CN101581291A - 流体输送装置 - Google Patents

Abstract

本发明为一种流体输送装置，用以传送一流体，其包含：阀体座，其具有出口信道及入口信道；阀体盖体，其与阀体座相互堆栈结合，具有与入口信道相对应设置的入口阀门信道，及与出口信道相对应设置的出口阀门信道；阀体薄膜，设置于阀体座及阀体盖体之间；多个暂存室，于阀体薄膜与阀体盖体之间形成第一暂存室，以及于阀体薄膜与阀体座之间形成第二暂存室，其中第一暂存室的最小口径大于入口信道的管径；以及振动装置，其外围固设于阀体盖体。

Description

流体输送装置

【技术领域】

本发明是关于一种流体输送装置，尤指一种具有防逆流及高流量扬程设计的流体输送装置。

【背景技术】

目前于各领域中无论是医药、计算机科技、打印、能源等工业，产品均朝精致化及微小化方向发展，其中微泵浦、喷雾器、喷墨头、工业打印装置等产品所包含的流体输送结构为其关键技术，是以，如何通过创新结构突破其技术瓶颈，为发展的重要内容。

请参阅图1A，是现有微泵浦结构的剖面示意图，现有微泵浦结构10是由阀体座11、阀体盖体12、阀体薄膜13、微致动器14及盖体15所组成，其中，阀体薄膜13包含入口阀门结构131及出口阀门结构132，阀体座11包含入口信道111、出口信道112、密封环113以及出口暂存腔114，阀体盖体12与微致动器14间定义形成一压力腔室123，阀体盖体12包含入口阀门信道121、出口阀门信道122、入口暂存腔124以及密封环125，阀体薄膜13设置在阀体座11与阀体盖体12之间。

当一电压作用在微致动器14的上下两极时，会产生一电场，使得微致动器14在此电场的作用下产生弯曲，当微致动器14朝箭号a所指的方向向下弯曲变形，将使得压力腔室123的体积增加，因而产生一吸力，以使阀体薄膜13的入口阀门结构131开启，液体可自阀体座11上的入口信道111被吸取进来，并流经阀体薄膜13的入口阀门结构131、入口暂存腔124及阀体盖体12上的入口阀门信道121而流入压力腔室123内(如图1B所示)，反之当微致动器14因电场方向改变而朝箭号b的方向向上弯曲变形时，则会压缩压力腔室123的体积，使得压力腔室123对内部的流体产生一推力，并使阀体薄膜13的入口阀门结构131、出口阀门结构132承受一向上推力，而出口阀门结构132将开启，并使液体由压力腔室123经由阀体盖体12上的出口阀门信道122、阀体薄膜13的出口阀门结构132以及出口暂存腔114，而从阀体座11的出口信道112流出微泵浦结构10外，因而完成流体的传输过程(如图1C所示)。

虽然现有微泵浦结构10能够达到输送流体的功能，且通过阀体座11的密封环113与入口阀门结构131相抵顶，使位于凹槽内的密封环113顶触阀体薄膜的入口阀门结构131而产生一预力(Preforce)作用，使得入口阀门结构131在未作动时于阀体座11的下表面形成一间隙，以及阀体盖体12的密封环125与出口阀门结构132相抵顶，出口阀门结构132亦通过将密封环125设至于凹槽中的相同方式与阀体盖体12的上表面形成一间隙，有助于流体释出时产生更大的预盖紧效果以防止逆流，然而，如此的结构设计虽然具有防止逆流作用，但是因为密封环113、125为一圆球状结构，因此与阀体薄膜13之间仅是一个封闭点的接触，如此密封效果会有所限制，另外，现有微泵浦结构10的入口信道111的最小管径1111与入口暂存腔124的最小口径相同，即入口信道111的最小管径1111与入口暂存腔124的入口阀门信道121的口径相同，会影响整体微泵浦结构10的流量。

