图6C所示，于此第九实施态样及第十一实施态样中，预制成型的同步变形结构是为流通板21及挠性板22所构成的凸块平面同步变形结构，亦即预制成型的同步变形结构的凸块平面同步变形区域是在可动部22a的区域及超出可动部22a其他区域，即该两实施态样的同步变形结构均为一凸块平面同步变形结构，惟仅两者的凸块平面同步变形的方向有所差异。而如图6A所示的第九实施态样中实施同步变形为凸块平面结构的预制同步变形作业，其是于可变形基座结构20的流通板21之外部表面21a于可动部22a的区域及超出可动部22a其他区域朝向接近该振动板230的突出部230c的方向凸块平面变形，同时挠性板22的可动部22a的区域及超出可动部22a其他区域亦朝向接近该振动板230的突出部230c的方向凸块平面变形，以构成预制成型的同步变形结构的凸块平面同步变形结构；而如图7C所示的第十一实施态样中实施同步变形为凸块平面结构的预制同步变形作业，其是于可变形基座结构20的流通板21之外部表面21a朝向远离该振动板230的突出部230c的方向凸块平面变形，同时挠性板22的可动部22a的区域及超出可动部22a其他区域亦朝向远离该振动板230的突出部230c的方向凸块平面变形，以构成预制成型的同步变形结构的凸块平面同步变形结构；故第九实施态样及第十一实施态样中以构成预制成型的同步变形结构的挠性板22的可动部22a的区域与振动板230的突出部230c之间保持在一所需求的特定深度δ的范围之内，进而构成此两实施态样的具有预制成型的同步变形结构的流通板21及挠性板22的凸块平面同步变形的流体控制装置2。

又如前述，于一些实施例中，预制成型的同步变形结构为流通板21及挠性板22的亦可为仅部分同步变形结构，亦即预制成型的同步变形结构的部分同步变形区域是仅在可动部22a区域，预制成型的同步变形结构的部分同步变形结构可为弯曲结构或锥型结构或凸块平面结构，但亦不以此为限。

如图4B及图4D所示，于第二实施态样及第四实施态样中，预制成型的同步变形结构为流通板21及挠性板22所构成的部分弯曲同步变形结构，亦即预制成型的同步变形结构的部分弯曲变形区域是在可动部22a区域，即该两实施态样的同步变形结构均为一弯曲同步变形结构，惟仅两者的弯曲同步变形的方向有所差异。如图4B所示的第二实施态样中实施部分弯曲同步变形的预制同步变形作业，其是于可变形基座结构的流通板21之外部表面21a对应汇流开口部212处的可动部22a区域朝向接近该振动板230的突出部230c的方向弯曲变形，同时挠性板22的可动部22a区域亦朝向接近该振动板230的突出部230c的方向弯曲变形，以达成预制成型的同步变形结构部分弯曲同步变形结构；而如图4D所示的第四实施态样中实施预制部分弯曲的预制同步变形作业，其是于预制成型的同步变形结构的流通板21之外部表面21a对应汇流开口部212的可动部22a区域朝向远离该振动板230的突出部230c的方向弯曲变形，同时挠性板22的可动部22a区域亦朝向远离该振动板230的突出部230c的方向弯曲变形，以构成预制成型的同步变形结构部分弯曲同步变形结构；故第二实施态样及第四实施态样中以构成预制成型的同步变形结构的挠性板22的可动部22a的区域与振动板230的突出部230c之间保持在一所需求的特定深度δ的范围之内，进而构成此两实施态样的具有预制成型的同步变形结构的流通板21及挠性板22的部分弯曲同步变形的流体控制装置2。

如图5B及图5D所示，于第六实施态样及第八实施态样中，可预制成型的同步变形结构为流通板21及挠性板22的部分锥形同步变形结构，亦即预制成型的同步变形结构的部分锥形变形区域是在可动部22a区域，即该两实施态样的同步变形结构均为一锥形同步变形结构，惟仅两者的锥形同步变形的方向有所差异。如图5B所示的第六实施态样中实施部分同步变形为锥形结构的预制同步变形作业，其是于可变形基座结构20的流通板21之外部表面21a对应汇流开口部212处的可动部22a区域朝向接近该振动板230的突出部230c的方向锥形变形，同时挠性板22的可动部22a区域亦朝向接近该振动板230的突出部230c的方向锥形变形，以达成预制成型的同步变形结构部分锥形同步变形结构；而如图5D所示的第八实施态样中实施部分同步变形为锥形结构的预制同步变形作业，其是于可变形基座结构的流通板21之外部表面21a对应汇流开口部212的可动部22a区域朝向远离该振动板230的突出部230c的方向锥形变形，同时挠性板22的可动部22a区域亦朝向远离该振动板230的突出部230c的方向锥形变形，以构成预制成型的同步变形结构的部分锥形同步变形结构；故第六实施态样及第八实施态样中以构成预制成型的同步变形结构的挠性板22的可动部22a的区域与振动板230的突出部230c之间保持在一所需求的特定深度δ的范围之内，进而构成此两实施态样的具有预制成型的同步变形结构的流通板21及挠性板22的部分锥形同步变形的流体控制装置2。

