CN103256210A - 流体输送装置 - Google Patents

Abstract

一种流体输送装置，用以传送流体，其中阀体承载部具有入口流道以及出口流道；第一流体输送模块及第二流体输送模块分别设于阀体承载部上，且各具有致动组件、阀体盖体及阀体薄膜，阀体薄膜设置于阀体承载部及阀体盖体之间，致动组件设置于阀体盖体上，且与阀体盖体的表面形成第一压力腔室及第二压力腔室；其中，该两致动组件以相同振动频率且具有相位差作动，使第一压力腔室及第二压力腔室体积改变，产生压力差以推动流体由阀体承载部的入口流道流入，经第一流体输送模块、阀体承载部及第二流体输送模块，再由出口流道流出。

Description

流体输送装置

技术领域

本发明关于一种流体输送装置，尤指一种可有效缩减体积且减少成本的流体输送装置。

背景技术

随着科技的进步，医药、能源、电脑科技、打印等各种工业领域的产品无不朝精致化及薄型化的方向发展，其中微泵、喷雾器、喷墨头、工业打印设备等产品所包含的流体输送装置为其关键技术，是以如何藉创新技术突破原有瓶颈，实为当前发展的重要内容。

请参阅图1，其为已知流体输送装置的结构示意图，已知流体输送装置1由阀体座11、阀体盖体12、阀体薄膜13、致动组件14及盖体15所组成，其中，阀体薄膜13包含入口阀门结构131及出口阀门结构132，阀体座11包含入口流道111及出口流道112、阀体盖体12与致动组件14间定义形成一压力腔室123，阀体薄膜13设置在阀体座11与阀体盖体12之间。

当一电压作用在致动组件14的上下两极时，会产生一电场，使得致动组件14在此电场的作用下产生弯曲，当致动组件14朝箭号x所指的方向向上弯曲变形，将使得压力腔室123的体积增加，因而产生一吸力，使阀体薄膜13的入口阀门结构131开启，故液体可自阀体座11上的入口流道111被吸取进来，并流经阀体薄膜13的入口阀门结构131及阀体盖体12上的入口阀门通道121而流入压力腔室123内，反之当致动组件14因电场方向改变而朝箭号x的反方向向下弯曲变形时，则会压缩压力腔室123的体积，使得压力腔室123对内部的流体产生一推力，并使阀体薄膜13的入口阀门结构131、出口阀门结构132承受一向下推力，而出口阀门结构132将开启，并使液体由压力腔室123经由阀体盖体12上的出口阀门通道122、阀体薄膜13的出口阀门结构132，而从阀体座11的出口流道112流出流体输送装置1外，因而完成流体的传输过程。

然而由于已知流体输送装置1使用单一致动器配合单一压力腔室、单一流通管道、单一进出口以及单一对的阀门结构的设计实难以增加流体传输量，因此若要使用流体输送装置1来提升流量，必须先利用衔接机构将多个流体输送装置1进行连接，例如额外设置管路于多个流体输送装置1的阀体座之间，使该些阀体座彼此连通，再将多个流体输送装置1以上下堆迭的方式进行设置，此种连接方式不但需额外耗费衔接机构的成本外，多个流体输送装置1所组合起来的体积将过大，使得最终产品的体积增加而无法符合薄型化的趋势。

有鉴于此，如何发展一种可改善上述已知技术缺失的流体输送装置，实为目前迫切需要解决的问题。

发明内容

本发明的主要目的为提供一种流体输送装置，经由该流体输送装置的阀体承载部上可平行串并第一流体输送模块及第二流体输送模块整合为一，相较于已知流体输送装置使用单一流体输送模块的设计，可经由平行串并的第一流体输送模块及第二流体输送模块来增加流体传输量及扬程，且无须已知流体输送装置欲提升流量时需利用衔接机构，例如管线，将多个已知流体输送装置进行连接及连通方式进行设置，而且整合两组流体输送模块可同步或非同步作动的方式，进而提升流体传输的流量及扬程，无需额外耗费于衔接机构而可减少生产成本，且缩小流体输送装置的整体体积的符合薄型化等优点。