因此，如何发展一种可改善上述现有技术缺失的流体输送装置，实为目前迫切需要解决的问题。

【发明内容】

本发明的主要目的在于提供一种流体输送装置，俾解决现有微泵浦结构的密封环与阀体薄膜之间仅为一封闭点的接触，密封效果会有所限制，以及，入口信道的最小管径与入口暂存腔的最小口径相同，将影响整体微泵浦结构流量等缺点。

为达上述目的，本发明的一较广义实施样态为提供一种流体输送装置，用以传送流体，其包含：阀体座，其具有出口信道及入口信道；阀体盖体，其与阀体座相互堆栈结合，具有与该入口信道相对应设置的一入口阀门信道，及与该出口信道相对应设置的一出口阀门信道；阀体薄膜，其设置于阀体座及阀体盖体之间；多个暂存室，于阀体薄膜与阀体盖体之间形成第一暂存室，以及于阀体薄膜与阀体座之间形成第二暂存室，其中第一暂存室的最小口径大于入口信道的管径；以及振动装置，其外围固设于阀体盖体。

根据本发明的构想，其中该阀体薄膜具有第一阀门结构及第二阀门结构。

根据本发明的构想，其中流体输送装置更包含多个微凸结构，其分别具有水平接触面且分别设置于阀体座及阀体盖体上，用以施预力于阀体薄膜的第一阀门结构及第二阀门结构，且第一阀门结构及第二阀门结构分别与多个微凸结构的水平接触面相抵顶。

根据本发明的构想，其中多个微凸结构以黄光蚀刻、镀膜或是电铸技术的半导体制程所形成。

根据本发明的构想，其中多个微凸结构以与阀体座及阀体盖体以一体射出成型的方式所形成。

根据本发明的构想，其中多个微凸结构更分别具有导流面，导流面分别设置于多个微凸结构与入口信道及出口阀门信道相对应的壁面端缘处。

根据本发明的构想，其中多个微凸结构的导流面为导角斜面。

根据本发明的构想，其中致动装置与阀体盖体定义出压力腔室。

根据本发明的构想，其中致动装置包括致动器及振动薄膜。

为达上述目的，本发明的另一较广义实施样态为提供一种流体输送装置，用以传送流体，其包含：阀体座，其具有出口信道及入口信道；阀体盖体，其与阀体座相互堆栈结合，具有与入口信道相对应设置的入口阀门信道，及与出口信道相对应设置的出口阀门信道；阀体薄膜，其设置于阀体座及阀体盖体之间；多个微凸结构，其分别具有水平接触面且分别设置于阀体座及阀体盖体上，用以施一预力于阀体薄膜上，以及多个微凸结构的水平接触面与阀体薄膜相抵顶；多个暂存室，于阀体薄膜与阀体盖体之间形成第一暂存室，以及于阀体薄膜与该阀体座之间形成第二暂存室；以及振动装置，其外围固设于阀体盖体。

【附图说明】

图1A是现有微泵浦结构的剖面示意图。

图1B是图1A的压力腔室膨胀状态示意图。

图1C是图1A的压力腔室压缩状态示意图。

图2A是本发明较佳实施例的流体输送装置的结构示意图。

图2B是图2A所示的阀体盖体的背面结构示意图。

图3是图2A的组装结构示意图。

图4A是图2B所示的流体输送装置的未作动状态时的A-A剖面示意图。

图4B是图4A的压力腔室膨胀状态示意图。

图4C是图4A的压力腔室压缩状态示意图。

【具体实施方式】

体现本发明特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本发明能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本发明的范围，且其中的说明及图标在本质上当作说明之用，而非用以限制本发明。