如图6B及图6D所示，于第十实施态样及第十二实施态样中，预制成型的同步变形结构为流通板21及挠性板22的部分凸块平面同步变形结构，亦即预制成型的同步变形结构的部分凸块平面变形区域是在可动部22a区域，即该两实施态样的同步变形结构均为一凸块平面同步变形结构，惟仅两者的凸块平面同步变形的方向有所差异。如图6B所示的第十实施态样中实施部分同步变形为凸块平面结构的预制同步变形作业，其是于可变形基座结构20的流通板21之外部表面21a对应汇流开口部212处的可动部22a区域朝向接近该振动板230的突出部230c的方向凸块平面变形，同时挠性板22的可动部22a区域亦朝向接近该振动板230的突出部230c的方向凸块平面变形，以构成预制成型的同步变形结构的部分凸块平面同步变形结构；而如图6D所示的第十二实施态样中实施部分同步变形为凸块平面结构的预制同步变形作业，为于预制成型的同步变形结构的流通板21之外部表面21a对应汇流开口部212的可动部22a区域朝向远离该振动板230的突出部230c的方向凸块平面变形，同时挠性板22的可动部22a区域亦朝向远离该振动板230的突出部230c的方向凸块平面变形，以构成预制成型的同步变形结构的部分凸块平面同步变形结构；故第十实施态样及第十二实施态样中以构成预制成型的同步变形结构的挠性板22的可动部22a的区域与振动板230的突出部230c之间保持在一所需求的特定深度δ的范围之内，进而构成此两实施态样的具有预制成型的同步变形结构的流通板21及挠性板22的部分凸块平面同步变形的流体控制装置2。

又如前述，于一些实施例中，预制成型的同步变形结构为流通板21及挠性板22所构成的曲面同步变形结构态样，该曲面同步变形结构为多个个不同曲率的曲面所构成，或者是相同曲率的曲面所构成，请参阅图7的第十三实施态样中实施同步变形为曲面结构的预制同步变形作业，其是于可变形基座结构的流通板21之外部表面21a为多个不同曲率的曲面所构成的变形，同时挠性板22的表面亦为多个不同曲率的曲面所构成的变形，以构成预制成型的同步变形结构的曲面同步变形结构，以使预制成型的同步变形结构的曲面同步变形结构与振动板230的突出部230c之间保持在所需求的特定深度δ的范围之内，进而构成具有预制成型的同步变形结构的流通板21及挠性板22的曲面结构同步变形的流体控制装置2。

于另一些实施例中，预制成型的同步变形结构的同步变形结构不一定为规则形态同步变形结构，亦可为不规则状的同步变形结构，意即预制成型的同步变形结构的流通板21及挠性板22的表面为不规则状的同步变形结构，但不以此为限。于另一些实施例中，预制成型的同步变形结构可为朝向接近该振动板230的突出部230c方向的突出同步变形结构，或者可为朝向远离该振动板230的突出部230c方向的突出同步变形结构，该突出同步变形结构与该振动板230的突出部230c之间定义出一特定深度δ。

于本案所述众多实施态样中所产生预制成型的同步变形结构可以有诸多实施方式，且可依照实际施作情形而任施变化，并不以前述这些方式为限。

透过上述各种实施态样，以具该预制成型的同步变形结构的可变形基座20进行组装，可使预制成型的同步变形结构的挠性板22的可动部22a与振动板230的突出部230c之间保持在所需求的特定深度δ的范围之内，透过此特定深度δ的范围限定，则可避免流体控制装置2组装时的误差造成间隙过大或过小、及其所导致挠性板22与压电致动器23彼此接触干涉，进而使流体传输效率不佳、避免产生噪音等问题。

综上所述，本案于流体控制装置可于组装前，透过在可变形基座结构实施于外部施加至少一作用力的预制同步变形作业，使其产生同步变形，以构成预制成型的同步变形结构，并使其与压电致动器组装后，可使预制成型的同步变形结构的挠性板的可动部与振动板的突出部之间保持在所需求的特定深度的范围之内，如此使预制成型的同步变形结构的挠性板的可动部与振动板的突出部之间调校至需求的特定深度的范围内，进而减少挠性板与压电致动器的接触干涉，俾可提升流体传输的效率，更可达到降低噪音的功效以达到可降低产品的不良率，提升流体控制装置的品质。