为达到上述目的，本发明较广义实施样态为提供一种流体输送装置，用以传送流体，包含阀体承载部、第一流体输送模块以及第二流体输送模块，其中阀体承载部具有入口流道以及出口流道；第一流体输送模块组设于阀体承载部上，具有致动组件、阀体盖体及阀体薄膜，其中阀体薄膜设置于阀体承载部及阀体盖体之间，致动组件设置于阀体盖体上，且与阀体盖体的表面形成第一压力腔室；以及第二流体输送模块组设于阀体承载部上，具有致动组件、阀体盖体及阀体薄膜，其中阀体薄膜设置于阀体承载部及阀体盖体之间，致动组件设置于阀体盖体上，且与阀体盖体的表面形成第二压力腔室；藉此，第一流体输送模块及第二流体输送模块的致动组件以相同振动频率且具有一相位差作动，分别致使第一压力腔室及第二压力腔室体积改变，进而产生压力差以推动流体由阀体承载部的入口流道流入，经第一流体输送模块、阀体承载部及第二流体输送模块之间流动，再由阀体承载部的出口流道流出。

附图说明

图1为已知流体输送装置的结构示意图。

图2A为本发明一较佳实施例的流体输送装置的外观示意图。

图2B为图2A所示的流体输送装置正面分解结构示意图。

图2C为图2A所示的流体输送装置反面分解结构示意图。

图3为图2B所示的阀体薄膜的结构放大图。

图4为图2A所示的流体输送装置的A-A剖面图。

图5A为图4所示的流体输送装置的第一流体输送模块及第二流体输送模块同向作动时的第一示意图。

图5B为图5A所示的流体输送装置的第一流体输送模块及第二流体输送模块同向作动时的第二示意图。

图6A为图4所示的流体输送装置的第一流体输送模块及第二流体输送模块反向作动时的第一示意图。

图6B为图6A所示的流体输送装置的第一流体输送模块及第二流体输送模块反向作动的第二示意图。

图7A为第一流体输送模块及第二流体输送模块的同向作动振动频率示意图。

图7B为第一流体输送模块及第二流体输送模块的相位差作动振动频率示意图。

图8为第一流体输送模块及第二流体输送模块的反向作动振动频率示意图。

【主要元件符号说明】

已知元件符号:

流体输送装置：1           阀体座：11

入口流道：111             出口流道：112

阀体盖体：12              入口阀门通道：121

出口阀门通道：122         压力腔室：123

阀体薄膜：13              入口阀门结构：131

出口阀门结构：132         致动组件：14

盖体：15

本发明构件符号:

流体输送装置：2           阀体承载部：20

第一阀体座：200           第二阀体座：201

入口流道：202             出口流道：203

腔室覆盖片：204           连通腔室：205

开口：2000、2010

出口暂存腔：2001、2011

第一流体输送模块：21

第二流体输送模块：22

阀体薄膜：210、220

镂空阀开关：2100、2101、2200、2201

阀片：2100a、2101a、2200a、2201a

镂空孔洞：2100b、2101b、2200b、2201b

延伸部：2100c、2101c、2200c、2201c

阀体盖体：211、221

入口阀门通道：2110、2210

出口阀门通道：2111、2211

入口暂存腔：2112、2212

第一压力腔室：2113

第二压力腔室：2213

致动组件：212、222

振动薄膜：2120、2220

致动器：2121、2221

盖体：213、223

第一密封环：214、224

第二密封环：215、225

第三密封环：216、226

凹槽：200a、200b、201a、201b、211a、211b、211c、221a、221b、221c

微凸结构：206、207、217、227

具体实施方式

体现本发明特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本发明能够在不同的方面上具有各种的变化，其皆不脱离本发明的范围，且其中的说明及附图在本质上是当作说明之用，而非用以限制本发明。