请参阅图2A，是本发明较佳实施例的流体输送装置的结构示意图，如图所示，本发明的流体输送装置20可适用于医药生技、计算机科技、打印或是能源等工业，且可输送气体或是液体，但不以此为限，流体输送装置20主要系由阀体座21、阀体盖体22、阀体薄膜23、多个暂存室、致动装置24及盖体25所组成，阀体盖体22及致动装置24之间形成一压力腔室226，主要用来储存流体，该流体输送装置20的组装方式系将阀体薄膜23设置于阀体座21及阀体盖体22之间，并使阀体薄膜23与阀体座21及阀体盖体22相互堆栈结合，且在阀体薄膜23与阀体盖体22之间形成一第一暂存室，而在阀体薄膜23与阀体座21之间形成一第二暂存室，并且于阀体盖体22上的相对应位置更设置有致动装置24，致动装置24系由一振动薄膜241以及一致动器242组装而成，用以驱动流体输送装置20的作动，最后，再将盖体25设置于致动装置24的上方，故其系依序将阀体座21、阀体薄膜23、阀体盖体22、致动装置24及盖体25相对应堆栈设置，以完成流体输送装置20的组装(如图3所示)。

其中，阀体座21及阀体盖体22系为本发明流体输送装置20中导引流体进出的主要结构，请再参阅图2A并配合图3，其中图3系为图2A的组装结构示意图，如图3所示，阀体座21系具有一个入口信道211以及一个出口信道212，流体系可由外界输入，经由入口信道211传送至阀体座21上表面210的一开口213，并且阀体薄膜23及阀体座21之间所形成的第二暂存室即为图中所示的出口暂存腔215，但不以此为限，其系由阀体座21的上表面210于与出口信道212相对应的位置产生部分凹陷而形成，并与出口信道212相连通，该出口暂存腔215系用以暂时储存流体，并使该流体由出口暂存腔215经由一开口214而输送至出口信道212，再流出阀体座21的外。以及，在阀体座21上更具有多个凹槽结构，用以供一密封环26(如图4A所示)设置于其上，阀体座21系具有环绕开口213外围的凹槽218，及环绕于出口暂存腔215外围的凹槽217，主要通过设置于凹槽217及218内的密封环26使阀体座21与阀体薄膜23之间紧密的贴合，以防止流体外泄。

请参阅图2B并配合图2A，其中图2B为图2A所示的阀体盖体的背面结构示意图，如图所示，阀体盖座22系具有一上表面220及一下表面228，以及在阀体盖座22上亦具有贯穿上表面220至下表面228的入口阀门信道221及出口阀门信道222，且该入口阀门信道221系设置于与阀体座21的开口213相对应的位置，而出口阀门信道222则设置于与阀体座21的出口暂存腔215内的开口214相对应的位置，并且阀体薄膜23及阀体盖体22之间所形成的第一暂存室即为图中所示的入口暂存腔223，且不以此为限，其系由阀体盖体22的下表面228于与入口阀门信道221相对应的位置产生部份凹陷而形成，且其系连通于入口阀门信道221，其中，本发明的入口暂存腔223的最小口径系大于入口信道211的管径，即入口阀门信道221系大于与入口信道211连接的开口213的管径，如此导入流体的流速较不致有回流或减弱的情况发生。

请再参阅图2A，阀体盖体22的上表面220系部份凹陷，以形成一压力腔室226，其系与致动装置24的致动器242相对应设置，压力腔室226系经由入口阀门信道221连通于入口暂存腔223，并同时与出口阀门信道222相连通，因此，当致动器242受电压致动使致动装置24变形，造成压力腔室226的体积膨胀而产生负压差，可使流体经入口阀门信道221流至压力腔室226内(如图4B所示)，其后，当施加于致动器242的电场方向改变后，致动器242将使致动装置24变形以使压力腔室226收缩而体积减小，使压力腔室226与外界产生正压力差，促使流体由出口阀门信道222流出压力腔室226的外，于此同时，同样有部分流体会流入入口阀门信道221及入口暂存室223内，然而由于此时的入口阀门结构231(如图4C所示)系为使受压而关闭的状态，故该流体不会通过入口阀片2313而产生倒流的现象，至于暂时储存于入口暂存腔223内的流体，则于致动器242再受电压致动，重复使致动装置24再上凸变形而增加压力腔室226体积时，再由入口暂存腔223经至入口阀门信道221而流入压力腔室226内，以进行流体的输送。