本案得由熟知此技术的人士任施匠思而为诸般修饰，然皆不脱如附申请专利范围所欲保护者。

【符号说明】

100：已知的流体控制装置

101：基板

102：压电致动器

103：间隙

2：流体控制装置

20：可变形基座结构

21：流通板

21a：外部表面

210：进入孔

211：汇流通槽

212：汇流开口部

22：挠性板

22a：可动部

22b：固定部

23：压电致动器

230：振动板

230a：第二表面

230b：第一表面

230c：突出部

231：外框

232：支架

233：压电元件

26：壳体

26a：容置空间

261：排出孔

260：侧壁

A：暂存腔室

δ：特定深度

h：间距

d、d’：位移

θ：角度

S31～S33：流体控制装置的制造方法的步骤

Claims (20)

1.一种流体控制装置的制造方法，包含:

(a)提供一壳体、一压电致动器及一可变形基座结构，该压电致动器由一压电元件及一振动板所构成，该振动板具有第一表面及相对应的第二表面，该第二表面具有一突出部，该可变形基座结构包含一流通板及一挠性板，该挠性板具有一可动部；

(b)将该可变形基座结构的该挠性板及该流通板相互堆叠接合并实施于外部施加至少一作用力的一预制同步变形作业，使该挠性板及该流通板进行同步变形构成一预制成型的同步变形结构；以及

(c)依序将该壳体、该压电致动器及该可变形基座结构相互堆叠，并进行定位接合，该可变形基座结构的该预制成型的同步变形结构为相对于该振动板的该突出部，以使该挠性板的该可动部与该振动板的该突出部之间定义出一特定深度。

2.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制同步变形作业施加至少一作用力于该可变形基座结构的挠性板的至少一表面上，以使该可变形基座结构产生同步变形构成该预制成型的同步变形结构。

3.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制同步变形作业施加至少一作用力的于该可变形基座结构的该流通板的至少一表面上，以使可变形基座结构产生同步变形构成该预制成型的同步变形结构。

4.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构的一同步变形区域为在该挠性板的该可动部区域，且该预制成型的同步变形结构为一弯曲同步变形结构，该弯曲同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。

5.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构的一同步变形区域为在该挠性板的该可动部区域，且该预制成型的同步变形结构一锥形同步变形结构，该锥形同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。

6.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构的一同步变形区域为在该挠性板的该可动部区域，且该预制成型的同步变形结构的一凸块平面同步变形结构，该凸块平面同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。

7.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构的一同步变形区域为在该挠性板的可动部区域及超出可动部区域，该预制成型的同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。

8.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构的一同步变形区域为在该挠性板的可动部区域及超出可动部区域，且该预制成型的同步变形结构为一弯曲同步变形结构，该弯曲同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。

9.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构的一同步变形区域为在该挠性板的可动部区域及超出可动部区域，且该预制成型的同步变形结构为一锥形同步变形结构，该锥形同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。

10.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构的一同步变形区域为在该挠性板的可动部区域及超出可动部区域，且该预制成型的同步变形结构为一凸块平面同步变形结构，该凸块平面同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。

11.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构为该流通板及该挠性板所构成的一曲面同步变形结构，该曲面同步变形结构为多个不相同曲率的曲面所构成，该挠性板的该曲面同步变形结构与该振动板的该突出部之间义出一特定深度。

12.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构为该流通板及该挠性板所构成的一曲面同步变形结构，该曲面同步变形结构为多个相同曲率的曲面所构成，该挠性板的该曲面同步变形结构与该振动板的该突出部之间义出一特定深度。

13.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构为该流通板及该挠性板所构成的一不规则状同步变形结构，该挠性板的该不规则状同步变形结构与该振动板的该突出部之间义出一特定深度。

14.如权利要求1至13中任一项所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构为朝向接近该振动板的突出部方向突出的一突出同步变形结构，该突出同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。

15.如权利要求1至13中任一项所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构为朝向远离该振动板的突出部方向突出的一突出同步变形结构，该突出同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。

16.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该压电致动器的振动板呈正方形，并可弯曲振动，该压电致动器更包含:

一外框，环绕设置于该振动板之外侧；以及

至少一支架，连接于该振动板的一侧边与该外框之间，以供弹性支撑。

17.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构与该振动板之间借由一介质接合定位，且该介质为一粘着剂。

18.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该壳体与该压电致动器之间堆叠构成一流体流通的暂存腔室，且该壳体设有至少一个排出孔，连通于该暂存腔室与该壳体之外部。

19.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该挠性板具有一流路孔，并设置于该可动部的中心或邻近于中心处，以供流体通过。

20.如权利要求19所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该流通板具有至少一进入孔、至少一汇流通槽及一汇流开口部，该进入孔贯穿该流通板并与该至少一汇流通槽相连通，而该汇流通槽的另一端连通于该汇流开口部，且该汇流开口部对应于该挠性板的该可动部，并与该挠性板的该流路孔连通。