本发明的流体输送装置可应用于医药生技、能源、电脑科技或是打印等工业，用以传送气体或液体等流体，但不以此为限。请参阅图2A至图2C、图3及图4所示，流体输送装置2包含有一阀体承载部20、一第一流体输送模块21及一第二流体输送模块22。

阀体承载部20包含第一阀体座200、第二阀体座201、一入口流道202、一出口流道203及一连通腔室205，其中第一阀体座200及第二阀体座201相邻设置于同一平面上，在一些实施例中，第一阀体座200及第二阀体座201可为一体成形，但不以此为限。第一阀体座200具有一与入口流道202连通的一开口2000及一与第一流体输送模块21所构成的出口暂存腔2001，使流体可经由入口流道202流至开口2000，该出口暂存腔2001用以暂时储存流体。第二阀体座201也具有一开口2010及一与第二流体输送模块22所构成的一出口暂存腔2011，该出口暂存腔2011与出口流道203连通，用以暂时储存流体，并使流体由出口流道203排出。该第一阀体座200的出口暂存腔2001及该第二阀体座201的开口2010分别与连通腔室205相连接而彼此相连通(如图4所示)。

第一流体输送模块21设置于该第一阀体座200上，包含彼此堆迭设置的一阀体薄膜210、一阀体盖体211、一致动组件212及一盖体213。其中阀体薄膜210位于第一阀体座200及阀体盖体211之间，并与第一阀体座200及阀体盖体211相对应设置，而该阀体盖体211相对应位置上组设致动组件212，该致动组件212主要包含一振动薄膜2120及一致动器2121，供以受电压驱动而振动，至于盖体213设置于致动组件212上，用以密封整个第一流体输送模块21。当阀体薄膜210、阀体盖体211、致动组件212及盖体213依序堆迭利用锁固元件(未图示)等设置于第一阀体座200上后，便可构成第一流体输送模块21。

第二流体输送模块22设置于该第二阀体座201上，且与该第一流体输送模块21位于该阀体承载部20相同一侧，并同样包含彼此堆迭设置的一阀体薄膜220、一阀体盖体221、一致动组件222及一盖体223。此外，致动组件222亦包含一振动薄膜2220及一致动器2221，由于阀体薄膜220、阀体盖体221、致动组件222及盖体223等元件的结构特征及组装方式皆相似于第一流体输送模块21的阀体薄膜210、阀体盖体211、致动组件212及盖体213等元件，故于此不再赘述。

前述第一流体输送模块21的阀体盖体211及第二流体输送模块22的阀体盖体221分别可为两独立的构件，或可为一体成型的单一构件，可依照生产或使用的需求而调整两阀体盖体211、221间的连接关系。

阀体薄膜210、220各自为一厚度实质上相同的薄片结构，其上分别具有数个镂空阀开关2100、2101、2200、2201，该镂空阀开关2100、2101、2200、2201分别具有阀片2100a、2101a、2200a、2201a及数个环绕阀片2100a、2101a、2200a、2201a周边而设置的镂空孔洞2100b、2101b、2200b、2201b，在镂空孔洞2100b、2101b、2200b、2201b之间具有与阀片2100a、2101a、2200a、2201a相连接的延伸部2100c、2101c、2200c、2201c。

第一流体输送模块21的阀体盖体211具有一入口阀门通道2110及一出口阀门通道2111，分别对应阀体薄膜210的镂空阀开关2100、2101的位置，在镂空阀开关2100及阀体盖体211之间且与入口阀门通道2110连通具有一入口暂存腔2112，而在阀体盖体211一表面上可与致动组件212定义出一第一压力腔室2113(如图4所示)，该第一压力腔室2113具有一通口经由入口阀门通道2110连通于入口暂存腔2112，具有另一通口与出口阀门通道2111相连通。而第二流体输送模块22的阀体盖体221具有一入口阀门通道2210及一出口阀门通道2211，分别对应于阀体薄膜220的镂空阀开关2200、2201的位置，在镂空阀开关2200及阀体盖体221之间且与入口阀门通道2210连通具有一入口暂存腔2212，而在阀体盖体221一表面可与致动组件222定义出一第二压力腔室2213(如图4所示)，该第二压力腔室2213具有一通口经由入口阀门通道2210连通于入口暂存腔2212，也具有另一通口与出口阀门通道2211相连通。