另外如图4A所示，阀体盖体22上同样具有多个凹槽结构，以本实施例为例，在阀体盖体22的上表面220系具有环绕压力腔室226而设置的凹槽227，而在下表面228上则具有环绕设置于入口暂存腔223的凹槽224、环绕设置于出口阀门信道222的凹槽229(如图4B所示)，同样地，上述凹槽结构系用以供一密封环27设置于其中，主要通过设置于凹槽224及229内的密封环27使阀体盖体22与阀体薄膜23之间紧密的贴合，以防止流体外泄，而设置于凹槽227内的密封环27则用来使致动装置24的致动薄膜241与阀体盖体22之间紧密的贴合，以防止流体外泄(如图4A所示)。

请再参阅图2A，阀体薄膜23主要系以传统加工、或黄光蚀刻、或雷射加工、或电铸加工、或放电加工等方式制出，且为一厚度实质上相同的薄片结构，其上系具有多个镂空阀开关，包含第一阀开关以及第二阀开关，于本实施例中，第一阀开关系为入口阀门结构231，而第二阀开关系为出口阀门结构232，其中，入口阀门结构231系具有入口阀片2313以及多个环绕入口阀片2313外围而设置的镂空孔洞2312，另外，在孔洞2312之间更具有与入口阀片2313相连接的延伸部2311，当阀体薄膜23承受一自压力腔室226传递而来的应力时，如图4C所示，入口阀门结构231系整个平贴于阀体座21的上，此时入口阀片2313会紧贴于微凸结构216的水平接触面2161，而密封住阀体座21上的开口213，且其外围的镂空孔洞2312及延伸部2311则顺势浮贴于阀体座21的上，故因此入口阀门结构231的关闭作用，使流体无法流出。

请再参阅图2A并配合图4A，于阀体座21的上表面210的开口213的边缘系环绕设置一微凸结构216，其系包含一水平接触面2161及一导流面2162，该水平接触面2161系与入口阀门结构231的入口阀片2313相抵顶，用以施一预力于该入口阀门结构231，而该导流面2162可为导角斜面，且该导流面2162可设置于微凸结构216与开口213相对应的壁面端缘处，通过微凸结构216与入口阀门结构231接触的表面为一水平接触面2161型态，且与入口信道211连接的开口213的相对壁面端缘为一导角斜面型态，一旦，出口阀门结构232开启而使流体释出时，阀体薄膜23的入口阀门结构231仍能与微凸结构216形成一段封闭面的接触，能产生更大更佳的预盖紧防止逆流的效果。

请再参阅图2B并配合图4A，于阀体盖体22的下表面228的出口阀门信道222的边缘系环绕设置一微凸结构225，其系包含一水平接触面2251及一导流面2252，该水平接触面2251系与出口阀门结构232的出口阀片2323相抵顶，用以施一预力于该出口阀门结构232，而该导流面2252可为一导角斜面，且该导流面2252可设置于微凸结构225与出口阀门信道222相对应的壁面端缘处，通过微凸结构225与出口阀门结构232接触的表面为一水平接触面2251型态，且于出口阀门信道222的相对壁面端缘为一导角斜面型态，一旦，入口阀门结构231开启而使流体流入阀体座21内部时，阀体薄膜23的出口阀门结构232仍能与微凸结构225形成一段封闭面的接触，能产生更大更佳的预盖紧防止逆流的效果。

当然，上述的微凸结构216及225可采用半导体制程，例如：黄光蚀刻或镀膜或电铸技术，直接在阀体座21及阀体盖体22上形成，或是直接与阀体座21及阀体盖体22以一体射出成型的方式形成，以使阀体薄膜23与阀体座21以及阀体薄膜23与阀体盖体22之间分别产生一间隙，而对入口阀门结构231及出口阀门结构232顶推以产生一预力作用，有助于开启。