另外，在一些实施例中，第一流体输送模块21及第二流体输送模块22还各自具有数个第一密封环214、224、第二密封环215、225、第三密封环216、226。此外，在第一阀体座200具有数个凹槽结构，例如环绕设置于开口2000的凹槽200a及环绕设置于出口暂存腔2001的凹槽200b；在第二阀体座201上具有数个凹槽结构，例如环绕设置于开口2010的凹槽201a及环绕设置于出口暂存腔2011的凹槽201b。这些凹槽200a、200b、201a、201b用以供对应的第一密封环214、224设置于其中，便可使该第一阀体座200与阀体薄膜210之间及该第二阀体座201与阀体薄膜220之间紧密贴合，以防止流体外泄。而在阀体盖体211、221上亦具有数个凹槽结构，例如环绕设置于阀体盖体211的入口暂存腔2112的凹槽211a、环绕设置于阀体盖体211的出口阀门通道2111的凹槽211b、环绕设置于阀体盖体221的入口暂存腔2212的凹槽221a以及环绕设置于阀体盖体221的出口阀门通道2211的凹槽221b，这些凹槽211a、211b、221a、221b用以供对应的第二密封环215、225设置于其中，便可使该阀体盖体211与阀体薄膜210之间以及该阀体盖体221与阀体薄膜220之间紧密的贴合，以防止流体外泄。以及在阀体盖体211、221的另一侧亦各自具有环绕于第一压力腔室2113以及第二压力腔室2213而设置的凹槽211c、221c，以供对应的第三密封环216、226设置，使致动组件212的振动薄膜2120与阀体盖体211之间以及致动组件222的振动薄膜2220与阀体盖体221之间可紧密贴合，以防止流体外泄。

当致动组件212、222的致动器2121、2221受电压驱动而造成弯曲变形时，与致动器2121连接的振动薄膜2120将连动而使第一压力腔室2113的体积改变，且与致动器2221连接的振动薄膜2220亦将连动而使第二压力腔室2213的体积改变，进而产生压力差推动流体，使由入口流道202流入的流体可分别流经阀体薄膜210、220的镂空阀开关2100、2200，并进入第一压力腔室2113及第二压力腔室2213，再分别由镂空阀开关2101、2201流出，最后由出口流道203排出，进而达到流体输送的目的。

此外，在一些实施例中，该阀体承载部20的第一阀体座200的开口2000边缘具有微凸结构206，供与该第一流体输送模块21的阀体薄膜210的镂空阀开关2100的阀片2100a相抵触施加一预力作用，以及第二阀体座201的开口2010边缘也具有微凸结构207，供与该第二流体输送模块22的阀体薄膜220的镂空阀开关2200的阀片2200a相抵触施加一预力作用。而在该第一流体输送模块21的阀体盖体211的出口阀门通道2111边缘具有微凸结构217，供与该第一流体输送模块21的阀体薄膜210的镂空阀开关2101的阀片2101a相抵触施加一预力作用，以及第二流体输送模块22的阀体盖体221的出口阀门通道2211边缘具有微凸结构227，供与第二流体输送模块22的阀体薄膜220的镂空阀开关2201的阀片2201a相抵触施加一预力作用。以及，阀体承载部20还具有一腔室覆盖片204，可拆卸地设置于阀体承载部20上，且对应于第一阀体座200的出口暂存腔2001与第二阀体座201的开口2010连通的位置，用以覆盖第一阀体座200的出口暂存腔2001与第二阀体座201的开口2010连通处。

请参阅图5A、图5B及图7A并配合图2A-图2C图及图4所示，当第一流体输送模块21的致动组件212及第二流体输送模块22的致动组件222受电压驱动，以使两者致动组件212、222具有相同振动频率，并以同步压缩或同步扩张第一压力腔室2113与第二压力腔室2213的方式作动，亦即使两者致动组件212、222同向作动方式，该致动组件212、222会向上产生弯曲变形，如图5A所示，使得第一压力腔室2113及第二压力腔室2213的体积增加，因而产生吸力，并使具有一预力的阀片2100a及2200a迅速开启，因此流体将可大量地经由入口流道202被吸取进来，而流体会从阀体薄膜210上的镂空阀开关2100一侧的镂空孔洞2100b进入阀体盖体211上的入口暂存腔2112、入口阀门通道2110而流入第一压力腔室2113内，且流体亦会从阀体薄膜220上的镂空阀开关2200一侧的镂空孔洞2200b进入阀体盖体221上的入口暂存腔2212、入口阀门通道2210而流入第二压力腔室2213的内。

请参阅图5B及图7A所示，当第一流体输送模块21的致动组件212及第二流体输送模块22的致动组件222因电场方向改变而向下弯曲变形时，则会分别压缩第一压力腔室2113及第二压力腔室2213的体积，使得第一压力腔室2113及第二压力腔室2213分别对内部的流体产生一推力，并使第一流体输送模块21的阀体薄膜210的镂空阀开关2101及第二流体输送模块22的阀体薄膜220的镂空阀开关2201各自承受一推力，此时，第一流体输送模块21的阀片2101a及第二流体输送模块22的阀片2201a可迅速开启，使液体瞬间大量宣泄。同时，分别经由第一压力腔室2113及第二压力腔室2213的引导，使得于第一压力腔室2113的流体可朝向第一流体输送模块21的出口阀门通道2111，从阀体薄膜210上的镂空孔洞2101b进入第一阀体座200上的出口暂存腔2001，而往相连通第二阀体座201的开口2010流动，而第二阀体座201的第二压力腔室2213的流体亦朝向第二流体输送模块22的出口阀门通道2211，从阀体薄膜220上的镂空孔洞2201b进入第二阀体座201上的出口暂存腔2011，而经由出口流道203排出。

同样地，此时由于第一流体输送模块21的镂空阀开关2100承受该推力，使镂空阀开关2100整个平贴于第一阀体座200上，以及第二流体输送模块22的镂空阀开关2200承受该推力，使镂空阀开关2200整个平贴于第二阀体座201上，此时第一流体输送模块21的阀片2100a及第二流体输送模块22的阀片2200a会分别紧贴于第一阀体座200的微凸结构206及第二阀体座201的微凸结构207上，而各自密封住第一阀体座200上的开口2000及第二阀体座201的开口2010，且第一流体输送模块21的镂空孔洞2100b及延伸部2100c则顺势浮贴于第一阀体座200上，第二流体输送模块22的镂空孔洞2200b及延伸部2200c也顺势浮贴于第二阀体座201上，故第一流体输送模块21的镂空阀开关2100及第二流体输送模块22的镂空阀开关2200产生关闭作用，使流体无法流出。藉此，通过第一流体输送模块21的致动组件212及第二流体输送模块22的致动组件222作动，使第一压力腔室2113及第二压力腔室2213因膨胀或收缩，进而趋动流体各自从第一流体输送模块21的镂空阀开关2100及第二流体输送模块22的镂空阀开关2200而大量流入第一压力腔室2113及第二压力腔室2213内，再经由第一压力腔室2113及第二压力腔室2213将流体导引至对应第一流体输送模块21的镂空阀开关2101及第二流体输送模块22的镂空阀开关2201分别流出第一流体输送模块21的阀体盖体211及第二流体输送模块22的阀体盖体221外。由于在流体输送装置2的每一暂存腔室之间皆具有第一密封环214、224、第二密封环215、225及第三密封环216、226等结构予以密封，因此可有效防止流体泄漏。