而当阀体薄膜23受到压力腔室226体积增加而产生的吸力作用下，由于设置于阀体座21的微凸结构216已提供入口阀门结构231一预力，因而入口阀片2313可通过延伸部2311的支撑而产生更大的预盖紧效果，以防止逆流，当因压力腔室226的负压而使入口阀门结构231产生位移(如图4B所示)，此时，流体则可经由镂空的孔洞2312由阀体座21流至阀体盖体22的入口暂存腔223，并经由入口暂存腔223及入口阀门信道221传送至压力腔室226内，如此一来，入口阀门结构231即可因应压力腔室226产生的正负压力差而迅速的开启或关闭，以控制流体的进出，并使流体不会回流至阀体座21上。

同样地，位于同一阀体薄膜23上的另一阀门结构则为出口阀门结构232，其中的出口阀片2323、延伸部2321以及孔洞2322的作动方式均与入口阀门结构231相同，因而不再赘述，惟与出口阀门结构232相抵顶的微凸结构225设置方向系与与入口阀门结构231相抵顶的微凸结构216反向设置，如图4C所示，因而当压力腔室226压缩而产生一推力时，设置于阀体盖体22下表面228的微凸结构225将提供出口阀门结构232一预力(Preforce)，使得出口阀片2323可通过延伸部2321的支撑而产生更大的预盖紧效果，以防止逆流，当因压力腔室226的正压而使出口阀门结构232产生位移，此时，流体则可经由镂空的孔洞2322由压力腔室226经阀体盖体22而流至阀体座21的出口暂存腔215内，并可经由开口214及出口信道212排出，如此一来，则可经由出口阀门结构232开启的机制，将流体自压力腔室226内泄出，以达到流体输送的功能。

请参阅图4A，是图2B所示的流体输送装置的未作动状态时的A-A剖面示意图，于本实施例中，设置于阀体座21的上表面210的开口213边缘的微凸结构216，可使得贴合设置于阀体座21上的阀体薄膜23的入口阀门结构231的入口阀片2313因微凸结构216而形成一向下隆起，而阀体薄膜23的其余部分系与阀体盖体22相抵顶，如此微凸结构216对入口阀门231顶推而产生一预力作用，有助于产生更大的预盖紧效果，以防止逆流，且由于微凸结构216的水平接触面2161系位于阀体薄膜23的入口阀门结构231处，故使入口阀门结构231在未作动时使入口阀片2313与阀体座21的上表面210之间具有一间隙，同样地，设置于环绕出口阀门信道222边缘的微凸结构225，由于其系设置于阀体盖体22的下表面228，因而可使阀体薄膜23的出口阀门结构232的出口阀片2323向上凸出，此微凸结构225仅其方向与微凸结构216系为反向设置，然而其功能均与前述相同，因而不再赘述。

请同时参阅图4A、4B、4C，如图所示，当盖体25、致动装置24、阀体盖体22、阀体薄膜23、密封环26以及阀体座21彼此对应组装设置后，阀体座21上的开口213系与阀体薄膜23上的入口阀门结构231以及阀体盖体22上的入口阀门信道221相对应，且阀体座21上的开口214则与阀体薄膜23上的出口阀片232以及阀体盖体22上的出口阀门信道222相对应，并且，由于微凸结构216设置于阀体座21的开口213边缘，使得阀体薄膜23的入口阀门结构231微凸起于阀体座21之上，并通过微凸结构216顶触阀体薄膜23而产生一预力作用，使得入口阀门结构231在未作动时则与阀体座21的上表面210形成一间隙，同样地，出口阀门结构232亦通过将微凸结构225设置于阀体盖体22上的方式，使出口阀门结构232与阀体盖体22的下表面228形成一间隙。