由于已知流体输送装置仅采用单一致动组件时，则实际上仅可达到50ml/min的流速，且扬程为45kPa，然而，本发明经由阀体承载部20的一第一阀体座200及第二阀体座201相邻设置于同一平面上，且第一阀体座200及第二阀体座201经由连通腔室205而彼此相连通，因此当第一流体输送模块21的致动组件212及第二流体输送模块22的致动组件222以同向作动时，本发明的流体输送装置2可达到95ml/min的传输流量，且其扬程可提升为90kPa。

当然，如图7B所示，在一些实施例中，第一流体输送模块21的致动组件212及第二流体输送模块22的致动组件222亦可相同振动频率，但以非同步压缩或扩张第一压力腔室2113与第二压力腔室2213的方式作动，使第一流体输送模块21的致动组件212及第二流体输送模块22的致动组件222作动具有一θ相位差，如此便可经由调整θ相位差的大小，以达成调整流体输送装置的传输流量及扬程，以配合各种不同需求而达到最适流量及扬程的输出，进而更灵活地运用于多样的产品，更富应用性。

请参阅图6A、图6B以及图8并配合图2A-图2C图及图4所示，当第一流体输送模块21的致动组件212及第二流体输送模块22的致动组件222受相同振动频率且相互反向作动方式，此时第一流体输送模块21的致动组件212向上产生弯曲变形，且第二流体输送模块22的致动组件222向下产生弯曲变形，第一压力腔室2113的体积增加而第二压力腔室2213的体积压缩，因此在非同向作动的状态下，也可使流体可由入口流道202流入，并经由出口流道203排出。本发明第一流体输送模块21的致动组件212及第二流体输送模块22的致动组件222以反向作动时，流体输送装置2仍可达到50ml/min的流速，且其扬程更可提升为最大值，例如100kPa。

由上述可知，由于本发明流体输送装置的阀体承载部由平行设置于同一平面上的第一阀体座及第二阀体座所构成，且第一阀体座的出口暂存腔及第二阀体座的开口相互连通，第一流体输送模块及第二流体输送模块分别设置于第一阀体座及第二阀体座上，因此相较于已知流体输送装置使用单一致动组件配合单一压力腔室、单一流通管道、单一进出口以及单一对的阀门结构的设计，本发明流体输送装置可经由第一流体输送模块及第二流体输送模块而增加流体传输量及扬程，且无须如已知流体输送装置欲提升流量时，必须利用衔接机构，例如管线，将多个已知流体输送装置进行连接及连通方式进行设置，如此本发明流体输送装置的体积可大幅减少而符合薄型化，且无须需额外耗费于衔接机构而可减少生产成本，更甚者，本发明可经由调整第一致动器与第二致动器之间于同向或反向作动或相位差作动来控制流体输送装置的流量及扬程。

综合上述，本发明的流体输送装置可应用于微泵浦结构，经由该流体输送装置的阀体承载部上可平行串并第一流体输送模块及第二流体输送模块整合为一，相较于已知流体输送装置使用单一流体输送模块的设计，可经由架组的第一流体输送模块及第二流体输送模块来增加流体传输量及扬程，且无须已知流体输送装置欲提升流量时需利用衔接机构，例如管线，将多个已知流体输送装置进行连接及连通方式进行设置，而且整合两组流体输送模块可同步或非同步作动的方式，进而提升流体传输的流量及扬程，无须需额外耗费于衔接机构而可减少生产成本，且缩小流体输送装置的整体体积的符合薄型化等优点。

虽然使本发明已由上述的实施例详细叙述而可由熟悉本技艺的人士任施匠思而为诸般修饰，但是皆不脱离如所附权利要求书所限定的范围。

Claims (8)

1.一种流体输送装置，用以传送一流体，包含：

一阀体承载部，包含一第一阀体座、一第二阀体座、一入口流道、一出口流道及一连通腔室，该第一阀体座及该第二阀体座相邻设置于同一平面上，该第一阀体座具有一出口暂存腔及一与该入口流道连通的开口，该第二阀体座具有一开口及一与该出口流道连通的出口暂存腔，而该第一阀体座的该出口暂存腔及该第二阀体座的该开口分别与该连通腔室相连接而彼此相连通；

一第一流体输送模块，组设于该阀体承载部的该第一阀体座上，具有一致动组件、一阀体盖体及一阀体薄膜，其中该阀体薄膜设置于该阀体承载部及该阀体盖体之间，具有数个镂空阀开关分别对应于该第一阀体座的该开口及该出口暂存腔，该致动组件设置于该阀体盖体上，且与该阀体盖体一表面形成一第一压力腔室；以及

一第二流体输送模块，组设于该阀体承载部的该第二阀体座上，具有一致动组件、一阀体盖体及一阀体薄膜，其中该阀体薄膜设置于该阀体承载部及该阀体盖体之间，具有数个镂空阀开关分别对应于该第二阀体座的该开口及该出口暂存腔，该致动组件设置于该阀体盖体上，且与该阀体盖体一表面形成一第二压力腔室；

其中，该第一流体输送模块的该致动组件及第二流体输送模块的该致动组件以相同振动频率且具有一相位差作动，分别致使该第一压力腔室及该第二压力腔室体积改变，进而产生压力差以推动该流体由该阀体承载部的该入口流道流入，经该第一流体输送模块、该第一阀体座、该第二阀体座及该第二流体输送模块之间流动，再由该阀体承载部的该出口流道流出。

2.如权利要求1所述的流体输送装置，其特征在于该第一及该第二流体输送模块的该阀体薄膜为一厚度实质上相同的薄片结构，其上的该镂空阀开关具有一阀片及数个环绕该阀片周边而设置的镂空孔洞，且该数个镂空孔洞之间具有数个与该阀片相连接的延伸部。

3.如权利要求1所述的流体输送装置，其特征在于该第一流体输送模块的该阀体盖体具有一入口阀门通道及一出口阀门通道，且分别对应该阀体薄膜的该镂空阀开关，而在该阀体盖体及该阀体薄膜之间且对应该第一阀体座的该开口具有一入口暂存腔连通，且该入口暂存腔经该入口阀门通道连通该第一压力腔室，并经由该第一压力腔室连通该出口阀门通道，而该出口阀门通道与该第一阀体座的该出口暂存腔相对应连通，促使该第一阀体座经该连通腔室相连接而与该第二阀体座彼此相连通。

4.如权利要求1所述的流体输送装置，其特征在于该第二流体输送模块的该阀体盖体具有一入口阀门通道及一出口阀门通道，且分别对应该阀体薄膜的该镂空阀开关，在该阀体盖体及该阀体薄膜之间且对应该第二阀体座的该开口具有一入口暂存腔连通，且该入口暂存腔经该入口阀门通道连通该第二压力腔室，并经由该第二压力腔室连通该出口阀门通道，而该出口阀门通道与该阀体承载部的该第二阀体座的该出口暂存腔、该出口流道相对应连通。

5.如权利要求2所述的流体输送装置，其特征在于该阀体承载部的该第一阀体座及该第二阀体座的该两开口边缘分别具有一微凸结构，分别与该第一及该第二流体输送模块的该阀体薄膜的该镂空阀开关的该阀片相抵触施加一预力作用。

6.如权利要求3所述的流体输送装置，其特征在于该第一流体输送模块的该阀体盖体的该出口阀门通道边缘具有一微凸结构，与该阀体薄膜的该镂空阀开关的该阀片相抵触施加一预力作用。

7.如权利要求3所述的流体输送装置，其特征在于该第二流体输送模块的该阀体盖体的该出口阀门通道边缘具有一微凸结构，与该阀体薄膜的该镂空阀开关的该阀片相抵触施加一预力作用。

8.如权利要求1所述的流体输送装置，其特征在于该第一流体输送模块及该第二流体输送模块的该两致动组件可为同步或非同步作动，以调整该流体输送装置的传输流量及扬程。

Images