当以一电压驱动致动器242时，致动装置24产生弯曲变形，如图4B所示，致动装置24朝箭号c所指的方向向下弯曲变形，使得压力腔室226的体积增加，因而产生一吸力，使阀体薄膜23的入口阀门结构231、出口阀门结构232承受一向下的拉力，并使已具有一预力的入口阀门结构231的入口阀片2313迅速开启(如图4B所示)，使液体可大量地自阀体座21上的入口信道211被吸取进来，并流经阀体座21上的开口213、阀体薄膜23上的入口阀门结构231的孔洞2312、阀体盖体22上的入口暂存腔223、入口阀片信道221而流入压力腔室226之内，此外，由于本发明的入口暂存腔223的最小口径系大于入口信道211的管径，即入口阀门信道221系大于与入口信道211连接的开口213的管径，如此导入流体的流速不致有回流或减弱的情况发生。

此时，由于阀体薄膜23的入口阀门结构231、出口阀门结构232承受该向下拉力，故位于另一端的出口阀门结构232系因该向下拉力使得位于阀体薄膜23上的出口阀片2323密封住出口阀门信道222，而使得出口阀门结构232关闭，再加上微凸结构225与出口阀门结构232接触的表面为一水平接触面2251型态，且于出口阀门信道222的相对壁面端缘为一导角斜面型态，一旦入口阀门结构231开启而使流体流入阀体座21内部时，阀体薄膜23的出口阀门结构232仍能与微凸结构225形成一段封闭面的接触，能产生更大更佳的预盖紧防止逆流的效果。

当致动装置24因电场方向改变而如图4C所示的箭号d向上弯曲变形时，则会压缩压力腔室226的体积，使得压力腔室226对内部的流体产生一推力，并使阀体薄膜23的入口阀门结构231、出口阀门结构232承受一向上推力，此时，设置于微凸结构225上的出口阀门结构232的出口阀片2323其可迅速开启(如图4C所示)，并使液体瞬间大量宣泄，由压力腔室226经由阀体盖体22上的出口阀门信道222、阀体薄膜23上的出口阀门结构232的孔洞2322、阀体座21上的出口暂存腔215、开口214及出口信道212而流出流体输送装置20的外，因而完成流体的传输过程，同样地，此时由于入口阀门结构231系承受该向上的推力，因而使得入口阀片2313密封住开口213，因而关闭入口阀门结构231，再加上微凸结构216与入口阀门结构231接触的表面为一水平接触面2161型态，且与入口信道211连接的开口213的相对壁面端缘为一导角斜面型态，一旦出口阀门结构232开启而使流体释出时，阀体薄膜23的入口阀门结构231仍能与微凸结构216形成一段封闭面的接触，能产生更大更佳的预盖紧防止逆流的效果，因此，通过入口阀门结构231及出口阀门结构232配合设置于阀体座21及阀体盖体22上的微凸结构216及225的设计，可使流体于传送过程中不会产生回流的情形，达到高效率的传输。

于一些实施例中，阀体座21以及阀体盖体22的材质系可采用热塑性塑料材料所制成。

综上所述，本发明的流体输送装置主要由阀体座、阀体薄膜、阀体盖体、振动装置堆栈而成，通过入口暂存腔的最小口径系大于入口信道的管径的结构设计，使得导入流体的流速不致有回流或减弱的情况发生，另外，设置于阀体座及阀体盖体表面上的微凸结构为一平面型态，且于入口信道及出口阀门信道的相对壁面端缘为一导角斜面型态，如此流体释出或是吸入时该阀体薄膜仍能与微凸结构是形成一段封闭面的接触，能产生更大更佳的预盖紧防止逆流的效果。是以，本发明的流体输送装置极具产业的价值，爰依法提出申请。

本发明得由熟知此技术的人士任施匠思而为诸般修饰，但是都不脱权利要求书所欲保护的范围。

Claims (18)

1.一种流体输送装置，用以传送一流体，其包含：

一阀体座，其具有一出口信道及一入口信道；

一阀体盖体，其与该阀体座相互堆栈结合，具有与该入口信道相对应设置的一入口阀门信道，及与该出口信道相对应设置的一出口阀门信道；

一阀体薄膜，其设置于该阀体座及该阀体盖体之间；

多个暂存室，于该阀体薄膜与该阀体盖体之间形成一第一暂存室，以及于该阀体薄膜与该阀体座之间形成一第二暂存室，其中该第一暂存室的最小口径大于该入口信道的管径；以及

一振动装置，其外围固设于该阀体盖体。

2.根据权利要求1所述的流体输送装置，其特征在于，该阀体薄膜具有一第一阀门结构及一第二阀门结构。

3.根据权利要求2所述的流体输送装置，其特征在于，该流体输送装置更包含多个微凸结构，其分别具有一水平接触面且分别设置于该阀体座及该阀体盖体上，用以施一预力于该阀体薄膜的该第一阀门结构及该第二阀门结构，且该第一阀门结构及该第二阀门结构分别与该多个微凸结构的该水平接触面相抵顶。

4.根据权利要求3所述的流体输送装置，其特征在于，该多个微凸结构以黄光蚀刻、镀膜或是电铸技术的半导体制程所形成。

5.根据权利要求3所述的流体输送装置，其特征在于，该多个微凸结构以与该阀体座及该阀体盖体以一体射出成型的方式所形成。

6.根据权利要求3所述的流体输送装置，其特征在于，该多个微凸结构更分别具有一导流面，该导流面分别设置于该多个微凸结构与该入口信道及该出口阀门信道相对应的壁面端缘处。

7.根据权利要求6所述的流体输送装置，其特征在于，该多个微凸结构的该导流面为一导角斜面。

8.根据权利要求1所述的流体输送装置，其特征在于，该致动装置与该阀体盖体定义出一压力腔室。

9.根据权利要求1所述的流体输送装置，其特征在于，该致动装置包括一致动器及一振动薄膜。

10.一种流体输送装置，用以传送一流体，其包含：

一阀体座，其具有一出口信道及一入口信道；

一阀体盖体，其与该阀体座相互堆栈结合，具有与该入口信道相对应设置的一入口阀门信道，及与该出口信道相对应设置的一出口阀门信道；

一阀体薄膜，其设置于该阀体座及该阀体盖体之间；

多个微凸结构，其分别具有一水平接触面且分别设置于该阀体座及该阀体盖体上，用以施一预力于该阀体薄膜上，以及该多个微凸结构的该水平接触面与该阀体薄膜相抵顶；

多个暂存室，于该阀体薄膜与该阀体盖体之间形成一第一暂存室，以及于该阀体薄膜与该阀体座之间形成一第二暂存室；以及

一振动装置，其外围固设于该阀体盖体。

11.根据权利要求10所述的流体输送装置，其特征在于，该阀体薄膜具有一第一阀门结构及一第二阀门结构。

12.根据权利要求10所述的流体输送装置，其特征在于，该第一暂存室的最小口径大于该入口信道的管径。

13.根据权利要求10所述的流体输送装置，其特征在于，该多个微凸结构以黄光蚀刻、镀膜或是电铸技术的半导体制程所形成。

14.根据权利要求10所述的流体输送装置，其特征在于，该多个微凸结构以与该阀体座及该阀体盖体以一体射出成型的方式所形成。

15.根据权利要求10所述的流体输送装置，其特征在于，该多个微凸结构更分别具有一导流面，该导流面分别设置于该多个微凸结构与该入口信道及该出口阀门信道相对应的壁面端缘处。

16.根据权利要求15所述的流体输送装置，其特征在于，该多个微凸结构的该导流面为一导角斜面。

17.根据权利要求10所述的流体输送装置，其特征在于，该致动装置与该阀体盖体定义出一压力腔室。

18.根据权利要求10所述的流体输送装置，其特征在于，该致动装置包括一致动器及一振动薄膜。

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